ダイシングフレーム洗浄方法及びその装置
【課題】ダイシングフレームｗに付着した糊剤などの汚染物質を、溶剤を使用することなく、高品質且つ能率的にダイシングフレームｗから分離させる。
【解決手段】メラミンスポンジ材からなるロール体１１ａをこれの周面の中心線（中心軸１２）回りへ回転させ、該回転中にダイシングフレームｗの被洗浄面に注水しながら該ロール体１１ａの周面をダイシングフレームｗの上下面である被処理面に押し当てるように実施するものである。
【解決手段】メラミンスポンジ材からなるロール体１１ａをこれの周面の中心線（中心軸１２）回りへ回転させ、該回転中にダイシングフレームｗの被洗浄面に注水しながら該ロール体１１ａの周面をダイシングフレームｗの上下面である被処理面に押し当てるように実施するものである。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシングフレームの洗浄方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイサーでウエハをダイシングする際、予めステンレス材などの略円板状の金属板からなる図に示すような厚さ数ｍｍ程度のダイシングフレームの上面に糊剤を介してウエハを接着するのであり、ダイサーはこのように接着されたウエハを切刃で切り込むように作動する。このように使用されるダイシングフレームは、ダイシングの終了した後、その上面からウエハを取り除かれ、上面の糊剤を洗浄除去された後、再使用される。
【０００３】
上記糊剤の洗浄除去は、現状では、溶剤の一種であるエヌメチルピィロリドン（ＮＭＰ）液などに、ウエハの取り除かれたダイシングフレームを浸漬して、その糊剤をゼリー状に軟化させた後、特許文献１に示すような洗浄機を使用して洗浄するようにしている。
【０００４】
この洗浄機は外方から供給されたダイシングフレームの上下面を一枚づつロールブラシで摺擦してこれに付着している糊剤をダイシングフレームから分離させた後に、その糊剤を水で洗い流すものとなされている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３２６０６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記した洗浄機では、糊剤を洗い流した水に、その糊剤の軟化に使用されたエヌメチルピィロリドン（ＮＭＰ）液などの溶剤が混入するようになるため、この水をそのまま自然界へ放流できないなどの問題がある。
【０００７】
本発明は、斯かる問題点に鑑みて創案されたものであり、即ち、ダイシングフレームに付着した糊剤などの汚染物質を、溶剤を使用することなく、高品質且つ能率的にダイシングフレームから分離させることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るダイシングフレームの洗浄方法は、請求項１に記載したように、メラミンスポンジ材からなるロール体をこれの周面の中心線（回転中心軸１２）回りへ回転させ、該回転中にダイシングフレームの被洗浄面に注水しながら該ロール体の周面を前記被処理面に押し当てるように実施することを特徴とするものである。
このさい、請求項２に記載したように、ロール体の周面を円筒状となして実施するのがよい。
【０００９】
一方、本発明に係るダイシングフレームの洗浄装置は、請求項３に記載したように、メラミンスポンジ材からなるロール体と、該ロール体をこれの周面の中心線（回転中心軸１２）回りへ回転させる回転駆動手段とを備えたものとなす。
【００１０】
この発明は次のように具体化するのがよい。
即ち、請求項４に記載したように、ダイシングフレームを特定平面に沿わせた姿勢に保持し特定方向へ移送する被処理物移送手段と、該移送手段のダイシングフレーム移送経路を挟む両側に特定姿勢となされて位置された対状の２つの回転ロール部と、該２つの回転ロール部を前記移送経路途中の該経路と交叉する方向へ対称状に近接離反作動させるロール上下駆動手段と、該２つの回転ロール部をこれのロール体の周面の中心線回りへ回転させる回転駆動手段と、該２つの回転ロール部に対応した位置から前記移送経路上のダイシングフレームの被処理面に水を注水するための注水手段２ｅとを設け、上記ロール体のそれぞれがメラミンスポンジ材で形成されている構成となす。
【００１１】
或いは請求項５に記載したように、ダイシングフレームを特定平面に沿わせた姿勢に保持しつつ特定方向へ移送する被処理物移送手段と、該移送手段のダイシングフレーム移送経路上の前後２箇所の各箇所に設けられるもので前記各箇所において前記移送経路を挟む両側にて特定姿勢に保持される対状の２つの回転ロール部と、前記各箇所の対状の２つの回転ロール部を前記移送経路途中の該経路と交叉する方向へ対称状に近接離反作動させるロール上下駆動手段と、前記回転ロール部のそれぞれをこれのロール体の周面の中心線回りへ回転させる回転駆動手段と、前記回転ロール部に対応した位置から前記移送経路上のダイシングフレームの被処理面に水を注水するための注水手段２ｅとを設け、前後箇所の何れか一方箇所の対状の２つの回転ロール部はダイシングフレームの移送方向に向かっての左右端部に同時に押し当てられる左右一対のロール体１１ａ、１１ａを具備し、そして他方箇所の対状の２つの回転ロール部はダイシングフレームの移送方向に向かっての左右巾中央部に押し当てられるロール体１１ｂを具備した構成となす。
【００１２】
そして上記した請求項４又は５記載の発明は次のように具体化するのがよい。
即ち、請求項６に記載したように、前記対状の２つの回転ロール部が前記回転駆動手段で回転駆動され前記上下送り手段の作動によりダイシングフレームの被処理面に押し当てられた状態で該被処理面を摺擦洗浄しているとき、前記上下送り手段が前記対状の２つの回転ロール部をそれらのロール体の摩耗速度に関連した特定速度で漸次に近接させるように作動するものとなす。
【００１３】
また請求項７に記載したように、前記ロール体が前記中心線の方向を複数のロール部分に分割されており、且つ、該ロール部分のそれぞれが脱着可能になされている構成となす。
【発明の効果】
【００１４】
上述した本発明によれば、次のような効果が得られる。
即ち、請求項１に記載したものによれば、糊剤などの汚染物質が付着したダイシングフレームを溶剤の一種であるエヌメチルピィロリドン（ＮＭＰ）液などに浸漬しないでも、その糊剤などをダイシングフレームから比較的簡易な処理で確実に除去することができるのであり、また糊剤の除去処理のさいに排出されるもので糊剤などの混入した廃水はそのまま或いは濾過処理の後に自然界に放流しても差し支えないものとなる。
【００１５】
請求項２に記載したものによれば、ダイシングフレームの上下面を均等且つ能率的に摺擦することができてダイシングフレームに付着した糊剤を効果的に除去することができるものとなる。
【００１６】
請求項３に記載のものによれば、請求項１記載の発明の場合と同様な効果を簡易な機構により得ることができるものとなる。
【００１７】
請求項４に記載のものによれば、請求項１記載の発明の場合と同様な効果が得られると共に、ダイシングフレームに付着した糊剤の除去処理を自動的にしかも連続的且つ安定的に実施することのできるものとなる。
【００１８】
請求項５に記載のものによれば、請求項４記載の発明の場合と同様な効果が得られると共に、ダイシングフレームの上下面の左右端部を一方の摺擦手段のロール体により、そしてその左右方向中央部を他方の摺擦手段のロール体により別々に摺擦することができ、このさい一方の摺擦手段と他方の摺擦手段との間でこれら摺擦手段のロール体の消耗速度を出来るだけ差異の生じるものとなすことができると同時に、各摺擦手段ごとのロール体についてその全体が成る可く均一的に消耗するようにそれら摺擦手段のロール体の長さを決定することができて、各摺擦手段のロール体の新替が合理的に行えるものとなる。
【００１９】
請求項６に記載のものによれば、ロール体の使用による消耗にも拘わらず、ロール体が長期に渡ってダイシングフレームの上下面を均等且つ安定的に摺擦することができ、ダイシングフレームに付着した糊剤を長期に渡って確実に除去することができるものである。
【００２０】
