【課題】異物を除去するためのレーザ光照射装置及び受光装置を利用して基板の位置合わせを行い、基板に対して適正な後処理を施すことができる異物除去方法を提供する。
【解決手段】異物除去装置に設けられた異物を除去するためのレーザ光照射部３４からステージ３３に載置されて回転するウエハＷの端部にずれ測定用のレーザ光を照射し、照射したレーザ光のうちウエハＷの端部に遮られたレーザ光を除く残りのレーザ光をパワーメータ３５で受光してレーザ光の出力を検出し、回転するウエハＷの回転角を検出し、検出したレーザ光の出力データと回転角データとに基づいてウエハＷのずれ量を算出し、算出したずれ量に基づいてウエハＷのずれを補正し、その後、ウエハＷの端部にレーザ光照射部３４から洗浄用のレーザ光を照射すると共に異物と反応する処理ガスを噴射してウエハＷに付着した異物を分解、除去する。 （もっと読む）

【課題】鉛直方向に沿ってワークが搬送されるタイプのクリーンローラ装置において、当該ワークが落下しないと共にワークからフィルムが剥がれないようにすることが可能なクリーンローラ装置を提供すること。
【解決手段】フィルムが貼付されているワークＷを搬送しつつ、塵埃を除去するクリーンローラ装置１０であって、塵埃吸着ローラ体５１Ａとベースローラ体５１ＡとでワークＷを鉛直方向に沿って移動させ、塵埃吸着ローラ体５１Ｂをベースローラ体５１Ａに向けて押し付ける付勢力を与える第２の駆動源５２を備え、粘着テープロール７０を塵埃吸着ローラ体に向けて押し付ける付勢力を与える第３の駆動源を備え、ワークＷの検出から所定時間が経過する前には第２の駆動源５２のみを作動させ、所定時間の経過後には少なくとも第３の駆動源６３を作動させて大きな付勢力を塵埃吸着ローラ体５１Ｂに対して与えるように制御する制御手段１００を具備する。 （もっと読む）

【課題】粘着ラバーローラにワークが接触しても、ワークの温度を所定以上に維持可能なクリーンローラ装置を提供すること。
【解決手段】ワークＷを搬送しつつ、当該ワークＷに付着している塵埃を除去するためのクリーンローラ装置１０であって、駆動源３１の作動によりワークＷを搬送する搬送機構３０と、ワークＷの少なくとも一方の面に、ワークＷの移動に伴って転動しつつ接触して、当該ワークＷの一方の面に付着している塵埃を吸着保持すると共に、ヒータ５１２を内蔵する塵埃吸着ローラ体５１と、粘着テープが巻回されている粘着テープロール５３２を保持する粘着テープ保持部５３１を有する粘着テープ保持ユニットと、
を備えている。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置内の微粒子を捕捉する際に使用する洗浄表面を備えた部材が開示される。
【解決手段】微粒子は、パターン状に配置された複数の突起によって捕捉される。センサを用いて、パターン内の汚染物微粒子を検出できる。 （もっと読む）

【課題】１台の昇圧ポンプを利用して複数の洗浄容器の洗浄サイクルを短時間に行うことができ、洗浄サイクルを所定時間内に効率よく繰り返すことができる成分抽出システムを提供する。
【解決手段】成分抽出システム１０Ａにおいてコントローラ１９は、昇圧ポンプ１３を利用して第１洗浄容器１５に流入する流体を所定の圧力に昇圧する第１昇圧手段、第１洗浄容器１５に対する昇圧ポンプ１３の負荷を解除しつつ、流体を利用してフィルタから不純物を抽出する第１抽出手段、第１洗浄容器１５に流入する流体を大気圧に減圧する第１減圧手段、第１抽出手段の実行時に昇圧ポンプ１３を利用して第２洗浄容器１６に流入する流体を所定の圧力に昇圧する第２昇圧手段、第２洗浄容器１６に対する昇圧ポンプ１３の負荷を解除しつつ、流体を利用してフィルタから不純物を抽出する第２抽出手段、第２洗浄容器１６に流入する流体を大気圧に減圧する第２減圧手段を実行する。 （もっと読む）

