【課題】共振器長を短くすることができると共に、出力光へのＡＳＥ光の混入を抑制してＳＮ比を向上させることができ、
製作時に反射膜が剥がれることを抑制して、正確な形状の反射膜の形成が可能となる波長掃引光源装置及び該光源装置を備える光断層画像撮像装置を提供する。
【解決手段】部分反射ミラーと走査ミラーとによる共振器によって、走査ミラーで選択された波長の光がレーザー発振されるように構成された波長掃引光源装置であって、
前記走査ミラーは、円盤形状の基板上に該円盤形状の円周に沿って等間隔に形成された等幅のスリット状のミラーによって構成され、
前記スリット状のミラーは、前記円盤形状の基板上に成膜された反射膜上における遮光膜の前記ミラーとなる部分を除去することにより形成されている。 （もっと読む）

【課題】ノイズを含まず分光精度が高い光学フィルターデバイスを提供する。
【解決手段】光の反射特性および透過特性を有する一対の第１反射膜２５が設けられ、第１反射膜２５間のギャップ寸法を変位させることができる第１波長可変干渉フィルター２０と、光の反射特性および透過特性を有する一対の第２反射膜３５が設けられ、第２反射膜３５間のギャップ寸法を変位させることができる第２波長可変干渉フィルター３０と、を備え、第１波長可変干渉フィルター２０と同じ光軸上に、第２波長可変干渉フィルター３０が配置され、第１反射膜２５は誘電体多層膜、第２反射膜３５は金属膜で形成されている。 （もっと読む）

【課題】 シリコン貫通電極などの複雑な構造をとることなく、MEMSデバイスの光スキャナをワイヤーレスで実装することができる小型・薄型にパッケージ化した光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器は、光スキャナチップ２１のミラー部２１ａの光反射面側に開口部１６を有し、両面に互いに電気的接続された複数の電極１２，１３を有する第１の基板１１と、その開口部１６に光反射面が向くように第１の基板１１上に実装された光スキャナチップ２１と、光スキャナチップ２１の光反射面と反対側の面に装着された第２の基板３１とでパッケージ化される。光スキャナチップ２１の電極２２は、第１の基板１１の一方の面の電極１２と金属の溶融又は圧接によって接続され、第１の基板１１の他方の面の電極１３，１４を介して給電される。 （もっと読む）

【課題】本願の目的は、優れた波長分解能を有する光処理デバイスを提供することである。
【解決手段】複数の光ファイバを含むビーム放出部分と、複数の光ファイバのうちの１つの光ファイバから放出されたビームを分散させる分散要素と、分散要素を通過するビームを合焦する集光レンズと、ビームが複数の光ファイバのうちの他の光ファイバの１つに入射するように集光レンズを通過するビームの光路を変換する光路変換光学系と、光路変換光学系から他の光ファイバの前記１つに入射するビームの光路長を調整する光路長調整部分と、を含む光処理デバイスが提供される。光路変換光学系は、第１の反射点でビームを反射するミラー要素と、ミラー要素から反射されたビームを中間反射点で反射する中間ミラーと、を含む。ミラー要素は中間ミラーから反射されたビームを第２の反射点で反射する。集光レンズはビームの焦点を第１の反射点で形成する。光路長調整部分は空気よりも高い屈折率を有し、ビームは光路長調整部分を通って送出され得る。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器にて反射された描画に寄与しない光が周辺部材に与える熱的影響を確実に排除して高い描画精度を担保する。
【解決手段】光学ユニットのヘッド部は、レーザ発振器から出射された光を空間変調させて、パターンの描画に寄与させる必要光Ｌ１と、パターンの描画に寄与させない不要光Ｌ０とを、互いに異なる方向に反射させる空間光変調器を備える。光学ユニットは、さらに、必要光Ｌ１を通過させつつ不要光Ｌ０を遮断する第２遮断板２３２と、第２遮断板２３２を冷却する冷却部を備える。第２遮断板２３２における不要光Ｌ０の入射領域を含む対象領域部分には、入射した光を乱反射させる乱反射面４２が形成される。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスを増やすことなく、オイルに対する耐性の高いバンプを形成することを目的とする。
【解決手段】第３上面６８を囲むように樹脂層５０を貫通する切れ目７６が形成されている。膜５２は、切れ目７６の内側では樹脂層５０の底面を除く全体を覆い、切れ目７６の外側では樹脂層５０の少なくとも一部が露出するように形成する。切れ目７６の内側では膜５２に全体的に覆われた樹脂層５０を残し、切れ目７６の外側では膜５２からの露出面から連続する樹脂層５０の全体を除去する。切れ目７６の内側に樹脂層５０及び膜５２からバンプ４８を形成し、切れ目７６の外側に第１基板１０から浮いた状態で膜５２からシャッタ１４と駆動部４０の少なくとも一部とを形成する。 （もっと読む）

