【課題】異物の位置、大きさを正確に捉え、前記異物を的確かつ容易に除去することができる異物除去装置および異物除去方法を提供することを目的とする。
【解決手段】一端２７ａ側にＡＦＭ探針２８を有し、他端２７ｂ側にピエゾ素子２５を有するカンチレバー２７を備え、前記ピエゾ素子２５に電圧を印加することにより前記カンチレバー２７を動かして前記ＡＦＭ探針２８を走査させる異物除去装置１１であって、前記ＡＦＭ探針２８と試料３５の表面３５ｃとの間の距離をフィードバック制御しながら、前記ＡＦＭ探針２８で表面３５ｃを走査して、表面３５ｃ上に存在する異物の位置、形状および大きさを把握した後に、前記ＡＦＭ探針２８を前記異物に接触させて動かすことにより、前記試料３５の表面３５ｃから前記異物を除去する異物除去装置１１を用いることによって、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、浴室洗浄装置専用の人体検知センサーを設けることなく、浴室内への水の吐水状態を検知することで、間接的に入浴者の有無を検知して、浴室洗浄装置の運転を制御することが可能な浴室洗浄ユニットを提供する。
【解決手段】浴室内を洗浄または殺菌するための水を散水する散水部と、前記散水部とは異なる吐水部から浴室内に水が吐水されていることを検知する吐水検知手段と、前記散水部からの散水および止水を制御する制御装置と、を備えた浴室洗浄ユニットであって、前記制御装置は、前記吐水検知手段によって浴室内に水が吐水されていることを検知している際には、前記散水部から散水されることを禁止するように制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ダイシングフレームｗに付着した糊剤などの汚染物質を、溶剤を使用することなく、高品質且つ能率的にダイシングフレームｗから分離させる。
【解決手段】メラミンスポンジ材からなるロール体１１ａをこれの周面の中心線（中心軸１２）回りへ回転させ、該回転中にダイシングフレームｗの被洗浄面に注水しながら該ロール体１１ａの周面をダイシングフレームｗの上下面である被処理面に押し当てるように実施するものである。 （もっと読む）

【課題】
脱着可能な筒形濾過器の外側面を清掃する作業を時間の面、除塵状態の面で効率的にすることである。また環境への悪影響を低減することも考慮した。
【解決手段】
装置上段に位置する第１の閉塞空間と、同閉塞空間内に設置される複数の筒形濾過器を弾性体を介して固定する固定手段と、前記筒形濾過器をモータの作動により所定の回転速度で回転させる回転手段と、前記筒形濾過器の外側面全体に圧搾空気を当てるような楕円形状孔ノズルを取付けた圧搾空気噴出手段と、前記有孔底板と当接し下方にいくほど幅狭となり装置の中段に位置する第２の閉塞空間と、同閉塞空間と当接し、直径が異なり縦列に配置した複数のファンと、当該ファンよりも下部に位置する負圧発生源と、当該縦列に配置したファン間および当該ファンと負圧発生源間を接続する複数の逆円錐形状をした導管とで構成された吸引手段とを有する脱着可能な筒形濾過器の清掃装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】露光前のウェハの裏面全面を効率よく洗浄する。
【解決手段】処理容器１１０の一の側面には、搬送機構１０１の搬送アーム１２０に保持されたウェハＷを搬入出させる搬入出口１１１が形成されている。処理容器１１０内には、搬送アーム１２０に保持されたウェハＷの裏面の付着物を静電気によって捕集するために帯電可能な帯電部材１３０と、当該ウェハＷの裏面に気体を噴射できる気体噴射ノズル１４０が設けられている。処理容器１１０の底面であって、帯電部材１３０の周囲には、処理容器１１０内の雰囲気を排気する排気口１５０が形成されている。処理容器１１０内であって、搬入出口１１１側の内側面には、ウェハＷの裏面の付着物を検査する検査機構１６０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ヘッドの洗浄及び検査を効率的に行うことを可能とするヘッド検査洗浄装置およびヘッド検査洗浄方法を提供する。
【解決手段】ヘッド検査洗浄装置１は、溶剤供給部５からインクジェットヘッド３に圧力を印加した溶剤２０を供給し、インクジェットヘッド３のノズル１１から溶剤２０を線状に吐出させてノズル１１の洗浄を行うと共に、投影検査部６により溶剤２０の投影画像の画像解析を行って溶剤２０の飛翔状態を測定し、インクジェットヘッド３の良否を判定する。ヘッド検査洗浄装置１は、インクの溶剤を用いてヘッドの洗浄と検査を同時に行うことで、洗浄工程及び検査工程の簡略化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】水面検出機能が働かない状態での水の吸い込みを防ぎ、フィルタが水に浸って目詰まりを起こすという不具合の発生を防ぐことができる集塵機を提供すること。
【解決手段】ＯＮ／ＯＦＦスイッチ１７がＯＮ状態のときに吸気装置を運転状態とする制御回路と、一対の電極２７ａ，２７ｂ間に流れる電流が閾値を超えたときに吸気装置を停止状態とする水面検出回路（水面検出手段）２８を有する集塵機において、前記一対の電極２７ａ，２７ｂを少なくともフィルタの底か底より低い位置に先端があるようにフィルタハウジングに設け、メインモータベースに制御回路と接続された一対の接触子２５ａ，２５ｂを設け、該一対の接触子２５ａ，２５ｂと一対の電極２７ａ，２７ｂに接続された接触子２６ａ，２６ｂとを接触させ、予め定めた電流より小さな電流が一対の電極２７ａ，２７ｂ間に流れるよう該電極２７ａ，２７ｂ間に抵抗器３３を接続する。 （もっと読む）