請求項７に記載のものによれば、各ロール体ごとにロール部分を交換装着することにより最も消耗の激しいロール部分のみを新替することができて、各ロール体の摺擦能力を長期に渡って安価に維持させることができるものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は本発明に係るダイシングフレーム洗浄装置の側面図、図２は前記洗浄装置の平面図、図３は前記洗浄装置をダイシングフレームの搬送方向前方から見た断面図、図４は前記洗浄装置の要部をダイシングフレームの搬送方向前方から見た図、図５は前記洗浄装置の要部をダイシングフレームの上方から見た図、図６は前記洗浄装置のロール体の断面図である。
【００２２】
図１及び図２において、１００は方形体形状の装置ケーシングであり、これに内方には、洗浄すべきダイシングフレームｗが水平姿勢となされて台ａ１上に段重ねされた状態で投入特定位置ｐ０１に投入配置されるものとした被処理物投入部１と、ダイシングフレームｗの上下面を前後２つの摺擦手段２ａ、２ｂで摺擦することによりダイシングフレームｗに付着した糊剤などの汚染物質をダイシングフレームｗから細片状の洗い流し可能に分離させるものとした摺擦洗浄部２と、ダイシングフレームｗ表面から分離された状態の糊剤などを注水処理により洗い流すものとした注水洗浄部３と、注水洗浄された後のダイシングフレームｗを乾燥させるものとした乾燥処理部４と、台ａ１を取出特定位置ｐ０２に位置され該台ａ１上に洗浄済みのダイシングフレームｗを水平姿勢状態に段重ねされると共に該台ａ１上に段重ね状に収集されたダイシングフレームｗを該台ａ１と共に外方へ取り出すことを可能とした被処理物取出部５とが設けられている。
６は摺擦洗浄部２、注水洗浄部３及び乾燥処理部４を支持するための縦向き支持板であり、７はキャスターで、８は長さ調整可能な支持脚である。
【００２３】
被処理物投入部１は、ダイシングフレームｗが段重ね状に載置されている台ａ１を上下作動させて最上位のダイシングフレームｗの高さを第一特定位置ｐ１に合致させるための台上下駆動手段１ｂを備えている。
【００２４】
そして被処理物投入部１と摺擦洗浄部２との間には、第一特定位置ｐ１のダイシングフレームｗを吊り搬送し第二特定位置ｐ２に落下させる供給側吊り搬送部９と、第二特定位置ｐ２のダイシングフレームｗを摺擦洗浄部２の受入れ位置である第三特定位置ｐ３まで押し込むものとした押し込み供給部１０とが設けられている。
【００２５】
摺擦洗浄部２は本発明の要部をなすものであって、第三特定位置ｐ３近傍まで押し込まれたダイシングフレームｗを水平姿勢のままさらに前方へ搬送するための第一搬送部２ｃを備えると共に、前後２つの摺擦手段２ａ、２ｂを第一搬送部ｐ１の搬送経路途中に形成されている。
【００２６】
第一搬送部２ｃは上下一対の左右向き搬送ローラ２ｄ、２ｄからなる搬送ローラ組を複数設けると共に各搬送ローラ組の下側の左右向き搬送ローラ２ｄを図示しない電動モータで回転させるものとなされており、ダイシングフレームｗを各搬送ローラ組の上下一対の左右向き搬送ローラ２ｄ、２ｄにより順次に挟み付け、それぞれの搬送ローラ組の下側の左右向き搬送ローラ２ｄがその回転によりダイシングフレームｗ下面に送り力を付与することにより、第三特定位置ｐ３の近傍に達したダイシングフレームｗを水平姿勢のままさらに前方へ搬送し注水洗浄部３の受入れ位置である第四特定位置ｐ４まで搬送するものとなされている。
【００２７】
そして第一搬送部２ｃの複数の搬送ロール組の各相互間箇所の前寄りの一つに前側の摺擦手段２ａが形成されており、また前記相互間箇所の後寄りの一つに後側の摺擦手段２ｂが形成されている。
【００２８】
図３及び図４に示すように、前側の摺擦手段２ａは、それぞれがメラミンスポンジ材で形成された比較的短い左右向きの円筒周面を有する２つのロール体１１ａ、１１ａを特定距離を隔てて左右向き回転中心軸１２にこれと同心に固定してなる回転ロール部１３を上下の対状に配設されると共に、これら一対の回転ロール部１３、１３を近接離反移動させるロール上下駆動手段１４と、各回転ロール部１３をその中心軸回りへ任意な回転速度で回転させるための回転駆動手段１５とを備えている。
このさい、各ロール体１３はその左右方向長さＬ１を、図５に示すように、例えば、ダイシングフレームｗの外径の凡そ４分の１長さ程度となされ、ダイシングフレームｗの左右の各端部の一定範囲を摺擦し得るものとなされる。
【００２９】
一方、後側の摺擦手段２ｂは、メラミンスポンジ材で形成され図５に示すように比較的長い左右向きの円筒周面を有する１つのロール体１１ｂを左右向き回転中心軸１２にこれと同心に固定してなる回転ロール部１３を有するほかは、前側の摺擦手段２ａの場合に準じた構造となされているのであって、即ち、回転ロール部１３を上下の対状に設けられると共に、これら一対の回転ロール部１３・・・を近接離反移動させるロール上下駆動手段１４と、各回転ロール部１３をその左右向き回転中心軸１２回りへ任意な回転速度で回転させるための回転駆動手段１５とを備えたものとなされている。
このさい、ロール体１１ｂはその左右方向長さＬ２を、例えば、ダイシングフレームｗの外径の凡そ２分の１長さ程度となされ、ダイシングフレームの左右方向中央部を摺擦し得るものとなされる。
【００３０】
前後の摺摩手段２ａ、２ｂにおける各ロール体１１ａ、１１ｂは、例えば外径凡そ４０ｍｍ〜６０ｍｍ程度となされており、また左右方向を複数に分割して複数のロール部分ｂ１のそれぞれを脱着可能に集合させたものとなされている。各ロール部分ｂ１は、図６に示すように、直径凡そ２０ｍｍ〜３０ｍｍ程度の内孔１６ａを有し肉厚数ｍｍの合成樹脂材製短管１６を中心部に配置され、該短管１６の外周面にメラミンスポンジ材からなる円筒部材の内周面を接着剤で固着された状態となされている。
【００３１】
各ロール体１１ａ、１１ｂをその対応する左右向き回転中心軸１２に固定させるさいは、複数のロール部分ｂ１をそれぞれの合成樹脂材製短管１６の内孔１６ｃやスペーサを介して各左右向き回転中心軸１２の特定位置に外嵌状に位置させると共に各ロール部分ｂ１をその交換装着が可能なようにネジ止め部材１７を介して締結状に固定化させる。
【００３２】
上記ロール上下駆動手段１４のそれぞれは、縦向き支持板６の片面に基礎板６ａを固着し、該基礎板６ａの上下方向箇所に前後一対の縦向き案内軌道部材１８、１８を第一搬送部２ｃの搬送経路の高さ位置で振り分けとなるように固定し、これら一対の案内軌道部材１８、１８に上下一対の箱形案内台１９、１９を上下移動のみ自在に案内させると共に、これら案内台１９、１９のそれぞれに逆ネジの関係となる雌ネジを具備したナット部材２０を固定し、これらナット部材２０、２０のそれぞれに、上半部及び下半部に逆向きの雄ネジの形成された単一のネジ軸２１の対応する雄ネジを螺合させ、一方では基礎板６ａの比較的上方箇所から片持ち状に張り出された左右向き支持板２２にネジ軸２１を回転のみ自在に支持する軸受部材２３を固定すると共に、左右向き支持板２２の先端寄り箇所の下面にサーボモータ２４を上向き姿勢に固定し、このサーボモータ２４の出力軸に固定された歯付原動車２５と、ネジ軸２１の上端部に固定された歯付従動車２６とに無端状の歯付ベルト２７を掛け回した構成となされている。
なお、歯付従動車２６の上側には該従動車２６の回転位置を検出するセンサ２８が設けられている。
【００３３】
そして上記回転駆動手段１５のそれぞれは、各案内台１９に電動モータ２９を第一搬送部２ｃの搬送方向前側へ向かって右向きとなるように固定し、一方では上下一対の左右向き回転中心軸１２、１２のそれぞれを、その対応する案内台１９に固定された左右向き軸受部材３０に回転のみ自在に挿設し、これら回転中心軸１２、１２とその対応する電動モータ２９の出力軸とを平歯車機構３１を介して連動連結した構成となされている。
さらに各案内台１９或いはこれの近傍にはその対応するロール体１１ａ、１１ｂの周辺の第一搬送部２ｃへ向け水を供給するための注水ノズル２ｅが設けられる。
【００３４】
