【課題】基板サイズ情報を自動的に入力することによって、基板サイズ情報の手入力ミスを防止するとともに、生産性を向上させることができる洗浄装置の提供を目的とする。
【解決手段】異なる複数のサイズのフォトマスク基板８に所望の洗浄処理を施すために、基板サイズに応じて可変する可変部位（三方弁２９３など）と、フォトマスク基板８とともに投入される基板保持部材８１に付された基板サイズ情報を読み取るバーコードリーダー１０１と、バーコードリーダー１０１により読み取られた基板サイズ情報にもとづき、可変部位を可変させる制御部７とを備えた構成としてある。 （もっと読む）

【課題】基板洗浄装置において、洗浄中のブラシと基板との接触状態を監視する装置を提供する。
【解決手段】本発明による基板とブラシとの接触状態を監視する装置は、基板洗浄中および基板非洗浄中でブラシ空転中に、ブラシを回転させるモータのトルクデータを採取する機構（１０７）と、基板洗浄中に採取したモータのトルクデータと基板非洗浄中でブラシ空転中に採取したモータのトルクデータとの差を計算し、当該差を監視する機構（１０９）とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転ロールを洗浄するための洗浄液の使用量を低減する。
【解決手段】回転ロール９０に，保持ブロック１１０を取り付け，保持ブロック１１０の内部には，回転ロール９０の外周面の円周に環状に接触するシールリング１１１を設ける。保持ブロック１１０は，移動機構１２０により回転ロール９０の軸方向に移動自在にする。回転ロール９０の汚れを除去する際には，保持ブロック１１０が回転ロール９０の一端部側から他端部側に移動する。これにより，シールリング１１１が回転ロール９０の表面の汚れを掻き取って除去する。回転ロール９０の他端部側に移動されたシールリング１１１は，ノズルからの洗浄液により洗浄される。 （もっと読む）

【課題】断熱膨張によって生成される基板洗浄用の固体粒子の粒径を基板の表面状態などに応じて制御できるようにした洗浄処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板を洗浄処理するための洗浄処理装置であって、
基板が供給されるチャンバ１６と、断熱膨張させることで固体粒子を生成する流体をチャンバ内の基板に向けて供給するノズル体２８と、ノズル体によって供給される固体粒子の粒径を制御する湿度制御手段３６及び温度制御手段３７を具備する。 （もっと読む）

【課題】高層ビルで自動窓拭き機と管理端末と自動窓拭き機格納ステーションを設置し、汚れ検知センサーを全窓取り付けることにより自動的に汚れを検知し汚れた窓を清掃する。更に、自動窓拭き機の清掃用具は格納ステーションの予備格納部へセットしておくと清掃用具寿命検出で自動的に交換を行う。
【解決手段】本発明の窓拭き自動システムは、日数管理を行う管理端末と、窓の汚れ検知を行い管理端末に通知する汚れ検知センサーと、所定の日数経過時又は汚れ検知時に管理端末から受けた命令に基づいて窓の清掃を自動実行する自動窓拭き機と、自動窓拭き機を格納する格納ステーションとを具備する。更に、格納ステーションは、自動窓拭き機の清掃用具の予備が格納されている予備格納部と、自動窓拭き機の使用済みの清掃用具と予備の清掃用具とを交換する清掃用具交換部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】基材外周部の不要物の膜厚が幅方向に異なっている場合でも、効率良く除去処理を行なう。
【解決手段】熱光線Ｌを、集光光学系３３から基材９０の外周部に向けて集光照射する。水平位置調節機構４１によって集光光学系３３を水平スライドさせ、集光スポットＰの膜９３ａの幅方向に沿う位置を調節する。併せて、光軸方向位置調節機構４２によって集光光学系３３の高さを調節し、集光スポットＰの径を、集光スポットＰの前記幅方向に沿う位置に応じて調節する。 （もっと読む）

【課題】レチクルに付着した異物を確実に除去する。
【解決手段】レチクルに付着した異物を確実に除去するレチクルクリーニング装置は、クリーニング室２２内においてレチクル姿勢変更装置５０によって垂直状態に保持されたレチクル１に窒素ガスを噴射する複数個の噴射ノズル７６と、レチクル１に噴射した窒素ガスを異物と共に吸引して排気する排気ダクト７８とを備えており、クリーニングに際して、噴射ノズル７６群と排気ダクト７８とは往復水平移動しながら下降する。垂直状態に保持されたレチクルに窒素ガスを噴射するとともに、レチクルに噴射した窒素ガスを異物と共に吸引するので、レチクルに付着した異物の飛散を防止しつつ確実に除去できる。噴射ノズル群と排気ダクトがレチクルの全面をスキャニングするので、レチクルの全面の異物を確実に除去できる。 （もっと読む）

