【課題】 シリコン貫通電極などの複雑な構造をとることなく、MEMSデバイスの光スキャナをワイヤーレスで実装することができる小型・薄型にパッケージ化した光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器は、光スキャナチップ２１のミラー部２１ａの光反射面側に開口部１６を有し、両面に互いに電気的接続された複数の電極１２，１３を有する第１の基板１１と、その開口部１６に光反射面が向くように第１の基板１１上に実装された光スキャナチップ２１と、光スキャナチップ２１の光反射面と反対側の面に装着された第２の基板３１とでパッケージ化される。光スキャナチップ２１の電極２２は、第１の基板１１の一方の面の電極１２と金属の溶融又は圧接によって接続され、第１の基板１１の他方の面の電極１３，１４を介して給電される。 （もっと読む）

【課題】小型化に適した光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器は、基板１５０と、基板１５０に設けられた一対の駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂと、基板１５０に固定された一対の固定部１０７と、一対の固定部１０７にそれぞれ接続された一対のヒンジ１１０と、一対のヒンジ１１０によって揺動可能に支持された接続部１０５と、接続部１０５に固定された支柱１０２と、支柱１０２に固定された可動板１０１とを有している。可動板１０１は、駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂに対向するように基板１５０から間隔を置いて支持されている。可動板１０１は、駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂに対向する第一の面に対向電極を有し、第一の面の反対側の第二の面に反射面１０３を有している。駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂと固定部１０７とヒンジ１１０と接続部１０５は同一の層から形成されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造体により損失を抑制することができる光処理デバイスを提供すること。
【解決手段】複数の光ファイバを含むビーム放出部分と、複数の光ファイバのうちの1つの光ファイバから放出されたビームを分散させる分散要素と、分散要素を通過するビームを集中させる集光レンズと、ビームが複数の光ファイバのうちの他の光ファイバの1つに入射するように、集光レンズを通過するビームの光路を変換する光路変換光学系とを含む光処理デバイスが提供される。集光レンズの光軸は、ビーム放出部分から光路変換光学系までの光軸方向に対して傾けられる。分散要素によって得られた異なる波長を有する複数のビームの焦点深度の最大差が小さくなるように、傾き角が設定される。 （もっと読む）

【課題】 照明光学系の光利用効率が高く、縦置き可能な画像表示装置に関する。
【解決手段】 光源、光源から出射される光を集光する集光器、集光器の近傍に入射端を有する照明均一化素子、集光器と照明均一化素子の間に配置され色要素を重畳するカラーフィルタ、反射型画像表示素子、第１リレーレンズおよび第２リレーレンズ、第１折り返しミラー及び第２折り返しミラーを有してなる照明光学系と、反射型画像表示素子からの反射光を被投射面に投射する投射光学系と、を有し、反射型画像表示素子が有する表示面と被投射面との成す角が，略直交しており、照明均一化素子は、設置位置と設置角度を調整する調整手段を有し、調整手段は、照明均一化素子の長手方向の位置と短手方向の位置、および、光軸と平行の軸を中心とした回転角度を調整することを最も主な特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本願の目的は、優れた波長分解能を有する光処理デバイスを提供することである。
【解決手段】複数の光ファイバを含むビーム放出部分と、複数の光ファイバのうちの１つの光ファイバから放出されたビームを分散させる分散要素と、分散要素を通過するビームを合焦する集光レンズと、ビームが複数の光ファイバのうちの他の光ファイバの１つに入射するように集光レンズを通過するビームの光路を変換する光路変換光学系と、光路変換光学系から他の光ファイバの前記１つに入射するビームの光路長を調整する光路長調整部分と、を含む光処理デバイスが提供される。光路変換光学系は、第１の反射点でビームを反射するミラー要素と、ミラー要素から反射されたビームを中間反射点で反射する中間ミラーと、を含む。ミラー要素は中間ミラーから反射されたビームを第２の反射点で反射する。集光レンズはビームの焦点を第１の反射点で形成する。光路長調整部分は空気よりも高い屈折率を有し、ビームは光路長調整部分を通って送出され得る。 （もっと読む）

