【課題】振動系を有する基体上に導体パターンを設けた構成において、光反射面の静的なたわみを低減することができるアクチュエーター、光スキャナー、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】静的なたわみを低減することができるアクチュエーターは、揺動軸まわりに揺動可能な可動部、前記可動部から延出する連結部、および連結部を支持する支持部、を含む基体と、光反射面を有する光反射部、および前記光反射部から延出し前記可動部に固定される固定部、を含むミラー保持体と、前記可動部に設けられるコイルと、前記コイルに作用する磁界を発生する磁石とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成によって櫛歯電極間に精度よく段差構造が形成され、かつ、全体の小型化を可能とするマイクロスキャナを提供すること。
【解決手段】反射ミラー（１０）の自由端に形成された第１の櫛歯電極（１３ａ，１３ｂ）と、第１の櫛歯電極（１３ａ，１３ｂ）と対向し互いの櫛歯が交互に噛み合うように配置された第２の櫛歯電極（１５ａ，１５ｂ）と、第２の櫛歯電極（１５ａ，１５ｂ）と梁（１８）を介して結合された接触部（１９）と、接触部（１９）の上部または下部の少なくとも一方と向かい合う位置に固定配置された電極部（２０）と、を有し、接触部（１９）と電極部（２０）との間に静電引力を発生させて、接触部（１９）を変位させる構成とする。 （もっと読む）

【課題】水平方向と垂直方向の走査周波数が互いに大きく異なる仕様に対しても対応可能であり、かつ、従来よりも破損しにくい２次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】２次元光偏向器１は、照射された光を反射するミラー部２と、ミラー部２を囲うように間隙３を有して配置されたジンバル部４と、ジンバル部４を囲うように間隙５を有して配置されたフレーム部６と、ミラー部２とジンバル部４とを接続する一対の第１トーションバー部７ａ，７ｂと、ジンバル部４とフレーム部６とを接続する一対の第２トーションバー部８ａ〜８ｄ，９ａ，９ｂと、を備え、一対の第２トーションバー部８ａ〜８ｄ，９ａ，９ｂは、所定の材料から構成された第３トーションバー部８ａ〜８ｄと、所定の材料よりも展延性を有する展延性材料から構成された第４トーションバー部９ａ，９ｂと、をそれぞれ有する。 （もっと読む）

【課題】本発明によれば、第１の揺動軸を中心として揺動し得るように構成されたサポートフレーム、及びサポートフレームに固定されたミラーを備えた可動部材であり、サポートフレームの揺動によりミラーが揺動される、可動部材と、サポートフレームと共働するコイルと、サポートフレームとミラーとの間に設けられ、サポートフレームが第１の揺動軸を中心として揺動する際にサポートフレームの縁部からミラーに伝達されるワープの影響を低減させる境界部分とを具備し、サポートフレームが切欠領域をさらに備え、切欠領域が、
【解決手段】サポートフレームが第１の揺動軸を中心として揺動する際にコイルに対する応力を低減させるように、及び／又は前記アクチュエータの特性の中の温度依存性を低減させるように、コイルの少なくとも一部分に対して平行となるように構成されるアクチュエータが、提供される。 （もっと読む）

【課題】センサ配線のノイズを低減し、ミラーの傾きを高精度に検出することが可能な光走査装置及び光走査制御装置を提供することを目的としている。
【解決手段】ミラー及び前記ミラー支持部を挟むように対をなして設けられた第１の駆動梁と、第１の駆動梁の片側を前記捻れ梁と連結する連結梁と、連結梁上に形成されており、第１の駆動梁に駆動電圧が印加されて前記ミラーが揺動しているとき、捻れ梁の軸周りの揺動による連結梁の変位を検出する第１の圧電センサを有し、第１の圧電センサ手段は、上部電極配線がミラー及びミラー支持部を挟む一方の第１の駆動梁に向かって引き出され、下部電極配線がミラー及びミラー支持部を挟む他方の第１の駆動梁に向かって引き出される。 （もっと読む）

【課題】ミラー素子の状態を検出することができる光通信装置およびミラー素子を提供する。
【解決手段】可動梁２２−１〜２２−４には、センサ部２５−１〜２５−４が設けられている。これにより、センサ部２５−１〜２５−４の抵抗値の変化に基づいて可動梁２２−１〜２２−４の状態を検出することができる。結果として、ミラー素子１が故障しているか否かを特定することもできる。 （もっと読む）

