【課題】 エッチング技術を利用して積層基板を加工することにより、変位部と対向部を有するＭＥＭＳ構造体を製造する。
【解決手段】ＭＥＭＳ構造体１には、導電体下層２と絶縁体下層３と導電体中間層４を貫通する第１エッチング溝７ａと、導電体上層６と絶縁体上層５と導電体中間層４を貫通する第２エッチング溝７ｂが形成されている。第１エッチング溝７ａは、変位部４ａの輪郭の一部を形成する。第２エッチング溝７ｂも、変位部４ａの輪郭の一部を形成する。積層方向から観測したときに、第１エッチング溝７ａの少なくとも一部は、第１延長部６ａと重複する範囲に設けられている。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラーに対するミラー基板の歪みの影響を防ぐことができるマイクロミラーアレイを提供する。
【解決手段】ミラー基板１３には、応力緩和部１６が設けられている。これにより、マイクロミラー１５ａ〜１５ｎに対するミラー基板１３の歪みの影響が緩和される。結果として、マイクロミラー１５ａ〜１５ｎに対するミラー基板１３の歪みの影響を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】絶縁溝と絶縁部材とで構成された絶縁部を有する半導体基板において、反りの発生を抑制する。
【解決手段】ミラーアレイデバイス１は、電極基板４を備えている。電極基板４は、その厚み方向に導通し且つ絶縁部５で囲まれることによって周辺の部分から絶縁された駆動電極４１を有している。絶縁部５は、電極基板４の表面４ａから形成された絶縁溝５１と、電極基板の裏面４ｂから埋め込まれて絶縁溝５１内に突出する絶縁部材５２とで構成されている。電極基板４には、電極基板４の応力を緩和するための応力緩和溝６が絶縁部材５２が埋め込まれた裏面４ｂ側から形成されている。 （もっと読む）

本開示の一実施例にしたがって、システムは、投影システムを含む。そのシステムは、さらに、その投影システム内に配置される画像生成器を含む。その画像生成器は、複数の光線を生成するように機能する。そのシステムは、さらに、その投影システム内に配置される対物レンズを含む。その対物レンズは、それら複数の光線を屈折させるように機能する。そのシステムは、さらに、画像を形成するために屈折光線をターゲットに向けて反射させるように機能する構成要素を含む。その画像は、ターゲットに関して移動させられるように機能する。その画像の動きは、ターゲットに関するその投影システムの移動とは無関係である。

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【課題】可動部を支持する可動梁に張力を生じさせ、沈み込みを防止することができる光偏向装置を提供する。
【解決手段】光偏向装置は、基板と、可動部と、一対の支持部と、一対の可動梁を備えている。可動部は、少なくとも１つの開口部を形成する枠形状を備えている。各々の支持部は、基板に固定されて基板から上方に伸びている。一対の支持部は、間隔を挟んで相互に離間しているとともに開口部内に配置されている。各々の可動梁は、対応する支持部と可動部の開口部の内周面とを接続している。一対の可動梁は、基板の表面に平行な同一直線上を伸びて、可動部を直線の周りに揺動可能に支持している。枠形状の可動部のうち、少なくとも間隔に沿って伸びる範囲に、基板よりも熱膨張係数が低い材料で形成されている低熱膨張部分が存在する。 （もっと読む）

本発明は、ある軸（１１）を中心に回転できる可動プレート（１）であって、この回転軸（１１）に対して当該プレートの両側部に整列配置された２つのアーム（７，９）により静止フレーム（３）に連結され、外周部に導電性のループ（１３）を備える可動プレート（１）と、静止フレーム及び可動プレートにより形成された組立体の下側に、フレームの面において、可動プレートに関し、回転軸に対して斜めである横向きの磁場（５７）を形成するような態様で配列された、それぞれ異なる磁気方向を有する複数の磁石（５１，５３，５５）からなる磁石集合体と、を備える電磁駆動型マイクロシャッターに関する。 （もっと読む）

非丸形流体レンズ組立体が非丸形硬質レンズ及び非丸形硬質レンズに取り付けられた軟質メンブレンを有し、キャビティが非丸形硬質レンズと軟質メンブレンとの間に形成されている。キャビティと流体連通状態にあるリザーバが流体をキャビティに出し入れして流体レンズ組立体の光学屈折力を変化させることができる。或る１つの実施形態では、非丸形硬質レンズの前面は、非球面である。追加的に又は代替的に、軟質メンブレンの厚さは、流体がキャビティとリザーバとの間で移送されたときに軟質メンブレンがその形状を球面状に変えるよう輪郭付けられていても良い。 （もっと読む）