【課題】コントラストの改善を図ることが可能であり、製造が容易なアパーチャープレートを提供すること。
【解決手段】本発明の表示装置においては、（Ａ）透光性の基板１３０上に金属層１３２を形成し、（Ｂ）金属層１３２上に開口パターンが形成されたレジストマスク１３６を設け、この状態で金属層１３２の露出部分をエッチングして開口部１２６を形成し、（Ｃ）その後レジストマスク１３６を除去し、（Ｄ）金属層１３２の表面及び開口部１２６の側壁面を酸化して金属の酸化物層１３４を形成することにより、アパーチャープレートの表裏の反射率を異ならせる。酸化物層１３４は、レジストマスク１３６をアッシングするときに、レジスト除去と同時に形成することができる。 （もっと読む）

【課題】向上した発光効率を有する、低電力のディスプレイを提供する。
【解決手段】光変調アレイ１００は、行および列内に配置された複数のシャッタ組立体１０２ａ〜１０２ｄを含み、シャッタ組立体は開および閉の２つの状態を選択的に設定可能である。光変調アレイは複数の光透過領域を画定する第１の反射面と、複数の光透過領域の方へ光を反射するための、第１の反射面に少なくとも部分的に面した第２の反射面とを有する。 （もっと読む）

【課題】マスキングを減少させた微小電子機械システム(MEMS)デバイスを製作する方法と、その方法によって形成されたMEMSデバイスを提供する。
【解決手段】アレイ領域と周辺領域とを有する前面基板１０００であって、アレイ領域内に複数の下側領域をその間に定める複数の支持体１０１１ａ−１０１１ｄ，１０１３ａ−１０１３ｃを有し、周辺領域内にランドをさらに有し、ランドの少なくとも一部が、アレイ領域内の支持体と実質的に同じ高さを有する、前面基板と、周辺領域内のランド上に重ねて形成された複数の導体であって、導体が互いに電気的に絶縁される、複数の導体と、前面基板の下側領域上に形成された導電層とを有する。 （もっと読む）

【課題】振動系を有する基体上に迷光防止層を設けた構成において、比較的簡単に、長寿命化を図ることができる光学デバイス、光学デバイスの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１が設けられた可動板２１と、支持部２２と、可動板２１を支持部２２に対して回動可能に連結する１対の連結部２３、２４とを備え、これらがシリコンで一体的に形成された板状の基体２と、基体２の板面上に設けられ、光の反射を防止または抑制する機能を有する迷光防止層６１とを有し、迷光防止層６１は、基体２を平面視したときに、連結部２３、２４の縁部、および、可動板２１および支持部２２の縁部のうちの連結部２３、２４近傍部分を除くように設けられている。 （もっと読む）

【課題】クロストークの発生を低減した波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長選択スイッチ１は、入力ポートおよび出力ポートを含む入出力部１０と、入力ポートから入射した波長多重された入力光を、波長毎の光に分散する分散部１５と、入力光を分散部１５へ導く、少なくとも第１のレンズ１２を含むリレー光学系と、分散部１５により分散された波長毎の光を集光する第３のレンズ１６と、第３のレンズ１６により集光された波長毎の光をそれぞれ偏向して、出力ポートに出射させる偏向部１７とを備える。第１のレンズ１２は、入力光が第１のレンズのいずれかの面で反射され発生した迷光が、出力ポートに入射しないように、入力光に対して傾け、または、ずらして配置される。 （もっと読む）

