【課題】少なくとも１つのばねに懸架されたプレートを少なくとも１つの回転軸回りに面外で回転させる磁気アクチュエータを提供する。
【解決手段】磁気アクチュエータは少なくとも１つの第１回転軸４回りに回転可能に支承されたプレート３と該プレート３の下に配置されたマグネットヨークとを備える。プレート３は主延在面を有しており、回転軸４は主延在面に平行であり、プレート３は主延在面に平行に少なくとも１つの導体ループ１０a,１０ｂを有する。マグネットヨークは磁束をガイドするＵ字形レールと、Ｕ字形開口部に対して垂直な磁化方向を有する硬磁石とを有する。マグネットヨークの開口部がプレートの主延在面の方を向くように互いに向き付けられており、Ｕ字形レールは第１回転軸と平行な主延在方向を有しており、プレートは少なくとも１つの導体ループへの通電により少なくとも１つの回転軸回りに振れるようにする。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定してかつ大きく回動させることのできるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、支持部３と、光反射性を有する光反射部２２を備える可動板２と、支持部３に対して変位可能に設けられた駆動部４１と、駆動部４１と可動板２とを連結する第１の軸部４２とを備え、可動板２を支持部３に対して変位可能に連結する連結部４を含む４つの連結部と、駆動部４１の中心に対して可動板２側の規制位置で第１の軸部４２が可動板２の厚さ方向に変位するのを局所的に規制する１対の捩り梁部４４とを有し、駆動部４１の変位に伴って、１対の捩り梁部４４の規制位置を支点として第１の軸部４２を回動させる。 （もっと読む）

【課題】ブラックアウト時間が比例して長くなる。
【解決手段】撮像装置は、被写体の光学像が入力され、電気信号を出力する撮像素子と、光学像が入力され、撮像素子とは別個に配された光学部材と、光学像が撮像素子に向かう光路と光学部材に向かう光路との間で切り替える複数の単位素子が配列されており、撮像素子に光学像を入力すべく設定した設定時間内に複数の単位素子の少なくとも一部の単位素子が光学像を光学部材に向ける空間光変調素子とを備える。 （もっと読む）

【課題】揺動部の揺動動作に係る固有振動数を調整するのに適したマイクロ揺動素子を提供する。
【解決手段】マイクロ揺動素子Ｘ２は、揺動部２１０と、フレーム２２０と、前記揺動部および前記フレームを連結し、揺動軸心Ａ２を規定する連結部２３０と、を備え、前記連結部は、並列する複数のトーションバー２３１，２３２，２３３を含み、当該複数のトーションバーから選択される二本のトーションバーは相対的に近接離反可能であり、前記揺動部は、揺動主部２１１と、当該揺動主部２１１に取り付けられ且つ前記揺動軸心と交差する方向に変移可能な第１可動部２１２Ａ，２１２Ｂとを有し、前記フレームは、フレーム主部と、当該フレーム主部に取り付けられ且つ前記第１可動部２１２Ａ，２１２Ａと同方向に変移可能な第２可動部２２３Ａ，２２３Ｂとを有し、前記連結部に含まれる一のトーションバー２３２，２３３は、当該第１および第２可動部を連結する。 （もっと読む）