【課題】焦点調節と開口調節とを選択的に、または同時に行ってＮＡを制御するＮＡ（ｎｕｍｅｒｉｃａｌ ａｐｅｒｔｕｒｅ）制御ユニット、それを採用した可変型光プローブ、映像診断システム、深度スキャニング方法、イメージ検出方法、及び映像診断方法を提供する。
【解決手段】ＮＡ制御ユニット１０００は、光が透過する開口が調節される開口調節ユニットＶＡと、開口を通過した光をフォーカシングし、焦点距離が調節される焦点調節ユニットＶＦと、を含む。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの力を効率よく利用してミラーの回転方向に大きな変位を得るとともに、垂直方向の並進運動を大幅に抑制する。
【解決手段】ミラー部（12）を挟んで両側に一対の圧電アクチュエータ部（14）が配置される。圧電アクチュエータ部（14）の一端（14A）は連結部（16）を介してミラー部（12）の端部（12A）に接続され、圧電アクチュエータ部（14）の他端（14B）は固定部（30）に固定支持される。また、ミラー部（12）は、垂直方向への並進運動する抑制する垂直移動抑制構造(32)を介して固定部（30）に接続されている。回転軸（18）付近に接続されるトーションバー（20）とトーションバー（20）の基端部を支持するトーションバー支持部（22）とにより垂直移動抑制構造（32）を構成できる。 （もっと読む）

【課題】先端部の外径を小さく形成することを可能にすると共に、前歯部や臼歯部等の口腔内組織を撮影する際に容易に撮影することができるプローブを提供すること。
【解決手段】プローブ３０は、レーザ光を、被写体照射用の計測光と参照ミラー照射用の参照光とに分配し、被写体Ｓからの散乱光と参照ミラー２１で反射した反射光とを合成させた干渉光を解析して光干渉断層画像を生成する光干渉断層画像生成装置１に使用され、被写体Ｓに照射して戻ってきた散乱光を回収する。光ファイバ６０Ａと、光ファイバ６０Ａからのレーザ光の照射方向を変化させる走査手段３３と、走査手段３３からの計測光を被写体に照射して散乱光を回収するノズル３７と、光ファイバ６０Ａ、走査手段３３及びノズル３７を保持するハウジング３と、を備えている。ハウジング３には、先端部にノズル３７が着脱可能に配置されている。 （もっと読む）

【課題】アナモルフィック光学系を利用して低輝度の変調光場を集中させることにより、高い合計光強度がライン画像の全体長さに沿って同時に発生され、これにより、あらゆるドット様ピクセル画像が同時に発生される単一パス高解像度高速印刷用途に使用される画像形成システムを提供する。
【解決手段】アナモルフィック光学系１３０を用いて画像形成面１６２上へ二次元画像の略一次元ライン画像を発生させるために利用される単純化された単一パス画像形成システム１００において、システム１００はさらに、均質光発生器１１０と、均質光発生器１１０から受信される均質光１１８Ａを変調するようにコントローラ１８０により制御される空間光変調器１２０と、変調器１２０により発生される変調光場１１９Ｂを画像化しかつ集中させ、かつ画像形成面１６２上に略一次元ライン画像ＳＬを投影させるように位置合わせされるアナモルフィック光学系１３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】有害光の影響を低減するように配置されたフォトダイオードを提供する。
【解決手段】光ビームを生成する複数の光源３ａ、３ｂ、３ｃと、複数の光源からの光ビームを重ね合わせて重合せ光ビームを生成するビームコンバイナ７と、重合せ光ビームを受けて一次光ビームと二次光ビームとに分割するビームスプリッタであり、二次光ビームの１つ又は複数の特性が一次光ビームの１つ又は複数の特性を示し、一次光ビームが通る第１の面１７と、二次光ビームが通る第２の面１９とを備える、ビームスプリッタ１１と、ビームスプリッタの第１の面により放出される一次光ビームを反射し、一次光ビームを走査することができる、ミラー構成要素２１と、二次光ビームの特性を検出するフォトダイオードとを備え、フォトダイオードは、第１又は第２の面と非平行とされ、ミラーに向けられる有害光の量を低減する。 （もっと読む）

