【課題】基板の伸びとマイクロ構造体の伸びの差などによる応力の弾性支持部への伝達が低減されたマイクロ構造体を提供する。
【解決手段】マイクロ構造体１８は、電極基板などの基板９と、基板９に支持部１を固定する１つのポスト１０と、支持部１の外周に枠状に配置される可動部５と、可動部５と支持部１とを弾性的に連結する弾性支持部２、３、４を有する。弾性支持部２、３、４は、支持部１に対して枠状の可動部５を可動に支持する。弾性支持部は、ねじりバネ２、４、弾性変形可能な連結部３などにより構成される。 （もっと読む）

【課題】ビーム径を変化させることなく、透過帯域の拡大を実現することができる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】本発明に係る波長選択スイッチ（５００）は、波長多重された光を入射させる少なくとも一つの入力部（５０１）と、入力部（５０１）からの光を受光し光を分散させる分散素子（５０３）と、波長ごとに分散された分散光を集光する集光要素（５０４）と、集光要素（５０４）からの分散光を波長ごとに独立に偏向可能な複数の反射光学素子（１０１）を有する光偏向部材（５０５）と、光偏向部材（５０５）によって偏向された分散光を受光する少なくとも一つの出力部（５０１）と、を備え、複数の反射光学素子（１０１）の少なくとも一つの分散素子（５０３）により分散される方向の端部の少なくとも一部に、反射光学素子の中心領域に対して反射率の高い領域を形成する。 （もっと読む）

【課題】 所望の波長範囲で、安定的に発振可能で且つ高速に波長掃引可能な光源装置を提供する。
【解決手段】 発振波長を連続的に変化可能な波長掃引光源装置であって、共振器内に、光を増幅させる光増幅媒体と、該光増幅媒体より放出される光を波長に応じて分散させる第一の手段と、第一の手段により分散した波長の異なる光束同士を平行化させる非集光光学素子で構成された第二の手段と、第二の手段により平行化した光束から所定波長の光束を選択する選択手段と、を備え、前記選択手段により選択された前記所定波長の光束を前記光増幅媒体に帰還させる波長掃引光源装置。 （もっと読む）

【課題】温度変化が起きて分散素子の分散特性が変化したとしても、正確なスイッチングができる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】基板を備えた波長選択スイッチであって、基板上に、波長選択スイッチ内に波長多重された光を入射させる少なくとも一つの入力部と、入力部からの光を受光し、光を分散させる分散素子と、分散素子によって分散された光を波長ごとに集光する集光要素と、集光要素からの波長ごとの光を波長ごとに独立に偏向可能な、複数の偏向素子を有する光偏向部材と、光偏向部材によって偏向された波長ごとの光を受光する出力部と、分散素子、集光要素、及び光偏向部材の少なくともひとつを駆動させる駆動機構と、を備え、駆動機構による駆動は、分散素子の場合は基板に対して垂直な軸の周りの回転駆動であり、集光要素もしくは光偏光部材の場合は基板に対して波長分散方向の並進である。 （もっと読む）

【課題】面内プルインの発生をより確実に抑制できるＭＥＭＳ素子、ならびにこれを用いた可動式ミラーおよび光スイッチ装置を提供すること。
【解決手段】所定の間隔を有して配置された固定櫛歯電極と可動櫛歯電極とを備え、前記可動櫛歯電極が可動基準面に対して角度をなす方向に移動するＭＥＭＳ素子であって、前記固定櫛歯電極および前記可動櫛歯電極の静電引力作用面が、前記可動基準面内において円弧形状を有している。好ましくは、前記静電力作用面の円弧形状の中心が、前記可動基準面内において前記可動櫛歯電極が回転する際の回転軸と一致する。 （もっと読む）

【課題】実質的に透明なスクリーンを用いて観察者の興味を効果的に引き付けることのできる画像形成装置および背面投影型表示装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置１は、表示面１１ａを有するスクリーン１１と、表示面１１ａに光を走査することにより画像を描画するプロジェクター１２とを有している。スクリーン１１は、表示面１１ａの各部位にて独立して、光を透過する光透過状態と光を拡散する光拡散状態とを選択でき、アドレス光が照射された部位が光拡散状態となる。プロジェクター１２は、表示面１１ａの当該表示面１１ａに表示する画像に対応した領域が光拡散状態となるようにアドレス光ＬＬ’を表示面１１ａにベクター走査するベクター走査部と、画像を表示するための表示光ＬＬ”をラスター走査するラスター走査部とを有している。 （もっと読む）