上記のように形成された前後の摺擦手段２ａ、２ｂのそれぞれは第一搬送部２ｃで水平姿勢を維持されて前方へ水平に搬送されているダイシングフレームｗの上下面に注水ノズル２ｅが水を供給し、該上下面を、ロール体１１ａ、１１ｂが均等な圧力で挟み付けて摺擦するものとなされる。このさい、各ロール体１１ａ、１１ｂはダイシングフレームｗに第一搬送部２ｃの搬送方向後側へ向かう摩擦力を付与する方向へ回転されるものとなすのが効果的な摺擦作用を発生させる上で好ましい。
【００３５】
注水洗浄部３は、第一搬送部２ｃの搬送したダイシングフレームｗを受け継いでさらに前方へ水平姿勢のまま搬送する第二搬送部３ａと、この第二搬送部３ａで搬送されているダイシングフレームｗに上下から水を噴射するものとした複数の注水ノズル３ｂとを備えたものとなされている。
【００３６】
上記第二搬送部３ａはダイシングフレームｗを挟み付けてこれに送り力を付与する上下一対の左右向き搬送ローラ３２、３２や、ダイシングフレームｗを下方から支持して送り力を付与する左右向きの支持搬送ローラ３３を備えたものとなされる。このさい、下側の左右向き搬送ローラ３２や、支持搬送ローラ３３は任意な回転速度の得られる電動モータにより回転駆動される。このさい、下側の左右向き搬送ローラ３２は第一搬送部２ｃに同調した搬送速度の得られるものとなされる。
【００３７】
乾燥処理部４は、第二搬送部３ａの搬送したダイシングフレームｗを挟み付けてこれに送り力を付与すると共にダイシングフレームｗの上下面に接触してこれに付着した水を吸引除去するものとした上下一対の左右向きスポンジ搬送ローラ３４、３４やこれらのローラ３４、３４から適時に水分を絞り除去する図示しない水分排除機構を具備した水分拭い取り装置や、この水分拭い取り装置で処理された後のダイシングフレームｗを挟み付けてこれに送り力を付与する上下一対の左右向き搬送ローラ３５、３５を備えて、これら搬送ローラ３４、３５によりダイシングフレームｗを乾燥処理部４のダイシングフレームｗ搬送方向前側まで水平姿勢のまま搬送するものとなされた第三搬送部４ａと、この第三搬送部４ａで搬送され水分拭い取り装置の後側に達したダイシングフレームｗに上下から空気を噴き当ててその上下面に付着した水分を蒸散させるように作用する複数の空気噴射ノズル４ｂとを備えたものとなされている。
【００３８】
被処理物取出部５は、台ａ１上にダイシングフレームｗが載置されているときには台ａ１上の最上位のダイシングフレームｗの高さを、一方、台ａ１上にダイシングフレームｗが載置されていないときには台ａ１上面の高さを、第六特定位置ｐ６の下側近傍に合致させるための台上下駆動手段５ａが設けられたものとなされている。
【００３９】
そして乾燥処理部４と被処理物取出部５との間には、第三搬送部４ａの搬送終点まで搬送されたダイシングフレームｗを第五特定位置ｐ５まで引き移動させる引寄せ取出部３６と、第五特定位置ｐ５のダイシングフレームｗを第六特定位置ｐ６まで吊り搬送しここで落下させるものとした取出側吊り搬送部３７とが設けられている。
【００４０】
次に上記した洗浄装置の使用例及び各部の作動について説明する。
作業者はウエハの取り除かれたダイシングフレームｗを、エヌメチルピィロリドン（ＮＭＰ）液などの溶剤に浸漬するなどの前処理をすることなく台ａ１上に水平状且つ段重ね状に載置し、この状態の台ａ１を被処理物投入部１内の投入特定位置ｐ０１に押し込むと共に、被処理物取出部５の内方には空状態の台ａ１を取出特定位置ｐ０２に挿入し、この後、図示しない制御装置の始動スイッチを入り操作する。
【００４１】
これにより、台上下駆動手段１ａが作動し、台ａ１上の最上位のダイシングフレームｗの高さを第一特定位置ｐ１に合致させるのであり、この合致に関連して、供給側吊り搬送部９が第一特定位置ｐ１に合致された一枚のダイシングフレームｗを吊り搬送し第二特定位置ｐ２に落下させる。次に押し込み供給部１０が第二特定位置ｐ２のダイシングフレームｗを第三特定位置ｐ３へ向け押し込み移動させる。
【００４２】
一方、台ａ１上に載せられたダイシングフレームｗ群は第一特定位置ｐ１のダイシングフレームｗを次工程へ吊り搬送されることにより、その分、台ａ１上の最上位のダイシングフレームｗの高さは低くなるが、これに関連して、台上下駆動手段１ａが現時点の台ａ１上の最上位のダイシングフレームｗの高さを自動的に第一特定位置ｐ１に合致させるように台ａ１の高さを調整し、次の供給側吊り搬送部９による最上位のダイシングフレームｗの吊り搬送に備える。
【００４３】
押し込み供給部１０によるダイシングフレームｗの押し込み移動が一定程度まで進行したとき、第一搬送部２ｃは左右向き搬送ローラ２ｄによりそのダイシングフレームｗを水平姿勢状態でさらに前方へ適当速度で搬送する。
【００４４】
こうして搬送されるダイシングフレームｗが前側の摺擦手段２ａに到達したとき、この摺擦手段２ａの上下一対の回転ロール部１３、１３のロール体１１ａ、１１ａが電動モータ２９、２９の作動により回転駆動されながらサーボモータ２４の作動により上下方向へ近接移動されて、そのダイシングフレームｗの上下面に適当圧力で押圧される。
【００４５】
このさい、各ロール体１１ａのダイシングフレームｗに対する押圧力は、直径５０ｍｍ〜６０ｍｍ程度のロール体１１ａがダイシングフレームｗに圧接されたときにその径方向へ凡そ２ｍｍ程度圧縮変形される程度の大きさとなされるのであり、この押圧力の調整はサーボモータ２４のトルクの変化により実現される。各ロール体１１ａの回転速度は電動モータ２９の回転速度の変更調整により任意な大きさに設定されるようになすのがよいのであり、例えば、毎分数百回転程度に設定される。
【００４６】
また第一搬送部２ｃの作動中には、ダイシングフレームの搬送経路の上下に設けられた注水ノズル２ｅから洗剤の含まれない水道水などの真水が比較的少ない流量で噴射される。
【００４７】
これにより、前側の摺擦手段２ａの各ロール体１１ａはダイシングフレームｗの上下面の左右端部の特定範囲（図５中のダイシングフレームの斜線箇所）を適当圧で摺擦するものとなり、この摺擦中には、ロール体１１ａのメラミンスポンジ材が吸水した状態で回転されるため、これらロール体１１ａのメラミンスポンジ材は回転に伴う遠心力の作用も加わってその比較的硬質な外周面がダイシングフレームｗの上下面に均等に当接した状態となって、ダイシングフレームｗの上下面の何れか一方の面又は両面に付着した糊剤を細片化させつつダイシングフレームｗ表面から効果的に分離させるものとなる。
【００４８】
このようなロール体１１ａの処理中、ロール体１１ａの外周面はミラミンスポンジ材の硬質性の故にその表面が細片化状に破砕されてポロポロと剥げ落ちるように摩耗していくのであり、この摩耗はロール体１１ａのダイシングフレームｗに対する圧接力を低下させるため、該圧接力の低下を回避するべく、上下のロール体１１ａは自動制御により摩耗を補う速度で連続的に或いは断続的に近接移動させられるのである。この近接移動の速度は実際の処理結果に基づいてその大きさを決定すればよいのであり、例えば、ダイシングフレームｗを４０枚〜５０枚程度処理したときに上下の各回転ロール部１３が凡そ０．１ｍｍ〜０．２ｍｍ程度移動するような大きさとなすのがよい。この近接移動により、ロール体１１ａはダイシングフレームｗの摺擦中、常に最適圧力で接触され、その効果的な処理がいつまでも継続されるものとなる。
【００４９】
前側の摺擦手段２ａによる処理の終了したダイシングフレームｗは、この後、後側の摺擦手段２ｂに到達するが、このとき、後側の摺擦手段２ｂの上下一対の回転ロール部１３、１３のロール体１１ｂが前側の摺擦手段２ａの場合に準じて作動されるのであり、これにより上下のロール体１１ｂ、１１ｂはダイシングフレームｗの左右方向中央部の上下面の何れか一方の面又は両面に付着した糊剤を前側の摺擦手段２ａの場合と同様に細片化させつつダイシングフレームｗから効果的に分離させるものとなり、またダイシングフレームｗの摺擦処理中、上下のロール体１１ｂ、１１ｂが適当速度で近接移動されてその効果的な処理が先と同様にいつまでも継続されるものとなる。
【００５０】
こうして前後の摺擦手段２ａ、２ｂにより摺擦処理されたダイシングフレームｗはその上下面に付着していた糊剤などの汚染物質を完全な非結合状態となされた状態となっており、以後、第一搬送部２ｃにより注水洗浄部３の第二搬送部３ａの搬送始点まで搬送される。
【００５１】