【課題】高速画像形成のために高エネルギ光源を利用する単一通過の画像形成システムを提供する。
【解決手段】予め決められたスキャンライン画像データに応答して、略一次元スキャンライン画像を１２００ｄｐｉ以上で発生する。略均一な二次元均質光場１１９Ａは空間光変調器１２０を用いて、変調された光が二次元変調光場１１９Ｂを形成するように、予め決められたスキャンライン画像データに従って変調される。変調された光場は、次に、略一次元スキャンライン画像を形成するようにアナモルフィックに画像化されかつ集中される。光変調素子１２５−１１〜１２５−４３は、個々に変調「オン」状態と変調「オフ」状態との間で調整可能であって、これにより、変調「オン」状態において各変調素子がその受け入れた光部分をアナモルフィック光学系の対応する領域上へ方向づけ、かつ「オフ」状態において光部分を阻止または迂回させるように配置される。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の揺動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、揺動軸まわりに揺動可能な板状の可動板２１と、可動板２１から延出し、かつ可動板２１の揺動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、可動板２１の板面に固着された磁石４１１、４１２と、通電により磁石４１１、４１２に作用する磁界を発生させて可動板２１を揺動させるコイル４２とを有し、可動板２１は、その板厚方向からの平面視にて、揺動軸に対して垂直な方向で両側へ突出する１対の突出部２１５、２１６と、揺動軸に対して平行な方向で両側に突出する１対の突出部２１３、２１４とを有する十字状をなし、磁石４１１、４１２は、突出部２１３、２１４に固着されている。 （もっと読む）

【課題】エネルギー消費の小さいマイクロミラー用の制御装置および制御方法を提供する。
【解決手段】第１の傾斜軸を中心にするマイクロミラー（２０）の傾斜運動を符号化する第１の周波数（ｆ_ｈ）の第１の制御信号（Ｓ４）を形成するステップと、前記第１の傾斜軸に対して垂直の第２の傾斜軸を中心にする前記マイクロミラー（２０）の傾斜運動を符号化する、前記第１の周波数（ｆ_ｈ）よりも低い第２の周波数（ｆ_ｖ）の第２の制御信号（Ｓ２、Ｓ３）を形成するステップと、前記第２の制御信号（Ｓ２、Ｓ３）を、当該第２の制御信号（Ｓ２、Ｓ３）を前記第１の周波数によりバイナリ変調することにより変調するステップと、前記マイクロミラー（２０）の力入力素子（２１、２２、２３、２４）を、前記変調された第２の制御信号（Ｓ５）と前記第１の制御信号（Ｓ４）とで制御するステップと、を有するマイクロミラー（２０）の制御方法。 （もっと読む）

【課題】複数の偏向角に自動的かつ高精度に位置決めされた状態で偏向させることが可能であり、構造や制御アルゴリズムの設計が容易な静電偏向素子を提供する。
【解決手段】静電偏向素子１００は、支持基板１１０と、支持基板１１０に対して偏向し得るマイクロミラー１２１から構成される。支持基板１１０は、マイクロミラー１２１に対向する面に設けられた複数個の駆動電極１１１Ａ〜１１１Ｍと、駆動電極１１１Ａ〜１１１Ｍの上に設けられた絶縁層１１３を有している。マイクロミラー１２１は、支持基板１１０に対向している対向面１２３が円筒面で構成されている。対向面１２３の一部は互いに連結されない状態で支持基板１１０に接している。 （もっと読む）

【課題】可変型光偏向装置を提供する。
【解決手段】複数の光反射ミラーアクチュエータ（１８、２０、２２、３４、２６）を有するマイクロメカニカルミラーシステム（１４）と、ミラーアクチュエータ（１８、２０、２２、２４、２６）を異なる反射位置へと制御して、光偏向を変化させる制御ユニット（３２）と、を備える可変型光偏向装置（１００）が開示される。この装置（１００）は、ミラーシステム（１４）に合わせて体系的に調整された後方反射構造（６０）を有し、これはミラーアクチュエータ（１８、２０、２２、２４、２６）の一部分から後方反射構造（６０）へと反射された光を、ミラーアクチュエータ（１８、２０、２２、２４、２６）の他の部分へと、狙いを定めた方法で反射し返す。 （もっと読む）

