【課題】本発明は、大きな遅延量で可変でき、かつ小型で安価な可変光遅延器及び可変光遅延方法の提供を目的とする。
【解決手段】本願発明の可変光遅延器は、光入出射部１４から入力された平行光Ｐ_Ｉを互いに平行に配置された第１反射面１１及び第２反射面１２で多重反射し、第１反射面１１及び第２反射面１２で多重反射した平行光Ｐ_Ｉを第３反射面１３で反射し、第３反射面１３で反射された戻り光Ｐ_Ｂを、第１反射面１１及び第２反射面１２で多重反射して光入出射部１４から出射する多重反射部１０を備える可変光遅延器であって、多重反射部１０は、第１反射面１１、第２反射面１２及び第３反射面１３と平行な直線１００を中心に回転可能である。 （もっと読む）

【課題】主走査方向と副走査方向との２方向の振幅をそれぞれ目標範囲に速やかに制御できる２次元光走査装置を得る。
【解決手段】第１可動部４を共振させる主走査駆動信号と、第２可動部６を共振させる副走査駆動信号とに応じた駆動信号Ｖを駆動部に出力して第３可動部１２を振動させて第１可動部４と第２可動部６とを共振させる信号生成部５０を備える。また、主走査駆動信号と副走査駆動信号との各制御パラメータのうち、第１可動部４の振幅変化への寄与が大きく第２可動部６の振幅変化への寄与が小さい第１制御パラメータと、第２可動部６の振幅変化への寄与が大きく第１可動部４の振幅変化への寄与が小さい第２制御パラメータとにより、駆動信号Ｖを調整し、振幅を制御する制御部６６を備える。制御部６６は検出される第１可動部４と第２可動部６との振幅に基づいて両制御パラメータを調整する。 （もっと読む）

【課題】向上した発光効率を有する、低電力のディスプレイを提供する。
【解決手段】空間光変調器内で使用するための光キャビティ２００は、前部反射面２０２と後部反射面２０４とを含む。前部反射面２０２は、光透過領域２０６のアレイを含み、光透過領域２０６を通して、光２０８は、光キャビティ２００を脱出することが可能である。光２０８は、１つ以上の光源２１０から光キャビティ２００に入る。光２０８は、光透過領域２０６のうちの１つを通して反射されるまで、前部および後部反射面２０２および２０４の間で反射される。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく簡易な手段により色の再現性を重視する用途及び明るさを重視する用途のそれぞれに対応し得るカラーホイールを備えたプロジェクタを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係るプロジェクタは、白色スポット光１３を発生させる光源１と、光源１からの白色スポット光１３を複数の色の光に時分割するカラーホイールユニット２０と、時分割された複数の色の光を順次光変調する変調装置５とを備える。カラーホイールユニット２０は、カラーホイール２１とカラーホイール２１を回転させるホイールモータ２２とを備える。カラーホイール２１は、Ｒ，Ｇ，Ｂフィルタが設けられた透過領域間を白色光の透過領域とするか、あるいはこの透過領域に補色フィルタを設けることにより高輝度化パターンとするか、高色彩化パターンとするか選択可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 基板上に浮いた状態で支持される可動構造体を備えるＭＥＭＳデバイスにおいて、可動構造体における反りの発生を抑制する技術を提供する。
【解決手段】 本発明は、基板上に浮いた状態で支持される可動構造体を備えるＭＥＭＳデバイスとして具現化される。可動構造体は、下側絶縁層と、下側絶縁層の上方に形成された導電層と、導電層の上方に形成された上側絶縁層を備えている。下側絶縁層の外形形状にはアライメント余裕が設けられている。そのＭＥＭＳデバイスは、上側絶縁層の厚さが下側絶縁層の厚さよりも大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 静電駆動式の光偏向装置において、可動部を支持する支持部材の剛性を低下させることが可能な技術を提供する。
【解決手段】 本発明は基部に設けられた固定電極と可動部に設けられた可動電極の間に電圧を印加することで可動部を揺動させて、可動部に設けられたミラーを揺動させる光偏向装置として具現化される。可動部は第１支持部材と第２支持部材によって支持されている。第１支持部材は絶縁体のみから構成されている。第２支持部材は導体とその周囲を覆う絶縁体から構成されている。その光偏向装置は、第２支持部材が第１支持部材に比べて長く形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡便な構造で、かつ、十分な駆動力を得ることが可能な電磁力利用の光装置装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１０、フレーム部２０、及び、ミラー部１０をフレーム部２０に支持する一対のトーションバー部１１などを磁性薄膜で一体的に形成する。そして、外部から印加される交流磁界と主としてミラー部１０の磁化成分との電磁力により、トーションバー部を捻り回転軸としてミラー部を往復振動させるための駆動トルクを発生させる。トーションバー部１１とフレーム部２０との連結部分１２は非磁性化又は弱磁性化することでもよい。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、各光ビーム照射領域の各ミラーの描画中心点位置をデジタル値に変換する際に、周期的な偏りが生じないよう分散させて、均一に近い露光量で基板全面に亘って描画することができる露光装置または露光方法或いは前記露光装置または露光方法を適用し、高画質な表示用パネルを製造できる表示用パネル製造装置または表示用パネル製造方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、複数のミラーを直交する二方向に配列した空間的光変調器により描画データに基づいてフォトレジストが塗布された基板に光ビームを照射して描画する光ビーム照射装置と前記基板とを相対的に走査し、前記走査の位置をデジタル的に検出して行う際に、前記基板に描画する一定の描画領域内の露光量が均一に近づくように前記一定の描画領域内の前記各ミラーの描画中心点位置を分散させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可動部を正確に揺動させることが可能な光偏向装置および光偏向装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】光偏向装置は、基板と、平板形状の可動部と、可動部を基板の上方に離反した位置で揺動軸の周りに揺動可能に支持する可撓梁と、可動部を揺動させるアクチュエータと、基板上に設置されているとともに可撓梁の下方から可撓梁に接離可能な下限規制部と、を備えている。揺動軸に垂直な断面における可撓梁の下面の形状が、下限規制部の上方に位置する領域において、曲面を有して下方へ突起している形状とされているか、または、揺動軸に垂直な断面における下限規制部の上面の形状が、曲面を有して上方へ突起している形状とされている。 （もっと読む）