【課題】空間光変調素子の劣化を防止することができるパターン投影装置およびレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】本発明にかかるレーザ加工装置１００は、レーザ光源４１から出射されたレーザ光を複数のミラーによって空間変調する空間光変調素子４５と、基板１を照明する照明系３６を含む照明光学系と、空間光変調素子４５に空間変調された変調光を対象物に投影する結像レンズ３８と、空間光変調素子４５から出力されたレーザ光の進行方向を結像レンズ３８の光軸と一致する方向に偏向させる偏向素子４６と、を備え、空間光変調素子４５は、空間光変調素子４５に入射するレーザ光の進行方向が該空間光変調素子４５の基準面の法線とおおよそ平行である。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工装置及びレーザ加工方法において、簡素な構成で空間変調素子の劣化を防止する。
【解決手段】レーザ光を発振するレーザ光源１０２と、このレーザ光源１０２により発振され基準面１０３ａに入射するレーザ光を偏向する偏向素子が２次元に配列された空間変調素子１０３と、この空間変調素子１０３により空間変調された変調光を被加工物１０に投影する投影光学系１０４と、を備えるレーザ加工装置１において、空間変調素子１０３は、基準面１０３ａに対して垂直にレーザ光（光軸Ａ２）が入射するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】ポートを切り替える際に、切替元のポートと切替先のポートとの間に存在するポートへのクロストークを抑える。
【解決手段】出力ポート２０２−Ａに結合した状態から出力ポート２０２−Ｂに結合した状態に遷移する際に、最初に、出力ポート２０２−Ａのあらかじめ定められたヒットレスポイントに対応する電圧をミラー装置の電極に印加し（Ｓ１１０２）、次に、あらかじめ定められた中継ポイントに対応する電圧を印加し（Ｓ１１０３）、次に、出力ポート２０２−Ｂのあらかじめ定められたヒットレスポイントに対応する電圧を印加し（Ｓ１１０４）、最後に、出力ポート２０２−Ｂと結合状態になる電圧を印加する（Ｓ１１０５）。ヒットレスポイントと中継ポイントは、ポートを切り替えるときに、要求されるクロストークを下回るように設定される。 （もっと読む）

【課題】梁部に高い振動疲労特性と揺動部に高剛性を持たせつつ小型化された振動素子を提供する。
【解決手段】振動素子は、基体３と、前記基体３から梁状に設けられた梁部２と、前記梁部２の前記基体３側とは反対の側に設けられたミラー部４とを備え、前記揺動部４の少なくとも一部及び前記梁部２は金属ガラスで一体に形成される。次に、真空中でＹＡＧレーザ１０を振動素子のミラー部４に照射して局所的な構造緩和を行う。 （もっと読む）

【課題】色純度と光量とのバランスを可変とすることによりニーズの多様化に対応できるようにした照明装置及びこれを用いた投写型映像表示装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る照明装置１は、光源２から一方向に偏光方向が揃った偏光光２ａを射出し、これを光分割部材３により任意の比率で複数の偏光光３２ａ，３２ｂに分割する。そして、この複数に分割された偏光光３２ａ，３２ｂを、複数の光変換部材４を所定通りに切り換えることができるように構成された切換装置５により、複数の光変換部材４を切り換えながら複数の色光４ａ，４ｂを射出し、これを合成することにより色純度と光量のバランスを変化しうるようにしたものである。また、本発明に係る投写型映像表示装置はこのような照明装置１を用いたものである。 （もっと読む）

【課題】往復振動するミラー基板を有するマイクロミラー装置において、ミラー基板の重畳増加を最小限に抑えつつ剛性を向上させて、ミラー基板を高速で往復振動させた場合でも、該ミラー基板の動的変形を確実に防止する。
【解決手段】ミラー基板１０３は、一対の捻り梁１０２で揺動可能に支持され、該捻り梁１０２をねじり回転軸として往復振動する。このミラー基板１０３の光反射面とは反対側の裏面に、該ミラー基板１０３の動的変形を抑えるための構造補強部材１０４を設け、これを三次元規則配列多孔体で構成する。三次元規則配列多孔体は、多数の微粒子による最密充填構造体を形成した後に、前記微粒子とは異なる材料からなる物質を空隙に充填して固化し、その後、微粒子を選択的に除去することによって、該微粒子の占めていた領域が空隙として残された構造のいわゆるインバースオパール構造体である。 （もっと読む）