【課題】低コスト、且つ、高い機能を有するＭＥＭＳ、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】微細構造体からなるデバイス層６１と、基材９１とにより構成されるＭＥＭＳ１０１の製造方法であって、成形可能な材料を型５１により成形することにより、デバイス層６１、及び基材９１を成形する成形工程Ｓ４２と、成形工程により成形されたデバイス層６１と、基材９１とを接合する接合工程Ｓ４４と、成形工程で生じた残膜６１ａを、デバイス層６１より除去する除去工程Ｓ４５と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器を使用して高精度パターンの印刷を行なう方法の提供。
【解決手段】パターン記述情報の読出し工程と、部分パターンの引き出し工程と、部分パターンの変調信号への変換工程であって、バイナリパターンを１画素あたり複数の利用可能なグレースケールレベルを有する画素ビットマップに変換することを含み、画素ビットマップから変調信号が導出される工程と、変調素子のいくつかを各々所定の変調状態に駆動するよう操作するステップであって、変調素子は多数の異なる変調状態に設定され、変調信号により個々に駆動される工程と、電磁波の放射工程と、空間光変調器の照射工程と、照射を空間光変調器から加工品上に投影し、部分イメージを生成する工程と、加工品および／または投影システムの相対的な動きおよび変調素子の操作を調整する工程であって、パターンを部分パターンにより生成される部分イメージから一体につなぎ合わせる工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】大きな画角で走査を行える光走査装置を提供する。
【解決手段】光源（１）からの光で対象領域を走査する光走査装置において、前記対象領域を走査するよう、入射した光を偏向させて前記対象領域に向けて出射する走査部（９）と、前記走査部への光路を順次選択して、光を前記走査部へ入射させる選択入射部（３）と、を備えることを特徴とする光走査装置。 （もっと読む）

【課題】 ＭＥＭＳアレイなどの二重軸ミクロミラーと、平行プレート静電動作で使用されるヒンジにおいて、正味の縦横変位を同時に制限しながら、コンプライアントなトーション回転を可能にする。
【解決手段】 円形ミラー（１２）は、対向しているが中心軸からずれた位置（３６）および（３７）で、複合縦ヒンジ（４０）および（４２）によってジンバル（４４）に連結されている。 （もっと読む）

【課題】接合材の熱収縮によるマイクロミラーチップの平面度の低下が低減されたマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス１００は、マイクロミラーチップ１１０と、電極基板１３０と、マイクロミラーチップ１１０および電極基板１３０を保持している基板保持部材１７０とを有している。マイクロミラーチップ１１０は可動ミラー部１１２を備えている。電極基板１３０は、マイクロミラーチップ１１０から間隔を置いてマイクロミラーチップ１１０に対向して配置されている。基板保持部材１７０は、マイクロミラーチップ１１０の側面および電極基板１３０の側面と機械的および電気的に接合された二つの板状部材１７２で構成されている。 （もっと読む）

【課題】可変レンズアレイ単体でのレンズ効果の特性とは異なる特性を容易に得ることができるようにしたレンズアレイデバイス、および画像表示装置を提供する。
【解決手段】レンズアレイデバイス１として、可変レンズアレイ３と、可変レンズアレイ３のレンズ効果を相殺する固定レンズアレイ４とを備える。これにより、可変レンズアレイ３と固定レンズアレイ４とを組み合わせた全体でのレンズ効果を、可変レンズアレイ３のレンズ効果がオン状態（所定の屈折力が発生する状態）となったときにオフ状態（屈折力の無い状態）とする。かつ、可変レンズアレイ３のレンズ効果がオフ状態となったときに全体でのレンズ効果をオン状態とする。すなわち、レンズアレイデバイス１全体でのレンズ効果の電気的なオン／オフ特性を、可変レンズアレイ３単体での特性とは反転した状態とする。 （もっと読む）

【課題】静電気力で動作させるマイクロ機械素子における帯電量の変化に起因する駆動特性の変化を測定することを目的とする。
【解決手段】駆動電極１０ａ〜１０ｃを片側極性の電圧制御により動作させる静電駆動式のマイクロ機械素子１に対し、基準電極電圧を変化させることにより、擬似的に逆極性駆動を行って、マイクロ機械素子上の電荷の帯電量に起因する駆動特性の変化量を測定する。 （もっと読む）