第二搬送部３ａは上下一対の左右向き搬送ローラ３２、３２や左右向き支持ローラ３３により該ダイシングフレームｗを受け継いで水平姿勢のままさらに前方へ搬送するのであり、この搬送中にダイシングフレームｗはその上下面の全体に注水ノズル３ｂから水を噴射され、その表面上に洗い流し可能な状態で存在している糊剤などを下方へ洗い流される。
【００５２】
第二搬送部３ａで搬送されたダイシングフレームｗは次に乾燥処理部４の第三搬送部４ａの左右向きスポンジ搬送ローラ３４、３４にその上下面を挟持されて前方へ搬送されるのであり、この搬送中に各スポンジ搬送ローラ３４の外周面がダイシングフレームｗに接触してこれの上下面に付着した水分を拭い去るように吸引除去する。この後、第三搬送部４ａはこのダイシングフレームｗをさらに前方へ搬送するのであり、この搬送中に、空気噴射ノズル４ｂが該ダイシングフレームｗの上下面の全体に空気（湿度の低いものがよい）を吹きかけることにより、該ダイシングフレームｗの上下面に極薄厚状に付着している状態の極小径の水粒からなる水分を蒸散させるのである。
【００５３】
第三搬送部４ａの搬送終点までダイシングフレームｗが搬送されると、引き寄せ取出部３６がそのダイシングフレームｗを第五特定位置ｐ５まで引き移動させ、次に取出側吊り搬送部３７がそのダイシングフレームｗを第六特定位置ｐ６に吊り搬送する。こうして搬送されたダイシングフレームｗは第六特定位置ｐ６にて取出側吊り搬送部３７の吊り支持を解放されるのであり、この解放により、被処理物取出部５において既に台上下駆動手段５ａの作動により特定高さに保持されている台ａ１の上面に直接に落下され或いは台ａ１上の既に載せられているダイシングフレームｗの最上位のものの真上に落下されて段重ね状態に支持されるものとなる。
【００５４】
こうしてダイシングフレームｗが台ａ１に支持されたとき、この支持されたダイシングフレームｗの高さが第六特定位置ｐ６よりも僅かに低い状態となるように、台上下駆動手段５ａが台ａ１の高さを自動的に調整する。
【００５５】
以上は１枚のダイシングフレームｗの処理における各部の作動を処理順に説明したのであるが、実際の処理においては、被処理物投入部１の台ａ１上のダイシングフレームｗは１枚づつ次々と自動的に後工程へ搬送されて洗浄され乾燥された後、被処理物取出部５の台ａ１上に段重ね状に載置されていくのであり、この処理中に、被処理物投入部１の台ａ１上のダイシングフレームｗが無くなって最後のダイシングフレームｗが被処理物取出部５の台ａ１上に収集されたとき、各部の作動は自動的に或いは作業者による停止スイッチの入り操作により停止される。
【００５６】
この後、作業者は被処理物取出部５から台ａ１上に段重ね状に載置された処理済みのダイシングフレームｗ群をこれを支持した台ａ１と共に外方へ取り出す。以後は上記と同様な処理が繰り返される。
【００５７】
上記した摺擦洗浄部２や注水洗浄部３の処理では水に糊剤などの混入した廃水が生じるが、この廃水はそのまま、或いは糊剤を漉し取った後に、自然界に放流される。
【００５８】
また摺擦洗浄部２でダイシングフレームｗを摺擦洗浄するとき、図５から判断されるように、前側の摺擦手段２ａの各ロール体１１ａはダイシングフレームｗの左右各端部上を前後方向の比較的長い距離Ｌ３に渡って圧接されるものとなり、一方、後側の摺擦手段２ｂの各ロール体１１ｂはダイシングフレームｗの左右方向中央部上を前後方向の比較的短い距離（例えば距離１３の半分大きさ）に渡って圧接されるものとなるのであり、したがって前後の摺擦手段２ａ、２ｂのロール体１１ａ、１１ｂの消耗速度は大きく相違し、その交換時期が大幅に異なるものとなるが、この場合、消耗の激しい前後何れかの各ロール体１１ａ又は１１ｂのみを新しいものと交換するように対処することができる。
【００５９】
また前後の各ロール体１１ａ、１１ｂにおいて、その左右方向各部の消耗速度はダイシングフレームｗのサイズなどにも関連して大きく相違することが生じ得るのであり、このような場合は激しく消耗したロール部分ｂ１のみをが新しいものと交換するように対処することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明に係るダイシングフレーム洗浄装置の側面図である。
【図２】前記洗浄装置の平面図である。
【図３】前記洗浄装置をダイシングフレームの搬送方向前方から見た断面図である。
【図４】前記洗浄装置の要部をダイシングフレームの搬送方向前方から見た図である。
【図５】前記洗浄装置の要部をダイシングフレームの上方から見た図である。
【図６】前記洗浄装置のロール体の断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
２ａ 前側の摺擦手段
２ｂ 後側の摺擦手段
２ｃ 第一搬送部（被処理物移送手段）
２ｅ 注水手段（注水ノズル）
１１ａ 前側の摺擦手段２ａのロール体
１１ｂ 後側の摺擦手段２ｂのロール体
１２ 左右向き回転軸
１３ 回転ロール部
１４ ロール上下駆動手段
１５ 回転駆動手段
ｂ１ ロール部分
ｗ ダイシングフレーム
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシングフレームの洗浄方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイサーでウエハをダイシングする際、予めステンレス材などの略円板状の金属板からなる図に示すような厚さ数ｍｍ程度のダイシングフレームの上面に糊剤を介してウエハを接着するのであり、ダイサーはこのように接着されたウエハを切刃で切り込むように作動する。このように使用されるダイシングフレームは、ダイシングの終了した後、その上面からウエハを取り除かれ、上面の糊剤を洗浄除去された後、再使用される。
【０００３】
上記糊剤の洗浄除去は、現状では、溶剤の一種であるエヌメチルピィロリドン（ＮＭＰ）液などに、ウエハの取り除かれたダイシングフレームを浸漬して、その糊剤をゼリー状に軟化させた後、特許文献１に示すような洗浄機を使用して洗浄するようにしている。
【０００４】
この洗浄機は外方から供給されたダイシングフレームの上下面を一枚づつロールブラシで摺擦してこれに付着している糊剤をダイシングフレームから分離させた後に、その糊剤を水で洗い流すものとなされている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３２６０６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記した洗浄機では、糊剤を洗い流した水に、その糊剤の軟化に使用されたエヌメチルピィロリドン（ＮＭＰ）液などの溶剤が混入するようになるため、この水をそのまま自然界へ放流できないなどの問題がある。
【０００７】
本発明は、斯かる問題点に鑑みて創案されたものであり、即ち、ダイシングフレームに付着した糊剤などの汚染物質を、溶剤を使用することなく、高品質且つ能率的にダイシングフレームから分離させることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るダイシングフレームの洗浄方法は、請求項１に記載したように、メラミンスポンジ材からなるロール体をこれの周面の中心線（回転中心軸１２）回りへ回転させ、該回転中にダイシングフレームの被洗浄面に注水しながら該ロール体の周面を前記被処理面に押し当てるように実施することを特徴とするものである。
このさい、請求項２に記載したように、ロール体の周面を円筒状となして実施するのがよい。
【０００９】
一方、本発明に係るダイシングフレームの洗浄装置は、請求項３に記載したように、メラミンスポンジ材からなるロール体と、該ロール体をこれの周面の中心線（回転中心軸１２）回りへ回転させる回転駆動手段とを備えたものとなす。
【００１０】
この発明は次のように具体化するのがよい。
即ち、請求項４に記載したように、ダイシングフレームを特定平面に沿わせた姿勢に保持し特定方向へ移送する被処理物移送手段と、該移送手段のダイシングフレーム移送経路を挟む両側に特定姿勢となされて位置された対状の２つの回転ロール部と、該２つの回転ロール部を前記移送経路途中の該経路と交叉する方向へ対称状に近接離反作動させるロール上下駆動手段と、該２つの回転ロール部をこれのロール体の周面の中心線回りへ回転させる回転駆動手段と、該２つの回転ロール部に対応した位置から前記移送経路上のダイシングフレームの被処理面に水を注水するための注水手段２ｅとを設け、上記ロール体のそれぞれがメラミンスポンジ材で形成されている構成となす。
