【課題】センサ配線のノイズを低減し、ミラーの傾きを高精度に検出することが可能な光走査装置及び光走査制御装置を提供することを目的としている。
【解決手段】ミラー及び前記ミラー支持部を挟むように対をなして設けられた第１の駆動梁と、第１の駆動梁の片側を前記捻れ梁と連結する連結梁と、連結梁上に形成されており、第１の駆動梁に駆動電圧が印加されて前記ミラーが揺動しているとき、捻れ梁の軸周りの揺動による連結梁の変位を検出する第１の圧電センサを有し、第１の圧電センサ手段は、上部電極配線がミラー及びミラー支持部を挟む一方の第１の駆動梁に向かって引き出され、下部電極配線がミラー及びミラー支持部を挟む他方の第１の駆動梁に向かって引き出される。 （もっと読む）

【課題】ミラー素子の状態を検出することができる光通信装置およびミラー素子を提供する。
【解決手段】可動梁２２−１〜２２−４には、センサ部２５−１〜２５−４が設けられている。これにより、センサ部２５−１〜２５−４の抵抗値の変化に基づいて可動梁２２−１〜２２−４の状態を検出することができる。結果として、ミラー素子１が故障しているか否かを特定することもできる。 （もっと読む）

【課題】ミラーアレイの構成を簡略化する。
【解決手段】ミラーアレイ１００は、ベース部２と、ベース部２に支持された複数のミラー１１０と、ミラー１１０に連結されてミラー１１０を駆動する複数のアクチュエータ１，１とを備え、ミラー１１０を互いに直交する主軸Ｘ及び副軸Ｙ回りに回動させる。アクチュエータ１は、副軸Ｙ方向に延びるアクチュエータ本体３と、アクチュエータ本体３の表面３１に積層された圧電素子４とを有し、圧電素子４を伸縮させることによってアクチュエータ本体３を傾動させるように構成されている。各ミラー１１０には、副軸Ｙを挟んで並ぶ２つのアクチュエータ１，１が主軸Ｘに対して一方の側だけに設けられている。 （もっと読む）

【課題】２軸動作が可能なミラー素子をより小さな領域により多く配列できるようにする。
【解決手段】基板１０１の上に離間して配置されたミラー１０２と、ミラー１０２の一端を１つの連結部１０３を介して連結して基板１０１の上で支持する第１支持部１０４と、ミラー１０２を挟んで第１支持部１０４に対向する第２支持部１０５と、第２支持部１０５に一端が支持されて他端がミラー１０２の他端に各々１つの連結部１０６ａ，１０６ｂを介して連結する２つの第１可動梁１０７および第２可動梁１０８と、第１可動梁１０７のミラー１０２側の他端を基板１０１より離れる方向および基板１０１に近づく方向の選択された第１方向に変位させるための第１駆動電極１０９と、第２可動梁１０８のミラー１０２側の他端を上記第１方向に変位させるための第２駆動電極１１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】小型化可能であり、且つ、チャネルごとの透過帯域の幅が一定な波長選択スイッチを提供すること。
【解決手段】本発明に係る波長選択スイッチは、入出力ファイバアレイと、合分波用回折格子と、集光レンズと、複数のＭＥＭＳミラーから成るＭＥＭＳミラーアレイとを備える。前記ＭＥＭＳミラーアレイにおいて、隣接するＭＥＭＳミラー間の各ミラーピッチは、波長分散方向に沿って短波側から長波側へ進むにつれて増加する。前記波長選択スイッチにおいて、前記複数のＭＥＭＳミラーのうち最も短波側のＣＨに対応するＭＥＭＳミラー上に入射した信号光の径は、他の全てのＣＨに対応する複数のＭＥＭＳミラー上に入射した信号光の径より小さいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】２軸動作が可能なマイクロミラー素子より構成されるミラーアレイが、配線数の増加を抑制した状態で形成できるようにする。
【解決手段】第１可動梁１３１を駆動するための第１駆動電極１１１が、基板１０１の側に第１可動梁１３１に対向して配置され、第２可動梁１４１を駆動するための第３駆動電極１１３が、基板１０１の側に第２可動梁１４１に対向して配置されている。一方、第３可動梁１６１を駆動するための第２駆動電極１１２は、基板１０１の側とは反対側で第３可動梁１６１に対向して配置され、第４可動梁１７１を駆動するための第４駆動電極１１４も、基板１０１の側とは反対側で第４可動梁１７１に対向して配置されている。 （もっと読む）

