【課題】平面光回路（ＰＬＣ）に基板面に対し傾斜し且つ傾斜角度の変化の少ない溝を形成する。
【解決手段】エッチングチャンバー内の下部電極上に、傾斜保持治具２０によりＰＬＣを基板面に対して傾斜して保持し、ＰＬＣ近傍にチャンバー内の電界分布を制御する電解制御ブロック３０を配置し、傾斜保持治具および電解制御ブロックを下部電極に電気的に接続した状態で、異方性プラズマエッチングによりＰＬＣに溝を形成する。 （もっと読む）

【課題】光学設計を簡素化し、光損失を抑えることができる光導波路型センサチップを得ること。
【解決手段】光導波路層と、前記光導波路層へ光を入射させ、前記光導波路層外に前記光を出射させるよう、前記光導波路層の界面のうち一方の面の両端に配置された１対の光学素子と、前記光導波路層上の所定の領域に形成された機能膜と、前記光導波路層の前記光の入射面上の、少なくとも前記光学素子が配置された平面領域を含む平面領域に形成された被覆層と、入射側の前記光学素子に入射する前記光を通過させるように、前記被覆層に形成された第１の貫通孔と、出射側の前記光学素子から出射する前記光を通過させるように、前記被覆層に形成された第２の貫通孔と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 基板上に光素子や信号配線を高密度に実装する際、送受信間における光および電気の干渉によるクロストークノイズの影響を低減した光インターコネクションモジュールおよび、それを用いた光電気混載回路ボードの提供。
【解決手段】 一部が段になっている基板10と、段差上部に設置された発光素子アレイ11と、段差下部に設置された受光素子アレイ12と、発光素子アレイと接続された駆動回路13と、受光素子アレイと接続された信号増幅回路14と、基板面に沿って配線されたコア16を複数有する光導波路と、発光素子アレイから出射する光を光路変換しコア16へ入射させ、コア16から出射した光を受光素子アレイへ入射させる光路変換部とを備えた光インターコネクションモジュールとする。 （もっと読む）

【課題】グレーティングと全反射を利用することにより、構造及び製造工程が簡単であって、強い共振を得るのが容易な光共振器を提供する。
【解決手段】全反射共振部と、導波路とを備えて構成される。全反射共振部は、２つの互いに平行な主表面として、第１の主表面及び第２の主表面を有していて、これら第１の主表面及び第２の主表面は光学的に鏡面である。導波路は、全反射共振部の第２の主表面上に形成されていて、グレーティング部を有している。グレーティング部は、導波路を伝播する光を回折させて全反射共振部に送り、及び、全反射共振部から入射された光を回折させて導波路を伝播させる。また、全反射共振部に送られた光は、全反射共振部の第１の主表面で、導波路に向けて全反射する。 （もっと読む）

【課題】光素子の実装が容易、かつ実装の精度を向上させた光配線基板、光導波路、及び光素子の実装方法を提供する。
【解決手段】基板２の裏面側に形成された光導波路５と、基板２の表面側に実装される面発光素子６から入射された光の光路を９０度変換してコア３に入射する発光素子用ミラー７と、面発光素子６から出射されコア３を伝搬する光の光路を基板２側に９０度変換して、基板２の表面側に実装される面受光素子８に入射する受光素子用ミラー９と、コア３の一部を光導波路５の側面から露出させて形成され、光導波路５の側面に照射された照明光Ｌを光導波路５のコア３に入射する照明光入射部１０と、を有するものである。 （もっと読む）

【課題】 従来の平面配置型光導波路を用いた波長合分波器では、サイズが大きくなるため、波長多重伝送方式を用いた光配線構造において、高密度光配線が困難であった。
【解決手段】 波長多重伝送方式をベースにした光配線において、積層配置方向性結合光導波路を用いた波長合分波器を用いることで、高密度に集積可能な波長合分波器を用いた光配線構造を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＰＬＣに一体集積された光モジュールの受光面に入射するビーム位置を調整可能にするＰＬＣおよび当該ＰＬＣを用いた受光デバイスを提供する。
【解決手段】ＰＬＣは、光が入力される入力導波路３０４と、光を分岐する方向性結合器３０６と、分岐された光が透過する導波路アーム３０８，３１０と、導波路アームを透過した光を合波する方向性結合器および出力導波路３１２，３１４とを有し、導波路アームに紫外線を照射するか薄膜ヒータによる熱により出力端面から出力される光の位置を可変とした。 （もっと読む）