【課題】フィルタの特性を任意に変化することができる光可変フィルタ装置を提供すること。
【解決手段】光ファイバ１１からの入射光を周波数分散素子１５に入射する。周波数分散素子１５は入射光をその周波数に応じて異なった方向に分散させレンズ１６に加える。レンズ１６では入射光を周波数に応じて帯状にｘｙ平面に展開する。周波数選択素子１７は周波数分散方向に配列された画素構造であり、選択すべき周波数に応じた位置の画素を反射状態とする。周波数選択素子１７で選択された光は同一の経路を介して光ファイバ１４より出射される。周波数選択素子１７の反射特性を各画素毎に変化させることによって、光フィルタの特性を任意に変化させ、パスバンド幅の変更、周波数のシフトを実現することができる。 （もっと読む）

【課題】部品点数の増加を招くことなく、簡単かつ低コスト、軽量コンパクトな構成としながら、光減衰のある状態での透過帯域特性劣化を抑制する波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】入力部１０１と、入力部１０１からの光を受光し前記光を分散させる分散素子１０３と、集光要素１０４と、集光要素１０４からの前記分散光を波長ごとに独立に偏向可能な複数の反射光学素子２００を有する光偏向部材１０５と、光偏向部材１０５によって偏向された分散光を受光する少なくとも一つの出力部１０１と、を備えた波長選択スイッチ１００であって、複数の反射光学素子２００の各々が分散素子１０３によって波長ごとに分散される方向の少なくとも一方の端部２０２の面法線と、中心部分２０１の面法線とが、異なった角度を向いていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】集光光学系による各波長の光の集光位置の配列ピッチを所定ピッチに容易に調整することできる光学装置を提供する。
【解決手段】光学装置１は、光入出力部１０，透過型回折格子２１，レンズ３０およびミラーアレイ４０を備える。透過型回折格子２１は、ｘ軸方向に延在する格子が一定周期で形成されたものであり、入力ポートに入力された光を波長分岐して出力する。透過型回折格子２１は、所定軸の周りに回動自在である。透過型回折格子２１は、回動軸に垂直で波長に応じた方向に各波長の光を出力する。レンズ３０は、透過型回折格子２１により波長分岐されて出力された各波長の光を互いに異なる位置に集光する。 （もっと読む）

【課題】簡単な製造プロセスで作製する。
【解決手段】マイクロミラー３２は、ヒンジ２５ａをミラー１４の下に隠した構成になっている。ミラー１４の下面中央には、支持柱１６の一端１６ａが接続されている。支持柱１６の他端１６ｂには、支持柱１６の径方向に長い形状をしたヒンジ２５ａが力点コネクタ２６ａを介して接続されている。一端１６ａと他端１６ｂとの間には、支点部材２８ｂが支点コネクタ２９ａを介して接続されている。支持柱１６は、ヒンジ２５ａの熱膨張を利用して、他端１６ｂが力点コネクタ２６ａにより径方向に押圧され、支点コネクタ２９ａを支点として一端１６ａでミラー１４を傾斜させる。 （もっと読む）

【課題】トルク定数と慣性モーメントの比を向上させ、駆動に必要な電流を小さくして駆動時の消費電力の低減を図る。
【解決手段】回転中心となる軸１０と該軸周りに配置され該軸の円周方向に複数極に分極された永久磁石１１で構成される回転子と、該回転子の外側に空隙を介して配置されたコイル１３とヨーク１４とアウターケース１５とで構成される固定子とを有し、回転子が所定の角度範囲内で揺動するガルバノスキャナ１において、永久磁石１１には回転軸方向の溝５０を周方向に隣り合う永久磁石１１の磁極に跨って形成し、当該永久磁石１１は分割線６０によって１極あたり２個以上に分割した。 （もっと読む）