【課題】２軸動作が可能なミラー素子をより小さな領域により多く配列できるようにする。
【解決手段】基板１０１の上に離間して配置されたミラー１０２と、ミラー１０２の一端を１つの連結部１０３を介して連結して基板１０１の上で支持する第１支持部１０４と、ミラー１０２を挟んで第１支持部１０４に対向する第２支持部１０５と、第２支持部１０５に一端が支持されて他端がミラー１０２の他端に各々１つの連結部１０６ａ，１０６ｂを介して連結する２つの第１可動梁１０７および第２可動梁１０８と、第１可動梁１０７のミラー１０２側の他端を基板１０１より離れる方向および基板１０１に近づく方向の選択された第１方向に変位させるための第１駆動電極１０９と、第２可動梁１０８のミラー１０２側の他端を上記第１方向に変位させるための第２駆動電極１１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ミラーアレイの構成を簡略化する。
【解決手段】ミラーアレイ１００は、ベース部２と、ベース部２に支持された複数のミラー１１０と、ミラー１１０に連結されてミラー１１０を駆動する複数のアクチュエータ１，１とを備え、ミラー１１０を互いに直交する主軸Ｘ及び副軸Ｙ回りに回動させる。アクチュエータ１は、副軸Ｙ方向に延びるアクチュエータ本体３と、アクチュエータ本体３の表面３１に積層された圧電素子４とを有し、圧電素子４を伸縮させることによってアクチュエータ本体３を傾動させるように構成されている。各ミラー１１０には、副軸Ｙを挟んで並ぶ２つのアクチュエータ１，１が主軸Ｘに対して一方の側だけに設けられている。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳミラーの設計を変更することなく、所望の波長の光をＭＥＭＳミラーへ入射することが可能な波長選択スイッチ（ＷＳＳ）を提供すること。
【解決手段】本願発明の一実施形態に係るＷＳＳは、入出力ファイバアレイと、合分波用回折格子と、ＭＥＭＳミラーアレイとを備え、さらに当該ＭＥＭＳミラーアレイの前段に遮光マスクを備えることを特徴とする。また、本願発明の別の一実施形態に係るＷＳＳは、入出力ファイバアレイと、合分波用回折格子と、ＭＥＭＳミラーアレイとを備え、さらに当該ＭＥＭＳミラーアレイの前段に折り返しミラーを備え、前記ＷＳＳを構成する光学素子の何れかにおいて、誘電体多層膜などから成るバンドストップフィルタを集積することを特徴とする。本願発明の更に別の実施形態に係るＷＳＳは、ＭＥＭＳミラーアレイの前段且つ信号光の光路の途中にバンドパスフィルタを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化可能であり、且つ、チャネルごとの透過帯域の幅が一定な波長選択スイッチを提供すること。
【解決手段】本発明に係る波長選択スイッチは、入出力ファイバアレイと、合分波用回折格子と、集光レンズと、複数のＭＥＭＳミラーから成るＭＥＭＳミラーアレイとを備える。前記ＭＥＭＳミラーアレイにおいて、隣接するＭＥＭＳミラー間の各ミラーピッチは、波長分散方向に沿って短波側から長波側へ進むにつれて増加する。前記波長選択スイッチにおいて、前記複数のＭＥＭＳミラーのうち最も短波側のＣＨに対応するＭＥＭＳミラー上に入射した信号光の径は、他の全てのＣＨに対応する複数のＭＥＭＳミラー上に入射した信号光の径より小さいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】より正確なアライメントを行うことができる偏向素子およびアライメント方法を提供する。
【解決手段】アライメントパタン６は、Ｘ軸に平行な軸から離れるにつれて波長分離方向の反射面の幅が変化する形状を有する。これにより、そのアライメントパタン６に入力光を照射したときに、そのアライメントパタン６による反射光の帯域幅が、ＭＥＭＳミラーアレイチップ５がＹ軸に位置ずれしていない場合に極値をとるようにすることが可能となる。結果として、その反射光の帯域幅に基づいてＭＥＭＳミラーアレイチップ５のＹ軸方向の位置を調整するだけで、ＭＥＭＳミラーアレイチップ５のＹ軸方向におけるアライメントを行うことができる。 （もっと読む）

【課題】フィルタの特性を任意に変化することができる光可変フィルタ装置のフィルタ特性制御方法を提供すること。
【解決手段】周波数選択素子は周波数分散方向に配列された画素構造を有する。その制御画素について印加電圧と周波数幅及び印加電圧と減衰率の関係から周波数幅と透過率の関係を示す近似曲線を関数としてあらかじめ算出する。そしてこの関数に基づいて各画素を制御することによって光可変フィルタ装置のフィルタ特性制御方法を制御する。 （もっと読む）

【課題】２軸動作が可能なマイクロミラー素子より構成されるミラーアレイが、配線数の増加を抑制した状態で形成できるようにする。
【解決手段】第１可動梁１３１を駆動するための第１駆動電極１１１が、基板１０１の側に第１可動梁１３１に対向して配置され、第２可動梁１４１を駆動するための第３駆動電極１１３が、基板１０１の側に第２可動梁１４１に対向して配置されている。一方、第３可動梁１６１を駆動するための第２駆動電極１１２は、基板１０１の側とは反対側で第３可動梁１６１に対向して配置され、第４可動梁１７１を駆動するための第４駆動電極１１４も、基板１０１の側とは反対側で第４可動梁１７１に対向して配置されている。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１と、光反射部２１１を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部２１と、可動部２１に連結し、かつ前記可動部２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、を有し、可動部２１は、可動部２１の板厚方向からの平面視にて四角形の四隅の部分をそれぞれ矩形に欠いた形状（十字状）をなす。 （もっと読む）

