【課題】 配管路の対象部に詰まった夾雑物を除去することができるだけでなく、さまざまな配管路に対してフレキシブルに対応することができる配管路システム及び配管路の夾雑物除去方法を提供する。
【解決手段】 上流側から下流側に向けて流体を流通させる配管路１５を備え、配管路１５の対象部１５１に詰まった夾雑物を除去する配管路システムにおいて、対象部１５１の流体の流れを遮断可能な制御弁１５２と、制御弁１５２の開閉動作を実行させる制御手段２とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子製品用の基板に付着した異物を除去する異物除去装置において、エアー射出による異物への除去作用を維持しながらも異物の拡散による再汚染を防止し、充分な異物除去能力を得ることができる。
【解決手段】この発明の異物除去装置においては、異物除去処理を行う際に基板１上部に隙間を空けて対向して配置される異物飛散防止板３と、異物飛散防止板３の外周に設けられる囲い板４と、異物飛散防止板３に開口して設けられるエアー射出部５と、エアー射出部５と囲い板４の間に開口して設けられるメインエアー吸引部６およびサブエアー吸引部７とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】 脱水カゴの回転駆動装置が不要になり、構造をコンパクトにさせると共に取り扱いを簡単にさせながら脱水カゴを万遍なく均一にきれいに水洗でき、かつ水洗に伴う水の飛散を防止して良好な作業環境下で水洗作業を行うことができるようにした脱水カゴの水洗技術の提供。
【解決手段】 上面が開口し、周壁１０及び底壁１１に多数の水切小孔１２が形成された円形の脱水カゴ１を水洗対象とし、洗浄空間Ｓに回転自在に設けた水平テーブル５上に伏せ状態にセットした脱水カゴの外周面に対して水を噴射して水洗させる周面向き噴射ノズル６０と、底外面に対して水を噴射させて水洗させる底面向き噴射ノズル６１を備え、周面向き噴射ノズル及び／又は底面向き噴射ノズルからの噴射水の勢いにより脱水カゴを回転させながら水洗させる。 （もっと読む）

【課題】精密工作機械の切削加工による加工部品に付着した切り粉及び切削油を水中洗浄ならびに空中洗浄で除去する切削加工部品洗浄装置を提供する。
【解決手段】精密工作機械の切削加工により加工部品に付着した切り粉及び切削油を水中洗浄ならびに空中洗浄で除去する切削加工部品洗浄装置１０であって、前記被洗浄物にエアーブローを施す空圧除去領域部３０と、前記被洗浄物を水中で洗浄する水中洗浄領域部と、前記空圧除去領域部と前記水中洗浄領域部４０の間を上下に移動する昇降領域部５０と、該昇降領域部及び前記空圧除去領域部３０を制御する制御領域部７０とを、其々本体領域部に配設した構成から成る手段を採る。 （もっと読む）

【課題】薄くされたチップを積層して半導体装置を製造する際に、処理対象の上面に存在する異物によって積層させるチップが割れてしまうことを防ぐ異物検査装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、異物検査装置２０は、下地検査部２２１および下地検査部２２１を支持する支持部２２２を有する検知ヘッド２２と、下地データ格納部２３３、検査制御部２３２および異物存在判定部２３４を有する制御部２３と、を備える。下地データ格納部２３３は、配線基板８０または配線基板８０の最上層のチップの配置位置を示す下地配置領域を含む下地データを格納する。検査制御部２３２は、検知ヘッド２２を検査対象上の所定の位置に接触させながら所定の力で押圧するように制御する。異物存在判定部２３４は、下地検査部２２１から取得した検査データから、下地データを参照して下地配置領域のうち周囲よりも圧力が高まっている領域を異物存在領域として抽出する。 （もっと読む）

【課題】ガラス壜をスターホイールによって円形軌道に沿って搬送している間にガラス壜を自転させ、この自転中にガラス壜の底部から底部のやや上方の壜胴下部までの検査エリアにエアを吹き付けることにより、ガラス壜の検査エリアに付着した水滴を確実に除去することができるガラス壜の水滴除去装置を提供する。
【解決手段】液体が充填された複数のガラス壜１を複数のポケット３ａで支持して円形軌道に沿って搬送するスターホイール３と、スターホイール３により支持されたガラス壜１に接触しながら走行してガラス壜を自転させるベルト１６と、スターホイール３により円形軌道に沿って搬送されるガラス壜１の側方に配置され、ガラス壜１に向けて空気を吹き付けるエアブローユニット２０とを備え、エアブローユニット２０の前面２０ｆは円形軌道に沿うように配置され、エアブローユニット２０の前面２０ｆには空気を噴出する複数のノズル２０ｎが設けられている。 （もっと読む）

