【課題】ヘッドキャップにおける機能液が接触する可能性のある部分の全てに洗浄液を行き渡らせた状態とすることを、吸引ユニットのヘッドキャップの周辺が大きくなることを抑制して実現することができる液状体吐出装置、及びヘッド保守装置を提供する。
【解決手段】液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出ノズルが形成されたノズル基板を備える液状体吐出ヘッドと、液状体吐出ヘッドの吐出ノズルが形成されたノズル形成面を封止するヘッドキャップと、ヘッドキャップに連通し、ヘッドキャップ内の気体又は液体を吸引する吸引手段と、ヘッドキャップ内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、ヘッドキャップ内の液体の液面を検出する液面検出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】異物除去装置において搬送物に混入した異物を除去する際の電力消費量を低減するとともに、異物とともに除去されて使用できなくなる搬送物を少なくする。
【解決手段】連続的に搬送物を搬送するための搬送部と、前記搬送物に混入している異物を検出するための異物検査部と、前記異物に圧縮空気を噴射するための圧縮空気噴射部と、負圧を発生させる吸引手段を有し、前記異物を吸引するための異物吸引部と、前記異物検査部で前記異物を検出した直後に、前記異物吸引部の吸引操作を開始する制御を行う制御部とを含む。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象物に付着した付着物を、水又は溶剤を使わずに固体洗浄媒体を用いて除
去する装置はすでに提案されているが、はんだ付け工程で発生するフラックスの固着、画
像形成装置で用いられるＯＰＣドラムの感光体層、又は定着ローラの離型層のような樹脂
製の膜を除去するのに適した洗浄装置は未だ実用化されていない。
【解決手段】洗浄対象物の樹脂製の膜よりも鉛筆硬度が大きい薄片状の洗浄媒体Ｍを用い
、これを高速気流で飛翔させて洗浄対象物に衝突させることで、膜状の付着物の方が凹み
易く、かつ接触力が洗浄媒体Ｍの端部に集中するため、質量が小さいにもかかわらず膜状
の付着物に洗浄媒体Ｍが食い込む。その結果、複雑な形状の部品の洗浄、膜状の付着物の
除去、又は洗浄媒体の清浄度を高め洗浄品質を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】２本の粘着ロール体に対して、１本の粘着テープが接触するタイプのクリーンローラ装置を提供すること。
【解決手段】クリーンローラ装置１０は、ワーク表面の塵埃を吸着する第１の粘着ロール体４２Ａと、同じく第２の粘着ロール体４２Ｂと、第１の粘着ロール体４２Ａ、第２の粘着ロール体４２Ｂのスライドをガイドする第１のガイド機構９０Ａ、第２のガイド機構９０Ｂと、第１の粘着ロール体４２ＡをワークＷに接離する方向にスライドさせる第１のロール用アクチュエータ７１Ａと、粘着ロール体４２Ａ，４２Ｂに接触可能であり、それら粘着ロール体４２Ａ，４２Ｂに付着した塵埃を転写する粘着テープロール５３０を保持する第１のテープ保持部５３１と、第１のテープ保持部５３１および粘着テープロール５３０をワークＷに接離する方向にスライドさせる第１のテープ用アクチュエータ７０Ａと、モータ３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】大気圧プラズマにて被処理物を処理するに際して所望の処理状態を高い信頼性をもって確保することができるプラズマ処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】大気圧近傍の空間２に不活性ガスと反応性ガスの混合ガス８を供給するとともに電界を印加してプラズマ１１を発生させ、発生したプラズマ１１を被処理物Ｗに照射して被処理物Ｗをプラズマ処理するプラズマ処理方法において、空間２に供給される混合ガス８の反応性ガス濃度をガス濃度検出手段１５にて検出し、その検出結果に基づいて制御部１４にて被処理物Ｗに照射されるプラズマ１１の性能の良否を判定するようにした。 （もっと読む）

