【課題】トーションバーである梁の内部応力を少なくし品質良くミラーが動作する光スキャナーを提供する。
【解決手段】光反射面９ａを有する光反射部材９と、光反射部材９を支持する可動部８と、可動部８に一端が接続され、光反射面９ａと略平行に延在する複数の可動梁１０と、可動梁１０の他端に接続された変位部５と、変位部５に固定された永久磁石７と、可動梁１０の延長方向に変位部５から隔てて配置され、永久磁石７と協働して変位部５を駆動する駆動部１１と、変位部５に一端が接続され可動梁１０に略直交するとともに光反射面９ａと略平行に延在し、変位部５を支持する駆動梁６と、駆動梁６の他端が接続された固定部３と、固定部３が固定された基台２と、を備え、固定部３は接着剤４を介して基台２に固定され、接着剤４は固定部３が基台２と対向する対向領域３ａにおいて、対向領域３ａの中心３ｂから離れた場所に枠状に配置される。 （もっと読む）

【課題】向上した発光効率を有する、低電力のディスプレイを提供する。
【解決手段】ディスプレイ装置の正面から離れるように光を反射するための、複数の光透過領域２０６を画定する前部反射面２０２と、ディスプレイ装置の正面の方へ光を反射するための、前部反射面に少なくとも部分的に面した後部反射面２０４と、前部反射面によって画定されたそれぞれの光透過領域を選択的に遮ることによって複数のディスプレイピクセルを形成するための、後部反射面とディスプレイ装置の正面との間に配置された光変調器のアレイとを備え、光変調器のアレイ内の光変調器は、それぞれの光透過領域に対応する。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１と、光反射部２１１を備え、かつ回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部２１と、可動部２１に連結し、かつ前記可動部２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、を有し、可動部２１は、前記可動部の板厚方向からの平面視にて、前記回動中心軸に平行な方向の長さが前記回動軸から離れるにつれて段階的に小さくなる形状を有し、前記可動部２１、前記支持部２２および前記連結部２３，２４は、シリコン基板を異方性エッチングすることにより形成される。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１と、光反射部２１１を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部２１と、可動部２１に連結し、かつ前記可動部２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、を有し、可動部２１は、可動部２１の板厚方向からの平面視にて四角形の四隅の部分をそれぞれ矩形に欠いた形状（十字状）をなし、連結部２３、２４の回動中心軸に垂直な断面は、可動部２１の第１の面から前記第１の面に対向する第２の面側に向けて幅が漸増する形状をなす。 （もっと読む）

【課題】それ単体で２つ以上の同じ波長の光を同時にＤＥＭＵＸ動作、ＭＵＸ動作させることが可能なＮ×Ｎ波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】ポート数Ｎの入力側導波路型分岐回路７ａ及び出力側導波路型分岐回路７ｂを備え、入力側導波路型分岐回路７ａの一の入力ポートに波長数Ｍの多波長光を入力したときに、その多波長光を波長毎に出力側導波路型分岐回路７ｂの任意の出力ポートから出力するためのＮ×Ｎ波長選択スイッチ２０であって、分光手段と、Ｎ列配置されると共にＭ行配列され、各単波長光を任意の方向に選択的に反射するミラーを有する入力側二次元ＭＥＭＳミラー１６ａと、反射手段と、Ｎ列配置されると共にＭ行配列され、各単波長光を特定の方向に向けて反射するミラーを有する出力側二次元ＭＥＭＳミラー１６ｂと、集光手段と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】エッチング装置へのダメージを減らしながら、小型なＭＥＭＳミラーデバイスを提供すること。
【解決手段】底部が開放されたミラー用空洞１８およびビーム用空洞１９と、底部が閉塞された電極用空洞２０とが互いに繋がるように形成された半導体基板１２の一部を加工することにより、ミラー用空洞１８の直上にミラー８を下側から支持する揺動部２２を形成し、ビーム用空洞１９の直上に揺動部２２を横側から支持する一対のビーム２３を形成する。また、電極用空洞２０の直上には、互いに間隔を空けて噛み合う固定電極２４および可動電極２５を形成する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、製造コストが低く、高輝度の光源装置及びその光源装置を備えたプロジェクタを提供する。
【解決手段】励起光照射装置70は、平面状に配置された複数の励起光源71と、複数の励起光源71各々に対応する複数のコリメータレンズ73と、複数の励起光源71及び複数のコリメータレンズ73を保持する保持体であるレンズ保持体及び光源保持体とを有し、複数の励起光源71から複数のコリメータレンズ73を介して射出された光を蛍光体層104上に集光し、保持体は、コリメータレンズ73の光軸と励起光源71の光軸とが平行にずれるように、コリメータレンズ73及び励起光源71を保持するとともに、励起光が蛍光体層104上の所定領域に集光するように、コリメータレンズ73の光軸と励起光源71との光軸とのシフト量が規定され、励起光源71からの光がコリメータレンズ73で屈折する。 （もっと読む）