【課題】鋼管内の遮水板等の汚れの状態を十分に確認することのできる観察治具を提供する。
【解決手段】鋼管１０と鋼管１０とが遮水板１４を介して接合され、遮水板１４の上面の一端から他端に亘って排水溝１５，１６が形成された構造体において、排水溝１５の一端開口１５ａから鋼管１０内へ挿入してこの鋼管１０内を観察するための観察手段２５を保持する観察治具１８であって、排水溝１５の一端開口１５ｂから銅管１０内へ挿入されるベース部材１９と、このベース部材１９とともに一端開口１５ｂから鋼管内へ入れられるとともに前記観察手段２５を保持し且つ上下動可能な移動部材２０と、この移動部材２０を上下動させる操作部材２１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】サイズの異なるガラス材料製のハードディスクを効率よく洗浄できるようにしたガラスハードディスクの洗浄装置を提供する。
【解決手段】ローダーカセット（２）から送り出されたハードディスク（１）を第１ウォーターベアリング（６）で搬送する。第１検出間隙（８）を設けて第２ウォーターベアリング（７）を連接し、ハードディスク（１）をスクラブ洗浄部へ送る。このスクラブ洗浄部で、ハードディスク（１）はテーパー付のドライブローラ（１０）の傾斜面に当って回転される。スクラブ洗浄後のハードディスクは第３ウォーターベアリング（２４）及び第２検出間隙（２７）をあけて設けた第４ウォーターベアリング（２６）でアンローダーカセット（３１）に収納される。上記第１検出間隙（８）及び第２検出間隙（２７）には、ハードディスクを横方向から検出するセンサー（９）、（２９）がある。 （もっと読む）

【課題】測温素子を内側に配置した石英管が万一割れた場合であっても細かな破片が洗浄液中に拡散することを防止し、しかも測温素子の応答特性を低下させることなく、常に安定した温度測定が可能になるようにした洗浄液槽用温度センサを提供する。
【解決手段】洗浄液槽の洗浄液に浸漬される石英管２の先端閉塞部２ａの内部に測温素子３を配置して温度センサ１を構成する。そして石英管２の外側表面の全面にフッ素樹脂膜９を密着コーティングした構成である。 （もっと読む）

【課題】洗浄処理チャンバー内のリンス液を洗浄流体で置換する際の置換状況の確認方法の提供。
【解決手段】洗浄処理チャンバー５の洗浄処理室５ｃ内のリンス液を超臨界状態の洗浄流体に置換する際の置換の完了を確認する置換確認手段として洗浄処理チャンバー内５下流の洗浄流体等排出管Ｌ_２部分に第４の温度センサーＴ_４が設けられ、排出流体の温度が一定の状態に変化したことにより洗浄処理チャンバー５内のリンス液の洗浄流体への置換の完了を確認できる。 （もっと読む）

【課題】フィルムロールから剥離させた異物が再付着することを防止でき、効率よくフィルムロール表面を除塵できるフィルムロールの除塵方法及びフィルムロール用除塵設備を提供する。
【解決手段】フィルムロール用除塵設備１０は、フィルムロール１２の上方でエアを吸引する吸引口３２Ａと、吸引されたエアに含まれる異物の粒子数を計測するパーティクルカウンタ３８と、吸込されたエアを除塵するエアフィルタ６２と、除塵した清浄エアをイオン化するイオナイザ装置６０と、イオン化した清浄エアを吸引口３２Ａの両側からフィルムロール１２に向けて吹き出すことによりフィルムロール１２から吸引口３２Ａに向かう気流を形成する吹出口３２Ｂ、３２Ｂと、フィルムロール１２表面から吹出口３２Ｂまでの距離に基づいて清浄エアの吹出風速及び吹出角度を制御する制御装置４４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】各種材料で形成された被洗浄体を効率よく洗浄するとともに、連続して投入して処理する。
【解決手段】洗浄槽３内を流動する高速気流により洗浄媒体１１を飛翔させて被洗浄体２に付着した塵や粉体を除去し、除去した塵や粉体と洗浄媒体１１を気体及び塵や粉体は通過できるが洗浄媒体１１は通過できない大きさの開口を有する多孔性部材２４を有する分離手段１７で分離するとき、多孔性部材２４に対する洗浄媒体１１を流動させる気体を導入する領域と分離した塵や粉体を吸引する領域を可変し、分離して多孔性部材２４に積み重なった洗浄媒体１１に対して気体の導入する領域から流入する気体により再度流動を与えて飛翔させて多孔性部材２４に目詰りが生じることを防ぐ。 （もっと読む）

