【課題】Ｘ線センサのＸ線入射面に付着している又は付着し得る、水滴や塵等の環境を、生産ラインを長時間停止させることなく除去することが可能な、Ｘ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、検査対象である物品５０にＸ線を照射し、物品を透過したＸ線を検出することにより、物品５０に対する検査を実行するＸ線検査装置であって、Ｘ線照射部４と、ラインセンサ６を有するＸ線検出部５と、ラインセンサ６に近接して配置され、ラインセンサ６のＸ線入射面６Ａに付着している又は付着し得る環境を、ラインセンサ６の長手方向に関して同時に除去するスクレパー１０とを備える。 （もっと読む）

本発明は、ダクト清掃用遠隔制御ロボットに関し、遠隔制御によりダクトの内部で移動するカートと、前記カートの前方に延びるように前記カートに回動可能に固定された第１リンクと、前記第１リンクを前記カートに対して回転駆動する第１駆動部と、前記第１リンクに回動可能に連結固定された第２リンクと、前記第２リンクを前記第１リンクに対して回転駆動する第２駆動部と、前記第２リンクの周辺に位置して周辺の埃をダクトの表面から分離する清掃ユニットとを含み、ダクト内部の天井面及び底面を同時に清掃できるだけでなく、清掃中にダクトの高さが変わっても中断することなく継続して清掃できるようにすることにより、ダクト内部の清掃時間を短縮できると共に、よりきれいに清掃できるようにする、ダクト清掃用遠隔制御ロボット及びこれを用いた遠隔制御ロボット清掃システムを提供する。
（もっと読む）

【課題】ランプの通算点灯時間に応じて、適切な初期点灯電力で点灯させることができる紫外線照射装置及び該装置の制御方法を提供すること。
【解決手段】エキシマランプ１に設けられたＩＣタグ１ａに、該ランプの点灯時間の積算値である通算点灯時間、点灯履歴情報などの情報に加え、初期電圧規定値、初期周波数規定値、定常電圧規定値、定常周波数規定値等の該ランプに固有の電気的特性値を記録しておく。装置を起動する際、制御部４は、ＩＣタグ１ａから上記情報を読み取り、ランプの通算点灯時間と該ランプに固有の電気的特性値に基づき、初期点灯時にランプに印加する電圧、周波数などを設定してランプを初期点灯させる。初期点灯後、定常点灯に移行させ、ランプ１へ印加する電力の定電力制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】長尺の円筒形状の部品を自動的に洗浄可能であり、部品にダメージを与えることなく洗浄可能な非研磨性洗浄装置を提供する。
【解決手段】ブラスト剤を洗浄対象となる部品に吹き付けて上記部品に付着した汚れを除去する洗浄機と、上記部品を上記洗浄機へ出し入れするために、上記洗浄機の左右に配置された２台の送り装置から構成し、上記送り装置は、２列に配置された、水平方向及び垂直方向の角度が可変である複数のローラーと、上記ローラーを回転させる駆動ドラムと、上記ローラーと上記駆動ドラムを制御するためのコントローラとを備え、上記コントローラで、上記ローラーの回転速度、および上記ローラーの１回転あたりに上記部品を上記洗浄機に対して移動させる距離を示す送り速度を変化させる。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板の厚さにばらつきがあっても、電極が設けられた側辺部を確実に清掃できるようにした清掃装置を提供することにある。
【解決手段】基板の側辺部の上下面を清掃する清掃装置であって、
上面に上記基板が供給載置されこの基板を位置決め駆動する載置テーブルと、供給リールから繰り出されて巻き取りリールに巻き取られることで載置テーブルによって位置決めされた基板の側辺部に沿って走行するテープ状の清掃部材１５と、清掃部材に対向して配置された押付けローラ２２ａ，２２ｂと、押付けローラを駆動して上記清掃部材を上記基板の側辺部に押付ける上下シリンダ２３ａ，２３ｂと、上下シリンダによって押付けローラが清掃部材を基板に押付けたときに清掃部材に加えられた加圧力を検出するロードセル４３ａ，４３ｂと、ロードセルの検出に基いて上下シリンダが押付けローラに加える加圧力が一定となるよう制御する電空レギュレータ４４ａ，４４ｂ及び制御装置４５を具備する。 （もっと読む）

【課題】摩耗粉を除去して電極リング間の絶縁抵抗の劣化を防止し、摩耗粉の発生量を人がモニタ可能なスリップリングを提供する。
【解決手段】外筒体と、この外筒体内に設けられ、それぞれ絶縁体１４を介して外筒体の軸方向に積層配置された複数段の電極リング１２、１３から成り、この軸周りに回転駆動される電極リング部４と、この電極リング部４に圧接保持された導電性のブラシ５と、電極リング部４の胴部外周部の近傍に吸い込み口６，９を有し、このブラシ５と電極リング部４との摺動によって発生する摩耗粉をこれら吸い込み口６，９より吸引して除去する摩耗粉吸引除去手段と、を備え、この摩耗粉吸引除去手段は、電極リング部４が回転を開始したときに吸引動作を行う。 （もっと読む）