【課題】フィルタの特性を任意に変化することができる光可変フィルタ装置のフィルタ特性制御方法を提供すること。
【解決手段】周波数選択素子は周波数分散方向に配列された画素構造を有する。その制御画素について印加電圧と周波数幅及び印加電圧と減衰率の関係から周波数幅と透過率の関係を示す近似曲線を関数としてあらかじめ算出する。そしてこの関数に基づいて各画素を制御することによって光可変フィルタ装置のフィルタ特性制御方法を制御する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光源ユニットにおいて、簡易な構成で、複数の波長を連続的に切り替えながらＱスイッチパルス発振を得る。
【解決手段】レーザ光源ユニット１３は、相互に異なる複数の波長のパルスレーザ光を出射する。フラッシュランプ５２は、レーザロッド５１に励起光を照射する。一対のミラー５３、５４は、レーザロッド５１を挟んで対向する。一対のミラー５３、５４により、光共振器が構成される。波長選択手段５６は、光共振器内で共振する光の波長を、レーザ光源ユニット１３が出射すべき複数の波長のうちの何れかに制御する。駆動手段５７は、光共振器がＱスイッチパルス発振するように波長選択手段５６を駆動する。 （もっと読む）

【課題】捻り振動を用いた光走査装置において温度変化による走査特性の変化を抑制する
【解決手段】光を反射させる反射面を有するミラー３１と、ミラー３１を捻り振動させるための回転軸ｋとなる弾性連結部１６ａ，１６ｂを備え、回転軸ｋを中心にしてミラー３１を揺動させて光を走査する。そしてミラー支持枠３２と熱アクチュエータ３３が、ミラー３１と弾性連結部１６ａ，１６ｂとを連結するとともに、温度が高くなるほどミラー３１の回転軸ｋ周りの慣性モーメントが低くなるようにミラー３１を変位させる。なお、ミラー３１の慣性モーメントを変化させるために、ミラー３１の反射面は、円以外の形状（図では楕円形状）を有し、熱アクチュエータ３３は、反射面に垂直な回転軸を中心にミラー３１を回転させる。 （もっと読む）

【課題】 シリコン貫通電極などの複雑な構造をとることなく、MEMSデバイスの光スキャナをワイヤーレスで実装することができる小型・薄型にパッケージ化した光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器は、光スキャナチップ２１のミラー部２１ａの光反射面側に開口部１６を有し、両面に互いに電気的接続された複数の電極１２，１３を有する第１の基板１１と、その開口部１６に光反射面が向くように第１の基板１１上に実装された光スキャナチップ２１と、光スキャナチップ２１の光反射面と反対側の面に装着された第２の基板３１とでパッケージ化される。光スキャナチップ２１の電極２２は、第１の基板１１の一方の面の電極１２と金属の溶融又は圧接によって接続され、第１の基板１１の他方の面の電極１３，１４を介して給電される。 （もっと読む）

【課題】櫛歯同士の貼り付きが生じない櫛歯型アクチュエータを提供する。
【解決手段】光偏向器は、可動板１０１と、可動板１０１を回転軸１１１の回りに傾斜可能に支持する一対のトーションバー１０２と、トーションバー１０２が接続された固定部１０３を有している。可動板１０１は、複数の導電性の可動櫛歯１０４，１０７を有している。固定部１０３は、複数の複合固定櫛歯１０５，１０８を有している。複合固定櫛歯１０５は、複数の導電性の固定櫛歯１０５ｂを有している。複合固定櫛歯１０５はまた、外部衝撃などによる可動櫛歯１０４と固定櫛歯１０５ｂの接触を防止する複数の導電性のストッパー１０５ａを有している。 （もっと読む）

