【課題】薄くされたチップを積層して半導体装置を製造する際に、処理対象の上面に存在する異物によって積層させるチップが割れてしまうことを防ぐ異物検査装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、異物検査装置２０は、下地検査部２２１および下地検査部２２１を支持する支持部２２２を有する検知ヘッド２２と、下地データ格納部２３３、検査制御部２３２および異物存在判定部２３４を有する制御部２３と、を備える。下地データ格納部２３３は、配線基板８０または配線基板８０の最上層のチップの配置位置を示す下地配置領域を含む下地データを格納する。検査制御部２３２は、検知ヘッド２２を検査対象上の所定の位置に接触させながら所定の力で押圧するように制御する。異物存在判定部２３４は、下地検査部２２１から取得した検査データから、下地データを参照して下地配置領域のうち周囲よりも圧力が高まっている領域を異物存在領域として抽出する。 （もっと読む）

【課題】フォトマスク上に付着した異物を、微小なパターンの破壊を抑制しつつ異物を除去し、かつ洗浄による新たな異物を付着させない洗浄方法を提供すること。
【解決手段】フォトマスクのパターン表面上に付着した異物を除去する洗浄方法であって、異物付着面に、液体状の異物除去材料を塗布して異物を囲む膜を形成する工程と、液体状の異物除去材料を固体化した膜とする工程と、固体化した膜を異物とともに除去する異物除去工程と、異物除去工程後にフォトマスク上に残存する異物除去材料に触媒を接触させる工程と、残存する異物除去材料を触媒により分解、除去する工程と、を有することを特徴とする、フォトマスクの洗浄方法である。 （もっと読む）

【課題】粘着体の清掃作業を効率よく実施することができるゴミ取り装置を提供する。
【解決手段】枚葉紙１に接触して枚葉紙１からゴミを除去するゴム胴２０３と、ゴム胴２０３に対接するように回転可能に支持されて表面に粘着性を有する粘着ローラ２１０とを備えているゴミ取り装置２００において、ゴム胴２０３に対して粘着ローラ２１０を対接離反方向へ移動させるエアシリンダ２１３等と、粘着ローラ２１０を駆動回転させる駆動モータ２２８等と、粘着ローラ２１０がゴム胴２０３から離反しているときに粘着ローラ２１０の表面に当接する洗浄帯２４２等と、粘着ローラ２１０がゴム胴２０３に対して離反しているときに駆動モータ２２８の駆動力で粘着ローラ２１０を駆動回転させる一方、粘着ローラ２１０がゴム胴２０３に対して対接しているときにゴム胴２０３の回転に伴って粘着ローラ２１０を連れ回させるワンウェイクラッチ２３１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】フィルム上に付着している異物を効率よく除去することができる方法を提供することである。
【解決手段】非接触型異物除去装置１５と、接触型異物除去装置１６とを含む異物除去領域１０，１１に、フィルム１を非接触型異物除去装置１５および接触型異物除去装置１６の順に通過させ、フィルム１上に付着している異物を除去する方法である。異物除去領域１０，１１は、非接触型異物除去装置１５よりもフィルム１の搬送方向上流側に位置している除電装置１７ａ，１７ｂを、さらに含む。 （もっと読む）

【課題】円筒体の外周面に付着している塵埃をその搬送過程で確実に除去する。
【解決手段】円筒体１を連続的に一定方向に移動させつつ、その円筒体１の外周面を清浄にする円筒体の外面クリーニング装置において、外周面が粘着面とされかつ水平軸線を中心に回転させられる粘着ロール２と、前記円筒体１をその中心軸線が水平となるように自重で落下させるとともにその円筒体１を前記粘着ロール２の外周面に沿って移動するようにガイドする落下シュート６とを備えている。粘着ロール２の外周面が撓まないので、円筒体１の外周面に確実に接触してその付着物を除去でき、また円筒体１は自重落下させて移動させるので、構成を簡素化できる。 （もっと読む）

【課題】 表面に付着したゴミの清掃が容易なロールを提供する。
【解決手段】
走行するシートの表面に回転しながら接触するロールであって、棒状の軸と、円筒形状の円筒部と、を備え、前記軸は、前記円筒部の長手方向両端面の中心を貫いて配置され、前記円筒部は、前記軸を回転中心として回転可能であり、前記シート上において製品としての機能を発揮しない部分に接触する前記円筒部表面に、前記シートに転写するための互いに異なる複数の文字、数字、図形、記号のいずれかの形状である記号形状が形成されているロール。 （もっと読む）