【課題】主管路内壁を、主管路ピグによりカキ取り清掃することができ、メンテナンスコストが安価な塗装液供給システムの提供。
【解決手段】分岐部取出口バルブ４１を閉じ、ランチャー側バルブ２１、およびキャッチャー側バルブ３１を開き、洗浄液注入バルブ５１を開いて洗浄液を主管路１０内へ注入し、ピグキャッチャー内のピグを洗浄液圧力でピグランチャー管方向へ押し戻し、主管路内圧力をゼロにした後、主管路１０内の洗浄液を加圧し、ピグランチャー管２内のピグを洗浄液圧力でピグキャッチャー管３方向へ押し出し、主管路１０内を洗浄する。主管路ピグ６が主管路１０内を移動する際に、主管路内壁に付着した塗料カスをカキ取り清掃するため、業者に洗浄を依頼する必要がなく、メンテナンスコストが安価である。 （もっと読む）

【課題】管状の医療器具の内部を効果的に洗浄でき、他の医療器具が汚染されず、洗浄作業者が心地よく使用でき、コンパクトで、効率のよい洗浄性能を有する医療器具用卓上洗浄装置の提供。
【解決手段】超音波発振手段を備える洗浄槽と、給水経路と、循環経路と、廃液経路を備え、管状の医療器具等を洗浄対象とし、洗浄槽から洗浄対象物を介し吸引タンクに繋がる吸引経路を備え、洗浄対象物の接続部と吸引タンクとの間にバルブを設け、吸引ポンプを前記吸引タンクに連結し、洗浄槽内に洗浄液を滞留し、吸引ポンプで吸引タンク内を負圧とし、洗浄対象物と吸引タンクとの間のバルブの開放で、洗浄槽と吸引ポンプの圧力差によって急激に移動する洗浄液により吸引経路に配置された洗浄対象物の内部の汚物等を吸引しタンク内へ押し流し、循環洗浄を可能とする医療器具用卓上洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】外部から供給される気体を除塵性能の低下を低減しつつ複数の噴射手段から噴射する除塵装置、及び除電除塵装置を提供する。
【解決手段】対象物に向けて気体を噴射する除塵装置であって、複数の噴射手段と、外部から供給される気体を、複数の前記噴射手段を１つ以上の前記噴射手段からなるグループに分けた各グループから互いに異なるタイミングで噴射させる噴射制御手段と、を備える。各グループから互いに異なるタイミングで気体を噴射するので、あるグループからは気体が噴射され、別のグループからは気体が噴射されないという期間が生じる。したがって、少なくともその期間においては、全てのグループから同時に気体を噴射する場合に比べて噴射される気体の圧力の低下が小さくなり、除塵性能の低下を低減できる。 （もっと読む）

【課題】水中点検ロボットによる内部点検を効率的に実施するため、表面の付着物を綺麗に洗浄できるとともに、簡易な構造でより汎用性の高い水中洗浄装置を提供する。
【解決手段】水中洗浄装置１は、水中点検ロボットＲへの取付機構を有する懸架装置２と、この懸架装置２に取り付けられ、水中点検ロボットＲの接地面を洗浄する洗浄装置本体３と、前記洗浄装置本体３に取り付けられる浮体４とから構成する。前記洗浄装置本体３は、接地面に対して少なくとも垂直方向に移動可能に設けるとともに、前記懸架装置２に取り付けた状態で前記浮体４の浮力により略中性浮力に保持し、かつ接地面に摺接する洗浄ブラシ３４…を備えた回転円盤３３が設けられ、この回転円盤３３を回転駆動することにより、前記回転円盤３３と接地面との間の液体が外側に押し出されて負圧となり、接地面に押し付けられるように構成する。 （もっと読む）

【課題】除塵能力の高い除塵装置、及び除電除塵装置を提供する。
【解決手段】対象物に気体を吹き付けて除塵する除塵装置１であって、気体を噴射する噴射手段（イオナイザ１６ａ、１６ｂ）と、噴射手段から噴射される気体を対象物８７の同一箇所に複数の方向から吹き付ける吹き付け手段（噴射ノズル１９ａ、１９ｂ）と、を備える。対象物８７の同一箇所に向けて複数の方向から気体を吹き付けるので、１方向からのみ気体を吹き付ける場合に比べて塵埃が飛散し易い。よって、対象物に付着した塵埃を除塵する能力が高い。 （もっと読む）

