【課題】光学素子を成形から成膜に至るまで時間ロスのない工程設定を行い生産のリードタイムの短縮化を図る。
【解決手段】成膜機５０において成膜に要する時間をＴ１、成膜機５０の処理室５８の数をＮ１（自然数）、成形機１０において成形に要する時間をＴ２、成形機１０の処理室２２の数をＮ２（自然数）とした場合に、Ｔ１＞Ｔ２のときはＴ１／Ｔ２≦Ｎ１，Ｎ２＝１であり、Ｔ１＜Ｔ２のときはＴ２／Ｔ１≦Ｎ２，Ｎ１＝１とした。 （もっと読む）

【課題】アノード電極とカソード電極との間で、プラズマを均一及び安定的に発生させ、被処理基板に、硬質で被処理基板に対する密着性に優れ、かつ均一な膜厚の被膜を得る。
【解決手段】真空容器１内に対向して配置された第１電極１０及び第２電極２０を有し、前記第１電極１０表面上に被処理基板３０を配置し、減圧状態で前記真空容器１内に反応ガス７を導入しながら、その反応ガス７のプラズマを前記電極間１０、２０に形成するプラズマ処理装置であって、前記第１電極１０は電源に接続され、前記第２電極２０はアース接地され、前記被処理基板３０と前記第２電極２０との間に、前記反応ガス７の導入ヘッド４０が設けられ、前記導入ヘッド４０は、箱状となり、前記被処理基板３０側の壁に多数の吹き出し口４０Ａを有し、外部から流入孔を通して前記導入ヘッド４０内へ導入される前記反応ガス７が、前記吹き出し口４０Ａ群から前記被処理基板３０側に吹き出されるように構成した。 （もっと読む）

【課題】最表面の硬度が高く耐磨耗性に優れると共に、反射率が低い反射防止膜、及び透光部材、並びに反射防止膜の形成方法を提供する。
【解決手段】反射防止膜は、可視光が透過可能な部材の表面に形成された反射防止膜であって、反射防止膜の最表面を構成する膜が、Ｈを添加したＤＬＣであるＨ−ＤＬＣ膜である。反射防止膜の形成方法は、可視光が透過する部材の表面に反射防止膜を形成する反射防止膜の形成方法であって、反射防止膜の最表面を構成する膜として、Ｈを添加したＤＬＣであるＨ−ＤＬＣ膜を形成する最表面形成工程を有し、当該最表面形成工程において、Ｈ−ＤＬＣ膜を、ＥＣＲプラズマ励起方式を用いたＥＣＲプラズマＣＶＤによって形成する。 （もっと読む）

【課題】最表面の硬度が高く耐磨耗性に優れると共に、反射率が低い反射防止膜、及び透光部材、並びに反射防止膜の形成方法を提供する。
【解決手段】反射防止膜は、可視光が透過可能な部材の表面に形成された反射防止膜であって、反射防止膜の最表面を構成する膜が、Ｃを添加したＳｉＯ₂であるＣ−ＳｉＯ₂膜である。反射防止膜の形成方法は、可視光が透過する部材の表面に反射防止膜を形成する反射防止膜の形成方法であって、反射防止膜の最表面を構成する膜として、Ｃを添加したＳｉＯ₂であるＣ−ＳｉＯ₂膜を形成する最表面形成工程を有し、当該最表面形成工程において、Ｃ−ＳｉＯ₂膜を、ＥＣＲプラズマ励起方式を用いたＥＣＲプラズマスパッタ装置によって形成する。透光部材は、可視光が透過可能な透光部材であって、最表面を構成する膜が、Ｃを添加したＳｉＯ₂であるＣ−ＳｉＯ₂膜である反射防止膜を備える。 （もっと読む）