【課題】大型化するのを抑制するとともに、駆動部が未駆動の状態において、ミラー部が固定端に対して傾斜するのを抑制することが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１００は、軸線４００回りに揺動可能なＡ方向光走査部１０と、自由端Ｓ１と固定端Ｓ２とを含み、変形することによってＡ方向光走査部１０を揺動させるための駆動ユニット４０と、Ａ方向光走査部１０と駆動ユニット４０との間に軸線４００に沿って延びるように設けられ、Ａ方向光走査部１０を揺動可能に支持する回動軸３０とを備え、駆動ユニット４０の自由端Ｓ１は回動軸３０に接続されるとともに、駆動ユニット４０の固定端Ｓ２は駆動ユニット４０のＡ方向光走査部１０側（Ｘ２側）で、かつ、回動軸３０の近傍で固定されている。 （もっと読む）

【課題】方向性のある力以外の力を用いてステージを移動させる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置１００は、ベース部１１０と、回転可能な被駆動部１３０と、ベース部１１０と被駆動部１３０とを接続し、且つ被駆動部１３０を一の方向に沿った軸を中心軸として回転させるような弾性を有する弾性部１２０と、被駆動部１３０及び弾性部１２０により定まる共振周波数で被駆動部１３０が一の方向（Ｙ軸）に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように被駆動部１３０を回転させるための微振動をベース部に加える印加部１４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】複雑な制御が不要で低コストに任意のＰＭＤを発生させることができるようにする。
【解決手段】光入射部２１に入射された光信号を偏波分離手段２３により二つの直交偏波成分に分離し、その一方を第１可変遅延手段２５に与え、他方を第２可変遅延手段２６に与え、第１可変遅延手段２５によって遅延された一方の直交偏波成分と、第２可変遅延手段２６によって遅延された他方の直交偏波成分とを偏波合波手段２８によって合波し、光出射部２９から出射させる。制御部３０は、第１可変遅延手段２５と第２可変遅延手段２６の遅延量を互いに異なる周期で変動させて、その周期差により、偏波合波手段２８で合波された光の偏波成分の群遅延時間差を変化させる。 （もっと読む）

【課題】照明光の走査に拘わらず、波面変調素子によって付与した所望の波面を精度よくリレーでき、かつ、装置の小型化を図る。
【解決手段】光源２からの照明光を、その光軸に交差する方向に走査する走査機構９と、該走査機構９に固定され、光源２から入射された照明光の波面を変調して射出する波面変調部８とを備えるスキャナ４を提供する。また、光源２からの照明光を、その光軸に交差する方向に走査する走査機構９と、光源２と走査機構９との間の光路上に走査機構９との間に間隔を空けて配置され、光源２から入射された照明光の波面を変調して走査機構９に射出する波面変調部８とを備え、該波面変調部８が、該波面変調部８から走査機構９までの光路において波面に発生する変化を相殺する波面を、照明光に付与する波面に加算して付与するスキャナ４を提供する。 （もっと読む）

【課題】液晶基板の配向膜に細かいピッチの線状の光パターンを照射して一方向に走査すると、その走査した方向に応じた一様な配向特性（プレチルト角）が配向膜に付与されるが、従来のマスクを介して光パターンを照射して露光する方式では露光の時間が長くかかり、実用化する上でネックになっていた。
【解決手段】光源から発射された露光光に偏光特性を付与して微小な可動ミラーを多数備えたマイクロミラーデバイスに入射させ、マイクロミラーデバイスの微小な可動ミラーにより形成された反射パターンで反射された露光光のパターンを投影光学系を介してステージに載置された表面に配向膜が形成された基板に投影して配向膜を露光する液晶用配向膜を露光する方法において、ステージを一方向に連続的に移動させることにより一方向に連続的に移動している基板上を露光光のパターンがステージの移動速度よりも遅い速度で移動して配向膜を露光するようにした。 （もっと読む）