【課題】有機溶剤を含んだ二酸化炭素を超臨界状態の洗浄剤として、この洗浄剤を洗浄チャンバー内に配された被洗浄物に接触させることにより、前記被洗浄物の洗浄を行う洗浄方法及び洗浄装置において、洗浄時間の短縮化を図ること。
【解決手段】界面活性剤と有機溶剤と超臨界状態の二酸化炭素を混合し、混合流体を被洗浄物に接触させて洗浄する洗浄方法において、前記混合を管内混合手段で行い、該管内混合手段の直後に被洗浄物を配置するとともに、前記混合流体においての重量割合は、二酸化炭素に占める有機溶剤の重量割合を２０％以下とし、かつ界面活性剤の重量比率を有機溶剤と略同重量としたことを特徴とする洗浄方法及び洗浄装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】キャピラリ内でのパーティクルの発生を防止できるドライアイススノー洗浄装置を提供する。
【解決手段】供給源から供給された液化炭酸ガスを膨張させ冷却させるオリフィス３と、上記オリフィス３から噴射ノズル１に至るキャピラリ２と、上記キャピラリ２が接続されてドライアイススノーを噴射する噴射ノズル１と、上記噴射ノズル１に対してドライアイススノーの噴射ガスを供給する噴射ガス供給管４とを備え、上記キャピラリ２における噴射ガス供給管４の合流部よりも上流側の部分に、キャピラリ２を外側から加温する加温手段を設けたことにより、キャピラリ２内面をドライアイスの温度よりも高い温度に保ってキャピラリ２内面に薄いガス層を形成し、固体のドライアイスがキャピラリ２内面に衝突することを防止してパーティクルの発生を防止する。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽内の洗浄液に被洗浄物を浸漬して、洗浄槽内の減圧と復圧とにより被洗浄物の洗浄を図る洗浄方法において、被洗浄物が管状部を有していても、その管状部内の洗浄を効果的に図る。
【解決手段】被洗浄物４は、管状部３の一端に洗浄補助具１を設けて、洗浄を図られる。洗浄補助具１は、洗浄槽８内の減圧時に洗浄液の沸騰による蒸気を溜める一方、洗浄槽８内の復圧時に前記蒸気の凝縮により、管状部３を介して洗浄液の流入を受ける。洗浄槽８内の減圧と復圧とにより、被洗浄物４の管状部３に洗浄液が流通するので、被洗浄物４の管状部３内は効果的に洗浄される。 （もっと読む）

【課題】 電子機器の基板製造における紫外線洗浄では紫外線照射時間の経過とともに被処理基板が加熱され電子部品の耐熱温度を超えてしまう問題がある。
【解決手段】 設定した洗浄処理時間と被処理基板に搭載される複数の部品の温度を測定し、各々の部品に対し上限温度、下限温度を設定することにより、複数部品の中で最も早く上限温度に到達した信号に対し低圧水銀ランプへの電力供給をオフにし、全ての部品温度が下限温度以下になった場合、低圧水銀ランプへの電力供給をオンにし、部品の耐熱温度を超えないよう所定の洗浄処理時間を満たすまで上記処理を自動で繰り返すことで、熱容量や光エネルギーの吸収率の違いにより各部品の温度上昇傾向が不明であっても、紫外線照射条件を設定することなく電子部品等の故障を起こさず最小の洗浄回数で自動処理が可能となる。 （もっと読む）

【課題】簡単な装置構成で実施可能であり、微細パターンが形成されている基板をその微細パターンに悪影響を与えることなく短時間で洗浄するための基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】微細パターンが表面に形成された基板としてのウエハＷの洗浄処理を、ウエハＷの表面に所定の加工を施す処理チャンバからウエハＷの洗浄を行う洗浄チャンバへ搬送する搬送ステップと、洗浄チャンバ内においてウエハＷを所定温度に冷却する冷却ステップと、超流動体としての超流動ヘリウムをウエハＷの表面に供給し、ウエハＷの表面から超流動ヘリウムを流し出すことによって微細パターン内の汚染成分を押し流す超流動洗浄ステップにより行う。 （もっと読む）

