【課題】基板処理の均一性および安定性を向上し、基板の汚染量および処理液の消費量を低減することができる処理液供給ユニットおよびそれを備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、基板２に薬液を供給する複数の上側薬液吐出ヘッド１５および下側薬液吐出ヘッド１７を備えている。各薬液吐出ヘッド１５，１７は、断面矩形状の支持部材２２と、この支持部材２２に固定された多孔質膜２３とを有し、支持部材２２および多孔質膜２３によって薬液室３５が区画されている。薬液室３５には、薬液回収路３９を介して薬液が供給され、薬液室３５に供給された薬液は、多孔質膜２３を透過して基板２との間に液膜３６を形成する。処理対象の基板２は、液膜に接液されて処理が行われる。 （もっと読む）

【課題】蒸気によって被処理体を処理する処理室の壁部の温度上昇を抑制できる処理装置を提供すること。
【解決手段】処理装置は、被処理体１０を収容可能な処理室１と、処理室１内に設けられ、被処理体１０に蒸気を吐出するノズル５と、処理室１を覆う壁部２と、壁部２の内部に設けられた流体通路６５ａ〜６５ｃと、流体通路６５ａ〜６５ｃに連通して設けられた流体入口６０と、流体通路６５ａ〜６５ｃに連通して設けられ、流体入口６０から流入して流体通路６５ａ〜６５ｃを通った流体が流出する流体出口６１と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、長尺反物状の繊維布材の洗浄を複雑な装置を使わず迅速且つ確実に行うことができる繊維布材の洗浄方法を提供すること。
【解決手段】 繊維布材３に含まれる付着物Ａを除去するための繊維布材３の洗浄方法であって、第一リール１に巻き取られている前記繊維布材３を送り出し、循環洗浄タンク４に収容された洗浄液Ｗに浸漬し、第二リール２に巻き取る順方向洗浄工程と、前記第二リール２に巻き取られている前記繊維布材３を送り出し、前記循環洗浄タンク４に収容された前記洗浄液Ｗに浸漬し、前記第一リール１に巻き取る逆方向洗浄工程と、の二種類の洗浄工程を行う繊維布材の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】使用済の農業用プラスチックフィルムやプラスチック容器類に付着した泥や食品残渣などを十分に洗浄して、グレードの高いプラスチック製品の材料として再利用することができる廃プラスチック洗浄装置を提供するものである。
【解決手段】プラスチック破砕機１と、両端の投入口１５と排出口１６がドラム本体１４の内径より狭く形成され、ドラム本体１４の内壁に攪拌羽根１７を突設すると共に、ドラム本体１４の内部に砂利１９を投入し、前記排出口１６を円筒状に形成して、ここに多数の通水孔２８を開孔すると共にスパイラル羽根２９を内壁に突設した回転ドラム２と、この回転ドラム２に前記投入口１５から水を供給する水供給機構と、前記排出口１６の下方に設置された受水槽４とからなるものである。 （もっと読む）

【課題】バレルに付着した処理液による次工程の汚染を防止するとともに、大がかりな移動・搬送装置を不要とし、かつ、設備稼働効率を上昇させることができる連続式部品処理装置を提供する。
【解決手段】各々一つ以上の、処理槽２と、処理槽中で回転するドラムであって、ドラム内周に螺旋状のスパイラルリード１１を備え、かつスパイラルリードの最終部にポケット１４を有するリードドラム３と、リードドラムの回転に伴って該スパイラルリード最終ポケット１４から落下する被処理品４を受け、次工程のリードドラム３１に投入するための乗り移りシュート１５とを備える。 （もっと読む）

【要 約】
本発明は、平面状、薄型で破損しやすい基板のための連続方法での湿式化学処理（浄化、エッチング、ストリッピング、塗装、脱水）のための方法及び装置であって、基板運搬並びに湿式処理が媒体を吸収するローラによって行なわれる方法及び装置に関する。
（もっと読む）

【課題】 網板にへばり付いた被洗浄食品を剥離させると共に、被洗浄食品を均一に分散させ、これにより浮遊ゴミを確実に除去させることができ、かつエアー噴出間からの気泡を均一に浴びせて洗浄効果を十分に向上させることができるようにした食品洗浄装置の提供。
【解決手段】 搬送洗浄路３の途中に移送方向に対して直交す方向に仕切板７が昇降可能に設けられ、この仕切板の下部に搬送洗浄路の水流を遮る遮断面部７１が形成され、上部に被洗浄食品Ａを受け止めながら浮遊ゴミ等を水流と共に通過させる網部７０が形成され、仕切板の手前側に気泡噴出空間７５を保持して網板７６が設けられ、この気泡噴出空間の下部に、気泡を網板に沿って上昇させるようにエアーを噴出させる剥離用エアー噴出管９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】簡単な方法及び装置で、確実に延伸された金属線材の表面の酸化皮膜等を除去することができる金属線材のスケール除去方法と装置を提供。
【解決手段】水等の液体中にあらかじめ研掃剤を入れておき、その液体中に鋼線７等の金属線材を通過させるとともに、高圧の液体を液体中で鋼線７の表面に向けて噴射する。研掃剤は、粒径約１０μｍ〜約８００μｍのジルコン等の球状ジルコニアビーズである。研掃剤が分散した液体中を鋼線７が通過し、高圧の液体が鋼線７の表面に噴射されて、研掃剤により鋼線７表面のスケールが除去される。 （もっと読む）