【課題】 複雑で高価な工法を用いることなく、光スキャナ素子構造の破損を防止しながら光スキャナ素子を個片として加工できる光スキャナの製造方法を提供する。
【解決手段】 光スキャナ素子１を形成する加工ウエハ１１の表面を加工する際に、光スキャナ素子１をチップとして個片化するためのダイシングストリート１２を形成する工程と、加工ウエハ１１が光スキャナ素子１の可動部に対応したキャビティ１３を有する支持基板１４を加工ウエハ１１の一方の表面に仮接合する工程と、加工ウエハ１１の仮接合面と反対側の面を粘着フィルム１６に貼り付け、仮接合に用いた部材１５の接合力を消失させて加工ウエハから支持基板１４を剥離する工程と、粘着フィルム１６をエキスパンドさせた後、光スキャナ素子１をピックアップしてパッケージングする工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造体により損失を抑制することができる光処理デバイスを提供すること。
【解決手段】複数の光ファイバを含むビーム放出部分と、複数の光ファイバのうちの1つの光ファイバから放出されたビームを分散させる分散要素と、分散要素を通過するビームを集中させる集光レンズと、ビームが複数の光ファイバのうちの他の光ファイバの1つに入射するように、集光レンズを通過するビームの光路を変換する光路変換光学系とを含む光処理デバイスが提供される。集光レンズの光軸は、ビーム放出部分から光路変換光学系までの光軸方向に対して傾けられる。分散要素によって得られた異なる波長を有する複数のビームの焦点深度の最大差が小さくなるように、傾き角が設定される。 （もっと読む）

【課題】本願の目的は、優れた波長分解能を有する光処理デバイスを提供することである。
【解決手段】複数の光ファイバを含むビーム放出部分と、複数の光ファイバのうちの１つの光ファイバから放出されたビームを分散させる分散要素と、分散要素を通過するビームを合焦する集光レンズと、ビームが複数の光ファイバのうちの他の光ファイバの１つに入射するように集光レンズを通過するビームの光路を変換する光路変換光学系と、光路変換光学系から他の光ファイバの前記１つに入射するビームの光路長を調整する光路長調整部分と、を含む光処理デバイスが提供される。光路変換光学系は、第１の反射点でビームを反射するミラー要素と、ミラー要素から反射されたビームを中間反射点で反射する中間ミラーと、を含む。ミラー要素は中間ミラーから反射されたビームを第２の反射点で反射する。集光レンズはビームの焦点を第１の反射点で形成する。光路長調整部分は空気よりも高い屈折率を有し、ビームは光路長調整部分を通って送出され得る。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの力を効率よく利用してミラーの回転方向に大きな変位を得るとともに、垂直方向の並進運動を大幅に抑制する。
【解決手段】ミラー部（12）を挟んで両側に一対の圧電アクチュエータ部（14）が配置される。圧電アクチュエータ部（14）の一端（14A）は連結部（16）を介してミラー部（12）の端部（12A）に接続され、圧電アクチュエータ部（14）の他端（14B）は固定部（30）に固定支持される。また、ミラー部（12）は、垂直方向への並進運動する抑制する垂直移動抑制構造(32)を介して固定部（30）に接続されている。回転軸（18）付近に接続されるトーションバー（20）とトーションバー（20）の基端部を支持するトーションバー支持部（22）とにより垂直移動抑制構造（32）を構成できる。 （もっと読む）

【課題】先端部の外径を小さく形成することを可能にすると共に、前歯部や臼歯部等の口腔内組織を撮影する際に容易に撮影することができるプローブを提供すること。
【解決手段】プローブ３０は、レーザ光を、被写体照射用の計測光と参照ミラー照射用の参照光とに分配し、被写体Ｓからの散乱光と参照ミラー２１で反射した反射光とを合成させた干渉光を解析して光干渉断層画像を生成する光干渉断層画像生成装置１に使用され、被写体Ｓに照射して戻ってきた散乱光を回収する。光ファイバ６０Ａと、光ファイバ６０Ａからのレーザ光の照射方向を変化させる走査手段３３と、走査手段３３からの計測光を被写体に照射して散乱光を回収するノズル３７と、光ファイバ６０Ａ、走査手段３３及びノズル３７を保持するハウジング３と、を備えている。ハウジング３には、先端部にノズル３７が着脱可能に配置されている。 （もっと読む）