【課題】反射ミラーや透過レンズ等の光学素子に硫酸アンモニウムが付着するのを軽減することで、形成対象の画像の良好な画質を維持可能とした光走査装置および画像形成装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置の光走査部６は、偏向部６１、光源ユニット６２、走査光学系（トーリックレンズ６４、シリンダレンズ６５）、入射光学系（反射ミラー６６）を光学箱９０の内部に格納している。光学箱９０の内部に、光源ユニット６２から光ビームが照射されると共に表面に硫酸アンモニウムがコーティングされたレーザシャッタ７０を設ける。レーザシャッタ７０をレーザ光を遮蔽する位置とレーザ光を通過させる位置との間を移動可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】磁性アモルファス金属で構成された可動部を有するマイクロアクチュエータを提供する。
【解決手段】表面側に一部をくり抜いた凹部２１１を有するベース２１０と、凹部２１１で回転自在な可動部２３０と、凹部２１１で仮想の直線上に配置され一端部をベース２１０に固定され他端部を可動部２３０ベースに固定された一対のトーションバー２２０，２２０と、可動部２３０に回転する力を与える駆動部２４０と、を備え、可動部２３０がトーションバー２２０，２２０の幅よりも幅広に形成された、マイクロアクチュエータ２であって、一対のトーションバー２２０と可動部２３０とが磁性アモルファス金属で形成されており、駆動部２４０が可動部２３０に磁界を与えることで、可動部２３０が回転する。 （もっと読む）

【課題】駆動コイルと外部接続端子を接続する引出し配線の応力により、トーションバーの動きが阻害されることを防止し、可動部の駆動効率を向上させる。
【解決手段】固定部３、可動部４及びトーションバー３を半導体基板で一体形成し、可動部４に配置した駆動コイル５Ａ、固定部２に配置した外部電極端子７及び駆動コイル５Ａと外部電極端子７間を接続するようトーションバー３上を介して配線する引出し配線５Ｂを含む導電パターン５を、半導体基板表面の絶縁層８上に形成し、駆動コイル５Ａに電流供給することにより、可動部４を駆動するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、トーションバー３上の引出し配線５Ｂ部分を除いて、絶縁層８と導電パターン５との間に、絶縁層８に対する密着性が導電パターン５より高い密着層９を設け、密着層９のないトーションバー３上の引出し配線５が絶縁層８と接するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】可動部の振れ角が大きな磁気力型駆動装置を提供する。
【解決手段】本発明の磁気力型駆動装置は、非磁性材料で形成された可動板と、前記可動板に固定され、前記可動板の主面に直交する方向に磁化した永久磁石と、を備える可動部と、前記可動部の周縁を囲むように形成された枠体と、前記可動板と前記枠体とを接続し、前記可動部を、前記枠体に対し、前記可動板の主面と略平行な軸の回りに回転可能に支持する一対の梁部と、前記永久磁石の近傍に、前記梁部の軸方向と略直交する方向に前記永久磁石を挟んで互いに対向する第１及び第２の端部を有するヨークと、導通によって前記第１及び第２の端部に互いに異なる磁極が現れるように、前記ヨークに巻回されているコイルと、を有する。 （もっと読む）

