【課題】反射率の減少が防止されたＭＥＭＳ素子およびこれを用いた光スイッチ装置およびディスプレイ装置、ならびにＭＥＭＳ素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】支持層とデバイス層との間に絶縁層が介挿された構造を有し、前記支持層と前記絶縁層とに連通する開口部と、前記開口部に対応した前記デバイス層の領域に前記支持層とは反対側に変位可能に形成されかつ前記支持層側にミラー面を有する複数のマイクロミラー部とを有する本体部と、前記マイクロミラー部を変位させるための電圧を印加する電極が形成された基板と、を備え、前記本体部のデバイス層の表面と前記基板の表面とが接合されており、前記本体部の支持層側の前記開口部から前記マイクロミラー部へ光が入力される。 （もっと読む）

【課題】共振周波数の温度依存性を低減することが可能な光スキャナと、その光スキャナの製造方法とを提供すること。
【解決手段】第１材料によって構成される平板状の構造体と、台座とを備える光スキャナである。構造体は、ミラー部分と、その一端がミラー部分の両側に連結される一対の捩れ梁部分と、一対の捩れ梁部分の他端に連結される本体部分とを有する。構造体には、ミラー部分を所定の共振周波数にて揺動可能な駆動部が設けられる。構造体は、本体部分の一部であって一対の捩れ梁部分及びミラー部分を挟んで対向する一対の被固定部分において、少なくとも台座に固定される。台座を構成する第２材料の線膨張係数は、第１材料の線膨張係数よりも大きな値であって、共振周波数の温度依存性の絶対値が、台座が第１材料によって構成された場合の共振周波数の温度依存性の絶対値よりも小さくなるような値に設定される。 （もっと読む）

【課題】駆動コイルと外部接続端子を接続する引出し配線の応力により、トーションバーの動きが阻害されることを防止し、可動部の駆動効率を向上させる。
【解決手段】固定部３、可動部４及びトーションバー３を半導体基板で一体形成し、可動部４に配置した駆動コイル５Ａ、固定部２に配置した外部電極端子７及び駆動コイル５Ａと外部電極端子７間を接続するようトーションバー３上を介して配線する引出し配線５Ｂを含む導電パターン５を、半導体基板表面の絶縁層８上に形成し、駆動コイル５Ａに電流供給することにより、可動部４を駆動するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、トーションバー３上の引出し配線５Ｂ部分を除いて、絶縁層８と導電パターン５との間に、絶縁層８に対する密着性が導電パターン５より高い密着層９を設け、密着層９のないトーションバー３上の引出し配線５が絶縁層８と接するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】複雑な可動フレーム構造を必要とせず簡便に作製でき、耐久性に優れたミラー駆動装置及びミラー駆動方法を提供する。
【解決手段】ミラー部12の両側に一対のアクチュエータ部30が連結され、さらにその外側の両側に一対のアクチュエータ部20が連結される。外側アクチュエータ部20の一端は固定部22として支持部材に固定され、他端は内側アクチュエータ部30に連結される。各アクチュエータ部20,30は、圧電体の変形によって屈曲変位を行うものであり、それぞれ対応する駆動電圧供給部28,38から駆動電圧が印加される。一方の駆動電圧供給部（例えば28）から、対応するアクチュエータ部（例えば20）に対して共振を励起する周波数の駆動電圧が供給され、これと同時に他方の駆動電圧供給部（例えば38）から、他のアクチュエータ部（例えば30）に非共振でミラー部12を傾ける駆動電圧を供給する。 （もっと読む）

【課題】圧電体の残留応力に起因する初期たわみによる初期変位の影響を無くすことができ、かつ、純粋な厚み方向変位（ｚ方向並進運動）を実現する。
【解決手段】長手方向の中央部が支持される第１アクチュエータ（12）と、長手方向の両端部が第１アクチュエータ（12）の長手方向の両端部に連結される第２アクチュエータ（14）と備える。第１アクチュエータ（12）は、第１圧電駆動部（12A）の駆動によって撓んで変形し、両端部が厚み方向に変位する。第２アクチュエータ（14）は第２圧電駆動部（14A）の駆動によって第1アクチュエータと逆方向に撓んで変形し、長手方向の中央部が厚み方向に変位する。また、同様の構成のアクチュエータ群（101、102）を複数組連結する構成により、さらにz方向変位を増大させることができる。 （もっと読む）