【課題】 十分な洗浄を合理的に行うことによりメンテナンス費用の可及的な低減を図り得る鉄イオン注入装置の洗浄システムを提供する。
【解決手段】 注入元弁２及び注入弁５を開状態として行う所定時間の鉄イオン注入工程後に、注入元弁２を閉状態とし、且つ洗浄元弁６を開状態として行う洗浄水の流通による洗浄工程において、洗浄用管路９に配設されて主管路８における洗浄水の流通状態を表わす流量スイッチ７により前記洗浄水の流通の所定の円滑さが検出された時点で、注入ポンプ４の駆動を停止するとともに、注入弁５及び洗浄元弁６を閉状態として洗浄工程を終了させるようにした。 （もっと読む）

本発明は、密封された筐体内に用意されたオブジェクトの洗浄および／または殺菌方法に関し、筐体の内部容積と周囲との間に気圧差をもたらし、オブジェクトの前記洗浄および／または殺菌方法のための筐体内部のみにプラズマを発生させる。また、本発明は、これを可能にする装置に関する。装置１０は、真空ポンプ２を使って空気が抜かれる真空チャンバ１と、筐体８内に適切なガスのプラズマを発生させるように構成されたプラズマ源３とを備え、筐体８は、真空チャンバの周囲に対して略密封して閉じられる。筐体８は、可塑性タイプでも、剛性材料から製造されてもよい。筐体が剛性のときの場合、筐体内部の気圧は、外の気圧より低くてもよい。
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【課題】超音波振動を利用した加熱部のスケール防止装置において、超音波振動手段に熱損傷を与えることなく、超音波振動を加熱部に伝えて加熱部のスケール付着を予防することを目的とする。
【解決手段】加熱部２が加熱作動中に、水槽１の水位を低下させて超音波振動手段９の設置部と加熱部２との間に空気などの気体を導入して加熱部２から超音波振動手段９への熱伝導を抑制することによって超音波振動手段９の熱損傷を防ぐ。 （もっと読む）

【解決手段】基板の表面上に形成された金属ゲート構造の周囲からポストエッチング洗浄工程中にポリマ残渣を除去するためのシステム及び方法は、金属ゲート構造に及び除去されるべきポリマ残渣に関連する複数のプロセスパラメータを決定することを含む。１又は複数の製造層が、金属ゲート構造を画定し、プロセスパラメータは、これらの製造層の及びポリマ残渣の特性を定める。第１及び第２の洗浄化学剤が特定され、プロセスパラメータに基づいて、第１及び第２の洗浄化学剤に関連する複数の適用パラメータが定められる。ゲート構造の構造的完全性を維持しつつポリマ残渣を実質的に除去するために、第１及び第２の適用化学剤は、適用パラメータを使用して制御方式で順次適用される。 （もっと読む）

【課題】手間と費用とをかけずに洗浄流体に含まれる不純物を洗浄流体から分離することができる洗浄システムを提供する。
【解決手段】洗浄システム１０は、洗浄流体に含まれる不純物を検出するガスクロマトグラフ２０と不純物を洗浄流体から分離する気液分離装置１８とコントローラ２１とを有する。ガスクロマトグラフ２０は、気液分離装置１８から流出した後の洗浄流体に残存する不純物を検出し、不純物検出手段によって検出した検出結果をコントローラ２１に出力する。コントローラ２１は、気液分離装置１８から流出した後の洗浄流体に残存する不純物がその洗浄流体から消失し得るように、気液分離装置１８内の洗浄流体の圧力を洗浄流体に残存する不純物に適した最適圧力に調節しつつ、気液分離装置１８内の洗浄流体の温度を洗浄流体に残存する不純物に適した最適温度に調節する。 （もっと読む）