【課題】小型化、低コスト化を実現できるとともに、受光感度がよくて距離測定精度の高いレーザレーダ装置を提供する。
【解決手段】レーザレーダ装置１０は、装置本体を構成するベースフレーム１２と、ベースフレーム１２の所定位置に固定され、レーザ光を出射する光源１４と、光源１４からの出射光を図示しない対象物に向けて走査する光走査装置１６とを有している。光走査装置１６はリコン基板から半導体微細加工法により可動板（反射ミラー）やトーションバー等が一体に形成されており、可動板の中央部にはフォトダイオードが一体に形成されている。対象物からの反射光２２は、光学部品を介することなく直接フォトダイオードにより受光される。 （もっと読む）

【課題】 駆動コイルに電気信号を印加することによって可動体に発生する振動を機械的な制動機構を用いずに短時間に抑制することにある。
【解決手段】 反射ミラー１４を有する可動体１４が磁束の方向と直交する方向に配置されたトーションバー１３ａ，１３ｂに支持され、可動体の面部に施された駆動コイル２１に入力される電気信号レベルに応じて可動体が所定の振角で揺動するＭＥＭＳミラーにおいて、駆動コイル２１に電気信号を印加したとき、可動体やトーションバーの機械的要素に起因して当該可動体に発生する共振周波数の振動を検出し反転して駆動コイル２１と併設される振動抑制コイル３３に加えて抑制する振動抑制制御部３０を備えたＭＥＭＳミラー制御装置である。 （もっと読む）

【課題】トーションバー加工時のばらつきを抑制する光偏向器、光偏向器の製造方法、光学装置及び表示装置を提供する。
【解決手段】光偏向器Ａは、光を反射する可動板１と、一端が可動板に固定され、他端が支持体に固定され、可動板を回転振動可能に軸支する一対のトーションバー２ａ、２ｂと、可動板を回転振動させる駆動機構と、を備えている。このトーションバー２ａ、２ｂは、単結晶シリコンを含んでおり、また、トーションバー２ａ、２ｂの可動板１表面に垂直であってトーションバー軸支方向の断面における形状は、断面の可動板表面垂直方向の略中央部を中心線とし、略相同である２つの略等脚台形が上底及び下底の何れか短い方同士を中心線で接合した形状である。 （もっと読む）

本発明は、レーザアブレーションマイクロリソグラフィに関する。具体的には、画素毎に複数のミラーを使用して、ミラーに損傷を与えない程度にＳＬＭミラー面上のエネルギー密度を維持しつつ、レーザアブレーションを容易にするエネルギー密度にエネルギーを集中させる、新たなＳＬＭ設計およびパターニング方法を開示する。複数のマイクロミラーは、現行のＤＭＤ装置をはるかに超える非常に高い周波数で再設定することができる。
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【課題】３自由度連成振動系を構成した光走査装置において走査範囲を大きくする
【解決手段】光走査装置１は、ミラー１３、内ジンバル１２、外ジンバル１１、支持部３、弾性連結部１６ａ，１６ｂ、弾性連結部１５ａ，１５ｂ、及び弾性連結部１４ａ，１４ｂが、固有の周期的外力が作用した場合に大きい回転角で捩じり振動する３自由度連成振動系を構成する。このため、櫛歯電極部１７，１９と櫛歯電極部４ａ，４ｂとの間に電圧を印加して、固有の周期的外力を外ジンバル１１に作用させることにより、３自由度捻り振動子を共振状態にできる。そして、ミラー１３の振幅角を大きくするために、｛（ミラー１３のねじりバネ定数Ｋ１）／（ミラー１３の慣性モーメントＩ１）｝＞｛（外ジンバル１１のねじりバネ定数Ｋ３）／（外ジンバル１１の慣性モーメントＩ３）｝となるように光走査装置１を構成する。 （もっと読む）

【課題】複数の駆動パターンで駆動可能であり、利便性の高い光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射部２２を有する可動板２と、可動板２を支持する支持部３と、可動板２の両側に設けられ、可動板２と支持部３とを連結する一対の連結部４、５と、可動板２を変位させる変位手段６とを有し、連結部４、５は、支持部３に対して回動可能な駆動部４１、５１と、駆動部４１、５１および可動板２を連結する第１の軸部４２、５２とを有し、第１の軸部４２、５２は、その長手方向の途中で可動板２の厚さ方向へ屈曲可能であり、変位手段６によって駆動部４１、５１を回動させ、当該回動によって第１の軸部４２、５２を屈曲させることにより、可動板２を変位させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】光走査領域の近傍に設置しても、大きな光走査領域を確保することのできる画像形成装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置１００は、レーザー光ＬＬを出射する光出射部２００と、光出射部２００から出射したレーザー光ＬＬを反射する光反射部２２を有し、光反射部２２を互いに直交する回動中心軸Ｘ１、Ｙ１にそれぞれ回動させて、光反射部２２で反射したレーザー光ＬＬを回動中心軸Ｘ１、Ｙ１にそれぞれ走査する光スキャナー１と、回動中心軸Ｘ１、Ｙ１の交点と光出射部２００との相対的位置関係を一定に保ちつつ、光スキャナー１を所定の軸線まわりに回動させる駆動手段３００とを有している。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラーに対するミラー基板の歪みの影響を防ぐことができるマイクロミラーアレイを提供する。
【解決手段】ミラー基板１３には、応力緩和部１６が設けられている。これにより、マイクロミラー１５ａ〜１５ｎに対するミラー基板１３の歪みの影響が緩和される。結果として、マイクロミラー１５ａ〜１５ｎに対するミラー基板１３の歪みの影響を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器の特性を長期にわたって安定させる。
【解決手段】電極、静電力により電極に引き付けられて揺動する可動部、および、可動部に支持されて可動部と共に揺動する反射鏡をそれぞれが有する単位素子を複数実装された基板と、反射鏡の間から基板に向かって差し込む光を遮断する遮光層とを備える。上記空間光変調器において、遮光層は、反射鏡および基板の間に配されてもよい。また、上記空間光変調器において、遮光層は、反射鏡および可動部の間に配されてもよい。 （もっと読む）