【００１１】
或いは請求項５に記載したように、ダイシングフレームを特定平面に沿わせた姿勢に保持しつつ特定方向へ移送する被処理物移送手段と、該移送手段のダイシングフレーム移送経路上の前後２箇所の各箇所に設けられるもので前記各箇所において前記移送経路を挟む両側にて特定姿勢に保持される対状の２つの回転ロール部と、前記各箇所の対状の２つの回転ロール部を前記移送経路途中の該経路と交叉する方向へ対称状に近接離反作動させるロール上下駆動手段と、前記回転ロール部のそれぞれをこれのロール体の周面の中心線回りへ回転させる回転駆動手段と、前記回転ロール部に対応した位置から前記移送経路上のダイシングフレームの被処理面に水を注水するための注水手段２ｅとを設け、前後箇所の何れか一方箇所の対状の２つの回転ロール部はダイシングフレームの移送方向に向かっての左右端部に同時に押し当てられる左右一対のロール体１１ａ、１１ａを具備し、そして他方箇所の対状の２つの回転ロール部はダイシングフレームの移送方向に向かっての左右巾中央部に押し当てられるロール体１１ｂを具備した構成となす。
【００１２】
そして上記した請求項４又は５記載の発明は次のように具体化するのがよい。
即ち、請求項６に記載したように、前記対状の２つの回転ロール部が前記回転駆動手段で回転駆動され前記上下送り手段の作動によりダイシングフレームの被処理面に押し当てられた状態で該被処理面を摺擦洗浄しているとき、前記上下送り手段が前記対状の２つの回転ロール部をそれらのロール体の摩耗速度に関連した特定速度で漸次に近接させるように作動するものとなす。
【００１３】
また請求項７に記載したように、前記ロール体が前記中心線の方向を複数のロール部分に分割されており、且つ、該ロール部分のそれぞれが脱着可能になされている構成となす。
【発明の効果】
【００１４】
上述した本発明によれば、次のような効果が得られる。
即ち、請求項１に記載したものによれば、糊剤などの汚染物質が付着したダイシングフレームを溶剤の一種であるエヌメチルピィロリドン（ＮＭＰ）液などに浸漬しないでも、その糊剤などをダイシングフレームから比較的簡易な処理で確実に除去することができるのであり、また糊剤の除去処理のさいに排出されるもので糊剤などの混入した廃水はそのまま或いは濾過処理の後に自然界に放流しても差し支えないものとなる。
【００１５】
請求項２に記載したものによれば、ダイシングフレームの上下面を均等且つ能率的に摺擦することができてダイシングフレームに付着した糊剤を効果的に除去することができるものとなる。
【００１６】
請求項３に記載のものによれば、請求項１記載の発明の場合と同様な効果を簡易な機構により得ることができるものとなる。
【００１７】
請求項４に記載のものによれば、請求項１記載の発明の場合と同様な効果が得られると共に、ダイシングフレームに付着した糊剤の除去処理を自動的にしかも連続的且つ安定的に実施することのできるものとなる。
【００１８】
請求項５に記載のものによれば、請求項４記載の発明の場合と同様な効果が得られると共に、ダイシングフレームの上下面の左右端部を一方の摺擦手段のロール体により、そしてその左右方向中央部を他方の摺擦手段のロール体により別々に摺擦することができ、このさい一方の摺擦手段と他方の摺擦手段との間でこれら摺擦手段のロール体の消耗速度を出来るだけ差異の生じるものとなすことができると同時に、各摺擦手段ごとのロール体についてその全体が成る可く均一的に消耗するようにそれら摺擦手段のロール体の長さを決定することができて、各摺擦手段のロール体の新替が合理的に行えるものとなる。
【００１９】
請求項６に記載のものによれば、ロール体の使用による消耗にも拘わらず、ロール体が長期に渡ってダイシングフレームの上下面を均等且つ安定的に摺擦することができ、ダイシングフレームに付着した糊剤を長期に渡って確実に除去することができるものである。
【００２０】
請求項７に記載のものによれば、各ロール体ごとにロール部分を交換装着することにより最も消耗の激しいロール部分のみを新替することができて、各ロール体の摺擦能力を長期に渡って安価に維持させることができるものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は本発明に係るダイシングフレーム洗浄装置の側面図、図２は前記洗浄装置の平面図、図３は前記洗浄装置をダイシングフレームの搬送方向前方から見た断面図、図４は前記洗浄装置の要部をダイシングフレームの搬送方向前方から見た図、図５は前記洗浄装置の要部をダイシングフレームの上方から見た図、図６は前記洗浄装置のロール体の断面図である。
【００２２】
図１及び図２において、１００は方形体形状の装置ケーシングであり、これに内方には、洗浄すべきダイシングフレームｗが水平姿勢となされて台ａ１上に段重ねされた状態で投入特定位置ｐ０１に投入配置されるものとした被処理物投入部１と、ダイシングフレームｗの上下面を前後２つの摺擦手段２ａ、２ｂで摺擦することによりダイシングフレームｗに付着した糊剤などの汚染物質をダイシングフレームｗから細片状の洗い流し可能に分離させるものとした摺擦洗浄部２と、ダイシングフレームｗ表面から分離された状態の糊剤などを注水処理により洗い流すものとした注水洗浄部３と、注水洗浄された後のダイシングフレームｗを乾燥させるものとした乾燥処理部４と、台ａ１を取出特定位置ｐ０２に位置され該台ａ１上に洗浄済みのダイシングフレームｗを水平姿勢状態に段重ねされると共に該台ａ１上に段重ね状に収集されたダイシングフレームｗを該台ａ１と共に外方へ取り出すことを可能とした被処理物取出部５とが設けられている。
６は摺擦洗浄部２、注水洗浄部３及び乾燥処理部４を支持するための縦向き支持板であり、７はキャスターで、８は長さ調整可能な支持脚である。
【００２３】
被処理物投入部１は、ダイシングフレームｗが段重ね状に載置されている台ａ１を上下作動させて最上位のダイシングフレームｗの高さを第一特定位置ｐ１に合致させるための台上下駆動手段１ｂを備えている。
【００２４】
そして被処理物投入部１と摺擦洗浄部２との間には、第一特定位置ｐ１のダイシングフレームｗを吊り搬送し第二特定位置ｐ２に落下させる供給側吊り搬送部９と、第二特定位置ｐ２のダイシングフレームｗを摺擦洗浄部２の受入れ位置である第三特定位置ｐ３まで押し込むものとした押し込み供給部１０とが設けられている。
【００２５】
摺擦洗浄部２は本発明の要部をなすものであって、第三特定位置ｐ３近傍まで押し込まれたダイシングフレームｗを水平姿勢のままさらに前方へ搬送するための第一搬送部２ｃを備えると共に、前後２つの摺擦手段２ａ、２ｂを第一搬送部ｐ１の搬送経路途中に形成されている。
【００２６】
第一搬送部２ｃは上下一対の左右向き搬送ローラ２ｄ、２ｄからなる搬送ローラ組を複数設けると共に各搬送ローラ組の下側の左右向き搬送ローラ２ｄを図示しない電動モータで回転させるものとなされており、ダイシングフレームｗを各搬送ローラ組の上下一対の左右向き搬送ローラ２ｄ、２ｄにより順次に挟み付け、それぞれの搬送ローラ組の下側の左右向き搬送ローラ２ｄがその回転によりダイシングフレームｗ下面に送り力を付与することにより、第三特定位置ｐ３の近傍に達したダイシングフレームｗを水平姿勢のままさらに前方へ搬送し注水洗浄部３の受入れ位置である第四特定位置ｐ４まで搬送するものとなされている。
【００２７】
そして第一搬送部２ｃの複数の搬送ロール組の各相互間箇所の前寄りの一つに前側の摺擦手段２ａが形成されており、また前記相互間箇所の後寄りの一つに後側の摺擦手段２ｂが形成されている。
【００２８】
図３及び図４に示すように、前側の摺擦手段２ａは、それぞれがメラミンスポンジ材で形成された比較的短い左右向きの円筒周面を有する２つのロール体１１ａ、１１ａを特定距離を隔てて左右向き回転中心軸１２にこれと同心に固定してなる回転ロール部１３を上下の対状に配設されると共に、これら一対の回転ロール部１３、１３を近接離反移動させるロール上下駆動手段１４と、各回転ロール部１３をその中心軸回りへ任意な回転速度で回転させるための回転駆動手段１５とを備えている。