【課題】ユーザに異常状態を速やかに気づかせることができ異常解消のための対策を速やかに実行することができる除電除塵装置を提供する。
【解決手段】印加する放電電圧に異常が生じたときに、その異常を報知する照光ランプを、ノズルＮから噴射したイオン化した空気を除電除塵対象物Ｗに吹き付けるとき、その除電除塵対象物Ｗの吹き付け場所Ｚにその可視光線Ｌｖが照射されるように、本体ケースの胴部１１ａに配置した。 （もっと読む）

【課題】使用停止後にイオン化した空気が滞留することがなく、滞留するイオン化した空気による構成部品の劣化・腐食を防止する除電除塵装置を提供する。
【解決手段】トリガースイッチＳＷ１からの起動制御信号ＳＧ１の立ち下がり信号に応答して、放電制御回路部２７は放電針２２とノズルＮ間への放電電圧の印加を停止した。このとき、電磁弁制御回路部１７も、起動制御信号ＳＧ１の立ち下がり信号に応答して、補助タイミング信号を生成して、電磁弁１６を予め設定した時間の間、開状態にした後、閉状態にする。そして、放電終了時においてイオン生成室に残っているイオン化された空気を吐出口から吐出して、イオン生成室内にイオン化した空気が残らないようにする。 （もっと読む）

【課題】搬送装置の載置台上で破損したガラス基板を迅速かつ容易に載置台上から除去する。
【解決手段】載置台Ｄ上に載置されたガラス基板Ｇを上記載置台Ｄ上から除去するガラス除去装置であって、上記ガラス基板Ｇに当接可能であると共に上記ガラス基板Ｇに振動を与えることによって破砕する破砕手段１０と、該破砕手段１０にて破砕されたガラス基板Ｇを吸引することによって載置台Ｄ上から除去する吸引手段２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】超臨界流体によって織物の油脂を抽出する方法を提供する。
【解決手段】織物を超臨界流体を注入する開口を１１を設けた中央柱体を有する抽出槽１０内に置くステップと、貯蔵槽２０に気体を注入するステップと、冷却装置３０によって気体を冷却するステップと、ポンプ４０によって気体を圧縮するステップと、加熱装置５０によって気体を加熱して超臨界流体にするステップと、超臨界流体を抽出槽１０内に注入して油脂抽出を行なうステップと、からなる。
洗剤、洗浄水を必要とせずに油脂を付着した織物などを効率的に洗浄する。 （もっと読む）

【課題】廃液として処理される残留液体の量を抑制しながら配管内の残留液体を排出する排出システムを提供することを課題とする。
【解決手段】配管９内の残留液体を配管９内から排出する排出システム１であって、氷と水との混合物である氷水スラリが循環する循環経路１０と、循環経路１０内の氷水スラリを循環させる循環ポンプ１２と、循環経路１０に設けられる氷水スラリ濃縮器１１であって、循環経路１０内を循環する氷水スラリに含まれる水をフィルタで抽出し、抽出した水を循環経路１０の系外へ出すことで循環経路１０内の氷水スラリを濃縮する氷水スラリ濃縮器１１と、氷水スラリ濃縮器１１が濃縮した循環経路１０内の氷水スラリを配管９内へ送る送り経路１４と、液体を配管９内へ送ることで、氷水スラリ濃縮器１１によって濃縮された氷水スラリを圧送して残留液体を排出する排出手段１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】空気供給源の能力や高速除電するか否かなどに応じてより適した空気供給時間で除電、除塵を行うことができる除電除塵装置を提供する。
【解決手段】空気供給源からの空気を放電針の針先付近へ供給してイオンを除電除塵対象物へ吹き付ける空気供給手段と、空気供給手段による放電針の針先付近への空気の供給状態を第一状態と第一状態とは異なる第二状態との間で繰り返し制御する空気制御手段と、空気制御手段における１回当たりの第一状態の時間を変更する変更手段とを備え、第一状態は空気を供給する状態であり、第二状態は空気の供給を停止する状態である、又は、第一状態は空気を強く供給する状態であり、第二状態は空気を弱く供給する状態である。 （もっと読む）

【課題】ダクトの内部形状によらず、また堆積する塵埃の種類によらず、その内部に堆積した塵埃を十分に除去することのできる装置を提供する。
【解決手段】空調ダクト内を清掃する装置は、エアーブラストを利用する装置であって、研磨材を圧縮空気とともに放出するノズル６，７，９と、ノズルを支持して、空調ダクト内を移動する台車１とからなる。 （もっと読む）

チャンバー内の均一な流体流れのための流体分配ネットワークを備えたチャンバーを提供する。チャンバーは、第１の面及び反対の内面を有する第１のチャンバー壁を含む。前記第１の面には、第１の組のチャンネルが形成され、内面はチャンバーの内部に曝され、かつ、複数の第１の組のチャンネルに接続された複数の内部ポートを含む。チャンバーは、また、第２の面及び反対の外面を有する第２のチャンバー壁を含む。第２の面は、第１の面が第２の面と合わされたときに、第１の組のチャンネルに部分的に交差する第２の組のチャンネルを有する。外面は、また、第２の組のチャンネルへの出入口を提供する、少なくとも一つの外部ポートを含む。 （もっと読む）