【課題】効率良く、ＵＶ樹脂をはがし取ることが可能なドライアイスペレットを用いた洗浄方法を提供する。
【解決手段】固定治具に固定される洗浄対象物に対して、ドライエアーを用いて、ドライアイスペレットを吹き付け、前記対象物の表面を洗浄する。前記ドライエアーは、露点が、−６０°ないし−８０°である。前記ドライエアーと前記ドライアイスペレットを前記対象物の表面に噴射するノズルを有し、前記ノズルと前記対象物の表面との間の間隔は、５ｍｍないし７０ｍｍである。前記ノズルの断面形状は、円形形状、あるいは、楕円形状、あるいは長方形である。前記ドライアイスペレットは、直径が１ｍｍないし３ｍｍで、長さが１ｍｍないし５ｍｍ、より好ましくは、長さが１ｍｍないし５ｍｍである。前記対象物は、製品分解後の液晶表示パネルの上偏光板、タッチパネル、あるいは、フロントウィンドウのいずれかである。 （もっと読む）

【課題】洗浄能力の低下を抑制する。
【解決手段】ローラ洗浄装置１０は、シート状の被搬送物１に接触して回転可能な送りローラ１２と、該送りローラ１２の回転軸１２ａに平行な回転軸１４ａを有し、送りローラ１２に接触して回転可能な洗浄ローラ１４と、送りローラ１２と洗浄ローラ１４とを相対移動させるアーム駆動アクチュエータ１８と、洗浄ローラ１４と送りローラ１２との接触時間に係るパラメータの値を取得し、送りローラ１２と洗浄ローラ１４との接触圧をパラメータの値に応じて制御する制御装置２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】比較的簡便な構成で、配管破損を生じることなくかつ短時間で、配管を洗浄することができる配管洗浄方法を提供する。
【解決手段】
まず、内部にオゾンを含む直径が１μｍ未満の気泡であるオゾンナノバブルを含む洗浄液が生成される。次いで、当該洗浄液が配管内壁の付着物に所定の圧力で供給される。この洗浄液によれば、洗浄液中のオゾン粒子数の残存時間を長期間維持することができ、オゾンの作用を効果的に引き出すことができる。その結果、洗管作業時間内における洗浄液中のオゾンバブルの消滅を実質的に無視することができる。また、この洗浄液は、ＯＨラジカルや酸素ラジカルを含むため、その作用により、スケールやスライムはもちろん、配管内壁に付着している水酸化第一鉄、水酸化第二鉄等を極めて効率よく短時間で分解除去することができる。 （もっと読む）

【課題】スケールの溶解率を高めることができるとともに、スケールの溶解時間を短縮することができ、スケールの除去効率を向上させることができるアルカリによるスケールの洗浄方法を提供する。
【解決手段】アルカリによるスケールの洗浄方法は、水タンク等の機器又は水配管等の配管の内壁面に付着したスケールに洗浄剤としてのアルカリを作用させてスケールの洗浄を行うにあたり、該洗浄を減圧状態で発泡源を添加するか、又は気泡を吹き込みながら行うものである。前記スケールは二酸化珪素を含むものである。また、前記気泡としては、その気泡径が１００ｎｍ〜１００μｍの微細気泡が用いられる。洗浄時における洗浄液のｐＨは９以上であることが好ましい。洗浄時の圧力は、０．００１〜０．０９ＭＰａに設定される。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理装置を構成する電極の交換時期を判定することができる交換時期判定装置、交換時期判定方法及びプラズマ処理システムを提供する。
【解決手段】電極に高周波電力を供給し、処理容器に導入したガスから発生させたプラズマにより、該処理容器内の基板上における薄膜をプラズマ処理するプラズマ処理装置を構成する前記電極の交換時期を判定する交換時期判定装置において、前記薄膜をプラズマ処理した処理条件に係る値を積算する積算手段と、プラズマ処理の処理条件に係る値に関して電極の交換時期と対応する積算値が記録された記録手段と、前記積算手段が積算した積算値及び前記記録手段に記録された積算値に基づいて、前記電極の交換時期を判定する判定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】ローラの表面に押圧体によって清掃布を押し当て、押圧体と清掃布をローラの表面でローラの長手方向に移動させても、清掃布が押圧体からずれることのないローラ清掃装置を実現する。
【解決手段】 清掃布３を供給する供給手段４と、供給された清掃布を巻取る巻取り手段５と、清掃布３をローラ１の外周に押し付ける押圧体８を備え、ローラが回転しているときに、ローラの長手方向に移動可能な清掃ユニット１３を含み、ローラ1を回転させ、清掃ユニット１３を移動させたときに、清掃布3によってローラ外周面に描かれる押圧軌跡に対して、押圧体８が略垂直となる清掃角度で傾いている。 （もっと読む）

【課題】プラント用機器内の清掃をその高さ位置にかかわらず安全にかつ容易に行うことが可能な清掃方法を提供する。
【解決手段】この方法は、点検口１３が設けられた側壁１２を有するプラント用機器１０の内側面に付着した異物１８の除去に適用されるものであり、前記点検口１３から清掃用工具２０を挿入してその先端部２６を異物１８に突き当てることにより当該異物１８に機械エネルギーを与えてこれを除去することと、清掃用工具２０の長手方向の中間部分に索状体４８を接続し、この索状体４８を介して清掃用工具２０に上向きの弾性力を与えることにより、異物１８の除去中に清掃用工具２０の上下方向の動きを許容しながら当該清掃用工具２０の自重に起因する下向きの力を低減させることと、を含む。 （もっと読む）