【課題】 パターン部材上に固形物が残存することのない塵の除去を可能とするパターン部材洗浄方法及び洗浄装置を提供すること。
【解決手段】 基板上にパターンが形成されたパターン部材に付着した塵を除去するパターン部材洗浄方法であって、前記パターン部材のパターン形成面に、冷却により固化可能な液状塵除去材料を付与する工程、前記液状塵除去材料を冷却し、固体又はゲル状の塵除去層を形成する工程、及び前記塵除去層を、前記パターン部材に付着した塵とともに除去する工程を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安価な構成で吸着ノズルの清掃を行いながら部品実装作業を実行することができる部品実装装置及び部品実装方法を提供することを目的とする。
【解決手段】フィーダベース１２のスロット１２ａに着脱自在に装着され、他のスロット１２ａに装着されたテープフィーダ１３の部品供給口１３ｐに対応する箇所に粘着面２３ａを上方に向けた粘着テープ２３が貼り付けられたノズル清掃具１４を備え、吸着ノズル１７を粘着テープ２３に押し当てて吸着ノズル１７に付着した異物を除去する （もっと読む）

【課題】高度な表面製が要求されるガラス板の間に挿入されるガラス用合紙に関し、特に、合紙からガラス板へ転写される汚れの低減、及びガラス板に付着した汚れの洗浄による除去効果の向上を図ることができるガラス用合紙を提供する。
【解決手段】古紙を原料として抄造された合紙本体の表面に、フッ素コーティング皮膜を形成した。また、前記ガラス用合紙を、複数枚重ね合わせた各ガラス板の間に挿入して、ガラス用合紙からガラス板へ転写される不純物の汚れを、フッ素を介在させた状態でガラス板表面に付着させ、その後、水で洗浄処理した際に前記汚れをフッ素の疎水性を利用してガラス板表面から洗い流すようにしたガラス板に付着した汚れの除去方法。 （もっと読む）

【課題】長尺フィルムに付着している異物をフィルムを高速で搬送しながら除去する高い異物除去能力を有するフィルムクリーニング装置を提供する。
【解決手段】フィルムを搬送する搬送ローラーと、搬送ローラーにフィルムを接触させるフィルム接触ローラーＡと、搬送ローラーにフィルムを接触させながら搬送し、フィルム表面に付着した異物を転写・保持する異物除去ベルトと、異物除去ベルトを搬送ローラーに巻きつけるように支持する支持ローラーＡと、異物除去ベルトを搬送ローラーに押圧する押さえローラーＡと、異物除去ベルトに転写された異物を転写・保持する粘着ローラーと、異物除去ベルトを粘着ローラーに巻きつけるように支持する支持ローラーＢと、異物除去ベルトを粘着ローラーに押圧する押さえローラーＢと、粘着ローラーに転写された異物を転写・保持する強粘着ローラーと、を備えたことを特徴とするフィルムクリーニング装置。 （もっと読む）

【課題】搬送中のウェブ基材に付着している異物を、従来よりも一層のクリーン度に確実に除去することのできる微小異物除去ロールを提供する。
【解決手段】光学機能性フィルム等の柔軟性を有するウェブ基材に付着した微小異物の除去ロールであって、搬送されるウェブ基材の表面に接しながらウェブ基材の搬送方向に回転し、且つウェブ基材の表面に接する外周に網目状の構造を有する外刃ロールと、ダンパーを有し前記外刃ロールの内周に接して配置された内刃と、外刃ロールの内部のエアーをロールの外部に排気する手段と、外刃ロールを加温する手段と、を有することを特徴とする微小異物除去ロール。 （もっと読む）

【課題】押さえローラが一方の面に接触する薄板状の被クリーニング材の他方の面を、部品などが設けられていても、安定して支持する。
【解決手段】プリント基板Ｓの、クリーニングローラ４が設けられている側とは反対側に、基板Ｓを支持する単数若しくは複数の、円板状の下支えローラ１１が、基板搬送方向に直交する回転軸１４回りに回転可能に設けられている。下支えローラ１１は、外周面に基板Ｓに接触する弾性リング１３を有する。下支えローラ１１は、支持台１６に上下方向に変位可能に、かつ基板Ｓ側にコイルスプリング２１によって弾性的に付勢されるように支持されている。 （もっと読む）

【課題】基板の表面の異物をより確実に除去できる基板クリーニング装置を提供する。
【解決手段】基板クリーニング装置１は、基板１１を往復移動可能な基板搬送部１２と、基板搬送部１２により移動される基板１１の表面の異物を除去するローラユニット１３と、基板搬送部１２及びローラユニット１３を制御するＰＬＣ１４と、を備える。ＰＬＣ１４は、基板１１を前進又は後進させるように基板搬送部１２を制御して、基板１１を、クリーニング回数に応じた移動回数分ローラユニット１３を通過させる。基板搬送部１２は、基板１１を搬送するベルト２１ａ，２１ｂと、ベルト２１ａ，２１ｂを支持するプーリー２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄと、プーリー２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄを回転させるリバーシブルモータ２３と、を有し、プーリー２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄの回転方向が切り換え可能である。 （もっと読む）

