【課題】環境負荷を軽減でき、メンテナンス性を向上でき、安全性が高く、かつ、低コストで必要十分に金属フープ条を洗浄できる金属フープ条の洗浄方法及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】送り出しリール３から連続的に送り出され、所定の工程を経た後に巻き取りリール６に巻き取られる金属フープ条２の洗浄方法において、所定のｐＨ値のアルカリイオン水を生成し、このアルカリイオン水を貯留タンク１０に貯留し、この貯留タンク１０からのアルカリイオン水で前記送り出しリール３と前記巻き取りリール６の間の金属フープ条２を洗浄し、この洗浄に使用したアルカリイオン水から油を分離除去し、この油を分離除去したアルカリイオン水を排水するとき、このアルカリイオン水をｐＨ調整タンク１３内に収容して大気放置することにより排水のｐＨ値を下げるものである。 （もっと読む）

【課題】複数の被洗浄物を連続的により少ない液量でより確実に洗浄でき、かつ軽量化及び小型化可能な洗浄装置を提供する。
【解決手段】外周壁と底部を備え前記外周壁と前記底部とで形成された空間に液体を貯留する洗浄槽と、付勢されて振動し前記洗浄槽を振動させる振動子と、前記空間に設けられ回転軸を中心として所定方向に回転する搬送部とを備え、前記空間に供給された被洗浄物の少なくとも一部の部位を前記液体に浸漬させ、前記被洗浄物を前記搬送部により前記底部上で前記所定方向に回転移動させると共に前記振動子により前記洗浄槽を振動させて前記液体により前記被洗浄物を洗浄し、前記洗浄した被洗浄物を前記洗浄槽の外部に排出するように構成した。 （もっと読む）

【解決手段】プロキシミティヘッドを形成及び使用するシステム並びに方法。プロキシミティヘッドは、ヘッド表面を含み、該ヘッド表面は、第１のゾーンと、第２のゾーンと、内部戻りゾーンとを含む。第１のゾーンは、第１の平坦な表面領域と、複数の第１の個別穴とを含む。複数の第１の個別穴の各穴は、複数の第１の導管のうちの対応する１本に接続されている。複数の第１の個別穴は、ヘッド表面内にあり、第１の平坦な表面領域に広がっている。複数の第１の個別穴の少なくとも一部分は、第１の列に配置される。第２のゾーンは、第２の平坦な表面領域と、複数の第２の個別穴とを含む。複数の第２の個別穴の各穴は、複数の第２の導管のうちの対応する１本に接続されている。複数の第２の個別穴は、ヘッド表面内にあり、第２の平坦な表面領域に広がっている。内部戻りゾーンは、複数の内部戻り個別穴を含む。内部戻りゾーンは、第１のゾーンと第２のゾーンとの間にそれらに隣接して位置している。複数の内部戻り個別穴の各穴は、複数の内部戻り導管のうちの対応する１本に接続されている。複数の内部戻り個別穴は、ヘッド表面内にあり、ヘッド表面に広がっている。複数の内部戻り個別穴の少なくとも一部分は、内部戻り列に配置される。第１の列と内部戻り列は、実質的に平行である。複数の内部戻り個別穴の各穴の縁の第１の部分は、ヘッド表面内に入り込んでいる。 （もっと読む）

【課題】水切り乾燥装置および方法において、溶剤槽の溶剤中に形成される気泡を抑制し、ワークの水切り、乾燥を良好に行うことができるようにする。
【解決手段】水の付着したワークＷの水切りおよびすすぎ乾燥を行う水切り乾燥装置１であって、ワークＷを浸漬する溶剤４ａ、１０ｂが貯留された水切り槽４、すすぎ乾燥槽１０と、水切り槽４、すすぎ乾燥槽１０に貯留された溶剤４ａ、１０ａに対して、ワークＷを出し入れする水切り部搬送機構４０Ａ、すすぎ乾燥部搬送機構４０Ｂと、これらの搬送速度を制御する速度制御部１００とを備え、速度制御部１００は、ワークＷが溶剤４ａ、１０ｂと接触している間、ワークＷの搬送速度の大きさを、５．５ｍｍ／ｓ以下に制御するようにした構成とする。 （もっと読む）