この発明は、ある表面へ高伝搬超音波エネルギーを印加することでその表面を洗浄する方法に関するものであり、この方法は、その表面の少なくとも一部を高伝搬超音波エネルギー放出用アセンブリに接触している流体の中に浸漬するステップと、上記アセンブリからの高伝搬超音波エネルギーを上記流体の中へ放射して、上記表面にキャビテーションを発生させ、それによって、上記表面を洗浄するステップとを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】汚れ付着によるロール劣化が軽減され、従来以上の長期にわたって搬送、転写を安定的に行なえる搬送装置及び積層体の製造装置を提供する。
【解決手段】ゴム層６５ａを有する圧着ローラ６４ａ及びゴム層６５ｂを有する圧着ローラ６４ｂとゴム層６５ａにＵＶ−Ｂ光を照射するＵＶ−Ｂランプ８１とを備えており、ゴム層６５ａの表面に汚れが生じていると判定されたときに、ゴム層６５ａに積算照度が所定値に達するまでインラインでＵＶ−Ｂ光を照射して洗浄できるようになっている。 （もっと読む）

【課題】エキシマランプの放電容器が不意に破損しないように、エキシマランプの点灯の可否を判断する方法を提供する。
【解決手段】放電容器１０内に形成された密閉空間に放電ガスが封入されると共に、当該密閉空間１０を挟んで一対の電極１７，１８が前記放電容器１０の外表面に形成され、前記放電容器１０の内面に前記密閉空間内に発生した紫外線を光出射方向に向けて反射する紫外線反射膜が形成されたエキシマランプ１において、前記放電容器１０が被処理体Ｗから遠ざかる方向に変形することを規制することにより生じる負荷を圧電素子３で電気信号に変換し、該負荷に対応する実測値と前記放電容器に割れが生じる危険性を有する水準の負荷に対応する基準限界値とを対比して、前記エキシマランプ１の点灯の可否を判断する。 （もっと読む）

【課題】排気によるエネルギー損失をできる限り小さく抑えることのできる、ボトルあるいは容器用の洗浄機を提供すること。
【解決手段】処理中にアルミニウム、アルミニウム合金等の金属と化学反応して水素を発生する液状の洗浄媒体を用いてボトル等の容器２を洗浄する洗浄機であって、当該洗浄機の通気のため、及び水素を含む排気である空気を当該洗浄機から少なくとも１つの出口８．１を介して除去するための少なくとも１つの通気装置８を備えて成る前記洗浄機において、少なくとも前記排気に含まれる水素のエネルギーを利用するための装置を、少なくとも１つの前記出口８．１に接続した。
（もっと読む）

本発明は、半導体製造工程中でプラズマ放電を通じて半導体部品（被洗浄物またはＰＣＢ基板）などを洗浄するためのプラズマ洗浄装置に関する。より詳しくは、マガジン内に収納された半導体部品のプラズマ洗浄過程が連続的になされるようにすることで操業効率を向上させるようにした洗浄チェンバ１００を備えた半導体用プラズマ洗浄装置に関するものである。複数の洗浄チェンバ１００を備えた半導体用プラズマ洗浄装置は、垂直に並んで配置された複数の洗浄チェンバ１００、洗浄進行状況に従って下部から上部へと移動しながら被洗浄物が一定間隔を置いて搭載されたマガジンを各洗浄チェンバ１００の前方に順次移動させるアンロードユニット２００と、各プラズマ洗浄チェンバに対応するようにアンロードユニット２００に複数設けられ、アンロードユニット２００によって移動されるマガジン内部に搭載された被洗浄物を洗浄チェンバ側に一つずつ押して排出させる第１プッシャ２５０と、被洗浄物がすべて排出された空きマガジンをアンロードユニット２００から受け取って１８０゜水平回転させてからプラズマ洗浄チェンバの後方に移送させる回転移送ユニット３００と、前記回転移送ユニット３００から空きマガジンを受け取り、洗浄進行状況に従って下部から上部へと移動しながら受け取った空きマガジンを各プラズマ洗浄チェンバ１００の後方に順次移動させるロードユニット４００と、洗浄が完了した被洗浄物を前記ロードユニット４００の空きマガジンの内部に押して搭載させる第２プッシャ５００とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】一定の幅を有する無端状ベルトを、複数本同時に均一かつ強力に、すすぎ洗浄する洗浄方法及び洗浄装置を提供すること。
【解決手段】すすぎ液槽内に一定方向に流れるすすぎ液流を形成し、無端状ベルトを、その幅方向がすすぎ液流の流れ方向に沿うようにすすぎ液槽内に配置する。その結果、無端状ベルトと水との間に発生するせん断力により、無端状ベルトが、すすぎ洗浄される。 （もっと読む）