【課題】高速、大容量通信を実現する光電変換装置を提供することを目的とする。
【解決手段】トランシーバモジュール１は、光通信路１７が結合される複数の光コネクタ２ａ、２ｂと、バックプレーンへ結合される電気コネクタ３と、光コネクタ２ａ、２ｂで受信した光信号を電気コネクタ３へ送信する電気信号へ変換し、電気コネクタ３で受信した電気信号を光コネクタ２ａ、２ｂへ送信する光信号へ変換する受発光素子９、１０、１１、１２が搭載された回路基板６と、光コネクタ２ａ、２ｂと受発光素子９、１０、１１、１２とを光学的に結合する導波路を有する導波路アレイ７、８とを備える。 （もっと読む）

【課題】受光装置や発光装置との組み付けが容易な高分子光導波路を提供する。
【解決手段】クラッド用フィルム基材と、高分子材料からなるコアとを備え、前記コアは、前記クラッド用フィルム基材の片面に形成された導光部と、当該導光部の両端部に形成された反射ミラー面と、少なくともいずれか一方の前記反射ミラー面の外方であって前記クラッド用フィルム基材の凹部に形成された拡張部と、前記拡張部を挟んで前記反射ミラー面に対向する第１の光学素子部とからなり、前記導光部を伝搬した光が前記反射ミラー面で反射して前記第１の光学素子部を通過可能とされた。 （もっと読む）

【課題】不具合が発生することなく低コストで歩留りよく光路変換ミラーを備えた光導波路を形成できる光導波路装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０の上に、第１クラッド層４０、コア層４２及び第２クラッド層４４を順次形成して光導波路Ｌを得る工程と、光導波路Ｌの両端側に、光路変換傾斜面Ｓ１とそれに交差する側壁面Ｓ２とを備えて第２クラッド層４４及びコア層４２を分断する溝部５０をそれぞれ形成する工程と、溝部５０の内面に金属層６０を選択的に形成する工程と、光導波路Ｌの上に金属層６０を封止する保護絶縁層３４を形成する工程と、保護絶縁層３４及び光導波路Ｌを厚み方向に加工することによって、溝部５０の側壁面Ｓ２に形成された金属層６０を除去して凹部７０を形成することにより、光路変換傾斜面Ｓ１に金属層６０からなる光路変換ミラーＭを得る工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】半導体素子チップと、複数の光電変換モジュールと、複数の光電変換モジュールよりも少ない数の外部光接続部と、複数の光電変換モジュールと外部光接続部との間に形成された複数の光導波路とを備え、複数の光導波路における光学損失の絶対値を小さくでき、複数の光導波路間の光学損失のばらつきを小さくでき、複数の光導波路を小さい面積で配設可能な半導体パッケージを提供する。
【解決手段】複数の光導波路５が束ねられて光電変換モジュール３より少ない数の外部光接続部に接続されており、かつ、個々の光導波路５は、外部光接続部側から見て、第１の直線部１４と、変曲点を持たない曲線部１５と、第１の直線部１４と線方向の異なる第２の直線部１６とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】 光導波路の交差部分および出力端の少なくとも一方で生じる光信号の損失を抑制するとともに、光導波路の高密度配線に適した光導波路デバイスを提供する。
【解決手段】 光導波路デバイスの一態様は、光導波路が交差する光導波路配線と、光導波路の交差部分に配置され、光導波路のコアよりも屈折率が高い中継部とを備える。 （もっと読む）

【課題】光回路のパターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高いコア部を容易に形成でき、電気素子との位置決めが容易な光導波路を備えた光導波路構造体および前記光導波路構造体を用いた電子機器を提供する。
【解決手段】光導波路構造体１は、基板２と、光導波路９と、光路変換部９６と、電気素子と、電気素子の位置決めを行う位置決め手段３３、３４と、導体層５とを有する。光導波路９は、コア部９４とクラッド部９５とを有し、コア部９４は、（Ａ）環状オレフィン樹脂と、（Ｂ）前記（Ａ）とは屈折率が異なり、かつ、環状エーテル基を有するモノマーおよび環状エーテル基を有するオリゴマーのうちの少なくとも一方と、（Ｃ）光酸発生剤と、を含む組成物で構成されたコア層に対し活性放射線を選択的に照射することにより所望の形状に形成されたものである。 （もっと読む）

【課題】パターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高いコア部（光路）を簡単な方法で形成することができ、また、耐久性に優れる光導波路を備えた光導波路構造体および電子機器を提供すること。
【解決手段】光導波路構造体１は、コア層９３の両面にクラッド層９１、９２を積層してなる光導波路９と、その両面にそれぞれ接合された導体層５１、５２と、光導波路９の光路をほぼ直角に屈曲させる光路変換部９６と、発光素子１０と電気素子１２とを備えている。コア層９３は、コア部９４とクラッド部９５とを有し、コア部９４は、（Ａ）環状オレフィン樹脂と、（Ｂ）前記（Ａ）とは屈折率が異なり、かつ環状エーテル基を有するモノマーおよび環状エーテル基を有するオリゴマーのうちの少なくとも一方と、（Ｃ）光酸発生剤と、を含む組成物で構成された層に対し光を選択的に照射することにより所望の形状に形成されたものである。 （もっと読む）