【課題】衣類乾燥機のフィルターに堆積する多量のリントを、簡単に効率良く、且、衛生的に捕集し除去することのできるリント清掃用器具を提供。
【解決手段】ハンドル３の先端に回転自在にローラー２を装着し、粘着剤を塗布してリントを捕集するための有底のリント捕集用袋４を一端からスライドして挿着するための柔軟性を有する挿着部２ｂをローラー２の外周に設けることを特徴とするリント清掃用器具１。 （もっと読む）

【課題】表面に塵埃が付着したときには、洗浄した上で、繰り返し再使用することができるようにしたエアシャワー室用の塵埃吸着シートを提供する。
【解決手段】自己粘着性を有する洗浄可能なシート本体１の裏面１ｂには裏打ちシート９を該シート本体における裏面の一部を露出部１１として露出させた状態で取り付け、該シート本体の裏面における該露出部により該シート本体をエアシャワー室内の壁面１３に着脱自在に粘着させ、該エアシャワー室内に舞い上がった塵埃を該シート本体の表面に吸着させるようにしたことを特徴とする、エアシャワー室用の塵埃吸着シート。 （もっと読む）

【課題】薄膜の表面に付着された塵埃を簡単な構成で確実に剥離して除去できる薄膜表面の塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】薄膜の走行を案内する複数のローラと、走行途中の薄膜の表面に付着した塵埃を除去する塵埃除去部を備えた薄膜表面の塵埃除去装置において、前記塵埃除去部は前記ローラの間を走行する薄膜を伸縮させる伸縮付与手段と、伸縮によって薄膜から剥離した塵埃を捕捉する捕捉手段を備え、伸縮付与手段は、薄膜の走行を案内する一部のローラを振動させて薄膜を伸縮させる振動子を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マイクロレンズ表面等の塵埃除去対象物の凹凸面に付着したダストを確実に捕捉して除去することが可能で、凹凸面上に樹脂やその他の成分が転着することのない塵埃除去材及びこれを用いた塵埃除去方法を提供する。
【解決手段】塵埃除去材１は、支持体であるプラスチックフィルム２の表面にホットメルト層３が形成され、ホットメルト層３を塵埃除去対象物の凹凸面１１に熱圧着した後、冷却することで凹凸面に付着した塵埃を除去する。ホットメルト層３は、軟化温度が１１０〜１７０℃の範囲にある熱可塑性樹脂、又は軟化温度が異なる複数種類の熱可塑性樹脂を含有する熱可塑性樹脂層から形成されている。塵埃の除去に際しては、熱可塑性樹脂の軟化温度以下の温度で塵埃除去材１のホットメルト層３を凹凸面１１に熱圧着させた後、冷却し、塵埃除去材１を凹凸面１１から剥離する。 （もっと読む）

【課題】被処理物から除去した塵埃を粘着捕集できるようにした除電除塵装置を提供すること。
【解決手段】内部に被処理物（ｗ）の作業処理空間（１）が形成されたボックス（２）と、このボックス（２）の作業処理空間（１）内に入れられた被処理物（ｗ）に付着の塵埃を除電、除去するイオン化エアを噴出するイオナイザー（６）と、除去された塵埃を捕集するために作業処理空間（１）内に配置された集塵粘着板（７Ａ，７Ｂ）とを備えており、この集塵粘着板（７Ａ，７Ｂ）には、粘着表面から背面へイオン化エアを流通させる貫通孔（７ａ）を多数形成している。 （もっと読む）

【課題】検査対象基板上の異物を確実に除去することができる基板検査装置の提供。
【解決手段】基板検査装置１は、マスク１１６、複数の粘着性粒子が離脱可能に設けられた剥離シート２０、および粘着部材２２が装着されるマスクホルダ１１７と、マスクホルダ１１７に対してマニピュレータ（例えばナノピンセット１０）と検出部４１とが設けられた検出ヘッド１１３を相対移動させる移動手段である鉛直方向駆動機構１２３および水平方向駆動機構１２４と、制御装置２００を備えている。制御装置２００は、剥離シート２０に設けられた複数の微小吸着粒子のいずれか一つをマニピュレータで保持して離脱させ、微小吸着粒子を保持したマニピュレータを異物の位置へ移動し、異物を粘着性粒子に付着させてマスク１１６から除去し、異物が付着した微小吸着粒子を粘着部材２２に付着させて移送する。 （もっと読む）