【課題】大幅な低コスト化を可能とする光偏向ミラー、光偏向ミラーの製法、光偏向器を提供する。
【解決手段】光ビームを偏向するための光偏向ミラーであって、基板４の表面が光反射性を有し、裏面にポリマー材料を主成分とする樹脂皮膜５が形成されたミラー部１と、ミラー部１に設けられ、樹脂皮膜５の突出部からなるトーションバー２と、トーションバー２に連結された固定部３とを有し、ミラー部１は磁気感受性を有し、トーションバー２はミラー部１を傾動自在に支持する。基板４の表面で光を反射でき、基板４が磁気感受性を有するので、電磁石で基板を傾動させることができる。トーションバー２の材料がポリマーを主成分とする樹脂を主成分とする樹脂であるから柔軟性があり、小さな駆動源で傾動できる。基板４の表裏両面とも、フォトリソグラフィ技術によるパターニングと、ウエットエッチングにより製造でき、光偏向ミラーを廉価に製造できる。 （もっと読む）

【課題】 圧電薄膜方式の形状可変ミラーにおいて精度よく収差補正を行う。
【解決手段】 形状可変ミラーは、内部可動枠と、内部可動枠の内側に形成される回動板と、第１のトーションバーを挟む形で形成された第１の圧電膜及び第１の電極と、第２のトーションバーを挟む形で形成された第２の圧電膜及び第２の電極と、を含み、第１の電極及び第２の電極に印加される電圧によって回動される回動板の回動角度が調整される圧電アクチュエータが複数配置された圧電アクチュエータアレイと、各圧電アクチュエータに設けられた前記回動板上に形成される柱部と、前記柱部によって下方より支持されるマイクロミラーと、を備え、各圧電アクチュエータに設けられた回動板の回動角度によって各マイクロミラーの反射面の角度が二次元的に調整されることによりミラー面全体の形状が変化されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光変調を行って画像を形成するに当たり、光源から射出される光と光変調装置との相対的な位置調整の作業を簡易化することを目的とする。
【解決手段】光源２Ｒ，２Ｇ，２Ｂと、光源からの入射される光を変調する光変調装置４Ｒ，４Ｇ，４Ｂと、光変調装置に画像信号に対応した駆動信号を出力する制御部１３と、光変調装置により変調された光を表示面に対して走査する走査光学部８と、走査光学部により走査された光を表示面に投影する投影光学部９とを備える。光変調装置４Ｒ，４Ｇ，４Ｂにおいて変調された光を検出する光強度検出部１２ｂと、光強度検出部１２ｂにおいて検出された光強度信号から、光変調装置４Ｒ，４Ｇ，４Ｂに照射される光の照射位置を検出する演算処理部１２と、演算処理部１２における検出結果に基づいて駆動制御信号を生成する照射位置制御部１５と、照射位置制御部１５からの駆動制御信号により駆動され、光変調装置に照射される光の位置を調整する駆動部と、を有する。 （もっと読む）

調整可能なナノワイヤを有する共振空洞が開示される。該共振空洞は基板(114/116/230/330/430/530/630)を備える。該基板は光共振器構造(110/210/310/410/510/610)に結合可能である。該共振空洞はまた、該基板上に形成された複数のナノワイヤ(120/220/320/420/520/620)を備える。該複数のナノワイヤは、エネルギーの印加に応答して作動する(122/222/322/422/522/623)。
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【課題】マイクロミラーアレイにおいて、マイクロミラー素子の配列に制限を伴うことなく、２軸を中心に回動するミラーのミラー占有率を高める。
【解決手段】２軸を中心に回動するミラー３と、外フレーム８に接続されミラー３を支持する支持部（７，９）とを備えるマイクロミラー素子２を複数個配列してなるマイクロミラーアレイ１において、支持部（７，９）の幅Ｗ２は、ミラー３の幅Ｗｍと略同一又はそれ以下であり、支持部（７，９）は、ミラー３と反対側の端部が外フレーム８に接続され、
ミラー３側の端部はミラー３よりも外フレーム８との接続位置側に位置する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 光学部材の交換を伴うことなく瞳強度分布を調整することのできる照明光学装置。
【解決手段】 光学ユニットは、二次元的に配列されて個別に制御される複数の光学要素を有する空間変調素子が配置され得る第１光路と、表面に所定の固定パターンを有する角度分布付与素子が挿入されるための機構を有する第２光路と、前記第１光路および前記第２光路の双方を経た光の光路である第３光路と、を備える。角度分布付与素子が前記第２光路に挿入されたときには、当該角度分布付与素子に入射した光に基づいて射出される光に角度分布が付与される。 （もっと読む）