【課題】偏向部における集光ずれを補正し通信品質を向上した波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長選択スイッチ１は、少なくとも一つの入力ポート１０ａ〜１０ｃ及び１０ｅと、入力ポート１０ａ〜１０ｃ及び１０ｅから入射される波長多重された入力光を、波長毎の光に分散する分散素子１５と、分散素子１５により分散される波長毎の光を集光する集光素子１６と、集光素子１６により集光される波長毎の光をそれぞれ偏向する偏光素子１８を有する偏向器１７と、偏向器１７で偏向された波長毎の光を出力光として出射する少なくとも一つの出力ポート１０ｄとを有する。この波長選択スイッチ１の入出力ポート１０ａ〜１０ｅと分散素子１５との間の光路中または前記分散部内に、入出力ポート１０ａ〜１０ｃ及び１０ｅの配置に基づいて生じる偏向素子１８に対する波長毎の光の集光位置のずれを補正する、集光位置ずれ補正素子２０を配置する。 （もっと読む）

【課題】小型な構成でフィルタ特性の補正が可能な波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】少なくとも一つの入力ポート10aと、該入力ポート10aから入射される入力光を波長分散する分散部30と、分散部30により波長分散される光を集光する集光素子40と、集光素子40により集光される光を偏向する偏向部50と、偏向部50で偏向された光を出力光として出射する少なくとも一つの出力ポート10b-10eと、入力ポート10aと分散部30との間の光路中に配置され、分散部30により波長分散される光の偏向部50に対する入射位置をシフトさせる光路補正部20と、を備える。 （もっと読む）

【課題】クロストークの発生を低減した波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長選択スイッチ１は、少なくとも一つの入力ポート１０ａおよび少なくとも一つの出力ポート１０ｂ〜１０ｅを含む入出力部１０の入力ポート１０ａから波長多重された入力光を入射させ、分散素子１５により波長毎の光に分散させ、それぞれの波長毎の光をレンズ１６により偏向素子１８に集光して反射させ、出力ポート１０ｂ〜１０ｅに出射させる。入出力部１０と分散部１５との間には、偏向素子１５に集光する波長毎の光のスポット２０を楕円形状にするシリンドリカルレンズ１３を配置する。このシリンドリカルレンズ１３は、少なくとも入力光が通過する２つの面１３ａ，１３ｂを有し、この２つの面１３ａ，１３ｂのそれぞれにより入力光の一部が反射され、出力ポートの波長毎の光を出射させる出射面の位置において出射面より径の広い光束を形成する。 （もっと読む）

【課題】スイッチングの繰り返しによる光ファイバの端面の損傷を防止しつつ、接続面間における多重反射が発生せず、挿入損失の増加を抑制することが可能で、且つ、製造が容易な光スイッチを提供する。
【解決手段】第１コネクタ１２に保持された光ファイバ１１と第２コネクタ１３に保持された光ファイバ１１のいずれかとを光学的に接続すると共に、第１コネクタ１２と第２コネクタ１３の接続面１４，１５同士を対向させた状態で相対的にスライドさせて、第１コネクタ１２に保持された光ファイバ１１と第２コネクタ１３に保持された他の光ファイバ１１とを光学的に接続するスライド機構５１を備えた光スイッチ１０において、第１コネクタ１２及び第２コネクタ１３に保持された光ファイバ１１の端面が、対向する光ファイバ１１の端面又は接続面１４（又は１５）に接触するのを防止するスペーサ機構１６を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】温度変化を生じる環境下であっても精度の良いスイッチングが行え、且つ、製造が容易で製品毎のバラツキが少なく、構成が簡単な光スイッチを提供する。
【解決手段】複数本の光ファイバ１１と、複数本の光ファイバ１１の端面が並列して露出された接続面１９，２０を有する固定側コネクタ１２及び可動側コネクタ１３と、固定側コネクタ１２と可動側コネクタ１３の接続面１９，２０同士を対向させた状態で可動側コネクタ１３をスライドさせて固定側コネクタ１２内の光ファイバ１１と可動側コネクタ１３内の光ファイバ１１の接続を切り替えるスライド機構１４と、可動側コネクタ１３のスライド距離を規制するスライド距離規制機構１５と、を備え、光ファイバ１１、固定側コネクタ１２、可動側コネクタ１３、スライド距離規制機構１５がそれぞれガラス製であるものである。 （もっと読む）