【課題】可動部の振れ角が大きな磁気力型駆動装置を提供する。
【解決手段】本発明の磁気力型駆動装置は、非磁性材料で形成された可動板と、前記可動板に固定され、前記可動板の主面に直交する方向に磁化した永久磁石と、を備える可動部と、前記可動部の周縁を囲むように形成された枠体と、前記可動板と前記枠体とを接続し、前記可動部を、前記枠体に対し、前記可動板の主面と略平行な軸の回りに回転可能に支持する一対の梁部と、前記永久磁石の近傍に、前記梁部の軸方向と略直交する方向に前記永久磁石を挟んで互いに対向する第１及び第２の端部を有するヨークと、導通によって前記第１及び第２の端部に互いに異なる磁極が現れるように、前記ヨークに巻回されているコイルと、を有する。 （もっと読む）

【課題】波長選択スイッチの回折格子面での不所望な回折に起因する透過帯域特性の劣化を防止する。
【解決手段】波長選択スイッチ１は、波長多重された光を入力する少なくとも１つの入力ポート１０ａと、入力ポート１０ａから入力された波長多重された光を分散させる分散部１５と、分散部１５により分散された光を波長ごとに集光させるレンズ２１と、レンズ２１により集光された光を波長ごとに独立に偏向可能な偏向器１７と、偏向器１７で偏向された光を出射する少なくとも一つの出力ポート１０ｂ〜１０ｅとを有する。分散部１５は回折格子２２ｄを含み、回折格子２２ｄにより所望の次数で回折された光Ｌ_ｓと、所望の次数とは異なる次数または異なる反射または透過の態様で回折されたノイズ光Ｌ_ｎとは、分散部１５からの出射角度範囲が重ならない。 （もっと読む）

【課題】レーザ光による回路基板等のワークを加工する際に、ワークに対する加工溝幅、深さを均一に加工することができるようにする。
【解決手段】パルス状のレーザとガルバノスキャナを用いて溝を加工するレーザ加工方法において、前記ガルバノスキャナによるビームスキャン速度に同期させてレーザビームのパルス高さを増減させることで、レーザ光によるワークの加工溝幅、深さを均一に加工することができ、ワークに対する加工品質を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】光源部内で減衰する光量を極力低減し、発光素子の光を効率よく画像表示素子に導いて明るい光像を形成させる。
【解決手段】緑色光励起用青色ＬＤ61、赤色ＬＥＤ80、青色ＬＥＤ81と、これらから入射される光に対し、透過部、反射部、及び当該光の波長に応じて透過または反射させるダイクロイックミラー部のうち少なくとも２つを周面に形成したダイクロイックホイール65，72とその回転駆動部70，79とを含み、ＬＤ61、ＬＥＤ80，81の時分割発光駆動に伴って波長が異なる複数種の光を順次出射する光源部15-2と、画像信号を入力する入力部（11）と、上記入力部(11)で入力される画像信号に応じた画像を表示するマイクロミラー素子(14)に光源部15-2からの光を反射または透過させて光像を形成し、形成した光像を投影対象に向けて出射する投影処理部(13)及び投影レンズ部(17)とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学台の厚さを確保しながら、筐体の薄型化が可能な波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】少なくとも一つの入力ポート１０ａと、入力ポート１０ａから入射される入力光を波長分散する分散部３０と、分散部３０により波長分散される光を集光する集光素子４０と、集光素子４０により集光される光を偏向する偏向部５０と、偏向部５０で偏向された光を出力光として出射する少なくとも一つの出力ポート１０ｃと、少なくとも分散部３０および集光素子４０を支持する光学台７０と、光学台７０を収容保持する筐体６０と、を備え、光学台７０は、分散部３０および集光素子４０を支持する支持面７０ｂが、筐体６０の投影面積が最も大きい面に対して交差するように取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】振動系を有する基体上に絶縁層を介して導体パターンを設けた構成にいて、比較的簡単に、長寿命化を図ることができるアクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、可動板２１と、支持部２２と、可動板２１を支持部２２に対して回動可能に連結する１対の連結部２３、２４とを備え、これらがシリコンで一体的に形成された板状の基体２と、基体２の板面上に設けられた絶縁層６２と、絶縁層６２の基体２とは反対側の面上に設けられた導体パターン８とを有し、絶縁層６２は、基体２を平面視したときに、連結部２３、２４の縁部、および、可動板２１および支持部２２の縁部のうちの連結部２３、２４近傍部分を除くように設けられている。 （もっと読む）