【課題】水面検出用電極で静電気の放電があっても水面検出回路が故障することがない集塵機を提供すること。
【解決手段】粉塵を吸引する吸気装置と、塵埃を収納するタンクと、メインモータベースとタンクの間に設けられて塵埃と空気とを分離するフィルタ装置と、吸気装置の運転・停止を指示するＯＮ／ＯＦＦスイッチ１７と、該ＯＮ／ＯＦＦスイッチ１７がＯＮ状態のときに吸気装置を運転状態とする手段を備えたＯＮ／ＯＦＦスイッチ検出回路（制御回路）１８と、フィイルタ装置の下部に設けられた一対の電極２７ａ，２７ｂ間に流れる電流が予め定めた閾値を超えたときに吸気装置を停止状態とする水面検出回路２８を有する集塵機において、前記一対の電極２７ａ，２７ｂ間と、プラス側電極２７ａとプラス電源との間及びマイナス電極２７ｂとマイナス電源との間にコンデンサ３３，３４，３５をそれぞれ接続する。 （もっと読む）

【課題】車両に付着した粉塵をガレージにおいて除去する。
【解決手段】本発明のガレージ１０は、ガレージ１０に入庫された車両又はガレージ１０に入庫途中の車両に向けて気体を噴出する噴出ノズル１６と、ガレージ１０内の空気を吸引する排出ユニット１８と、噴出ノズル１６から噴出される気体の車両に対する吹付位置を調整するためのアクチュエータ５２とを備える。この構成によれば、噴出ノズル１６から噴出された気体によって車両から粉塵を吹き飛ばして除去することができる。しかも、このときには、アクチュエータ５２によって噴出ノズル１６のスライド位置及び取付角度が変更されるので、粉塵をより一層効果的に車両から吹き飛ばして除去することができる。また、排出ユニット１８によってガレージ１０内の粉塵を外部に排出することで、車両から吹き飛ばされた粉塵が再びガレージ１０内において車両に付着することを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】廃液処理の問題がなく設備費などを抑えながら、清浄効率や効果に優れた表面清浄化方法及び装置を提供する。
【解決手段】水中燃焼による表面清浄化方法であり、被洗浄物を保持しかつ被洗浄物表面を冠水ないしは水中に浸すとともに、燃焼炎を被洗浄物表面に該表面上の水を排除しながら照射し、該燃焼炎及び該燃焼炎にて発生する活性種に被洗浄物表面を曝すことにより該被洗浄物表面の汚染物を除去するようにした。また、前記燃焼炎は、保炎器を介して前記被洗浄物側へ照射されるとともに、前記被洗浄物が所定温度となるよう制御されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】超臨界流体が基板洗浄空間内に形成する渦の中心位置を変更することができる基板洗浄装置及び基板洗浄方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、洗浄空間Ｓを規定する内壁２５に対して所定の角度αで当該洗浄空間Ｓ内に超臨界流体を吐出させる３つ以上の流体吐出部２１と、流体吐出部２１にそれぞれ超臨界流体を供給するための供給流路と、供給流路から分流されて各流体吐出部２１から吐出される超臨界流体の流量を制御する吐出流量制御手段３０と