【課題】製品の洗浄及び乾燥工程において真空ポンプ装置を効率よく活用することでイニシャルコスト及びエネルギーコストを抑制することが可能な洗浄及び乾燥システムを提供すること。
【解決手段】主ステーション１１における洗浄工程ではまずシャワー装置１６によって製品を洗浄し、同じ主ステーション１１において第１の乾燥工程としてエアーブロー装置１５によるブロー処理で製品表面の水分を除去する。更に、水分はブロー処理では完全には除去しきれないため第２の乾燥工程を実行する真空ケース１２内で脱気して残余の水分を蒸発させる。この際に真空ポンプ装置２０を稼働させて吸引した空気に応じた排気を排気導出管２３から吐出させ、その排気をエアーブロー装置１５のブロー源とする。これによって真空ポンプ装置２０を効率よく活用することができる。 （もっと読む）

【課題】多種類のパレットを回転枠に保持できる自動洗浄脱水装置を提供する。
【解決手段】回転枠３１と、パレットＰを載置して回転枠１に対し昇降させる昇降テーブル２１と、噴射ノズル４１とを備えてなる自動洗浄脱水装置において、回転枠３１には、パレットＰの長手方向前後両端面に当接する前後一対のチャック片２ａ，２ａと、パレットＰの幅方向左右両端面に当接する左右一対のチャック片３ａ，３ａとを有するチャック装置１を設け、前後両チャック片２ａ，２ａは、回転枠３１に設けた前後一対のシリンダ４，４によって、前後両チャック片２ａ，２ａを回転枠３１の中心部からパレットＰの前後に同じ距離往復移動させるようにし、左右両チャック片３ａ，３ａは、回転枠３１に設けた左右一対のシリンダ５，５によって、左右両チャック片３ａ，３ａを回転枠３１の中心部からパレットＰの左右に同じ距離往復移動させるようにした。 （もっと読む）

【課題】基板上に成長させた被処理体を少量の液媒体で且つ短時間で効率良く回収できるようにする。
【解決手段】基板Ｐの処理面と貯留槽４１の底板表面とを対向させ且つその間隙を少量の液媒体で満たし、超音波振動子４２により貯留槽４１の底板を厚さ方向に振動させ、その振動を液媒体を介して基板Ｐに伝達して基板Ｐを面内方向に振動させることで、基板Ｐから被処理体を切断して液媒体と一緒に回収する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マイクロバブルを使用して、洗浄効果向上による洗浄剤の使用量の削減及び環境適性の向上並びに順次・連続的な容器の洗浄が可能な容器洗浄機を提供することである。また、マイクロバブルを使用して、中性乃至酸性の洗浄剤を用いてアルカリ性洗浄剤による容器寿命低下の問題を解決することを目的とする。
【解決手段】本発明の容器洗浄機は、予備濯ぎ槽２と、洗浄槽３と、仕上げ濯ぎ槽４と、未洗浄容器１ａを順次連続的に予備濯ぎ槽、洗浄槽及び仕上げ濯ぎ槽に通過させる容器搬送手段７と、洗浄槽に蓄えられた洗浄液１０に流れを生じさせる洗浄液循環手段２４と、洗浄槽の洗浄液中に設置された微細気泡発生器３１と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フロンを使用せず精密洗浄を行なえ、宇宙機器のような中小物部品から大型内部複雑構造物・配管類に至る迄の、多様な洗浄対象物に対応できる水系洗浄方法および水系洗浄装置。
【解決手段】洗浄対象物に対して脱脂洗浄、アルカリ洗浄、高圧水洗浄、純水仕上げ洗浄、検査、乾燥の各工程を前記順に行なう水系洗浄方法であって、脱脂洗浄工程においては洗浄対象物を溶剤またはアルカリ洗浄剤で予備的な脱脂洗浄を行なった後、純水によるリンスを行い、アルカリ洗浄工程では洗浄対象物をアルカリ洗浄剤で洗浄したのち、純水によるリンスを行い、高圧水洗浄工程では洗浄対象物に高圧の純水をノズルから直接噴射し、純水仕上げ洗浄では洗浄対象物に対し純水超音波洗浄と純水フラッシング洗浄を行い、検査工程では洗浄対象物の清浄度検査のため粒子検査用のサンプリング液と油分検査用のサンプリング液を採取し、乾燥工程では洗浄対象物の付着水分を乾燥させる。 （もっと読む）