【課題】高い洗浄能力を維持しつつ洗浄水の使用量を飛躍的に低減できる容器洗浄機を提供する。
【解決手段】倒立状態で移動する筒状容器Ｃの内面に洗浄水を噴射して洗浄する容器洗浄機において、加圧気体と洗浄水とを混合して扇形パターンの気水混合ミストを筒状容器Ｃの内面に噴射する複数の２流体ノズル２と、洗浄水のみを筒状容器の内面に噴射する１流体ノズル３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】使用者の誤使用や装置の誤動作に伴う非正常事象を回避することができるプラズマ発生装置及びこれを用いた洗浄浄化装置を提供する。
【解決手段】洗浄浄化装置４０は、プラズマ発生装置１の使用時に発生する非正常事象を検知し、その検知結果に基づいてプラズマ放電を制御する。 （もっと読む）

【課題】基板の表面の洗浄エリアに基板の回転速度とロール洗浄部材の回転速度の相対速度がゼロとなる点（領域）が存在しても、基板の表面をその全域に亘ってより均一に洗浄できるようにする。
【解決手段】基板Ｗの直径方向に沿って延びるロール洗浄部材１６を基板Ｗの表面に接触させつつ、ロール洗浄部材１６と基板Ｗを共に回転させて基板Ｗの表面をスクラブ洗浄する基板洗浄方法において、ロール洗浄部材１６及び基板Ｗの少なくとも一方の回転速度または基板の回転方向をスクラブ洗浄処理中に変更する。 （もっと読む）

【課題】ロール洗浄部材の形状の最適化を図り、基板表面を高い洗浄度で効率的に洗浄して、基板表面に残存するディフェクト数を低減できるようにする。
【解決手段】表面に多数のノジュールを有し基板の直径のほぼ全長に亘って直線状に延びて基板表面との間に洗浄エリアを形成するロール洗浄部材と基板とを共に一方向に回転させつつ、ノジュールと基板表面とを互いに接触させて該表面をスクラブ洗浄する基板洗浄方法において、洗浄エリア（長さＬ）上のロール洗浄部材１６と基板Ｗの相対回転速度が相対的に低い順方向洗浄エリア（長さＬ_ｆ）では、洗浄エリア上のロール洗浄部材と基板の相対回転速度が相対的に高い逆方向洗浄エリア（長さＬ_ｉ）よりも少ない面積でノジュール１６ａと基板Ｗの表面とを互いに接触させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、縦型平面部材の左右面を同時に研磨および／または洗浄を行うことができる自動研磨・洗浄装置に関するものである。
【解決手段】本発明の自動研磨・洗浄装置は、大型太陽電池あるいは大型液晶画面等の縦型平面部材の左右面を同時に研磨および／または洗浄をすることができる。前記縦型平面部材は、前記研磨・洗浄中に、砥粒および／または香料の入った研磨液および／または洗浄液が掛けられて研磨・洗浄が簡単で、かつ、素早く行える。本発明の自動研磨・洗浄装置は、縦型平面部材に合った素材から構成されている複数組のブラシ組立により、左右面を同時に研磨および／または洗浄を行うことができるようになっているため、前記縦型平面部材の左右両面の研磨および／または洗浄を迅速、かつ、効率良く行うことができる。 （もっと読む）

【課題】異なる材質が貼り合わされている平面部材の左右面または上下面を同時に研磨および／または洗浄を行うことができる平面部材研磨・洗浄装置を提供する。
【解決手段】研磨・洗浄装置は、両面が異なる材質からなる平面部材１１１、１１２を垂直にした場合の左右面、または水平にした場合の上下面を同時に研磨および／または洗浄をすることができる。前記研磨・洗浄装置は、平面部材の一つの面を研磨および／または洗浄する複数組の第１ブラシ組立体１３１、１３４と、平面部材の他の面で、異なる材質からなる面を研磨および／または洗浄する前記第１のブラシ組立体と異なる種類のブラシ毛および異なる構造からなる複数組の第２ブラシ組立体１３２、１３５、１３３ｎ、１３３ｎ’とから構成され、制御装置によって、異なる駆動態様および駆動速度でそれぞれ制御される。 （もっと読む）

【課題】筒状部材の内面に付着した放射性物質を含むスケールを効率よく均一に剥離除去することができる筒状部材内の除染方法及び除染装置を提供する。
【解決手段】内面に放射性物質を含むスケールが付着した筒状部材Ｐに接続される管状部材２ａと、管状部材２ａに接続され非ニュートン流体Ｍを筒状部材Ｐ内に圧送するポンプ３ａとを有しており、ポンプ３ａにより圧送された非ニュートン流体Ｍを筒状部材Ｐ内にて移動させ、非ニュートン流体Ｍの剪断応力を利用してスケールを筒状部材Ｐの内面から剥離するようにした。非ニュートン流体Ｍは、流れの剪断応力が流れの剪断速度と線形の関係ではない粘性特性を有するため、筒状部材Ｐの内面に付着したスケールを効率よく均一に剥離除去することができる。 （もっと読む）