、を備え、吐出流量制御手段３０は、一部の流体吐出部２１から第１の流量で超臨界流体が吐出されると共にそれ以外の流体吐出部２１から第１の流量よりも小流量の第２の流量で超臨界流体が吐出され、且つ、第１の流量が分流される流体吐出部２１が順次移行するように、供給流路１１における超臨界流体の分流の流量を調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】印刷物の品質を向上させることができると共にブランケットの洗浄作業を軽減することができる粉塵除去装置を提供する。
【解決手段】粉塵除去装置１は、任意の隣接する２本のガイドロール間６，６で、走行するウェブ８に対しパルス化された圧縮空気を噴射してこのガイドロール間６，６でウェブ８を振動させることによりウェブ８から粉塵を浮き上がらせるウェブ振動手段２と、ガイドロール６よりも下流側に位置するガイドロール群のうちの少なくとも１つのガイドロール６でウェブ８とそのガイドロール６とが当接する当接箇所に向けて圧縮空気を噴射することによりウェブ振動手段２により浮き上がらせた粉塵を分離する圧縮空気噴射手段３と、圧縮空気噴射手段３によりウェブ８から分離された粉塵を吸引する粉塵吸引手段４と、を備えている。 （もっと読む）

検査流体及び／又は点検流体をそれぞれの容器に導入し、容器用の輸送路に配置された検査ステーションにより、容器の内部空間で生成され得るガス状及び／又は蒸気状の反応生成物を分析することによって、瓶又は同様の容器を検査するための装置において、輸送路の輸送方向で、前後に並べて、少なくともガス状及び／又は蒸気状の発生生成物を分析するための少なくとも２つの検査ステーションが設けられる。
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【課題】水処理設備を要することなく、かつブラストを効率よく行うことができる、特に除染作業に好適なブラスト装置及びその運転方法を提供する。
【解決手段】本発明のブラスト装置１０は、ホース２６の基端部側で炭酸カルシウム粉体と液体とをブラスト媒体供給装置３０によってミキシングし、ミキシングしたブラスト媒体と液体との混合媒体２０を、圧縮エアでホース２６中を空気輸送させ、ホース２６の先端のノズル２４から素地面１４に向けて投射する。これにより、混合媒体２０は、ホース２６の基端部から加速されてノズル２４から素地面１４に向けて高速で投射される。 （もっと読む）

【課題】被除塵体に付着した塵埃を確実に除去することのできる除塵装置及び除塵方法を提供すること。
【解決手段】外周面が接着力を有するピックアップローラ１２と、このピックアップローラ１２に接着した塵埃を除去する転着ローラ１３と、当該転着ローラ１３を介してピックアップローラ１２を回転させる駆動手段１５と、ピックアップローラ１２の両側に配置された第１及び第２の除電手段１６、１７とを備えて防塵装置１０が構成されている。被除塵体となるテーブルＴは第１の除電手段１６により除電された後にピックアップローラ１２により塵埃が除去され、その後に、第２の除電手段１７により更に除電される。 （もっと読む）