【課題】可動ミラーの傾斜に伴う可動ミラーの変形の発生が防止された光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器１００は、可動ミラー１１０と、可動ミラー１１０を第一の軸１８１まわりに傾斜可能に支持する一対のヒンジ１２０と、ヒンジ１２０をそれぞれ支持する一対の固定部１３０とを有している。可動ミラー１１０とヒンジ１２０と固定部１３０は、第一の軸１８１に直交する第二の軸１８２に沿って整列している。光偏向器１００はさらに、可動ミラー１１０を第一の軸１８１まわりに傾斜させる駆動素子たとえば一対の駆動電極１６０を有している。光偏向器１００はさらに、可動ミラー１１０の傾斜により可動ミラー１１０に生じる変形を緩衝する緩衝部１４０を有している。 （もっと読む）

【課題】アナモルフィック光学系を利用して低輝度の変調光場を集中させることにより、高い合計光強度がライン画像の全体長さに沿って同時に発生され、これにより、あらゆるドット様ピクセル画像が同時に発生される単一パス高解像度高速印刷用途に使用される画像形成システムを提供する。
【解決手段】アナモルフィック光学系１３０を用いて画像形成面１６２上へ二次元画像の略一次元ライン画像を発生させるために利用される単純化された単一パス画像形成システム１００において、システム１００はさらに、均質光発生器１１０と、均質光発生器１１０から受信される均質光１１８Ａを変調するようにコントローラ１８０により制御される空間光変調器１２０と、変調器１２０により発生される変調光場１１９Ｂを画像化しかつ集中させ、かつ画像形成面１６２上に略一次元ライン画像ＳＬを投影させるように位置合わせされるアナモルフィック光学系１３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】高速画像形成のために高エネルギ光源を利用する単一通過の画像形成システムを提供する。
【解決手段】予め決められたスキャンライン画像データに応答して、略一次元スキャンライン画像を１２００ｄｐｉ以上で発生する。略均一な二次元均質光場１１９Ａは空間光変調器１２０を用いて、変調された光が二次元変調光場１１９Ｂを形成するように、予め決められたスキャンライン画像データに従って変調される。変調された光場は、次に、略一次元スキャンライン画像を形成するようにアナモルフィックに画像化されかつ集中される。光変調素子１２５−１１〜１２５−４３は、個々に変調「オン」状態と変調「オフ」状態との間で調整可能であって、これにより、変調「オン」状態において各変調素子がその受け入れた光部分をアナモルフィック光学系の対応する領域上へ方向づけ、かつ「オフ」状態において光部分を阻止または迂回させるように配置される。 （もっと読む）

【課題】有害光の影響を低減するように配置されたフォトダイオードを提供する。
【解決手段】光ビームを生成する複数の光源３ａ、３ｂ、３ｃと、複数の光源からの光ビームを重ね合わせて重合せ光ビームを生成するビームコンバイナ７と、重合せ光ビームを受けて一次光ビームと二次光ビームとに分割するビームスプリッタであり、二次光ビームの１つ又は複数の特性が一次光ビームの１つ又は複数の特性を示し、一次光ビームが通る第１の面１７と、二次光ビームが通る第２の面１９とを備える、ビームスプリッタ１１と、ビームスプリッタの第１の面により放出される一次光ビームを反射し、一次光ビームを走査することができる、ミラー構成要素２１と、二次光ビームの特性を検出するフォトダイオードとを備え、フォトダイオードは、第１又は第２の面と非平行とされ、ミラーに向けられる有害光の量を低減する。 （もっと読む）