【課題】光路長の可変時の光軸ずれを抑制して安定な干渉強度が得られるようにする。
【解決手段】ビームスプリッタ２２と第１の直交ミラー２３との間の第１の折り返し光路に挿入された光路長可変器３０の可動部としての可動透光体３２が、その折り返し光路がなす面と直交し且つ第１の直交ミラー２３の一対の反射面２３ａ、２３ｂが交わる境界線２３ｃを含む平面に沿ってその位置を変化させ、第１の折り返し光路を伝搬する光の伝搬長を可変させるから、その可動により直交ミラー３０側への出射光軸のシフトが生じても、そのシフト方向は直交ミラー３０の反射面の境界線２３ｃに沿った方向となり、その入射軸と平行な光軸で折り返されて可動透光体３２に再入射され、光軸シフトが相殺された状態でビームスプリッタ２２に戻される。 （もっと読む）

【課題】圧電体の残留応力に起因する初期たわみによる初期変位の影響を無くすことができ、かつ、純粋な厚み方向変位（ｚ方向並進運動）を実現する。
【解決手段】長手方向の中央部が支持される第１アクチュエータ（12）と、長手方向の両端部が第１アクチュエータ（12）の長手方向の両端部に連結される第２アクチュエータ（14）と備える。第１アクチュエータ（12）は、第１圧電駆動部（12A）の駆動によって撓んで変形し、両端部が厚み方向に変位する。第２アクチュエータ（14）は第２圧電駆動部（14A）の駆動によって第1アクチュエータと逆方向に撓んで変形し、長手方向の中央部が厚み方向に変位する。また、同様の構成のアクチュエータ群（101、102）を複数組連結する構成により、さらにz方向変位を増大させることができる。 （もっと読む）

【課題】スペクトルバンドを入力ポート（１２）と出力ポート（１５）との間に選択的に方向付ける波長ルータを提供する。
【解決手段】上記ルータは、上記入力ポートと上記出力ポートとの間に配置された自由空間光学縦列と、経路設定メカニズム（３０）とを含む。上記自由空間光学縦列は、エアスペースエレメント（２０、２５）を含み得るか、または、モノリシック構成であり得る。上記光学縦列は、回折格子などの分散エレメント（２５）を含み、該入力ポートからの光が該分散エレメントと２回当たった後に上記出力ポートに到達するような構成にされる。上記経路設定メカニズム（３０）は、ルーティングエレメントを１つ以上含み、上記光学縦列中の残りのエレメント（３７）と協働して、上記スペクトルバンドのサブセットを所望の出力ポートに結合させる光路を提供する。 （もっと読む）

【課題】複雑な可動フレーム構造を必要とせず簡便に作製でき、耐久性に優れたミラー駆動装置及びミラー駆動方法を提供する。
【解決手段】ミラー部12の両側に一対のアクチュエータ部30が連結され、さらにその外側の両側に一対のアクチュエータ部20が連結される。外側アクチュエータ部20の一端は固定部22として支持部材に固定され、他端は内側アクチュエータ部30に連結される。各アクチュエータ部20,30は、圧電体の変形によって屈曲変位を行うものであり、それぞれ対応する駆動電圧供給部28,38から駆動電圧が印加される。一方の駆動電圧供給部（例えば28）から、対応するアクチュエータ部（例えば20）に対して共振を励起する周波数の駆動電圧が供給され、これと同時に他方の駆動電圧供給部（例えば38）から、他のアクチュエータ部（例えば30）に非共振でミラー部12を傾ける駆動電圧を供給する。 （もっと読む）