【課題】
一台の小型装置に検査機能とかき取り・集塵機能および消毒剤塗布機能を集約した効率的な作業ができる住宅用換気ダクト清掃手段を提供する。
【解決手段】
ダクトP内面に付着・堆積した塵埃Dなどのかき取りを行うブラシ１A１と剥離した塵埃を吸引する孔１A５を同一の回転体に回転軸に垂直な面上で角度をずらして配置し、ダクト内面の一箇所からみるとかき取りと吸引が交互に繰り返すダクト清掃ヘッド１Aを集塵機の吸引ホースの先端に接続した清掃器具。 （もっと読む）

【課題】基板の被洗浄表面上に付着あるいは析出した種類の異なる異物を基板の一度の相対移動工程中に確実に除去して洗浄できる基板洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】基板１の被洗浄表面に向けて大気圧プラズマの二次プラズマを吹き出すプラズマ洗浄手段５と、プラズマ洗浄手段５と並列して配設され、テープ状の洗浄クロス１２にて基板１の被洗浄表面を拭き取り洗浄する拭取洗浄手段４と、基板１の被洗浄表面をプラズマ洗浄手段５と拭取洗浄手段４の並列方向に相対移動させる移動手段３とを備え、拭取洗浄手段４は洗浄クロス１２にオゾン水を含浸させる手段を有している。 （もっと読む）

【課題】ブラシの交換時期を適切に判断することができる、基板処理装置を提供する。
【解決手段】ウエハＷの裏面の周縁領域１４および周端面１５に対する裏面洗浄処理時には、ブラシ１６は、裏面処理時位置に配置され、スピンチャック３に保持されたウエハＷの周縁部に対して押し込まれる。そして、その状態が所定時間にわたって維持された後、ブラシ１６は、ウエハＷから離間される。一方、ブラシに加わる荷重が圧力センサにより検出され、その検出される荷重に基づいて、制御部により、ブラシ１６が裏面側処理時位置に配置されたか否かが判断される。そして、ブラシ１６が裏面側処理時位置に配置されたと判断された時点からブラシ１６がウエハＷからの離間のために移動し始めるまでの時間が計測され、その時間がメモリに累積して記憶される。 （もっと読む）

【課題】
配管を洗浄する装置において、超音波を照射することによって、効率良い配管洗浄装置を提供する。
【解決手段】
便器に洗浄水を供給するための給水管に設置された開閉弁の開閉状態を検知する検知部と、前記便器下流の横引き配管の底部に設置される超音波振動子と、前記超音波振動子を駆動する超音波発振部と、前記超音波振動子の駆動を制御する制御部と、タイマーとを有し、前記開閉弁の閉止を検知して所定時間経過後に前記超音波振動子を所定時間駆動し、前記開閉弁が開状態であるときは前記超音波振動子の駆動を停止することにより、配管が低水位の時に超音波の照射が可能となり、効率良く配管を洗浄できる。 （もっと読む）

【課題】ランプ保護管及び照度計保護管の洗浄装置を安定に動作させる。
【解決手段】被処理水が流通される円筒状の処理槽の円筒軸に対して同心円状に紫外線ランプ内蔵のランプ保護管を、処理槽の円筒軸上に紫外線照度計内蔵の照度計保護管を配置する。各保護管の外表面の汚れを除去する洗浄装置は、洗浄ユニット１３と、照度計保護管に対して平行に、かつ干渉しない位置に回転自由に支持され洗浄ユニットを円筒軸方向に移動させる送り螺子４６を有する。洗浄ユニットは、各保護管がそれぞれ挿通される複数の保護管貫通穴４５と送り螺子が挿通される送り螺子貫通穴４７とを有する洗浄フレーム３９を、円筒軸方向に間隔を離して複数配置して連結する。各保護管貫通穴に各保護管のそれぞれの外表面に接触する柔軟性の除去部材４９を設け、複数の送り螺子貫通穴の１つに、送り螺子に螺合する送りナット５１を設ける。 （もっと読む）