【課題】 設置スペースをコンパクト化することのできるワーク洗浄装置を提供する。
【解決手段】 洗浄液を貯溜した洗浄液タンク１４と、前記洗浄液タンク１４内外へ移動される昇降体１７と、昇降体１７に設けられかつ前工程から送られてくるワークを受入れかつそのワークを後工程へ排出可能に作動するシャッター装置３４，３６とを備える。シャッター装置３４，３６を設けた昇降体１７を洗浄液タンク１４内外へ移動させる構成としたことにより、従来のコンベアタイプのものと比べて、設置スペースをコンパクト化することができる。 （もっと読む）

【課題】各種表示体に使用される機能性光学用プラスチックフィルムに混入している、埃、フィルム粕といった塵芥を除去でき、欠陥の少ない光学用プラスチックフィルムの洗浄装置等を提供する。
【解決手段】プラスチックフィルムを巻回したロールよりプラスチックフィルム１を巻き出す巻出し部５と、プラスチックフィルム１に洗浄水として純水を供給して複数段での洗浄を行う洗浄部と、ニップロール３及び／又はエアーナイフ４による水切り部と、プラスチックフィルム１の乾燥を行う乾燥部５０と、乾燥を終えたプラスチックフィルム１をロール状に巻き取る巻取り部８とを順に設ける光学用プラスチックフィルムの洗浄装置である。上記洗浄部は、プラスチックフィルム１を純水１２の浴槽１１中に浸漬し洗浄する第１の洗浄部１０Ａと、該第１の洗浄を終えたプラスチックフィルム１を純水を用いてスプレー洗浄する第２の洗浄部１０Ｂとからなる。 （もっと読む）

【課題】 手洗いを強いられてきた扁平状の長芋や、葉付大根を自動的に連続洗浄することを可能とすることにより、洗浄、選別、箱詰めと言った一連の作業をシステム化し、出荷における合理化、省力化を可能とする長尺根菜類の洗浄装置を提供する。
【解決手段】 被洗浄物に対して高水圧の水を噴射することにより洗浄を行う高水圧噴射手段を備え、長手方向に添って配設された内方洗浄用ロールブラシ１６、外側に位置する外方洗浄用ロールブラシ１８、上方に位置する被洗浄物の飛びはね防止ブラシ２０を有する長尺根菜類の洗浄装置において、内方洗浄用ロールブラシ１６、外方洗浄用ロールブラシ１８に植毛されている刷毛を被洗浄物が進む方向に傾けて植毛したことにより、被洗浄物に傷を付けることなく、洗浄を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】遊技機で使用されたメダルを水洗いした後、該メダルに付着した水分を乾燥する際、吸水部材として使用されたスポンジに含まれている水分をローラ等で搾り取ったり、スポンジの交換を頻繁に行う必要がなく、洗浄後のメダルの水切りを効率的に行うようにしたメダル乾燥装置を提供する。
【解決手段】端部にバキューム装置を接続した中空パイプ軸２９の外周に回動自在に中空パイプ３２が設けられ、該中空パイプの外周に吸水部材２８が設けられた２個のローラ２７、２７を互いの吸水部材が圧接された状態に並設して一対のローラを構成し、夫々の中空パイプ軸の周部には所定箇所に吸水孔２９ａが形成されると共に、夫々の中空パイプの周部には多数の吸水孔３２ａが形成され、回転する双方のローラの吸水部材の間にメダルを引き込み、中空パイプの吸水孔が空パイプ軸の吸水孔に一致したときに発生する急激な吸引力によってメダルに付着した水分を吸引する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で小型化でき、安価な部品で構成でき装置全体のコストを低減できる湿式処理装置を提供する。
【解決手段】 被処理物１を洗浄槽１９の上部に搬送して槽内に浸漬させて洗浄する湿式処理装置であって、洗浄槽１９と、この洗浄槽１９の上部で昇降可能に設けて中央部が開口して洗浄槽１９が開口した中央部を通過するように周囲に枠状に延在した上下動板１２と、上下動板１２に着脱可能に設けて推力を伝達する昇降手段１４と、上下動板１２の上部両側に設けた搬送手段１６と、この搬送手段１６を駆動させる駆動源１８と、上下動板１２の搬送手段１６に載置して搬送する側部と上部とを一体成形した枠体２２を設けてこの枠体２２の上部から中央に被処理物１を吊した状態に設置する設置部２４を有し上下動板１２の降下時に中央部を通過する洗浄槽１９内に設置部２４のみを浸漬させる搬送冶具２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】レーザービームを用いた電子部品の加工の結果として新たな境界面が形成される位置において、レーザーを用いて加工された電子部品の汚染に対処することのできる解決法を提供する。
【解決手段】本発明は、レーザービームを用いて電子部品を加工し、それを洗浄するための方法に関し、ここでレーザービームによって少なくとも１つの新たな境界面が電子部品上に形成される。本発明はまた、レーザービームを生成するためのレーザー光源と、分離されていない電子部品のアセンブリを支持するための少なくとも１つのキャリアとを少なくとも含む、電子部品を加工および洗浄するための装置にも関し、ここでキャリアとレーザービームとは、互いに対して移動可能である。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクの清浄度を著しく向上させ、フォトマスクの異物や汚れに起因した、パターンの黒欠陥、白欠陥、及び規格外のパターンの発生などを回避するために行っている、清浄なフォトマスクへの交換頻度を減少させることのできるカラーフィルタ用フォトマスクの洗浄装置を提供する。
【解決手段】アルカリ洗浄液を用いてウエット洗浄を行う洗浄液洗浄部Ａ、光洗浄を行う光洗浄部Ｂ、表裏反転する反転部Ｃ、上記洗浄液洗浄部、光洗浄部、反転部の各々の間でフォトマスクを搬送する搬送部Ｄを具備する。紫外線の主となる波長が１６５ｎｍ〜１７５ｎｍである。 （もっと読む）