このさい、各ロール体１３はその左右方向長さＬ１を、図５に示すように、例えば、ダイシングフレームｗの外径の凡そ４分の１長さ程度となされ、ダイシングフレームｗの左右の各端部の一定範囲を摺擦し得るものとなされる。
【００２９】
一方、後側の摺擦手段２ｂは、メラミンスポンジ材で形成され図５に示すように比較的長い左右向きの円筒周面を有する１つのロール体１１ｂを左右向き回転中心軸１２にこれと同心に固定してなる回転ロール部１３を有するほかは、前側の摺擦手段２ａの場合に準じた構造となされているのであって、即ち、回転ロール部１３を上下の対状に設けられると共に、これら一対の回転ロール部１３・・・を近接離反移動させるロール上下駆動手段１４と、各回転ロール部１３をその左右向き回転中心軸１２回りへ任意な回転速度で回転させるための回転駆動手段１５とを備えたものとなされている。
このさい、ロール体１１ｂはその左右方向長さＬ２を、例えば、ダイシングフレームｗの外径の凡そ２分の１長さ程度となされ、ダイシングフレームの左右方向中央部を摺擦し得るものとなされる。
【００３０】
前後の摺摩手段２ａ、２ｂにおける各ロール体１１ａ、１１ｂは、例えば外径凡そ４０ｍｍ〜６０ｍｍ程度となされており、また左右方向を複数に分割して複数のロール部分ｂ１のそれぞれを脱着可能に集合させたものとなされている。各ロール部分ｂ１は、図６に示すように、直径凡そ２０ｍｍ〜３０ｍｍ程度の内孔１６ａを有し肉厚数ｍｍの合成樹脂材製短管１６を中心部に配置され、該短管１６の外周面にメラミンスポンジ材からなる円筒部材の内周面を接着剤で固着された状態となされている。
【００３１】
各ロール体１１ａ、１１ｂをその対応する左右向き回転中心軸１２に固定させるさいは、複数のロール部分ｂ１をそれぞれの合成樹脂材製短管１６の内孔１６ｃやスペーサを介して各左右向き回転中心軸１２の特定位置に外嵌状に位置させると共に各ロール部分ｂ１をその交換装着が可能なようにネジ止め部材１７を介して締結状に固定化させる。
【００３２】
上記ロール上下駆動手段１４のそれぞれは、縦向き支持板６の片面に基礎板６ａを固着し、該基礎板６ａの上下方向箇所に前後一対の縦向き案内軌道部材１８、１８を第一搬送部２ｃの搬送経路の高さ位置で振り分けとなるように固定し、これら一対の案内軌道部材１８、１８に上下一対の箱形案内台１９、１９を上下移動のみ自在に案内させると共に、これら案内台１９、１９のそれぞれに逆ネジの関係となる雌ネジを具備したナット部材２０を固定し、これらナット部材２０、２０のそれぞれに、上半部及び下半部に逆向きの雄ネジの形成された単一のネジ軸２１の対応する雄ネジを螺合させ、一方では基礎板６ａの比較的上方箇所から片持ち状に張り出された左右向き支持板２２にネジ軸２１を回転のみ自在に支持する軸受部材２３を固定すると共に、左右向き支持板２２の先端寄り箇所の下面にサーボモータ２４を上向き姿勢に固定し、このサーボモータ２４の出力軸に固定された歯付原動車２５と、ネジ軸２１の上端部に固定された歯付従動車２６とに無端状の歯付ベルト２７を掛け回した構成となされている。
なお、歯付従動車２６の上側には該従動車２６の回転位置を検出するセンサ２８が設けられている。
【００３３】
そして上記回転駆動手段１５のそれぞれは、各案内台１９に電動モータ２９を第一搬送部２ｃの搬送方向前側へ向かって右向きとなるように固定し、一方では上下一対の左右向き回転中心軸１２、１２のそれぞれを、その対応する案内台１９に固定された左右向き軸受部材３０に回転のみ自在に挿設し、これら回転中心軸１２、１２とその対応する電動モータ２９の出力軸とを平歯車機構３１を介して連動連結した構成となされている。
さらに各案内台１９或いはこれの近傍にはその対応するロール体１１ａ、１１ｂの周辺の第一搬送部２ｃへ向け水を供給するための注水ノズル２ｅが設けられる。
【００３４】
上記のように形成された前後の摺擦手段２ａ、２ｂのそれぞれは第一搬送部２ｃで水平姿勢を維持されて前方へ水平に搬送されているダイシングフレームｗの上下面に注水ノズル２ｅが水を供給し、該上下面を、ロール体１１ａ、１１ｂが均等な圧力で挟み付けて摺擦するものとなされる。このさい、各ロール体１１ａ、１１ｂはダイシングフレームｗに第一搬送部２ｃの搬送方向後側へ向かう摩擦力を付与する方向へ回転されるものとなすのが効果的な摺擦作用を発生させる上で好ましい。
【００３５】
注水洗浄部３は、第一搬送部２ｃの搬送したダイシングフレームｗを受け継いでさらに前方へ水平姿勢のまま搬送する第二搬送部３ａと、この第二搬送部３ａで搬送されているダイシングフレームｗに上下から水を噴射するものとした複数の注水ノズル３ｂとを備えたものとなされている。
【００３６】
上記第二搬送部３ａはダイシングフレームｗを挟み付けてこれに送り力を付与する上下一対の左右向き搬送ローラ３２、３２や、ダイシングフレームｗを下方から支持して送り力を付与する左右向きの支持搬送ローラ３３を備えたものとなされる。このさい、下側の左右向き搬送ローラ３２や、支持搬送ローラ３３は任意な回転速度の得られる電動モータにより回転駆動される。このさい、下側の左右向き搬送ローラ３２は第一搬送部２ｃに同調した搬送速度の得られるものとなされる。
【００３７】
乾燥処理部４は、第二搬送部３ａの搬送したダイシングフレームｗを挟み付けてこれに送り力を付与すると共にダイシングフレームｗの上下面に接触してこれに付着した水を吸引除去するものとした上下一対の左右向きスポンジ搬送ローラ３４、３４やこれらのローラ３４、３４から適時に水分を絞り除去する図示しない水分排除機構を具備した水分拭い取り装置や、この水分拭い取り装置で処理された後のダイシングフレームｗを挟み付けてこれに送り力を付与する上下一対の左右向き搬送ローラ３５、３５を備えて、これら搬送ローラ３４、３５によりダイシングフレームｗを乾燥処理部４のダイシングフレームｗ搬送方向前側まで水平姿勢のまま搬送するものとなされた第三搬送部４ａと、この第三搬送部４ａで搬送され水分拭い取り装置の後側に達したダイシングフレームｗに上下から空気を噴き当ててその上下面に付着した水分を蒸散させるように作用する複数の空気噴射ノズル４ｂとを備えたものとなされている。
【００３８】
被処理物取出部５は、台ａ１上にダイシングフレームｗが載置されているときには台ａ１上の最上位のダイシングフレームｗの高さを、一方、台ａ１上にダイシングフレームｗが載置されていないときには台ａ１上面の高さを、第六特定位置ｐ６の下側近傍に合致させるための台上下駆動手段５ａが設けられたものとなされている。
【００３９】
そして乾燥処理部４と被処理物取出部５との間には、第三搬送部４ａの搬送終点まで搬送されたダイシングフレームｗを第五特定位置ｐ５まで引き移動させる引寄せ取出部３６と、第五特定位置ｐ５のダイシングフレームｗを第六特定位置ｐ６まで吊り搬送しここで落下させるものとした取出側吊り搬送部３７とが設けられている。
【００４０】
次に上記した洗浄装置の使用例及び各部の作動について説明する。
作業者はウエハの取り除かれたダイシングフレームｗを、エヌメチルピィロリドン（ＮＭＰ）液などの溶剤に浸漬するなどの前処理をすることなく台ａ１上に水平状且つ段重ね状に載置し、この状態の台ａ１を被処理物投入部１内の投入特定位置ｐ０１に押し込むと共に、被処理物取出部５の内方には空状態の台ａ１を取出特定位置ｐ０２に挿入し、この後、図示しない制御装置の始動スイッチを入り操作する。
【００４１】
これにより、台上下駆動手段１ａが作動し、台ａ１上の最上位のダイシングフレームｗの高さを第一特定位置ｐ１に合致させるのであり、この合致に関連して、供給側吊り搬送部９が第一特定位置ｐ１に合致された一枚のダイシングフレームｗを吊り搬送し第二特定位置ｐ２に落下させる。次に押し込み供給部１０が第二特定位置ｐ２のダイシングフレームｗを第三特定位置ｐ３へ向け押し込み移動させる。
【００４２】
一方、台ａ１上に載せられたダイシングフレームｗ群は第一特定位置ｐ１のダイシングフレームｗを次工程へ吊り搬送されることにより、その分、台ａ１上の最上位のダイシングフレームｗの高さは低くなるが、これに関連して、台上下駆動手段１ａが現時点の台ａ１上の最上位のダイシングフレームｗの高さを自動的に第一特定位置ｐ１に合致させるように台ａ１の高さを調整し、次の供給側吊り搬送部９による最上位のダイシングフレームｗの吊り搬送に備える。