【課題】ウエブ状の被洗浄物に洗浄液を吹き付けて形成される液膜を、噴出ノズルから噴出する気体で除去する際に、除去した洗浄液の液滴やミストが被洗浄物に再付着することを防止できる。
【解決手段】搬送されるウエブＷの表面に洗浄液Ｌを吹き付ける洗浄液吹き付けノズル３０と、ウエブＷの搬送方向に対向する向きの噴出流が少なくとも形成されるように気体を噴出してウエブ表面に残存する液膜Ｌ１を除去する気体噴出ノズル３２と、の間に遮風壁３４を設けた。 （もっと読む）

【課題】従来の洗浄材はブラッシング材、研布材などに洗剤又は水等を含ませ洗浄するものである。このため洗浄性が悪く、また洗浄剤の寿命が短く頻繁なる交換が必要で、維持費が高価なものとなっている。また洗浄装置も、洗浄物の詰りなどが頻繁に発生していた。
【解決手段】入口シュート８から投入された被洗浄物７は洗浄用回転ドラム内にて、スパイラル状送りフイン３で移送されながら、小突起物４で攪拌、分離しつつ、ノズル６より噴射される高温高圧洗浄水にて洗浄される。洗浄された被洗浄物７は乾燥用回転ドラムにシュート１８を介して投入され、スパイラル状送りフイン１３にて移送されながら小突起物１４にて分離、攪拌された被洗浄物７は、遠心分離にて脱水乾燥される。蒸気はフアンＦにより冷却器Ｃに送られて冷却され液と乾き空気に分けられる。液は洗浄液として再利用し、乾き空気は装置外に排出される。 （もっと読む）

【課題】洗浄中に聴診器のヘッド部分がそれに沿って通過する移動経路を含む筐体を有する、聴診器のヘッド部を洗浄するように構築された組立品を提供する。
【構成】洗浄液の供給は、組立品の活性化部に関して協働的に配設される組立品の分注部に付随する。前記組立品の活性化部は、前記ヘッド部分が前記移動経路に沿って移動する際の前記ヘッド部との可動の係合に起因して手動で操作される。前記組立品の活性化部は、前記ヘッド部分が前記移動経路に沿って通過する際に前記ヘッド部分と係合した時、これによって駆動的位置に配置され組立品の分注部を活性化する。前記組立品の分注部は、前記洗浄液を組立品のアプリケーター部に供給し、前記組立品のアプリケーター部は前記洗浄液を前記ヘッド部分に供給し、前記ヘッド部の洗浄と前記ヘッド部分からの過剰な洗浄液の除去を促進する。 （もっと読む）

【課題】反応容器の内壁側面に付着した汚れを除去するのに十分な洗浄液の流れを確実に形成し、反応容器内部の汚れを十分に洗浄すること。
【解決手段】洗浄装置２０は、供給ノズル２１１と、先端が供給ノズル２１１の先端よりも若干鉛直方向下方に位置する吸引ノズル２１３と、先端が供給ノズル２１１の先端よりも鉛直方向上方に位置するオーバーフローノズル２１５とで構成されるノズル部２１を備える。供給ノズル２１１は、反応液や洗浄水が保持される部分の面積よりも大きい内径面積を有する。そして、供給ノズル２１１は、その外壁面と反応容器Ｃの内壁面全域との間に、供給ノズル２１１から供給される洗浄水を流通させる間隙を有するように配置される。供給ノズル２１１から供給された洗浄水は、供給ノズル２１１の外壁面と反応容器Ｃの内壁面との間の間隙を流通し、オーバーフローノズル２１５により吸引される。 （もっと読む）

【課題】カート等の搬送体を容易かつ確実に除菌可能な搬送体清浄システムを提供する。
【解決手段】取っ手４を備えた搬送体２の搬送エリアに搬送体清浄ユニット５０を設置し、この搬送体清浄ユニット５０の装置本体５１に、水を電気分解して活性酸素種を含む電解水を生成する電解部と、その電解水をミスト状にして電解水ミストを生成するミスト生成部と、搬送エリアに搬送された搬送体２に対し、電解水ミストを少なくとも搬送体２の取っ手４に向けて吹き出す吹出部とを設けた。 （もっと読む）