【課題】最表面の硬度が高く耐磨耗性に優れると共に、反射率が低い反射防止膜、及び透光部材、並びに反射防止膜の形成方法を提供する。
【解決手段】反射防止膜は、可視光が透過可能な部材の表面に形成された反射防止膜であって、反射防止膜の最表面を構成する膜が、Ｓｉ又はＦを添加したＡｌ₂Ｏ₃であるＳｉ−Ａｌ₂Ｏ₃膜又はＦ−Ａｌ₂Ｏ₃膜である。反射防止膜の形成方法は、可視光が透過する部材の表面に反射防止膜を形成する反射防止膜の形成方法であって、反射防止膜の最表面を構成する膜として、Ｓｉ又はＦを添加したＡｌ₂Ｏ₃であるＳｉ−Ａｌ₂Ｏ₃膜又はＦ−Ａｌ₂Ｏ₃膜を形成する最表面形成工程を有し、当該最表面形成工程において、Ｓｉ−Ａｌ₂Ｏ₃膜又はＦ−Ａｌ₂Ｏ₃膜を、ＥＣＲプラズマ励起方式を用いたＥＣＲプラズマスパッタ装置によって形成する。 （もっと読む）

【課題】耐久性であり、反射防止面自身よりも汚れにくく清浄にするのも容易である反射防止面上の保護コーティング剤を提供する。
【解決手段】反射防止面、特に反射防止フィルムスタックの外面に適用する防汚コーティング層であって、前記防汚コーティング層はフッ素化シロキサン、好ましくは次式：


の式中フッ素化シランのコーティング組成物を適用することで生成するフッ素化シロキサンであり：Ｒ_fは任意に１つ以上のヘテロ原子を含む全フッ素化基であり；Ｒ¹は１つ以上のヘテロ原子で置換されるかまたは官能基で置換されるかした、約２〜約１６個の炭素原子を含有する二価のアルキレン基、アリーレン基、またはそれらの混合物であり；Ｒ²は低級アルキル基であり；Ｘはハロゲン、低級アルコキシ基、またはアシルオキシ基であり；ｘは０または１である防汚コーティング層。 （もっと読む）

【課題】大型化することなく多数のワークに一括して成膜処理を行える装置を提供する。
【解決手段】主軸１３を中心に回転する主回転部１５には、複数の副回転部１６を設けてあり、各副回転部１６には、それぞれ複数のワークホルダ１７を設けてある。ワークホルダ１７に保持されるワークＷは、主回転部１５，副回転部１６の回転により、主軸１３を中心にした回転と副軸３６を中心にした回転をしながら、回転軸４６を中心に自転し、各ワークＷの各面がターゲットに順次に対面されて成膜が行われる。 （もっと読む）

【課題】緻密かつ耐擦傷性等の機械特性が強く、さらに透湿度が高く、高湿熱耐久性の高い反射防止フィルム及びその製造方法並びに反射防止フィルムを用いた偏光板及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】透明基材フィルムと、透明基材フィルムの一方の面上形成されたハードコート層と、ハードコート層上に形成された反射防止層と、を順次積層してなる反射防止フィルムであって、反射防止層は、高屈折材料層と低屈折率層とを交互に複数積層させた積層体であり、反射防止層の最外層が低屈折率層であり、低屈折率層の膜密度が１．７ｇ／ｃｍ^３以上２．２ｇ／ｃｍ^３以下であることを特徴とする反射防止フィルム。 （もっと読む）

【課題】高スループット・大面積・低コストの微細パターンの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】透明基体１上に加工対象層２を形成し、前記加工対象層２上に透明誘電体からなるレジスト層を形成するとともに、前記レジスト層をナノインプリント法によってパターニングすることにより、前記レジスト層の上面に凹部５３を有するパターン化レジスト層３を作るパターン化レジスト層形成工程と、少なくとも前記パターン化レジスト層３の上面３ａに金属層からなるハードマスク層４を形成した後、前記凹部５３の底部５３ａに残されたレジスト残渣５５をエッチングして除去してから、前記パターン化レジスト層３をマスクにして前記加工対象層２をエッチングするエッチング工程と、を具備することを特徴とする微細パターンの製造方法を提供することによって、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】 光学系に用いたとき有害光の発生を効果的に抑制することができる光学部材を得ること。
【解決手段】 光学系の光路中に配置され、光束が透過する光学部材ＰＬであって、該光学部材は、光線有効領域１よりも外側の外周領域に無機薄膜によって形成された光線遮光領域を有し、該光学部材の外周部の厚さをＤ、該光学部材の材料のｄ線に対する屈折率をＮ、外周部から該光線有効領域の最外部までの距離をＬとするとき、
【数１】