【課題】 複数の洗浄方法を設けて、被洗浄物（例えば、ペットボトルをチップ化したもの）の種類に応じた洗浄を行うことができ、かつ、外側のドラム内の空間を有効に利用することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】 洗浄装置Ａ１において、外筒部４０は駆動部１２０により回転し、内筒部７０は、駆動部１３０により回転し、外筒部４０と内筒部７０とは独立に回転し、回転方向や回転数は任意に調整可能となっている。外筒部４０と内筒部７０とは、同軸上に回転する。また、内筒部７０は、外筒部４０に対してスライド可能になっている。 （もっと読む）

【課題】 汚れた金属製素材を、少工程、無廃液で洗浄をして、清浄な前記金属製素材を製造する金属性素材の製造方法を提供する。
【解決手段】 洗剤を用いた従来の洗浄システムでは、金属製材料９０を洗浄する工程は、少なくとも５工程必要であったが、この洗浄システム１では、洗剤とほぼ同じ洗浄能力を有するマイナスイオン水を用いることにより汚れを落とす第１工程、純水を用いて金属製材料９０の表面についた水分の純度を上げるリンス処理を行う第２工程、そして第３及び第４の乾燥工程の計４つの工程で、洗剤を用いた場合と同じ洗浄効果を得ることができる。しかも、洗浄に用いているものが水なので、簡単なフィルタリングを行うだけで、無配液で洗浄することができる。
（もっと読む）

【課題】 露光装置内の汚染を防止できる基板洗浄装置およびそれを備えた基板処理システムを提供することである。
【解決手段】 基板処理システム５００は、基板処理装置３００および洗浄／乾燥装置４００を含む。基板処理装置３００は、インデクサブロック９、反射防止膜用処理ブロック１０、レジスト膜用処理ブロック１１、現像処理ブロック１２、レジストカバー膜用処理ブロック１３、レジストカバー膜除去ブロック１４および第１のインターフェースブロック１５を備える。洗浄／乾燥装置４００は、洗浄／乾燥処理ブロック１６および第２のインターフェースブロック１７を備える。第２のインターフェースブロック１７に隣接するように露光装置１８が配置される。洗浄／乾燥処理ブロック１６において露光処理前の基板Ｗの洗浄処理が行われる。 （もっと読む）

【課題】廃プラの洗浄と脱水を一つの流れの中で行い、洗い落とされ、弾き飛ばされた異物を排出するようにして高品位の廃プラ再生品を得ることができる装置を提供する。
【解決手段】ケーシング１２の上流側に廃プラ投入口１５が開口し、下流側に廃プラ排出口１６が開口し、筒状ネット１３の下側に異物排出スクリュー１８が設けられ、その下流側に異物排出口１７が開口している。主軸１９の中間には仕切り盤２０が取り付けられ、主軸全体に螺旋翼１１ａが設けられ、上記投入口１５側の任意位置に洗浄液を噴出するノズル２１が設けられている。上記螺旋翼１１ａに代えて、螺旋軌道上にブレード１１を間欠的に稙設してもよい。また、上記ブレード１１の隙間を縫うようにして固定ブレードを稙設してもよい。このように回転・固定ブレードは、仕切り盤の上流側に設けることにより廃プラが洗浄液と接触する機会が多くなって洗浄効果を上げることができて高品位の廃プラ再生品を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】第１の有機溶剤システムおよび第２の二酸化炭素システムを用いて合成樹脂材料の容器から汚染物を除去する方法を提供する。
【解決手段】有機溶剤を用いて合成樹脂材料から汚染物を除去し、二酸化炭素を用いて合成樹脂材料から残留する有機溶剤を分離する。 （もっと読む）