【課題】振動系を有する基体上に迷光防止層を設けた構成において、比較的簡単に、長寿命化を図ることができる光学デバイス、光学デバイスの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１が設けられた可動板２１と、支持部２２と、可動板２１を支持部２２に対して回動可能に連結する１対の連結部２３、２４とを備え、これらがシリコンで一体的に形成された板状の基体２と、基体２の板面上に設けられ、光の反射を防止または抑制する機能を有する迷光防止層６１とを有し、迷光防止層６１は、基体２を平面視したときに、連結部２３、２４の縁部、および、可動板２１および支持部２２の縁部のうちの連結部２３、２４近傍部分を除くように設けられている。 （もっと読む）

【課題】クロストークを抑制して伝送品質の向上を図る。
【解決手段】波長選択スイッチは、波長分光素子、波長集光素子、複数の透過制御素子および制御部を含む。波長分光素子は、入力信号光の波長分光を行う。透過制御素子は、入力信号光をチャネル帯域内で波長帯域別に分割して透過または遮断する。波長集光素子は、透過制御素子から出力された各波長の信号光を集光して出力する。制御部は、チャネル帯域内の低周波側または高周波側の少なくとも一方の透過制御素子の透過率を制御する。また、低周波側の所定帯域または高周波側の所定帯域の少なくとも一方を遮断域にして、波長多重化すべき入力信号光の透過帯域の狭窄化を行い、光スペクトルの重複した帯域部分を削除して、透過信号光を出力することで、クロストークを抑制する。 （もっと読む）

【課題】１の方向に走査する金属製の構造体を、電磁駆動方式にて他の方向にさらに走査することが可能な２次元光走査装置を提供すること。
【解決手段】金属構造体１１と、金属構造体１１のミラー部分１１ａを第１軸線ａ回りに揺動させる第１駆動部１２と、金属構造体１１が取り付けられる軸部と、軸部を第２軸線ｂ回りに揺動可能に支持する台座部２１と、磁界発生部２４と平面コイル２３とを含み、軸部を第２軸線ｂ回りに揺動させる第２駆動部と、磁界が平面コイル２３へ到達するのを許容するとともに、磁界が金属構造体１１へ到達するのを妨害する閉磁部２６と、を備える２次元光走査装置である。 （もっと読む）

【課題】低電圧で駆動したいという要望を満足でき、可動枠体の板厚方向及びこの板厚方向と直交する方向の剛性の向上を図ることのできるMEMS揺動装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るMEMS揺動装置は、可動体３０B、可動体を揺動可能に支持する第１バネ部３３Bを有する可動枠体３４B、可動枠体を揺動可能に支持する第２バネ部３１１B、３１２T１、３１２T2とを有する固定枠体３８Bとを有し、第２バネ部は可動枠体の厚さ方向から見て厚さ方向に間隔を開けてクロスされた独立変位可能な二本の板バネ体３１１B、３１２T1から構成され、この板バネ体は、可動枠体の厚さ方向から板バネ体を見たときのバネ幅が可動枠体の厚さ方向と直交する方向から板バネ体を見たときのバネ幅よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】ミラー部を揺動駆動するための圧電アクチュエータを構成する圧電カンチレバーをノコギリ波状の駆動電圧により圧電駆動しつつ、ミラー部の高周波振動の発生が抑制されるように該ミラー部の揺動を行なうことができる光偏向器の駆動装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１を揺動軸Ｘ２の周りに揺動させる圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは、複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）を連結して構成され、圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の圧電カンチレバー３（偶数）を圧電駆動する第１駆動電圧と、奇数数番目の圧電カンチレバー３（奇数）を圧電駆動する第２駆動電圧とを逆位相のノコギリ波状の電圧とする。第１駆動電圧と第２駆動電圧との間の位相差が、ミラー部１の高周波振動が発生するのを抑制するように設定される。 （もっと読む）

