【課題】ミラーの回動精度を保ちつつ、可動部に対する給電を円滑に行い得るミラーアクチュエータおよびこのミラーアクチュエータを搭載したビーム照射装置を提供する。
【解決手段】ミラーアクチュエータ１は、支軸２４について回動可能なミラーユニットフレーム１１と、支軸１７に配されたミラー１９と、マグネットユニット２０とミラーユニットフレーム１１とを連結するサスペンションワイヤー２６ａ〜２６ｆと、ミラーユニットフレーム１１と支軸１７とを連結するサスペンションワイヤー１６ａ〜１６ｄとを備える。サスペンションワイヤー１６ａ〜１６ｄ、２６ａ〜２６ｆにより、ミラーユニットフレーム１１に装着されたチルトコイル１１ｂと、支軸１７に装着されたパンコイル１２ｂ、１３ｂに給電でき、ミラーユニットフレーム１１と支軸１７に対し、一定かつ安定的な抗力が付与される。 （もっと読む）

【課題】 温度変化が生じても分散特性の変化が十分に小さい分光装置などを提供すること。
【解決手段】順方向の光線が入射する順に、第１群の分散素子と、第２群の分散素子を有し、第１の温度Ｔ_１における順方向の光線の第１群の分散素子からの出射角をθ_４、第１の温度Ｔ_１とは異なる第２の温度Ｔ_２における順方向の光線の第１群の分散素子からの出射角をθ’_４、出射角の差分θ'_４−θ_４をΔθ_４、第１の温度Ｔ_１における順方向の光線が第２群の分散素子から出射する光路に沿った光線であって、かつ第２の温度Ｔ_２における逆方向の光線の第２群の分散素子からの出射角をθ”_５、第１の温度Ｔ_１における順方向の光線の第２群の分散素子への入射角をθ_５、出射角および入射角の差分θ”_５−θ_５をΔθ_５、とそれぞれするとき、Δθ_４とΔθ_５が略等しいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 温度変化があっても分散特性の変化が十分に小さい分光装置とそのような分光器を使用した波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】 本発明に係る分光器は、分散素子と、温度変化に対して出射光線の角度が変化するプリズムと、プリズムと分散素子の間に配置された入射光線の入射角度を比例拡大した角度で光線を出射する光線角度拡大光学系と、を備えることを特徴とする。また、本発明に係る波長選択スイッチは、上述した分光器を含んで構成されることを特徴とする。これにより、温度変化があっても分散特性の変化を十分に小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】実装コストの低い画像処理から構成され、また、明るさが常に変動する環境下でも安定して対象者の視点位置を検出することが可能な視点位置検出装置、視点位置検出方法及び立体表示装置を提供する。
【解決手段】視点位置検出装置は、１つ以上の発光マーカー１２ａを備え対象者２の頭部に装着可能であるマーカー部１２と、対象者２を撮像する撮像部１１と、撮像部１１が撮像した対象者２の画像から対象者２の視点位置を検出する視点位置検出部１４と、を備える。視点位置検出部１４は、撮像部１１が撮像した対象者２の画像上の発光マーカー１２ａの位置を検出し、発光マーカー１２ａの位置に基づいて対象者２の視点位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】マスクを用いることなく、１つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域を形成する。
【解決手段】光ビーム照射装置（２０）は、二方向に配列した複数のミラーの角度を変更して光ビームを変調する空間的光変調器（２５）、空間的光変調器へ供給される光ビームの入射角度を調節する調節装置（５０）、描画データに基づいて空間的光変調器を駆動する駆動回路（２７）、及び空間的光変調器により変調された光ビームを照射する照射光学系（２６ａ，２６ｂ）を有する。調節装置により空間的光変調器へ供給される光ビームの入射角度を調節して、空間的光変調器により変調された光ビームを照射光学系へその光軸に対して斜めに入射させ、照射光学系からチャックに支持された基板（１）へ直線偏光の光ビームを斜めに照射する。 （もっと読む）