【課題】スペクトルバンドを入力ポート（１２）と出力ポート（１５）との間に選択的に方向付ける波長ルータを提供する。
【解決手段】上記ルータは、上記入力ポートと上記出力ポートとの間に配置された自由空間光学縦列と、経路設定メカニズム（３０）とを含む。上記自由空間光学縦列は、エアスペースエレメント（２０、２５）を含み得るか、または、モノリシック構成であり得る。上記光学縦列は、回折格子などの分散エレメント（２５）を含み、該入力ポートからの光が該分散エレメントと２回当たった後に上記出力ポートに到達するような構成にされる。上記経路設定メカニズム（３０）は、ルーティングエレメントを１つ以上含み、上記光学縦列中の残りのエレメント（３７）と協働して、上記スペクトルバンドのサブセットを所望の出力ポートに結合させる光路を提供する。 （もっと読む）

【課題】温度変化に伴う密度差を含む液体間の密度差に起因して重力の影響により生じる液体間の界面の非対称性による光学偏心を補正可能な液体型光学素子を提供する。
【解決手段】液体型光学素子１は、筐体内に収容された屈折率が異なる少なくとも２種類の非混和の液体８、９を有し、液体間の界面１００ａ、１００ｂの状態を制御して光学性能を変化可能である。筐体の一部をなし光学素子１の光軸１０５上に可動に配置された透明部材４と、補正手段５を備える。補正手段は、透明部材４を変位させることにより、温度変化に伴う密度差を含む液体間の密度差によって重力の影響により生じる界面の非対称性による光学偏心を補正する。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラー素子の構成に基づいてより大きな光束を用いて投影画像を明るくすると共に、投影画像の明るさの左右のバランスを均等化する。
【解決手段】マイクロミラー23ａを配列面から＋Ａ°または−Ａ°(Ａ＞０)に傾斜駆動させ、反射光で光像を形成するマイクロミラー素子(23)に対し、配列面で各マイクロミラー23ａが＋Ａ°傾斜した際に対向する方向から45°未満の回旋方向より、配列面の法線となる正規の反射方向に対して、入射角が(２Ａ＋α)°(α＞０)、収束する頂角が(２Ａ＋２α)°となる照明系光束φＬを入射させ、各マイクロミラー23ａから頂角が(２Ａ＋２α)°となって拡散しながら出射する投影系光束φＰを入射し、投影対象に向けて投影する投影光学系(24)を備える。 （もっと読む）

【課題】ポート選択特性のみならず減衰率特性についても高精度な温度補償を実現する。
【解決手段】波長選択スイッチの制御回路１０５は、入力ポート１０１と出力ポート１０２間の損失が最小となる条件に対応した最適結合電圧情報、所望の減衰率を実現する減衰率制御電圧情報、温度と最適結合電圧との関係を表す温度補償電圧情報、減衰率に応じて温度補償電圧を修正する補償電圧修正値情報を記憶するメモリ１０８と、メモリ１０８に記憶された情報から所望のポートおよび所望の減衰率に対応する二軸ＭＥＭＳミラー装置１０４の制御電圧を算出し、所望の減衰率に対応する補償電圧修正値を決定し、温度センサ１０６が検出した温度と温度補償電圧情報と補償電圧修正値とから温度補償電圧を算出し、温度補償電圧を制御電圧に加える演算部１０９とを有する。 （もっと読む）

【課題】スペックル雑音の低減率が低いという問題を解決することが可能な投射型画像表示装置を提供する。
【解決手段】光源部１０２は、光ビーム１０７を出射する。ビーム断面形状変化部１０３は、光源部１０２からの光ビーム１０７の断面形状を変化させて光ビーム１０８として出射する。投射部１０４は、ビーム断面形状変化部１０３からの光ビーム１０８を投射して、画像を投射する。制御部１０５は、ビーム断面形状変化部１０３を制御して、投射部１０４から投射される光ビームの断面形状を時間的に変化させる。 （もっと読む）

【課題】可変減衰精度および動作の安定性の向上を実現することができる空間光デバイスを提供する。
【解決手段】出力ポート１２に入射する信号光の割合を示す光透過率が、ＭＥＭＳミラー装置１００の電極に電圧を印加してミラー１０３を回動させたときに極大となるようにする。これにより、電極に印加する電圧の全電圧範囲に亘って光透過率の変化が線形に近くなるので、可変減衰精度および動作の安定性の向上を実現することができる。 （もっと読む）