【課題】チューナブルフィルタの構造を簡潔にする。
【解決手段】チューナブルフィルタであって、互いに平行な一対の面の一方の面に配された、透過部およびミラー部、並びに、他方の面に配され、透過する波長帯域が面内の一の方向に沿って異なるダイクロイックミラー部を有し、連続スペクトルの平行光束が入射され、連続スペクトルの平行光束を波長に応じて空間的に分散された平行光束として射出する分波部と、分波部から空間的に分散された平行光束が入射され、空間的な位置に応じて強度を変調して、空間的な位置に応じた予め定められた光路に対して射出する空間変調部と、空間変調部から射出された、空間変調された平行光束を合波して射出する合波部とを備える。 （もっと読む）

【課題】偏向部における集光ずれを補正し通信品質を向上した波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長選択スイッチ１は、少なくとも一つの入力ポート１０ａ〜１０ｃ及び１０ｅと、入力ポート１０ａ〜１０ｃ及び１０ｅから入射される波長多重された入力光を、波長毎の光に分散する分散素子１５と、分散素子１５により分散される波長毎の光を集光する集光素子１６と、集光素子１６により集光される波長毎の光をそれぞれ偏向する偏光素子１８を有する偏向器１７と、偏向器１７で偏向された波長毎の光を出力光として出射する少なくとも一つの出力ポート１０ｄとを有する。この波長選択スイッチ１の入出力ポート１０ａ〜１０ｅと分散素子１５との間の光路中または前記分散部内に、入出力ポート１０ａ〜１０ｃ及び１０ｅの配置に基づいて生じる偏向素子１８に対する波長毎の光の集光位置のずれを補正する、集光位置ずれ補正素子２０を配置する。 （もっと読む）

【課題】駆動の安定性及びハンドリング性を向上させたプレーナ型アクチュエータ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】枠状の固定部４と、固定部４の内側に形成されるトーションバー５ａ，５ａ、５ｂ，５ｂと、各トーションバーを介して固定部４に回動可能に軸支され駆動手段により駆動される可動部６ａ，６ｂとを第１半導体基板７で一体形成して備えたアクチュエータ部２と、第２半導体基板１０で形成され固定部４介してアクチュエータ部２を支持する支持部３とを有し、第１半導体基板７として、少なくとも各トーションバーに対応する部位に各トーションバーに応じた厚さが残るように予め溝部９ａ，９ｂが形成されたキャビティー基板を用いて形成したプレーナ型アクチュエータ１において、第２半導体基板１０で形成された支持部３を、固定部４と異なる形状に形成する。 （もっと読む）

【課題】光信号のチャンネルスペーシングが狭くなっても、装置の小型化が可能な波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長多重された信号光の入力部と、入力部からの信号光を受光する、互いに反射面同士が向き合った、負の焦点距離を有する反射部材及び正の焦点距離を有する反射部材と、負の焦点距離を有する反射部材及び正の焦点距離を有する反射部材からの光を受光し、この光を波長分散させる分散素子と、分散素子にて波長分散された信号光を波長ごとに偏向可能な偏向素子アレイと、負の焦点距離を有する反射部材と偏向素子アレイの間に配置されたレンズと、を有する。 （もっと読む）