【課題】反射面を備える可動板の有効面積を確保しつつ、可動板の慣性モーメントを低減させた光偏向器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】反射面と側面を備える可動板と、所定の軸の周りに可動板を回動可能に支持する支持部とを有し、可動板の側面が軸に向かって窪んでいる。 （もっと読む）

【課題】
従来のレーザー光線反射鏡はポリゴンミラー、ガルバノメータ、静電駆動ミラー等があり、近年ではディスクリート、コイル、磁石、ジンバルを用いた駆動ミラーと、発展して来たが、駆動力、生産性（歩留り）、耐久性、振動特性に問題があった。
これは、ピポット／スクリューを一括してゴム系ポッテングをしてしまった為の影響であり同時に駆動力が弱いのもヨークを採用しない為であった。
【解決手段】その方策としてヨークを確実に４個取り付ける構造と、ピボット、ゴム板、ピボットスクリュウを別々に設けスクリュウネジを回す構造にした事により、駆動力の向上と、振動特性の向上が計られた。と共に回転角を制御する事により耐久性、生産性が向上した。 （もっと読む）

【課題】 輝度を向上させることのできる光源装置と、この光源装置を備えたプロジェクタを提供する。
【解決手段】 本発明のプロジェクタは、光源装置63や表示素子、プロジェクタ制御手段等を備え、この光源装置63は、回転制御可能な基材に複数のセグメント領域を有し、基材のセグメント領域の少なくとも一つは反射部とされ、反射部に励起光を受けて所定の波長帯域光を発する蛍光体層が形成され、蛍光体層が形成されないセグメント領域が光を透過させる透過部とされた蛍光ホイール71と、可視光領域の励起光を蛍光体に照射する第一光源と、蛍光体層から射出される蛍光光及び第一光源72から射出される励起光と異なる波長帯域光を発する第二光源82と、蛍光ホイール71から射出される光及び第二光源82から射出される光を、同一光路上に集光させる集光光学系と、第一光源72及び第二光源82の発光を制御する光源制御手段と、備えている。 （もっと読む）

【課題】光の反射効率が高く、製造プロセスが簡便な空間光変調素子を提供する。
【解決手段】空間光変調素子の製造方法であって、電極が形成された電極側基板を準備するステップと、電極との間の静電力により可動する可動部、可動部の動きに連れて傾斜する反射鏡および可動部を支持する支持部を有する可動側基板を準備するステップと、可動側基板の支持部を電極側基板に貼り合わせるステップとを備える製造方法が提供される。可動側基板を準備するステップは、基板本体を準備するステップと、基板本体の一面をエッチングすることにより可動部を形成するステップと、可動部上に反射鏡を成膜するステップと、基板本体に他面をエッチングすることにより支持部を形成するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】従来のランプに代え、固体光源をその光源として採用するのに適した投写型表示装置の構造を提供する。
【解決手段】白色光を射出する光源ユニットと、当該光源ユニットからの白色光をＲ（赤色），Ｇ（緑色），Ｂ（青色）の３原色光に分離する光分離光学系と、分離されたＲ，Ｇ，Ｂの各偏光光を、それぞれ、映像信号に応じて光変調してＲ，Ｇ，Ｂの各光学像を形成するＲ，Ｇ，Ｂの光変調手段と、当該Ｒ，Ｇ，Ｂの光変調手段により形成された各光学像を光合成する光合成手段と、当該合成された光学像を拡大して投射する投射手段とを備えた投写型表示装置において、前記光源ユニットは、固体発光素子からの励起光を含んだ点光源から出射した白色光を、前記Ｒ，Ｇ，Ｂの光変調手段に射出する。 （もっと読む）