【００４３】
押し込み供給部１０によるダイシングフレームｗの押し込み移動が一定程度まで進行したとき、第一搬送部２ｃは左右向き搬送ローラ２ｄによりそのダイシングフレームｗを水平姿勢状態でさらに前方へ適当速度で搬送する。
【００４４】
こうして搬送されるダイシングフレームｗが前側の摺擦手段２ａに到達したとき、この摺擦手段２ａの上下一対の回転ロール部１３、１３のロール体１１ａ、１１ａが電動モータ２９、２９の作動により回転駆動されながらサーボモータ２４の作動により上下方向へ近接移動されて、そのダイシングフレームｗの上下面に適当圧力で押圧される。
【００４５】
このさい、各ロール体１１ａのダイシングフレームｗに対する押圧力は、直径５０ｍｍ〜６０ｍｍ程度のロール体１１ａがダイシングフレームｗに圧接されたときにその径方向へ凡そ２ｍｍ程度圧縮変形される程度の大きさとなされるのであり、この押圧力の調整はサーボモータ２４のトルクの変化により実現される。各ロール体１１ａの回転速度は電動モータ２９の回転速度の変更調整により任意な大きさに設定されるようになすのがよいのであり、例えば、毎分数百回転程度に設定される。
【００４６】
また第一搬送部２ｃの作動中には、ダイシングフレームの搬送経路の上下に設けられた注水ノズル２ｅから洗剤の含まれない水道水などの真水が比較的少ない流量で噴射される。
【００４７】
これにより、前側の摺擦手段２ａの各ロール体１１ａはダイシングフレームｗの上下面の左右端部の特定範囲（図５中のダイシングフレームの斜線箇所）を適当圧で摺擦するものとなり、この摺擦中には、ロール体１１ａのメラミンスポンジ材が吸水した状態で回転されるため、これらロール体１１ａのメラミンスポンジ材は回転に伴う遠心力の作用も加わってその比較的硬質な外周面がダイシングフレームｗの上下面に均等に当接した状態となって、ダイシングフレームｗの上下面の何れか一方の面又は両面に付着した糊剤を細片化させつつダイシングフレームｗ表面から効果的に分離させるものとなる。
【００４８】
このようなロール体１１ａの処理中、ロール体１１ａの外周面はミラミンスポンジ材の硬質性の故にその表面が細片化状に破砕されてポロポロと剥げ落ちるように摩耗していくのであり、この摩耗はロール体１１ａのダイシングフレームｗに対する圧接力を低下させるため、該圧接力の低下を回避するべく、上下のロール体１１ａは自動制御により摩耗を補う速度で連続的に或いは断続的に近接移動させられるのである。この近接移動の速度は実際の処理結果に基づいてその大きさを決定すればよいのであり、例えば、ダイシングフレームｗを４０枚〜５０枚程度処理したときに上下の各回転ロール部１３が凡そ０．１ｍｍ〜０．２ｍｍ程度移動するような大きさとなすのがよい。この近接移動により、ロール体１１ａはダイシングフレームｗの摺擦中、常に最適圧力で接触され、その効果的な処理がいつまでも継続されるものとなる。
【００４９】
前側の摺擦手段２ａによる処理の終了したダイシングフレームｗは、この後、後側の摺擦手段２ｂに到達するが、このとき、後側の摺擦手段２ｂの上下一対の回転ロール部１３、１３のロール体１１ｂが前側の摺擦手段２ａの場合に準じて作動されるのであり、これにより上下のロール体１１ｂ、１１ｂはダイシングフレームｗの左右方向中央部の上下面の何れか一方の面又は両面に付着した糊剤を前側の摺擦手段２ａの場合と同様に細片化させつつダイシングフレームｗから効果的に分離させるものとなり、またダイシングフレームｗの摺擦処理中、上下のロール体１１ｂ、１１ｂが適当速度で近接移動されてその効果的な処理が先と同様にいつまでも継続されるものとなる。
【００５０】
こうして前後の摺擦手段２ａ、２ｂにより摺擦処理されたダイシングフレームｗはその上下面に付着していた糊剤などの汚染物質を完全な非結合状態となされた状態となっており、以後、第一搬送部２ｃにより注水洗浄部３の第二搬送部３ａの搬送始点まで搬送される。
【００５１】
第二搬送部３ａは上下一対の左右向き搬送ローラ３２、３２や左右向き支持ローラ３３により該ダイシングフレームｗを受け継いで水平姿勢のままさらに前方へ搬送するのであり、この搬送中にダイシングフレームｗはその上下面の全体に注水ノズル３ｂから水を噴射され、その表面上に洗い流し可能な状態で存在している糊剤などを下方へ洗い流される。
【００５２】
第二搬送部３ａで搬送されたダイシングフレームｗは次に乾燥処理部４の第三搬送部４ａの左右向きスポンジ搬送ローラ３４、３４にその上下面を挟持されて前方へ搬送されるのであり、この搬送中に各スポンジ搬送ローラ３４の外周面がダイシングフレームｗに接触してこれの上下面に付着した水分を拭い去るように吸引除去する。この後、第三搬送部４ａはこのダイシングフレームｗをさらに前方へ搬送するのであり、この搬送中に、空気噴射ノズル４ｂが該ダイシングフレームｗの上下面の全体に空気（湿度の低いものがよい）を吹きかけることにより、該ダイシングフレームｗの上下面に極薄厚状に付着している状態の極小径の水粒からなる水分を蒸散させるのである。
【００５３】
第三搬送部４ａの搬送終点までダイシングフレームｗが搬送されると、引き寄せ取出部３６がそのダイシングフレームｗを第五特定位置ｐ５まで引き移動させ、次に取出側吊り搬送部３７がそのダイシングフレームｗを第六特定位置ｐ６に吊り搬送する。こうして搬送されたダイシングフレームｗは第六特定位置ｐ６にて取出側吊り搬送部３７の吊り支持を解放されるのであり、この解放により、被処理物取出部５において既に台上下駆動手段５ａの作動により特定高さに保持されている台ａ１の上面に直接に落下され或いは台ａ１上の既に載せられているダイシングフレームｗの最上位のものの真上に落下されて段重ね状態に支持されるものとなる。
【００５４】
こうしてダイシングフレームｗが台ａ１に支持されたとき、この支持されたダイシングフレームｗの高さが第六特定位置ｐ６よりも僅かに低い状態となるように、台上下駆動手段５ａが台ａ１の高さを自動的に調整する。
【００５５】
以上は１枚のダイシングフレームｗの処理における各部の作動を処理順に説明したのであるが、実際の処理においては、被処理物投入部１の台ａ１上のダイシングフレームｗは１枚づつ次々と自動的に後工程へ搬送されて洗浄され乾燥された後、被処理物取出部５の台ａ１上に段重ね状に載置されていくのであり、この処理中に、被処理物投入部１の台ａ１上のダイシングフレームｗが無くなって最後のダイシングフレームｗが被処理物取出部５の台ａ１上に収集されたとき、各部の作動は自動的に或いは作業者による停止スイッチの入り操作により停止される。
【００５６】
この後、作業者は被処理物取出部５から台ａ１上に段重ね状に載置された処理済みのダイシングフレームｗ群をこれを支持した台ａ１と共に外方へ取り出す。以後は上記と同様な処理が繰り返される。
【００５７】
上記した摺擦洗浄部２や注水洗浄部３の処理では水に糊剤などの混入した廃水が生じるが、この廃水はそのまま、或いは糊剤を漉し取った後に、自然界に放流される。
【００５８】
また摺擦洗浄部２でダイシングフレームｗを摺擦洗浄するとき、図５から判断されるように、前側の摺擦手段２ａの各ロール体１１ａはダイシングフレームｗの左右各端部上を前後方向の比較的長い距離Ｌ３に渡って圧接されるものとなり、一方、後側の摺擦手段２ｂの各ロール体１１ｂはダイシングフレームｗの左右方向中央部上を前後方向の比較的短い距離（例えば距離１３の半分大きさ）に渡って圧接されるものとなるのであり、したがって前後の摺擦手段２ａ、２ｂのロール体１１ａ、１１ｂの消耗速度は大きく相違し、その交換時期が大幅に異なるものとなるが、この場合、消耗の激しい前後何れかの各ロール体１１ａ又は１１ｂのみを新しいものと交換するように対処することができる。
【００５９】
また前後の各ロール体１１ａ、１１ｂにおいて、その左右方向各部の消耗速度はダイシングフレームｗのサイズなどにも関連して大きく相違することが生じ得るのであり、このような場合は激しく消耗したロール部分ｂ１のみをが新しいものと交換するように対処することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明に係るダイシングフレーム洗浄装置の側面図である。