【課題】エネルギー変換効率を向上する。
【解決手段】レーザ装置は、一方の主面側に入射した第１レーザ光の一部を第１反射光として反射するとともに残りの一部を第１透過光として透過し、且つ、他方の主面に入射した第２レーザ光の一部を第２透過光として透過するとともに残りの一部を第２反射光として反射するミラーと、前記第１透過光と前記第２反射光との光軸、もしくは、前記第１反射光と前記第２透過光との光軸が略一致するように、前記ミラーへ前記第１および第２レーザ光を入射させる光学系と、前記第１透過光または前記第１反射光のビームパラメータを計測する第１計測部と、前記第２反射光または前記第２透過光のビームパラメータを計測する第２計測部と、前記第１計測部の計測結果に基づいて前記第１レーザ光を調整する第１調整部と、前記第２計測部の計測結果に基づいて前記第２レーザ光を調整する第２調整部と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】ポートを切り替える際に、切替元のポートと切替先のポートとの間に存在するポートへのクロストークを抑える。
【解決手段】出力ポート２０２−Ａに結合した状態から出力ポート２０２−Ｂに結合した状態に遷移する際に、最初に、出力ポート２０２−Ａのあらかじめ定められたヒットレスポイントに対応する電圧をミラー装置の電極に印加し（Ｓ１１０２）、次に、あらかじめ定められた中継ポイントに対応する電圧を印加し（Ｓ１１０３）、次に、出力ポート２０２−Ｂのあらかじめ定められたヒットレスポイントに対応する電圧を印加し（Ｓ１１０４）、最後に、出力ポート２０２−Ｂと結合状態になる電圧を印加する（Ｓ１１０５）。ヒットレスポイントと中継ポイントは、ポートを切り替えるときに、要求されるクロストークを下回るように設定される。 （もっと読む）

【課題】従来よりも分光帯域の広いファブリペロー干渉計及びその製造方法を提供する。
【解決手段】初期状態で、固定ミラーと可動ミラーの対向距離が固定電極と可動電極の対向距離以下である。固定電極と固定ミラー構造体の他の部分及び可動電極と動ミラー構造体の他の部分の少なくとも一方が電気的に分離されている。メンブレンは、外端から中心に向けて、第１ばね変形部、可動電極を含む高剛性部、第２ばね変形部、可動ミラーＭ２の順に有する。２つのばね変形部は可動ミラー及び高剛性部よりも剛性が低くされている。また、可動電極における固定電極との対向部分は、メンブレンの中心から外端に向かう方向において、高剛性部の一部のみを占めており、可動電極における固定電極との対向部分の中心と高剛性部における第１ばね変形部側の端部との距離をＬ１、高剛性部の長さをＬ２とすると、Ｌ２／Ｌ１≧３／２を満たすように構成されている。 （もっと読む）

【課題】複数の光変調器（９１）及び該複数の光変調器の反射面上の複数のフィルター素子（９５）を含む表示装置（９０）が提供される。
【解決手段】複数の光変調器（９１）が、第１の組の光変調器（９２）及び第２の組の光変調器（９４）を含む。複数の光変調器（９１）の各光変調器が、少なくとも第１状態、第２状態、及び第３状態の間で選択的に切り替えられるように構成される。各状態が、異なるスペクトル反射を有する。複数のフィルター素子（９５）が、第１の組の光変調器（９２）に対応する第１の組のフィルター素子（９６）及び第２の組の光変調器（９４）に対応する第２の組のフィルター素子（９８）を含む。第１の組のフィルター素子（９６）が、第２の組のフィルター素子（９８）と異なる分光透過率を有する。 （もっと読む）