【課題】透過型偏光素子が利用できない真空紫外領域においても円偏光もしくは直線偏光の利用ならびにそれら偏光状態の変調が放射光源を用いずとも可能とする反射型偏光変調素子を提供すること。
【解決手段】光源からの光を略直線偏光状態にする偏光子部と、偏光子部からの略直線偏光を略円偏光または略直線偏光状態にする位相子部とを備えた反射型偏光変調素子において、前記偏光子部は、金属鏡を備え、当該金属鏡による反射で入射光を略直線偏光状態にして位相子部に入射させ、前記位相子部は、位相子部への入射光と透過光の光軸が一致するように配置された平面鏡の組とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学部材の固定後にも光学部材の調整時と同等に広い透過帯域を有する波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長選択スイッチ１００は、波長分割多重信号が入出力される入出力ポート１１０と、入力ポート１１０ａから射出された光を分散させて波長帯域の異なる複数の光ビームを生成する分散素子１３０と、生成された複数の光ビームを集光するとともに互いに平行に偏向する集光素子１４０と、互いに平行に偏向された複数の光ビームをそれぞれ偏向する複数の可動ミラー１６２を有するＭＥＭＳミラーアレイ１６０と、集光素子１４０とＭＥＭＳミラーアレイ１６０の間に配置された光学的に透明な平行平板１５０とを有している。平行平板１５０は、複数の光ビームの中心を複数の可動ミラー１６２の中心に合わせるように、集光素子１４０の光軸１４２に対する傾きが調整されている。 （もっと読む）

【課題】 簡単かつ安価で、軽量コンパクトな構成で、複数の波長選択スイッチも用いることなく、１つの波長選択スイッチを用いて、ポート数が多い波長選択スイッチを実現する。
【解決手段】 本発明に係る波長選択スイッチは、第１方向にアレイ状に並び波長多重された光の入力部と出力部とを有する光入出力部（１０）と、入力部から入力された波長多重光をそれぞれの信号波長に分離する光分散手段（１５）と、信号波長に分離された光を収束させる集光要素（１６）と、集光要素（１６）により集光されたそれぞれの信号波長光を所望の出力部にスイッチングさせるよう第１方向に信号光を偏向させる光偏向素子アレイ（１７）から構成される波長選択スイッチであって、集光要素（１６）により収束された光束に対して、光偏向素子アレイ（１７）の光偏向素子が第１方向に複数配列されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可動部を低い駆動力で揺動させることが可能な光偏向装置を提供すること。
【解決手段】光偏向装置は、基板と、平板形状の可動部２２０と、可動部２２０の端部２４２ａに接続されている突出部２４１ａと、突出部２４１ａと同一の中心軸２４０を有するように、可動部２２０の端部２４２ｂに接続されている突出部２４１ｂと、基板上に設置されており、突出部２４１ａの中心軸２４０の周囲を取り囲んでいる規制部２５０ａと、基板上に設置されており、突出部２４１ｂの中心軸２４０の周囲を取り囲んでいる規制部２５０ｂと、可動部２２０を揺動させる固定電極２０４ａ、２０４ｂと、を備える。規制部２５０ａで突出部２４１ａが支持されており、規制部２５０ｂで突出部２４１ｂが支持されていることで、可動部２２０が基板の上方に離反した位置で中心軸２４０の周りに揺動可能に支持されている。 （もっと読む）

【課題】所定のミラー振れ角あたりの所要駆動電圧を小さくすることができる光スキャナを提供する。
【解決手段】
光スキャナ１００は、固定部品２００と固定されて設置される光スキャナ１００であって、ミラー部１１１と、梁部１１２Ａ、１１２Ｂと、本体部１１３と、を有す構造体１１０と、駆動部１２０と、を備え、構造体１１０を支持する支持面１３２Ｆを有し、第３方向Ｚのミラー部１１１から離間する向きに延びる支持部１３２と、支持部１３２と接続され、第１方向Ｘを含み、第２方向Ｙに平行な面上で延びる台部１３３と、を有す台座１３０と、を備え、台部１３３の第３方向Ｚにおける変形量が支持面１３２Ｆの第３方向Ｚにおける変形量より小さい領域にて、台部１３３の第３方向Ｚにおいて対向する２つの面のうち構造体１１０がある側とは反対側にある面１３３Ｆと固定部品２００とは固定される。 （もっと読む）