【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１と、光反射部２１１を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部２１と、可動部２１に連結し、かつ前記可動部２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、を有し、可動部２１は、可動部２１の板厚方向からの平面視にて四角形の四隅の部分をそれぞれ矩形に欠いた形状（十字状）をなす。 （もっと読む）

【課題】内部気密性を良好に維持できる光学フィルターデバイス、及び光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】光学フィルターデバイス６００は、固定基板５１、可動基板５２、固定反射膜、及び可動反射膜を備えた波長可変干渉フィルター５と、波長可変干渉フィルター５を内部に収納する筐体６０１と、を具備する。筐体６０１は、ベース基板６１０と、当該ベース基板６１０に接合され、当該ベース基板６１０との間に内部空間６５０を形成するリッド６２０と、リッド６２０に設けられた光通過孔６２１を閉塞するリッド側ガラス基板６４０とを備える。そして、リッド側ガラス基板６４０は、基板端縁６４１が、光通過孔６２１の外周縁よりも外側に位置し、光通過孔６２１の外周縁から基板端縁６４１までの領域が、リッド６２０に接合される。 （もっと読む）

【課題】振動系を有する基体上に導体パターンを設けた構成にいて、比較的簡単に、長寿命化を図ることができるアクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー（アクチュエーター）１の製造方法は、基板をエッチングした後に平坦化処理することにより、所定の軸まわりに回動可能な可動部と、前記可動部に連結された連結部と、前記連結部を支持する支持部とを有する基体を形成する第１の工程と、基体上に絶縁層を形成する第２の工程と、基体の一方の面の絶縁層上に導電性を有する導体部を形成する第３の工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】設置姿勢に関わらず、励起光の照射位置の局所的な温度上昇を低減し、回転蛍光板の光変換率の低下や経年的な性能劣化を低減することのできる照明装置とこれを備えたプロジェクターを提供する。
【解決手段】本発明の照明装置は、励起光を射出する光源と、励起光を蛍光に変換する蛍光体層が設けられ、回転軸の回りに回転可能な回転蛍光板と、回転蛍光板の回転方向を切り替え可能な回転手段と、を備え、励起光が照射される回転蛍光板上の照射領域が回転軸の回りにかつ鉛直方向上方側に向かって移動するように回転蛍光板が回転することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動系を有する基体上に迷光防止層を設けた構成において、比較的簡単に、長寿命化を図ることができる光学デバイス、光学デバイスの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１が設けられた可動板２１と、支持部２２と、可動板２１を支持部２２に対して回動可能に連結する１対の連結部２３、２４とを備え、これらがシリコンで一体的に形成された板状の基体２と、基体２の板面上に設けられ、光の反射を防止または抑制する機能を有する迷光防止層６１とを有し、迷光防止層６１は、基体２を平面視したときに、連結部２３、２４の縁部、および、可動板２１および支持部２２の縁部のうちの連結部２３、２４近傍部分を除くように設けられている。 （もっと読む）

【課題】振動系を有する基体上に絶縁層を介して導体パターンを設けた構成にいて、比較的簡単に、長寿命化を図ることができるアクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、可動板２１と、支持部２２と、可動板２１を支持部２２に対して回動可能に連結する１対の連結部２３、２４とを備え、これらがシリコンで一体的に形成された板状の基体２と、基体２の板面上に設けられた絶縁層６２と、絶縁層６２の基体２とは反対側の面上に設けられた導体パターン８とを有し、絶縁層６２は、基体２を平面視したときに、連結部２３、２４の縁部、および、可動板２１および支持部２２の縁部のうちの連結部２３、２４近傍部分を除くように設けられている。 （もっと読む）

【課題】耐久性が高く、透過率特性も安定した光アッテネータを得る。
【解決手段】入射光の波長域で透明なガラス基板の表裏の少なくとも一方の面に光透過率の異なる複数の光透過領域が設けられている。光透過領域は、入射光が回折を生じる大きさの凹凸パターンの繰返しからなる微細構造が形成された部分と入射光が回折を生じない大きさの開口部とから構成されたものを含む。微細構造と開口部とから構成された光透過領域の光透過率は微細構造の０次光透過率と開口部の開口率により設定されている。 （もっと読む）

【課題】レーザー光源と蛍光体を含む発光素子とを備え、レーザー光の偏光方向の乱れを低減し、偏光の乱れに伴う問題を解決し得る光源装置を実現する。
【解決手段】本発明の光源装置１００は、固体光源１０と、結晶性部材４６を含む回転可能な基体４０と、を含む。結晶性部材４６の厚さをｔとし、結晶性部材４６の複屈折をΔｎとし、固体光源１０から射出される光Ｌｂの波長をλとすれば、結晶性部材４６の厚さｔは式（１）を満たす。ただし、ｍは任意の整数である。
（ｍ−１／２）λ／Δｎ＜ｔ＜（ｍ＋１／２）λ／Δｎ・・・（１） （もっと読む）