【図２】前記洗浄装置の平面図である。
【図３】前記洗浄装置をダイシングフレームの搬送方向前方から見た断面図である。
【図４】前記洗浄装置の要部をダイシングフレームの搬送方向前方から見た図である。
【図５】前記洗浄装置の要部をダイシングフレームの上方から見た図である。
【図６】前記洗浄装置のロール体の断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
２ａ 前側の摺擦手段
２ｂ 後側の摺擦手段
２ｃ 第一搬送部（被処理物移送手段）
２ｅ 注水手段（注水ノズル）
１１ａ 前側の摺擦手段２ａのロール体
１１ｂ 後側の摺擦手段２ｂのロール体
１２ 左右向き回転軸
１３ 回転ロール部
１４ ロール上下駆動手段
１５ 回転駆動手段
ｂ１ ロール部分
ｗ ダイシングフレーム
【特許請求の範囲】
【請求項１】
メラミンスポンジ材からなるロール体をこれの周面の中心線回りへ回転させ、該回転中にダイシングフレームの被洗浄面に注水しながら該ロール体の周面を前記被処理面に押し当てるように実施することを特徴とするダイシングフレーム洗浄方法。
【請求項２】
ロール体の周面を円筒状となして実施することを特徴とする請求項１記載のダイシングフレーム洗浄方法。
【請求項３】
メラミンスポンジ材からなるロール体と、該ロール体をこれの周面の中心線回りへ回転させる回転駆動手段とを備えていることを特徴とするダイシングフレーム洗浄装置。
【請求項４】
ダイシングフレームを特定平面に沿わせた姿勢に保持し特定方向へ移送する被処理物移送手段と、該移送手段のダイシングフレーム移送経路を挟む両側に特定姿勢となされて位置された対状の２つの回転ロール部と、該２つの回転ロール部を前記移送経路途中の該経路と交叉する方向へ対称状に近接離反作動させるロール上下駆動手段と、該２つの回転ロール部のそれぞれをこれのロール体の周面の中心線回りへ回転させる回転駆動手段と、該２つの回転ロール部に対応した位置から前記移送経路上のダイシングフレームの被処理面に水を注水するための注水手段とを設け、上記ロール体のそれぞれがメラミンスポンジ材で形成されていることを特徴とするダイシングフレーム洗浄装置。
【請求項５】
ダイシングフレームを特定平面に沿わせた姿勢に保持し特定方向へ移送する被処理物移送手段と、該移送手段のダイシングフレーム移送経路上の前後２箇所の各箇所に設けられるもので前記各箇所において前記移送経路を挟む両側にて特定姿勢に保持される対状の２つの回転ロール部と、前記各箇所の対状の２つの回転ロール部を前記移送経路途中の該経路と交叉する方向へ対称状に近接離反作動させるロール上下駆動手段と、前記回転ロール部のそれぞれをこれのロール体の周面の中心線回りへ回転させる回転駆動手段と、前記回転ロール部に対応した位置から前記移送経路上のダイシングフレームの被処理面に水を注水するための注水手段とを設け、前後箇所の何れか一方箇所の対状の２つの回転ロール部はダイシングフレームの移送方向に向かっての左右端部に同時に押し当てられる左右一対のロール体を具備し、そして他方箇所の対状の２つの回転ロール部はダイシングフレームの移送方向に向かっての左右巾中央部に押し当てられるロール体を具備していることを特徴とするダイシングフレーム洗浄装置。
【請求項６】
前記対状の２つの回転ロール部が前記回転駆動手段で回転駆動され前記ロール上下九駆動手段の作動によりダイシングフレームの被処理面に押し当てられた状態で該被処理面を摺擦洗浄しているとき、前記ロール上下駆動手段が前記対状の２つの回転ロール部をそれらのロール体の摩耗速度に関連した特定速度で漸次に近接させるように作動する構成を特徴とする請求項４又は５記載のダイシングフレーム洗浄装置。
【請求項７】
前記ロール体が前記中心線の方向を複数のロール部分に分割されており、且つ、該ロール部分のそれぞれが脱着可能になされていることを特徴とする請求項３、４、５又は６記載のダイシングフレーム洗浄装置。
【請求項１】
メラミンスポンジ材からなるロール体をこれの周面の中心線回りへ回転させ、該回転中にダイシングフレームの被洗浄面に注水しながら該ロール体の周面を前記被処理面に押し当てるように実施することを特徴とするダイシングフレーム洗浄方法。
【請求項２】
ロール体の周面を円筒状となして実施することを特徴とする請求項１記載のダイシングフレーム洗浄方法。
【請求項３】
メラミンスポンジ材からなるロール体と、該ロール体をこれの周面の中心線回りへ回転させる回転駆動手段とを備えていることを特徴とするダイシングフレーム洗浄装置。
【請求項４】
ダイシングフレームを特定平面に沿わせた姿勢に保持し特定方向へ移送する被処理物移送手段と、該移送手段のダイシングフレーム移送経路を挟む両側に特定姿勢となされて位置された対状の２つの回転ロール部と、該２つの回転ロール部を前記移送経路途中の該経路と交叉する方向へ対称状に近接離反作動させるロール上下駆動手段と、該２つの回転ロール部のそれぞれをこれのロール体の周面の中心線回りへ回転させる回転駆動手段と、該２つの回転ロール部に対応した位置から前記移送経路上のダイシングフレームの被処理面に水を注水するための注水手段とを設け、上記ロール体のそれぞれがメラミンスポンジ材で形成されていることを特徴とするダイシングフレーム洗浄装置。
【請求項５】
ダイシングフレームを特定平面に沿わせた姿勢に保持し特定方向へ移送する被処理物移送手段と、該移送手段のダイシングフレーム移送経路上の前後２箇所の各箇所に設けられるもので前記各箇所において前記移送経路を挟む両側にて特定姿勢に保持される対状の２つの回転ロール部と、前記各箇所の対状の２つの回転ロール部を前記移送経路途中の該経路と交叉する方向へ対称状に近接離反作動させるロール上下駆動手段と、前記回転ロール部のそれぞれをこれのロール体の周面の中心線回りへ回転させる回転駆動手段と、前記回転ロール部に対応した位置から前記移送経路上のダイシングフレームの被処理面に水を注水するための注水手段とを設け、前後箇所の何れか一方箇所の対状の２つの回転ロール部はダイシングフレームの移送方向に向かっての左右端部に同時に押し当てられる左右一対のロール体を具備し、そして他方箇所の対状の２つの回転ロール部はダイシングフレームの移送方向に向かっての左右巾中央部に押し当てられるロール体を具備していることを特徴とするダイシングフレーム洗浄装置。
【請求項６】
前記対状の２つの回転ロール部が前記回転駆動手段で回転駆動され前記ロール上下九駆動手段の作動によりダイシングフレームの被処理面に押し当てられた状態で該被処理面を摺擦洗浄しているとき、前記ロール上下駆動手段が前記対状の２つの回転ロール部をそれらのロール体の摩耗速度に関連した特定速度で漸次に近接させるように作動する構成を特徴とする請求項４又は５記載のダイシングフレーム洗浄装置。
【請求項７】
前記ロール体が前記中心線の方向を複数のロール部分に分割されており、且つ、該ロール部分のそれぞれが脱着可能になされていることを特徴とする請求項３、４、５又は６記載のダイシングフレーム洗浄装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２００９−１７８７０７（Ｐ２００９−１７８７０７Ａ）
【公開日】平成２１年８月１３日（２００９．８．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−４８７０８（Ｐ２００８−４８７０８）
【出願日】平成２０年１月３１日（２００８．１．３１）
【出願人】（５９１１８２９５０）大宮工業株式会社 (10)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年８月１３日（２００９．８．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１月３１日（２００８．１．３１）
【出願人】（５９１１８２９５０）大宮工業株式会社 (10)
【Ｆターム（参考）】
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