【課題】２軸に傾動可能な光偏向装置において、それぞれの軸の周りの傾動角度を正確に検出することが可能が技術を提供する。
【解決手段】本出願の光偏向装置は、基板に対して第１傾動軸および第２傾動軸周りに傾動可能な傾動部と、前記傾動部に固定されているミラーと、前記傾動部を前記基板に対して第１傾動軸および第２傾動軸周りに傾動させるアクチュエータを備えている。その光偏向装置は、前記傾動部に固定されている磁束源と、前記基板に固定されており、前記磁束源が発生させる磁束密度を検出する第１、第２、第３および第４磁気センサを備えている。その光偏向装置では、前記第１、第２、第３および第４磁気センサが、傾動部の第１傾動軸周りの傾動および第２傾動軸周りの傾動に対して、それぞれ異なる増減特性となる位置関係で配置されている。 （もっと読む）

【課題】望ましくない変形の発生を可能な限り妨げることにより、６自由度までの光学素子またはアセンブリの正確な操作を可能とする、光学素子操作装置を提供する。
【解決手段】少なくとも３つのアクチュエータデバイスを介して、構造体について、光学素子を６自由度まで操作する装置であって、各アクチュエータデバイス９が、少なくとも２つの力制御アクチュエータを備え、各力制御アクチュエータが、１自由度の有効な力を生成すると共に、アクチュエータデバイス９の連結点１１が、光学素子７に直接作用する。 （もっと読む）

【課題】１の方向に走査する金属製の構造体を、電磁駆動方式にて他の方向にさらに走査することが可能な２次元光走査装置を提供すること。
【解決手段】金属構造体１１と、金属構造体１１のミラー部分１１ａを第１軸線ａ回りに揺動させる第１駆動部１２と、金属構造体１１が取り付けられる軸部と、軸部を第２軸線ｂ回りに揺動可能に支持する台座部２１と、磁界発生部２４と平面コイル２３とを含み、軸部を第２軸線ｂ回りに揺動させる第２駆動部と、磁界が平面コイル２３へ到達するのを許容するとともに、磁界が金属構造体１１へ到達するのを妨害する閉磁部２６と、を備える２次元光走査装置である。 （もっと読む）

【課題】ミラー部を揺動駆動するための圧電アクチュエータを構成する圧電カンチレバーをノコギリ波状の駆動電圧により圧電駆動しつつ、ミラー部の高周波振動の発生が抑制されるように該ミラー部の揺動を行なうことができる光偏向器の駆動装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１を揺動軸Ｘ２の周りに揺動させる圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは、複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）を連結して構成され、圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の圧電カンチレバー３（偶数）を圧電駆動する第１駆動電圧と、奇数数番目の圧電カンチレバー３（奇数）を圧電駆動する第２駆動電圧とを逆位相のノコギリ波状の電圧とする。第１駆動電圧と第２駆動電圧との間の位相差が、ミラー部１の高周波振動が発生するのを抑制するように設定される。 （もっと読む）

【課題】角度操作器の負荷の増大や特性の低下が抑制された光スイッチ装置を提供すること。
【解決手段】複数のポートが所定の配列方向に沿って配列した光入出力ポートと、光入出力ポートのいずれかのポートから入力した光の光路を切り換えて光入出力ポートの他のいずれかのポートに向けて出力する角度操作器と、光入出力ポートと角度操作器との間に配置され、光入出力ポートと角度操作器とを光学的に結合させる集光レンズ系と、光入出力ポートと集光レンズ系との間に配置され、光入出力ポート側から入力された光のビーム形状を光入出力ポートのポート配列方向に対して縮小し、該光の光路を集光レンズ系の光軸に近づけるように変位させて、光入出力ポートにおけるポートの配列間隔よりも、集光レンズ系の角度操作器側の直後での光軸に垂直の平面を通過する光のビームの配列間隔が小さくするアナモルフィック光学系と、を備える。 （もっと読む）