核燃料棒（１）の表面の汚染を摩擦学的に除去する方法により、織物製の１つまたは複数のストリップ（１６）によって表面をなすりつけることを自動化する。ストリップ（１６）は棒（１）の軸から離れて移動させられ、棒はストリップ（１６）に面して配置され、次いで、ストリップは棒（１）の表面の周りで張力をかけられ移動させられる。棒は、固定されていてよく、あるいはその軸（ＡＡ）に沿って純粋の並進移動または長いピッチの螺旋移動のいずれかで移動させられてもよい。汚染除去が棒（１）の１回の通過で全体の表面に及ぶように２つのストリップによって同時に実行されることが好ましい。
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【課題】 タンクに充填した洗浄液の送出源をポンプを使用せず工場等に常備のコンプレッサを利用してコストの低減化を図り、高圧で洗浄液並びにエアーを洗浄対象物に供給できるようにし、洗浄対象物に対して一定時間毎に交互に往復方向に流通させるようにして短時間で効果的にスケール等の堆積物を除去するようにした洗浄装置の提供。
【解決手段】 第１タンクＡ並びに第２タンクＢと、高圧エアー源３から分配弁４を介して夫々のタンクに連通されたエアーダクト６ａ、６ｂと、前記各タンクの排出口７ａ、７ｂから液送出ダクト８ａ、８ｂ及び三方分岐路９ａ、９ｂを介して洗浄対象物Ｃの液体通路１０の出入り口に接続される接続ダクト１１ａ、１１ｂと、前記夫々の三方分岐路から各タンクに連通された液流入ダクト１２ａ、１２ｂと、各タンクの内部の気圧を開閉する排気弁１７ａ、１７ｂと、運転をコントロールする制御部１９とからなる洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】基板の裏面とベベル部への付着異物を除去することのできる基板裏面のドライ洗浄方法とその装置を提供する。
【解決手段】非洗浄対象の基板を容器内に搬送し、前記基板を非接触に吊り下げて保持し、前記基板の裏面に、放出後は気化や揮発によって残留することの無い流体を放出し、前記基板の裏面に付着する異物を前記流体を当てることで除去し、当該除去作業後に前記基板を前記容器から搬出する。
【効果】基板の裏面や端部に付着した異物を、再付着や再汚染を起こすことも無く、また、除去装置からの発塵も無しに、かつ、付着異物の性状に無関係に効率的に除去可能となる。 （もっと読む）

【課題】ワークに付着したゴミを確実に除去でき、設置場所を選ばないコンパクトな清掃装置を提供する。
【解決手段】対向的に配置される清掃ローラ４ａ〜４ｃを有する清掃ユニット３をベース２に回動自在に取り付け、ワークＷを垂直方向に搬送して、ワークＷに付着したゴミを除去する。 （もっと読む）

【課題】 被処理物の洗浄面に対するロールブラシの接触量の調整作業を簡単に、かつ高精度に行うことができる洗浄装置、及び板状の製品の製造方法を提供する。
【解決手段】 ガラス基板（被処理物）Ｗの洗浄面Ｗ１に対するロールブラシ３の位置を変更する第２の電動モータ（ロールブラシ位置変更部）Ｍ２と、電動モータＭ２の駆動制御を行う第２のモータ制御部（接触量調整部）を設ける。そして、第２のモータ制御部が、ロールブラシ３を回転駆動する第１の電動モータＭ１の負荷電流値を用いて、電動モータＭ２の駆動制御を行うことにより、ロールブラシ３の洗浄面Ｗ１との接触量を調整する。 （もっと読む）

【課題】 飲料容器の殺菌洗浄装置に用いられる殺菌水ノズル、洗浄水ノズル等の目詰まりによる噴射の不具合を検知する噴射検知装置を備えたロータリー洗浄装置、ロータリー殺菌装置、飲料水充填ライン、及び同ラインの不良容器除去方法を提供すること。
【解決手段】 連続して送り込まれた容器を受け取り、一定半径の円周上で一定ピッチに容器を保持して回転する回転体と、該回転体に保持される容器の中心線に一致するように配設されノズル番号を付けた洗浄水ノズルが容器と同期して回動し容器内に洗浄水又は洗浄水とエアの混合流体を噴射して洗浄するように構成されたロータリー洗浄装置において、 容器受け取り用スターホイールと容器送り出し用スターホイールの間の、容器が途切れていて、洗浄水ノズル移動円周上の適当な位置に、ノズル噴射を直接受けてその噴射圧を検知するノズル噴射圧検知手段を外部部材に固定して設けたこと。 （もっと読む）

【課題】
拭き取り部材の押し付け力を均一に保ちつつ、拭き取り対象物の表面の様々な状態に対応できる汚染拭き取り装置を得る。
【解決手段】
６軸力センサ１３によって測定された力から、拭き取り部材を取り付けるスミヤヘッド１１に作用する押し付け方向の力と押し付け位置の移動方向の力を算出し、それらの力が所定の範囲になるように拭き取り部移動機構１２を制御し、拭き取り対象物１５の表面にスミヤヘッド１１を押し付けながら、拭き取り対象物１５の表面に沿う押し付け位置を変えて拭き取り対象物１５の表面を拭き取る。 （もっと読む）