【課題】 使用する場所が広範囲になったり使用回数が多くなった場合でも大幅な労力軽減を図るとともに、使用環境に対する柔軟適用性及び洗浄装置の使い勝手（利便性）をより高める。
【解決手段】 乳頭Ｍを挿入口２ｉから内部に挿入可能な洗浄ユニットＵ１と、洗浄ユニットＵ１に対して洗浄液Ｌを供給する洗浄液供給手段及び電力を供給する電力供給手段を有する本体部Ｕ２とを備えてなる乳頭洗浄システム１を構成するに際して、被着脱部６ａ，６ｂを有する一又は二以上の異なる搬送装置Ｘａ，Ｘｂと、各搬送装置Ｘａ，Ｘｂの被着脱部６ａ，６ｂに対して着脱可能な着脱部７ａ，７ｂを有し、この着脱部７ａ，７ｂに対して本体部Ｕ２の一部Ｕ２ｐ又は全部、及び洗浄ユニットＵ１を一体に設けた洗浄装置Ｗと、被着脱部６ａ，６ｂと着脱部７ａ，７ｂを装着した際に当該被着脱部６ａ，６ｂと当該着脱部７ａ，７ｂを固定可能な固定部８ａ…，８ｂ…を備える。 （もっと読む）

ブラシローラ（５）をストリップ（２）の表面に押し付ける実押付け力が測定されることを特徴とする、通過するストリップ（２）上を転動するブラシローラ（５）によってストリップ鋳造装置で製造したストリップ（２）の表面をクリーニングするための方法。
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【課題】比較的簡単な構成としつつ、クリーンルームに入室する様々な種類の被処理体に付着した塵埃、微生物および細菌等を効果的に除去する除塵・除菌装置を提供する。
【解決手段】クリーンルームに入室する被処理体の除塵及び除菌を行う除塵・除菌装置１は、エアーを噴出するエアー噴出手段を備えたエアーシャワー室３と、除菌液を噴霧する噴霧手段を備え、エアーシャワー室３を経た被処理体が入室する噴霧室５と、被処理体がエアーシャワー室３に位置するときに、エアー噴出手段を駆動して被処理体にエアーを噴出させると共に噴霧手段を駆動して噴霧室５内に除菌液を噴霧させる制御ユニット７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波給電式の複数の無電極ランプの中心軸が同一線上となるように配置する構成で紫外線を照射した場合でも、均一な配光分布を保持したまま照射エリアの拡大を実現する。
【解決手段】電磁シールド機能を有するランプハウス１１に、マグネトロン１３が発生するマイクロ波により紫外線を発光させる放電媒体が封入されている無電極ランプ１２を収納し、ランプハウス１１の下方から外部に紫外線を照射させるスクリーン２１を配置して紫外線照射部１０Ａを構成する。紫外線照射部１０Ａと同構成の紫外線照射部１０Ｂ〜１０Ｅの各無電極ランプ１２を、中心軸が同一線上となるように配置させることで照射エリアの拡大を図る。被照射体の照射エリアの配光が均一となるように、被照射体と紫外線照射部１０Ａ〜１０Ｅの位置関係を調整する。 （もっと読む）