【課題】空間光変調素子の劣化を防止することができるパターン投影装置およびレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】本発明にかかるレーザ加工装置１００は、レーザ光源４１から出射されたレーザ光を複数のミラーによって空間変調する空間光変調素子４５と、基板１を照明する照明系３６を含む照明光学系と、空間光変調素子４５に空間変調された変調光を対象物に投影する結像レンズ３８と、空間光変調素子４５から出力されたレーザ光の進行方向を結像レンズ３８の光軸と一致する方向に偏向させる偏向素子４６と、を備え、空間光変調素子４５は、空間光変調素子４５に入射するレーザ光の進行方向が該空間光変調素子４５の基準面の法線とおおよそ平行である。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工装置及びレーザ加工方法において、簡素な構成で空間変調素子の劣化を防止する。
【解決手段】レーザ光を発振するレーザ光源１０２と、このレーザ光源１０２により発振され基準面１０３ａに入射するレーザ光を偏向する偏向素子が２次元に配列された空間変調素子１０３と、この空間変調素子１０３により空間変調された変調光を被加工物１０に投影する投影光学系１０４と、を備えるレーザ加工装置１において、空間変調素子１０３は、基準面１０３ａに対して垂直にレーザ光（光軸Ａ２）が入射するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】光の利用効率に優れた光変調装置及びプロジェクターを提供する。
【解決手段】入射した光束を変調して画像を形成する光変調装置は、画像を構成する画素毎に変調部８０Ａがそれぞれ設けられた構成を有する。変調部８０Ａは、入射した光束を通過させる第１の位置または入射した光束を遮断する第２の位置に移動可能に構成されたシャッター８８と、シャッター８８を第１の位置または第２の位置に移動させる回路部８６及び電極部８７とを備える。シャッター８８は、帯電された帯電部９１〜９４を備える。駆動手段は、帯電部９１〜９４との間で静電力を発生させる透明電極Ｅ１〜Ｅ４を有し、当該静電力でシャッター８８を第１の位置または第２の位置に移動させる。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つのばねが、機械的な荷重に頻繁にさらされる場合でも、その機能を確実に満たすことが保証されているようにする。
【解決手段】マイクロマシニング型の構成部材であって、保持部材が設けられており、該保持部材に対して少なくとも第１の位置から第２の位置に調節可能な構成要素が設けられており、該構成要素が、保持部材に少なくとも１つのばね２０を介して結合されている。少なくとも１つのばね２０に配置されたシリサイド含有の少なくとも１つの線路区分３０，３２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】光出力減衰器からの出力光の光軸を再度位置決めする作業を必要とせず、かつ、エネルギーの吸収による変形や破損を抑制できるようにする。
【解決手段】入射するレーザビーム１２ａを繰り返し反射させて出射側に案内した後、入射する前記レーザビーム１２ａの光軸と一致する光軸で出射するように、反射面を向かい合わせて配置したミラー２ａと２ｂ，３ａと３ｂ対を複数組み合わせる。
【効果】出力光の光軸を再度位置決めする作業が不要である。また、透過型の光学素子により減衰できない波長のレーザであっても、ミラーの変形や破損を抑制して減衰できる。 （もっと読む）

【課題】印加電圧を低く抑えるためにダイアフラム部を薄くした場合においても、ダイアフラム部の強度低下を抑制することができ、その結果、最大印加電圧が低くかつダイアフラム部の強度を高め、安定的なギャップ変位を可能とし、良好に駆動することができる光フィルター及び分析機器を提供する。
【解決手段】光フィルター１は、下部基板３と、下部基板３に設けられた下部ミラー４Ｂと、下部基板３に設けられた下部電極６Ｂと、下部電極６Ｂに対向して設けられた上部基板２と、上部基板２に設けられ下部ミラー４Ｂと対向する上部ミラー４Ａと、上部基板２に設けられ下部電極６Ｂと対向する上部電極６Ａを有し、上部基板２は平面視において上部ミラー４Ａを囲む溝８を有し、前記溝８は断面視において底面部８ａと第１端部８ｂ、第２端部８ｄと第１側面部８ｃ、第２側面部８ｅとを有し、第１端部８ｂ、第２端部８ｄは曲面を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】構造色による発色機構を利用し、簡易な構成で白色表示が可能な表示装置を低コストに提供する。
【解決手段】構造色による発色機構を利用した色調変化部材を透明板側へ押圧し、色調変化部材を厚さ方向に変形させることにより色調変化部材の基材を弾性変形させる押圧部材と、透明板と色調変化部材の間に設けられたマイクロプリズム型再帰反射部材とを備えた表示装置であって、白色表示を行う場合には、押圧部材によって色調変化部材を押圧せず、色調変化部材とマイクロプリズム型再帰反射部材とを離間させ、外部から透明板を透過して入射した入射光を、マイクロプリズム型再帰反射部材によって再帰反射させる。 （もっと読む）