【課題】電気回路と光回路のそれぞれにおいてパターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高い光路を簡単な方法で形成することができ、また、耐久性に優れる光導波路を備えた光導波路構造体を提供すること。
【解決手段】本発明の光導波路構造体は、互いに屈折率が異なるコア部とクラッド部とを有する光導波路と、導体層とを有する積層構造体で構成され、厚さ方向に延在し、前記コア部に光学的に接続される導光路と、厚さ方向に延在し、前記導体層に電気的に接続される導体部とを有する。前記コア部は、（Ａ）環状オレフィン樹脂と、（Ｂ）前記（Ａ）とは屈折率が異なり、かつ、環状エーテル基を有するモノマーおよび環状エーテル基を有するオリゴマーのうちの少なくとも一方と、（Ｃ）光酸発生剤と、を含む組成物で構成されたコア層に対し活性放射線を選択的に照射することにより所望の形状に形成されたものである。 （もっと読む）

【課題】 作製までの工程数を低減させた光電気配線基板の製造方法を提供する。
【解決手段】 表面に導電層を有する電気基板上に、内部に光信号の伝送が可能な光伝送部を有する光導波路を作製する工程１と、前記光導波路に、前記導電層が露出する底面を有する第一の貫通孔と、前記光伝送部の光軸方向に対して前記電気基板に向くように傾斜して前記光導波路の光伝送部が露出した斜面を有する第二の貫通孔と、を作製する工程２と、前記第一の貫通孔の内壁面および前記第二の貫通孔の前記斜面に金属膜を同時に形成させて、それぞれ貫通導体および光反射面を作製する工程３と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 集積回路素子の設置する部位の熱膨張を抑制させた光伝送基板および光モジュールを提供する。
【解決手段】 光伝送基板は、基板と、前記基板上に位置し、集積回路素子を設けるための上面と、平面からなる複数の側面と、を有する台座部と、前記台座部の前記複数の全側面上に連続して設けられ、前記台座部の熱膨張率よりも低い第１の金属層と、前記基板上に位置し、前記金属層を介して外部の光電変換素子と光学的に結合する光導波路と、を具備する （もっと読む）

【課題】 光伝送部の熱膨張を抑制した光伝送基板および光モジュールを提供する。
【解決手段】 基板および前記基板上に位置する誘電体層を具備する光伝送基板であって、前記誘電体層は、集積回路素子を設けるための設置面と、光を反射させて光路を変換させる光路変換面と、を有する第一領域と、前記第一領域との間に溝を介して前記第一領域の周囲に位置し、光を伝送させる光伝送部を内部に有し、前記光伝送部の端部が露出して前記光路変換面と対向する光導出面を有する第二領域と、から構成される。 （もっと読む）

【課題】カメラ等の観察系のための高価な装置を必要とすることなく、レンズ設計や導波路設計に依存しない、多芯の光導波路とレンズアレイとの容易な調芯が可能な光部品を提供すること。
【解決手段】複数の出力ポートに接続される光導波路１０と、ダミーポートに接続されるダミー光導波路１１を有する多芯の光導波路アレイと、前記光導波路１０の複数の出力ポートから出力される光を集光する複数のレンズ５０ａと、前記光導波路アレイのダミーポートから出力される光を当該ダミーポートに反射する反射光学部品５０ｂとが並設されるレンズアレイ５と、を備え、前記ダミーポートを介してダミー光導波路に反射された反射光を用いて多芯の光導波路アレイに対するレンズアレイ５の調芯が可能な光部品。好ましくは、レンズアレイ５が調芯された位置にあるときに、前記反射光の強度が最大となるように、前記反射光学部品５０ｂを設定することである。 （もっと読む）

【課題】基板内に光導波路が内装された光基板を、安価な材料で且つ生産性の高いプロセスであり、低コスト且つ接続性のよい光基板とその製造方法を提供する。
【解決手段】第一の絶縁樹脂層の第一面に光導波路を接着する工程と、該光導波路の外周全体または外周の一部にスペーサを積層する工程と、光導波路の光入出力部に合わせて接着層を開口する工程と、第一の絶縁樹脂層の第一面に第二の絶縁樹脂層を接着層により加熱圧着する工程と、絶縁樹脂層の最外層に貫通口を設ける工程と、絶縁樹脂層の最外層にパターニングにより電気気配線を形成する工程と、光導波路の光信号の入出力部が露出するように前記第二の絶縁樹脂層に開口部を設け、電気配線上に光入出力を行う受発光素子を実装する工程と、電気配線上に上に受発光素子制御素子を設ける工程を有することを特徴とする光基板の製造方法で得られる光基板とする。 （もっと読む）