【課題】複数の突出物が突出して狭隘となった被清掃面を隈なく確実に且つ迅速に清掃できること。
【解決手段】被清掃面である炉底の内面の塵埃を吸引する吸引口１６を備えた吸引ノズル１１と、一端が吸引ノズルに、他端が、吸引ポンプを備えた吸引ユニットにそれぞれ接続された吸引ホース１２と、この吸引ホースに配設され、この吸引ホースの湾曲変形時に支点となる低重心支持部材１３と、先端が吸引ノズルに支持され、吸引ホースに沿って配設されたワイヤ１４Ａ〜１４Ｄと、このワイヤの引っ張りまたは押し出し操作を行い、低重心支持部材１３を支点に吸引ホース１２を湾曲変形させる操作部と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】ソーラーパネルの大きさ、形状にとらわれず、設置が容易で、ソーラーパネルの電力変換効率を低下させることも無く、しかも軽量で、屋根に負担をかけない、使用勝手の良いソーラーパネル清掃装置を提供する。
【解決手段】ソーラーパネル１上で本体２ａを自走させる４足歩行手段４と、ソーラーパネル１の大きさや形状を認識するための超音波センサー２５と、ソーラーパネル１の表面を清掃する回転ブラシ５と、４足歩行手段４を駆動するための電源装置７と、超音波センサー２５の出力に基づき、本体２ａが順次走行するよう４足歩行手段４を制御する制御手段８を備えたもので、ソーラーパネル１の周囲に大掛かりなガイド部材は不要で、ソーラーパネル清掃装置２をソーラーパネル１上に置くだけで、自動でソーラーパネル１の大きさ、形状を認識しながら移動を繰り返しソーラーパネル１の全域を清掃することができる。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘って予備管等の配管の内壁に付着した氷をタンク内部に落下させることなく、あるいは氷の融解水をタンク内部に落下させることなく、氷を確実に除去することが可能な管内着氷除去ノズルを提供する。
【解決手段】配管の内部に付着した氷を除去する管内着氷除去ノズルであって、前記配管に挿入可能な形状に構成された本体１０に、前記氷を水蒸気へと昇華させて除去するための昇華用ガスが通流するガス流路１と、前記昇華用ガスを前記氷に向けて噴射する噴射孔２とを設けた。 （もっと読む）

【課題】減圧に伴って樹脂成形体等の被処理体が発泡してしまう問題を解決する技術を提供する。
【解決手段】高圧処理チャンバー内で、被処理体と高圧流体とを接触させることで被処理体の高圧処理を行った後、大気圧まで減圧するための高圧処理方法であって、複数の減圧工程を含み、高圧処理直後の第１減圧工程では、上記チャンバー内の高圧流体の密度を略同等に維持しつつ減圧することを特徴とする高圧処理方法である。 （もっと読む）

【課題】少なくとも塵等の異物を除去する除去機構については電気エネルギーの供給を受ける必要がなく、しかも車室フロアに侵入した塵等を効果的に車室外へ排出することができる車室内フロア清掃装置を得る。
【解決手段】車体フロア１４のフロントシート前側には底面が傾斜した凹部２４が形成されており、この凹部２４の上部側にカーペット本体部３０が配設されている。カーペット本体部３０と凹部２４の底壁部２４Ａとの間には、複数本の吊り紐４６が張設されている。吊り紐４６には、複数の錘部４８が吊られている。錘部４８の下面には、ブラシ５０が植設されている。また、凹部２４の底壁部２４Ａの傾斜方向下流側の最深部には、ダストボックス２８が配設されている。 （もっと読む）

【課題】加工処理されたフィルム基板に対する洗浄を迅速かつ確実に行い、最終製品の品質を向上させるとともに、生産リードタイムの短縮化を図ることが可能なフィルム基板の洗浄装置及び洗浄方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、加工処理されたフィルム基板２に付着している加工残渣を除去する洗浄装置１において、フィルム基板２を巻回した巻出しロール３よりフィルム基板２を巻出す巻出し部４と、巻出し部４から巻出されたフィルム基板２の両面を洗浄ロール５，６に押し付けながら洗浄する第１の洗浄部７と、第１の洗浄部７から巻出されたフィルム基板２の両面を粘着ロール８，９に押し付けながら洗浄する第２の洗浄部１０と、第２の洗浄部１０から巻出されたフィルム基板２を巻取りロール１１に巻取る巻取り部１２とを備えている。 （もっと読む）