【課題】浮遊スカムとスラッジの両方をラインタンクから排出し、循環タンクに戻すことで、常にラインタンク内の洗浄液を清浄に保ちてる鋼板の洗浄設備を提供する。
【解決手段】本発明の鋼板の洗浄設備は、洗浄される鋼板が通過するラインタンク１と、ラインタンク１に洗浄液を供給及び循環するための循環タンク２と、循環タンク２内の洗浄液をラインタンク１に供給する循環ポンプ７と、ラインタンク１内に堆積したスラッジ１１を洗浄液と共に、ラインタンク１の底に設けた排出口１ａから循環タンク２に戻す底抜き配管系統６と、ラインタンク１内のスカム１２を洗浄液と共に、ラインタンク１の液面部に設けたオーバーフロー口１ｂから循環タンク２に戻すオーバーフロー配管系統５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 大型マスク基板を容易に洗浄、搬送することができ、且つコンパクトな洗浄槽により、広い作業スペースを必要とせず、操作性の良い洗浄装置を提供する。
【解決手段】 洗浄装置の門方基板操作部は、洗浄槽６０を跨いで門方を形成し、大型ガラス基板８５を洗浄槽６０内に降下させ、且つ降下した大型ガラス基板８５を洗浄槽６０内から上昇させる基板昇降部と、洗浄槽６０に対して移動動作を行う基板搬送部とを有し、洗浄槽６０の両側に設置された２本のガイドレール４０−１、２上を移動する。 （もっと読む）

【課題】前後の処理の組み合わせに基づき動的処理の配置を柔軟に行うことによって、基板処理のスループットを向上させることができる基板処理装置のスケジュール作成方法を提供する。
【解決手段】制御部は、処理工程のうち動的処理を行うことがある特定処理工程ｂを配置する際に、先の特定処理工程ｂの搬送元にあたる処理工程と、当該特定処理工程ｂの搬送元にあたる処理工程と、表（搬送元の処理工程の組み合わせ）に基づき、当該特定処理工程ｂの前に動的処理である水洗乾燥処理を配置するか否かを決定する。したがって、一律に動的処理が配置されることがなく、各ロットの処理工程の配置状況に応じて動的処理である水洗乾燥処理の配置を柔軟に行うことができるので、無駄な動的処理の配置がなくなって基板処理装置のスループットを向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】使用済みののり網に付着したのり網の完全に除去することができ、資源の低消費（reduce）、再使用（reuse）、リサイクル（recycle）を実現し得るのり網洗浄装置および該装置を用いたのり網洗浄方法を提供することである。
【解決手段】略線状に絞り込まれた洗浄されるべきのり網に高圧水を噴射するために、当該洗浄されるべきのり網が進入する入口と、洗浄されたのり網が退出する出口とを備えた洗浄室と、該洗浄室に支持された１または２以上の高圧ノズルと、該洗浄室内において洗浄されるべきのり網を移動自在に保持するために該洗浄室に固定された保持手段とからなることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】洗浄液として洗浄性の高い炭化水素類等を用いて洗浄した後に、リンス液としてハイドロフルオロカーボン類やハイドロフルオロエーテル類を用いて洗浄液をすすぎ乾燥させる処理を、長時間連続して良好な状態で継続する。
【解決手段】リンス液の一部を被再生液として抜き出して冷却し、冷却後の該被再生液を上層液と下層液に比重分離し、得られる下層液をリンス液として再利用する。 （もっと読む）

【課題】大型化した洗浄対象物や形状の異なる複数の成膜治具について付着膜を効率良く剥離回収することができる剥離洗浄装置を提供する。
【解決手段】付着物の付着した洗浄対象物Ｗが配置される矩形状のテーブル２と、洗浄対象物Ｗに向けて配置される洗浄ノズルを有し、洗浄対象物Ｗに付着した付着物に対し高圧水を噴射するノズル装置３と、ノズル装置３をテーブル２の長手方向としてのＸ軸方向および幅方向としてのＹ軸方向にそれぞれ移動させるＸ軸駆動手段およびＹ軸駆動手段と、洗浄ノズルを垂直方向としてのＺ軸方向に移動させるＺ軸駆動手段と、洗浄ノズルを垂直軸まわりに回転させるＲ軸駆動手段と、を備えてなることを特徴とする。 （もっと読む）