【課題】エネルギー変換効率を向上する。
【解決手段】レーザ装置は、一方の主面側に入射した第１レーザ光の一部を第１反射光として反射するとともに残りの一部を第１透過光として透過し、且つ、他方の主面に入射した第２レーザ光の一部を第２透過光として透過するとともに残りの一部を第２反射光として反射するミラーと、前記第１透過光と前記第２反射光との光軸、もしくは、前記第１反射光と前記第２透過光との光軸が略一致するように、前記ミラーへ前記第１および第２レーザ光を入射させる光学系と、前記第１透過光または前記第１反射光のビームパラメータを計測する第１計測部と、前記第２反射光または前記第２透過光のビームパラメータを計測する第２計測部と、前記第１計測部の計測結果に基づいて前記第１レーザ光を調整する第１調整部と、前記第２計測部の計測結果に基づいて前記第２レーザ光を調整する第２調整部と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高い共振周波数で駆動を行った場合であっても、非線形線振動の発生を低減しつつ、発生する応力を低減させ、ミラーの変形を防ぐことができる光走査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ミラー支持部２０を軸方向両側から捻れ梁３０により支持し、該捻れ梁３０の捻れにより前記ミラー支持部２０を軸周りに揺動させて駆動する光走査装置であって、
前記捻れ梁３０には、前記軸方向に略平行なスリット３１が設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の実施形態は、スペクトル幅の拡張と増幅率の向上とを図ることができる光共振器を提供する。
【解決手段】実施形態に係る光共振器は、第１の反射面を有する第１の反射部と、前記第１の反射面に対向する第２の反射面を有する第２の反射部と、前記第１の反射部の前記第１の反射面とは反対側の面に入射させる光を複数の波長成分に分散させる分散部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】複数チャンネルのＷＤＭ光から所望のチャンネルの所望の波長を選択することができる光可変フィルタアレイ装置を校正すること。
【解決手段】光可変フィルタアレイ装置に用いられる波長選択素子１８をライン状に光反射状態とし、波長走査光を光可変フィルタアレイ装置に入射する。出力が得られるタイミングでの反射走査光の波長と光反射状態の位置から、波長選択素子１８のｘ座標と波長との関係を確定する。こうすれば波長選択素子１８の各画素の反射特性を変化させることによって、光フィルタの特性を変化させ、任意のＷＤＭ光の任意の波長を選択することができる。 （もっと読む）

【課題】衝撃に対する故障発生の低減を図ることのできるアクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】 本発明のアクチュエータ装置３０は、枠部材１と、枠部材１に梁部材３を介して回動可能に支持された可動部２とを備え、両梁部材３を回動軸として可動部２を枠部材１に対して回動させるアクチュエータ装置において、両梁部材３の回動軸線上にダンパー部材４を設けた。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、画素毎のずれが発生することなく、フルカラーの鮮明な画像を投影する投影装置、及び色覚検査装置を提供する。
【解決手段】投影装置１００は、楕円鏡１１、光源１２、ライトパイプ１３、スリット１４を備え白色光を射出する光源部１０と、白色光の回折光を色分解された光束として発生する回折格子２０と、前記光束を偏向走査して各色の光束を時分割するガルバノミラー３０と、前記偏向走査された光束を結像する結像光学系４０と、前記結像光学系の結像位置に配置され、画像信号に基づいて入射する各色の光束を画素毎に変調して画像を生成する画像形成素子５０と、投影光学系とを備えた。また、色覚検査装置は、前記投影装置１００と、照明光を受ける拡散板を備えた。 （もっと読む）

【課題】微細機械的装置の光学的性質の操作により入射光を変調させ、優れた融通性をもたらすカラー方式を実現するため干渉変調装置及び干渉変調器のアレーを制御する方法を提供すること。
【解決手段】複数の干渉変調器を有し、該複数の干渉変調器が、着色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器と、白色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器とを有する干渉変調装置である。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定してかつ大きく回動させることのできるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、支持部３と、光反射性を有する光反射部２２を備える可動板２と、支持部３に対して変位可能に設けられた駆動部４１と、駆動部４１と可動板２とを連結する第１の軸部４２とを備え、可動板２を支持部３に対して変位可能に連結する連結部４を含む４つの連結部と、駆動部４１の中心に対して可動板２側の規制位置で第１の軸部４２が可動板２の厚さ方向に変位するのを局所的に規制する１対の捩り梁部４４とを有し、駆動部４１の変位に伴って、１対の捩り梁部４４の規制位置を支点として第１の軸部４２を回動させる。 （もっと読む）

【課題】ブラックアウト時間が比例して長くなる。
【解決手段】撮像装置は、被写体の光学像が入力され、電気信号を出力する撮像素子と、光学像が入力され、撮像素子とは別個に配された光学部材と、光学像が撮像素子に向かう光路と光学部材に向かう光路との間で切り替える複数の単位素子が配列されており、撮像素子に光学像を入力すべく設定した設定時間内に複数の単位素子の少なくとも一部の単位素子が光学像を光学部材に向ける空間光変調素子とを備える。 （もっと読む）