なる条件を満足すること。 （もっと読む）

【課題】 光学薄膜を成膜する際のパーティクルを抑えることが可能な光学薄膜の成膜装置及びその装置の制御方法を提供する。
【解決手段】 真空チャンバの内周面に、その周面に基材を保持することが可能な回転ドラムを備え、前記回転ドラムの周方向に、防着板により区割された金属ターゲットをスパッタリングするための成膜領域と、スパッタリングされた金属薄膜を酸化するための酸化領域とを備え、前記各領域に基材を通過させ、前記基材上に光学薄膜を成膜するための装置であって、前記防着板に温度制御手段を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】耐久性ないしは耐環境性に優れるとともに良好な光学特性を備えた赤外用多層膜を提供する。
【解決手段】赤外光学用基板２、１２に形成される赤外用多層膜３、１３。この赤外用多層膜３、１３は、前記基板側から、屈折率の低い低屈折層４、１４、この低屈折層４、１４よりも屈折率の高い中間屈折層５、１５、この中間屈折層５、１５よりも屈折率の高い高屈折層６、１６、中間屈折層７、１７、低屈折層８、１８、及び非酸化物材料からなる保護層９、１９がこの順に積層された積層体からなっている。前記低屈折層４、１４、８、１８はフッ化物膜からなり、前記中間屈折層５、１５、７、１７はＺｎＳ膜又はＺｎＳｅ膜からなり、且つ前記高屈折層６、１６はＧｅ膜からなる。
（もっと読む）

【課題】少ない製造工程で容易に製造でき、光学機能と水蒸気に対するバリア機能とを有し、しかも、優れた導電機能を有する機能性フィルムを提供する。
【解決手段】透明な樹脂基板１１の少なくとも一方の面に、少なくとも光学膜１２と透明導電膜１５とが備えられ、温度４０℃、相対湿度９０％の環境下における水蒸気透過度が０．１ｇ/ｍ^２・ｄａｙ以下であり、光学膜１２が、樹脂基板１１と異なる屈折率を有し、光学機能と水蒸気に対するバリア機能とを備えたものであり、透明導電膜１５が、表面抵抗値１０Ω／□〜５００Ω／□のものである機能性フィルムとする。 （もっと読む）

【課題】あらゆる種類の乗り物のフロントガラスの全域にわたり、更にサイドガラスまでの広い面積において、優れた映り込み防止効果を有し、しかもフロントガラスの形状に映り込み防止効果が依存することがないので、安全性が向上し、更にダッシュボードのデザイン性を向上させることができる光学フィルム及びガラスの提供。
【解決手段】偏光子の吸収軸が膜面に対し略垂直に配向している垂直偏光膜と、直線偏光の振動方向を略９０度回転させる旋光子を含むπ／２旋光膜と、を有する光学フィルムである。該垂直偏光膜の両面にπ／２旋光膜を有する態様、更に反射防止膜を有する態様、などが好ましい。 （もっと読む）

【課題】本発明にあっては、機械強度と柔軟性を併せ持つ反射防止フィルムを提供することを課題とする。
【解決手段】層厚ｔ_１の透明基材フィルムの少なくとも一方の面に、該透明基材フィルム側から順に層厚ｔ_２のハードコート層と、反射防止積層体とを備える反射防止フィルムであって、前記反射防止積層体が高屈折率薄膜層と低屈折率薄膜層を交互に１層以上積層したものであり、且つ、前記反射防止フィルムの反射防止積層体形成面が外側になるように円柱形状の棒に沿って１８０度曲げたときに反射防止フィルム表面にクラックが入る前記棒の最大半径ｒと前記ｔ_１及び前記ｔ_２が（式１）０．０２３＜（ｔ_１＋ｔ_２）／ｒ＜０．０６０を満たすことを特徴とする反射防止フィルムとした。 （もっと読む）