【課題】振動系を有する基体上に導体パターンを設けた構成にいて、比較的簡単に、長寿命化を図ることができるアクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー（アクチュエーター）１の製造方法は、基板をエッチングした後に平坦化処理することにより、所定の軸まわりに回動可能な可動部と、前記可動部に連結された連結部と、前記連結部を支持する支持部とを有する基体を形成する第１の工程と、基体上に絶縁層を形成する第２の工程と、基体の一方の面の絶縁層上に導電性を有する導体部を形成する第３の工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の鏡面性と製造歩留りに優れたＭＥＭＳ走査型ミラーの製造方法を提供する。
【解決手段】空洞HOが形成されるハンドル層Hと表面が鏡面仕上げされたデバイス層B、Ｔとがシリコン酸化膜を介して接合されたウエハを準備する工程、デバイス層にＭＥＭＳ走査型ミラーの下層構成要素に対応しかつデバイス層に形成すべき下層構造体を形成する工程、下層構造体形成後のウエハのデバイス層にシリコン酸化膜を介して上層のデバイス層を形成するためのウエハを接合する工程、上層のウエハを加工して所定厚さの上層のデバイス層を形成する工程、上層のデバイス層にＭＥＭＳ走査型ミラーの上層構成要素に対応しかつ上層のデバイス層に形成すべき上層構造体を形成する工程、ハンドル層Hに空洞を形成する工程、下層構造体のシリコン酸化膜を除去してＭＥＭＳ走査型ミラーを完成させる工程とからなる。 （もっと読む）

【課題】表示映像に悪影響を与えることなく、微細ミラーが駆動する角度が異なる複数種の反射型表示デバイスに対応可能な映像表示装置を得る。
【解決手段】回路基板３３は駆動角度が異なる２種類のＤＭＤに対して互いに異なる正向き状態及び逆向き状態で設置可能であり、正向き状態時における光検出素子１５の位置と、逆向き状態における光検出素子１５の位置とが、ねじ穴３５，３６間を結ぶ基準線の中心点となる基準点ＳＰに対して距離Ｌ隔てて互いに点対称の関係を有している。そして、オフ光１７ａの光軸中心線とオフ光１７ｂの光軸中心線との中線ＭＬは、上述した基準点ＳＰを通過する位置関係を有する。 （もっと読む）

【課題】大きな光偏向角が得られる光偏向装置、広範囲な範囲を走査できる光走査装置、大きさサイズの記録媒体への画像形成が可能となる画像形成装置及び大型スクリーンへの投影が可能となる画像投影装置を提供できる。
【解決手段】一対のトーションバースプリング１２、１３の一端がミラーの回動軸の仮想線から所定値オフセットしてミラー１１の両端縁に接続されている。一対のトーションバースプリング１２、１３の他端には一対のカンチレバー１４、１５の可動端がそれぞれ接続され、各カンチレバー１４、１５には圧電材料が積層されユニモルフまたはバイモルフ構造が形成されている。カンチレバー１４、１５の固定端は保持枠１６に接続されている。 （もっと読む）

【課題】必要となるポート数が少ないユーザが、ポート数の多い波長選択スイッチの一部のポートを利用した場合、機能しないポートが数多く存在する。
【解決手段】本発明にかかる波長選択スイッチは、波長多重された光を入力または出力可能なポートを複数備えた光入出力部と、光を反射する反射領域を複数有し、波長多重された光を波長ごとに偏向可能な第１の偏向部材と、光入出力部および第１の偏向部材の間の光路中に配置された分散素子と、光入出力部および分散素の間の光路中に配置された第１の光学系と、分散素子および第１の偏向部材の間の光路中に配置された第２の光学系と、第１の光学系および第１の偏向部材の間の光路中に配置可能な光学部材と、光を反射する反射領域を複数有し、波長多重された光のうち、光学部材からの光を波長ごとに偏向可能な第２の偏向部材とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）