【課題】揺動部の揺動動作に係る固有振動数を調整するのに適したマイクロ揺動素子を提供する。
【解決手段】マイクロ揺動素子Ｘ２は、揺動部２１０と、フレーム２２０と、前記揺動部および前記フレームを連結し、揺動軸心Ａ２を規定する連結部２３０と、を備え、前記連結部は、並列する複数のトーションバー２３１，２３２，２３３を含み、当該複数のトーションバーから選択される二本のトーションバーは相対的に近接離反可能であり、前記揺動部は、揺動主部２１１と、当該揺動主部２１１に取り付けられ且つ前記揺動軸心と交差する方向に変移可能な第１可動部２１２Ａ，２１２Ｂとを有し、前記フレームは、フレーム主部と、当該フレーム主部に取り付けられ且つ前記第１可動部２１２Ａ，２１２Ａと同方向に変移可能な第２可動部２２３Ａ，２２３Ｂとを有し、前記連結部に含まれる一のトーションバー２３２，２３３は、当該第１および第２可動部を連結する。 （もっと読む）

【課題】空間光変調素子の劣化を防止することができるパターン投影装置およびレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】本発明にかかるレーザ加工装置１００は、レーザ光源４１から出射されたレーザ光を複数のミラーによって空間変調する空間光変調素子４５と、基板１を照明する照明系３６を含む照明光学系と、空間光変調素子４５に空間変調された変調光を対象物に投影する結像レンズ３８と、空間光変調素子４５から出力されたレーザ光の進行方向を結像レンズ３８の光軸と一致する方向に偏向させる偏向素子４６と、を備え、空間光変調素子４５は、空間光変調素子４５に入射するレーザ光の進行方向が該空間光変調素子４５の基準面の法線とおおよそ平行である。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工装置及びレーザ加工方法において、簡素な構成で空間変調素子の劣化を防止する。
【解決手段】レーザ光を発振するレーザ光源１０２と、このレーザ光源１０２により発振され基準面１０３ａに入射するレーザ光を偏向する偏向素子が２次元に配列された空間変調素子１０３と、この空間変調素子１０３により空間変調された変調光を被加工物１０に投影する投影光学系１０４と、を備えるレーザ加工装置１において、空間変調素子１０３は、基準面１０３ａに対して垂直にレーザ光（光軸Ａ２）が入射するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】ポートを切り替える際に、切替元のポートと切替先のポートとの間に存在するポートへのクロストークを抑える。
【解決手段】出力ポート２０２−Ａに結合した状態から出力ポート２０２−Ｂに結合した状態に遷移する際に、最初に、出力ポート２０２−Ａのあらかじめ定められたヒットレスポイントに対応する電圧をミラー装置の電極に印加し（Ｓ１１０２）、次に、あらかじめ定められた中継ポイントに対応する電圧を印加し（Ｓ１１０３）、次に、出力ポート２０２−Ｂのあらかじめ定められたヒットレスポイントに対応する電圧を印加し（Ｓ１１０４）、最後に、出力ポート２０２−Ｂと結合状態になる電圧を印加する（Ｓ１１０５）。ヒットレスポイントと中継ポイントは、ポートを切り替えるときに、要求されるクロストークを下回るように設定される。 （もっと読む）

【課題】梁部に高い振動疲労特性と揺動部に高剛性を持たせつつ小型化された振動素子を提供する。
【解決手段】振動素子は、基体３と、前記基体３から梁状に設けられた梁部２と、前記梁部２の前記基体３側とは反対の側に設けられたミラー部４とを備え、前記揺動部４の少なくとも一部及び前記梁部２は金属ガラスで一体に形成される。次に、真空中でＹＡＧレーザ１０を振動素子のミラー部４に照射して局所的な構造緩和を行う。 （もっと読む）

【課題】往復振動するミラー基板を有するマイクロミラー装置において、ミラー基板の重畳増加を最小限に抑えつつ剛性を向上させて、ミラー基板を高速で往復振動させた場合でも、該ミラー基板の動的変形を確実に防止する。
【解決手段】ミラー基板１０３は、一対の捻り梁１０２で揺動可能に支持され、該捻り梁１０２をねじり回転軸として往復振動する。このミラー基板１０３の光反射面とは反対側の裏面に、該ミラー基板１０３の動的変形を抑えるための構造補強部材１０４を設け、これを三次元規則配列多孔体で構成する。三次元規則配列多孔体は、多数の微粒子による最密充填構造体を形成した後に、前記微粒子とは異なる材料からなる物質を空隙に充填して固化し、その後、微粒子を選択的に除去することによって、該微粒子の占めていた領域が空隙として残された構造のいわゆるインバースオパール構造体である。 （もっと読む）