【課題】貯蔵プールの水中で、狭隘部や障害物があっても、目的とする部位の各種作業を遠隔地点から行うことにある。
【解決手段】水中を航行する遠隔操縦式移動体であるＲＯＶ６，１７，２６に電動ウインチ８と空気袋６ｂに接続された吸着パッド６ａや、内視鏡カメラ２２やサンプリングヘッド２９を装備させ、それらを貯蔵プール１の外側から操作卓１３等で操縦して、容器２を吸着パッド６ａで吸着保持して検査個所から移動させる作業や、内視鏡カメラ２２を用いてその移動跡での観察作業を行ったり、サンプリングヘッドで貯蔵プール壁面に付着した物質の採取作業を行ったりする。 （もっと読む）

【課題】体積の異なるびんをより効率的に洗浄し得る洗びん方法を提供する。
【解決手段】ラベルが貼付されたびんを洗浄槽（２、３）内の洗浄液に浸漬してびんからラベルを剥離し、ラベル滓を洗浄液と共に洗浄槽からオーバーフローにより排出してクッションタンク（６）に移送し、およびクッションタンク（６）からラベル滓および洗浄液を抜き出して濾過し、ラベル滓が除去された洗浄液を洗浄槽（２、３）に戻す洗びん方法において、この洗びん方法を第１体積のびんに対して実施した後、第１体積と異なる第２体積のびんに対して実施する際に、第１体積より第２体積が大きいときは、洗浄槽（２，３）内の洗浄液を、その体積差に対応する分だけ多くオーバーフローにより排出してクッションタンク（６）に貯留し、第１体積より第２体積が小さいときは、濾過によりラベル滓が除去された洗浄液を、その体積差に対応する分だけ多く洗浄槽（２，３）に戻す。 （もっと読む）

【課題】装置を複雑化、大型化させることなく、ウエハのエッジに付着した異物をていねいに洗い落とす。
【解決手段】洗浄ブラシ７と９の駆動機構は、プッシュピン５、プッシュリング６、回転アーム８などから構成され、共通化されている。プッシュリング６が下降して、最下点に位置しているときには、バランスウエイト１０は、ケーシング２の傾斜面１６に当接しているため、回転アーム８の回転が抑止されている。プッシュリング６が上昇すると、バランスウェイト１０はケーシング２の傾斜面１６から離れるようになる。すると、バランスウエイト１０に加えられる重力により、回転アーム８が紙面時計回りに回転する。この結果、洗浄ブラシ７がウエハＷの下面の周縁部に接触するとともに、洗浄ブラシ９がウエハＷの端面部に接触するようになる。 （もっと読む）

【課題】不純物を洗浄流体から分離しつつ、洗浄時における洗浄流体を清潔に保持する洗浄システムを提供する。
【解決手段】洗浄システム１０Ａは、洗浄流体に含まれる不純物の成分を分析するガスクロマトグラフ２０と、洗浄流体に含まれる不純物を洗浄流体から分離する気液分離装置１８と、コントローラ２１とを含み、ガスクロマトグラフ２９は、フィルタ１１を洗浄した後の洗浄流体に含まれる不純物の成分を分析する第１分析手段と、第１分析手段によって分析した分析結果をコントローラ２１に出力する第１出力手段とを有し、コントローラ２１は、分析結果に基づいて洗浄流体に含まれる不純物の種類を特定する種類特定手段と、気液分離装置１８内の洗浄流体の圧力を不純物の種類に適した第１設定圧力に調節する圧力第１調節手段と、気液分離装置１８内の洗浄流体の温度を不純物の種類に適した第１設定温度に調節する温度第１調節手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】倒れた缶体（倒缶）及びこの倒缶によって汚染された他の缶体を確実に排除して、後工程に流出することを防止することができる缶洗浄装置及びこの缶洗浄装置を用いた缶の洗浄方法を提供する。
【解決手段】有底筒状をなす缶体５０をその缶軸方向を上下方向に向けて起立させた状態で搬送するとともに缶体５０の表面を洗浄する缶洗浄装置１０であって、缶体５０に処理液を供給して洗浄する洗浄部と、洗浄された缶体５０を乾燥させる乾燥部３０と、を有し、乾燥部３０の装入口３１に、倒缶を検知する第１倒缶検知部４１が配設されるとともに、乾燥部３０の排出口３２に、倒缶を検知する第２倒缶検知部４２が配設されており、排出口３２には、倒缶のみを排出する単缶排出機構１４と、倒缶及びその周辺の缶体５０を排出する複数缶排出機構３３と、が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）