【課題】外観不良の発生しにくい反射防止フィルムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明にあっては、透明基材フィルムの少なくとも一方の面上に、ハードコート層と、ドライコーティング法によって形成される反射防止層とを備える反射防止フィルムであって、前記反射防止フィルムを１ｍｍ／ｍｉｎ以下の一定の速度で引っ張った際の反射防止層にクラックが発生するまでの歪みが０．６５％以上１．１０％以下であることを特徴とする反射防止フィルムとした。また、前記反射防止フィルムを１ｍｍ／ｍｉｎ以下の一定の速度で引っ張った際のハードコート層にクラックが発生するまでの歪みが２．５％以上であることを特徴とする請求項１記載の反射防止フィルムとした。 （もっと読む）

【課題】外側面が高度の耐摩耗性を有し、内側面が耐候性に優れた透明樹脂積層体を提供する。また、生産性に優れ、製造時のＶＯＣ（揮発性有機化合物）排出量低減に効果的な透明樹脂積層体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】透明樹脂積層体を、透明樹脂基材と、該透明樹脂基材上の少なくとも片面に形成される、ＵＶ（紫外線）吸収剤を含むアクリル樹脂中間層と、該アクリル樹脂中間層上に形成されるシリカ膜層と、を有する構成とし、アクリル樹脂中間層がＵＶ（紫外線）硬化により形成され、シリカ膜層がプラズマＣＶＤにより形成する。 （もっと読む）

【課題】多層膜形成時に、より高精度に膜厚制御可能な成膜方法を提供すること。
【解決手段】基材上に多層膜を形成する方法であって、
分光特性測定部とその周辺に存在する複数の膜厚測定部とを有し、これらの中心間距離が１００ｍｍ以下である、１枚のモニタ基板を、基材近傍に配置する工程、
膜原料源に対し、複数の膜厚測定部のうちの１つを露出させ、残りを遮蔽する工程、
所定の厚みの層が形成されるように基材上に膜原料を堆積させ、且つ、分光特性測定部上および露出した膜厚測定部上に膜原料を堆積させる工程、
露出した膜厚測定部上の層の光学膜厚を測定する工程、
分光特性測定部上の膜の分光特性を測定する工程、
膜原料源に対し、層が形成された膜厚測定部を遮蔽し、層が未形成の膜厚測定部を露出させる工程、および
層厚の設定値と光学膜厚および／または分光特性の測定値とから、残りの層の厚みを再設定する工程、
を含むことを特徴とする成膜方法。 （もっと読む）

【課題】波長約１９３ｎｍの光及び屈折率１．６４±０．０１の液体に使用され、屈折率が２．１０乃至２．２０のＬｕＡＧ基板を硝材とし、特性に優れた反射防止膜を有する光学素子、光学系、及び、露光装置を提供する。
【解決手段】設計中心波長λが約１９３ｎｍの光Ｂに使用され、屈折率１．６４±０．０１を有する液体Ｅと接触可能であり、屈折率２．１４±０．０１を有するＬｕＡＧ基板から構成される基材１２と、当該基材に形成される反射防止膜２０とを有する光学素子１０であって、前記反射防止膜２０は、基材１２上に形成され、屈折率１．８７乃至１．９２を有するＡｌ_２Ｏ_３を含み、光学膜厚が０．２１λ乃至０．３４λである高屈折率層２２と、高屈折率層２２よりも液体Ｅ側にあり、屈折率が液体Ｅの屈折率よりも大きく１．７８以下であるＡｌ_２Ｏ_３を含み、光学膜厚が０．２９λ乃至０．５２λである低屈折率層２４と、を有することを特徴とする光学素子１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】緻密かつ耐擦傷性機械特性が強く、さらに透湿度が高く、高湿熱耐久性の高い反射防止フィルム及びそれを用いた偏光板を提供すること。
【解決手段】透明基材フィルムと、透明基材フィルムの一方の面上に形成されたハードコート層と、ハードコート層上に形成された反射防止層と、を備える反射防止フィルムであって、反射防止層は高屈折材料層と低屈折率層とを交互に積層させた４層以上の積層体であり、反射防止層の最外層の薄膜が低屈折率層で、低屈折率層の総膜厚が９０ｎｍ以上１３０ｎｍ以下であり、反射防止層の最外層の算術平均粗さＲａが１．５ｎｍ以上３．０ｎｍ以下であることを特徴とする反射防止フィルム。 （もっと読む）