【課題】より容易にアライメントを行うことができるミラーアレイ、ミラー素子およびアライメント方法を提供する。
【解決手段】基板５１上には、ミラー５２’の下面を押圧する突起５１ｂが設けられている。この突起５１ｂによりミラー５２’が予め所定の角度に傾向しているので、そのミラー５２’を所定の角度に傾向させるための駆動電圧を供給しなくてもＭＥＭＳミラーアレイのアライメントを行うことができる。この結果、簡易な装置構成でアライメントを容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 反射面を二軸周りに揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面の二軸周りの揺動を精度良く検知できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、第１圧電アクチュエータ３１及び第２圧電アクチュエータ５１の駆動で二軸周りに揺動する反射面２ａと、当該揺動を検知する第１検知部７１ｙ及び第２検知部７１ｘを有する第１支持部４とを備える。第２圧電アクチュエータ５１には、第１圧電アクチュエータ３１に導通する第１駆動配線Ｗｙと、第２圧電アクチュエータ５１に導通する第２駆動配線Ｗｏ，Ｗｅと、第１検知部７１ｙに導通する第１検知配線Ｗｍｙと、第２検知部７１ｘに導通する第２検知配線Ｗｍｘと、第１接地線Ｗｇｙとが並行に配置される。第１接地線Ｗｇｙは、第１駆動配線Ｗｙ及び第２駆動配線Ｗｏ，Ｗｅと、第１検知配線Ｗｍｙ及び第２検知配線Ｗｍｘとの間に配置される。 （もっと読む）

【課題】出力ポート間に生じるクロストークを抑制した光信号選択スイッチを提供すること。
【解決手段】本発明に係る光信号選択スイッチは、少なくとも１つの入力ポートと、複数の出力ポートと、前記少なくとも１つの入力ポートから出射される光信号を集光する集光レンズと、前記集光レンズにより集光された光信号に位相シフトを与える偏向手段であって、当該位相シフトが与えられた光信号が前記集光レンズを介して前記出力ポートに結合するように該光信号を反射する偏向手段とを備える。前記偏向手段によるある出力ポートにおける位相シフト波形の周期は、前記偏向手段による他の出力ポートにおける位相シフト波形の周期の１／ｉ倍（ｉはゼロ以外の整数）と相違することを特徴とする。
前記特徴により、ある出力ポートにおいて他の出力ポートの２次以上の高次回折光が結合されることがないため、ポート間クロストークを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 シリコン貫通電極などの複雑な構造をとることなく、MEMSデバイスの光スキャナをワイヤーレスで実装することができる小型・薄型にパッケージ化した光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器は、光スキャナチップ２１のミラー部２１ａの光反射面側に開口部１６を有し、両面に互いに電気的接続された複数の電極１２，１３を有する第１の基板１１と、その開口部１６に光反射面が向くように第１の基板１１上に実装された光スキャナチップ２１と、光スキャナチップ２１の光反射面と反対側の面に装着された第２の基板３１とでパッケージ化される。光スキャナチップ２１の電極２２は、第１の基板１１の一方の面の電極１２と金属の溶融又は圧接によって接続され、第１の基板１１の他方の面の電極１３，１４を介して給電される。 （もっと読む）

【課題】捻り振動を用いた光走査装置において温度変化による走査特性の変化を抑制する
【解決手段】光を反射させる反射面を有するミラー３１と、ミラー３１を捻り振動させるための回転軸ｋとなる弾性連結部１６ａ，１６ｂを備え、回転軸ｋを中心にしてミラー３１を揺動させて光を走査する。そしてミラー支持枠３２と熱アクチュエータ３３が、ミラー３１と弾性連結部１６ａ，１６ｂとを連結するとともに、温度が高くなるほどミラー３１の回転軸ｋ周りの慣性モーメントが低くなるようにミラー３１を変位させる。なお、ミラー３１の慣性モーメントを変化させるために、ミラー３１の反射面は、円以外の形状（図では楕円形状）を有し、熱アクチュエータ３３は、反射面に垂直な回転軸を中心にミラー３１を回転させる。 （もっと読む）

【課題】 複雑で高価な工法を用いることなく、光スキャナ素子構造の破損を防止しながら光スキャナ素子を個片として加工できる光スキャナの製造方法を提供する。
【解決手段】 光スキャナ素子１を形成する加工ウエハ１１の表面を加工する際に、光スキャナ素子１をチップとして個片化するためのダイシングストリート１２を形成する工程と、加工ウエハ１１が光スキャナ素子１の可動部に対応したキャビティ１３を有する支持基板１４を加工ウエハ１１の一方の表面に仮接合する工程と、加工ウエハ１１の仮接合面と反対側の面を粘着フィルム１６に貼り付け、仮接合に用いた部材１５の接合力を消失させて加工ウエハから支持基板１４を剥離する工程と、粘着フィルム１６をエキスパンドさせた後、光スキャナ素子１をピックアップしてパッケージングする工程とを備える。 （もっと読む）