【課題】トーションバー加工時のばらつきを抑制する光偏向器、光偏向器の製造方法、光学装置及び表示装置を提供する。
【解決手段】光偏向器Ａは、光を反射する可動板１と、一端が可動板に固定され、他端が支持体に固定され、可動板を回転振動可能に軸支する一対のトーションバー２ａ、２ｂと、可動板を回転振動させる駆動機構と、を備えている。このトーションバー２ａ、２ｂは、単結晶シリコンを含んでおり、また、トーションバー２ａ、２ｂの可動板１表面に垂直であってトーションバー軸支方向の断面における形状は、断面の可動板表面垂直方向の略中央部を中心線とし、略相同である２つの略等脚台形が上底及び下底の何れか短い方同士を中心線で接合した形状である。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ長寿命の波長可変干渉フィルター、光センサーおよび分析機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５では、透光性を有する第一基板５１と、前記第一基板５１の一面側に対向して接合される第二基板５２と、前記第一基板５１の前記一面側に設けられる第一反射膜５６と、前記第二基板５２の前記第一基板５１に対向する第一面Ａに設けられ、ギャップＧを介して前記第一反射膜５６に対向する第二反射膜５７と、前記ギャップＧを可変する可変部５４と、を備えた波長可変干渉フィルター５であって、前記第二基板５２は、前記第一反射膜５６に対向する位置に設けられるとともに、前記第一面Ａから反対の第二面Ｂまでを貫通する光透過口５２１Ａと、前記第二基板５２の前記第一面Ａに設けられ、前記光透過口５２１Ａを閉塞する平板状の透光性部材５８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 差動位相偏移変調信号の復調器を作製するにあたり、位相調整を高速に行い、かつ装置の寿命を長く保つ必要がある。
【解決手段】 復調器内部の遅延干渉計において、干渉させる2つの分岐光の位相差の調整をピエゾ素子などの位相調整手段と、第一の位相調整手段よりも低速で動作し、かつ劣化速度が遅い発熱体などの位相調整手段とを用いて行う。 （もっと読む）

【課題】機械的要素の摩耗や、開状態における透過率の低下を招くことなく、十分に広い波長領域の赤外線をチョッピングする。
【解決手段】各高屈折率層３，４，５は、赤外線ＩＲの波長＝λ、屈折率＝ｎ、物理的な厚み＝ｄとしたときに、その光学的厚みｎｄが１／４λとなるように導電性材料でそれぞれ形成されると共に、対向する２つの高屈折率層の間に電圧が印加された状態において２つの高屈折率層がそれぞれ光学的に一体化し、かつ、２つの高屈折率層の間に電圧が印加されない状態においてその光学的厚みｎｄが１／４λの空気層８ａ，８ｂが２つの高屈折率層の間に形成されるようにそれぞれ配設されて、各高屈折率層３，４，５が厚み方向で光学的に一体化した状態において厚み方向に赤外線ＩＲを透過させると共に、各高屈折率層３，４，５の間に空気層８ａ，８ｂが形成された状態において赤外線ＩＲを反射する。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化によって生じる熱膨張率差に起因する応力の変動や、マイクロミラー素子を固定している接着剤部分の強度劣化による応力の変動等が、マイクロミラーの傾斜角度へ影響することを軽減する。
【解決手段】固定フレーム１と、固定フレーム１に対して揺動可能な可動フレーム１３と、可動フレーム１３の揺動軸を規定するトーションバー１１ａ及び１１ｂと、固定フレーム１及びトーションバー１１ａ，１１ｂの少なくとも一方に設けられる応力緩和機構５０とを含み、トーションバー１１ａ及び１１ｂの軸方向における応力緩和機構５０の剛性は、トーションバー１１ａ及び１１ｂの軸方向の剛性より小さく、トーションバー１１ａ及び１１ｂを中心とする回転方向における応力緩和機構５０の剛性は、トーションバー１１ａ及び１１ｂを中心とする回転方向における剛性よりも大きい。 （もっと読む）