洗浄装置
【課題】 大型マスク基板を容易に洗浄、搬送することができ、且つコンパクトな洗浄槽により、広い作業スペースを必要とせず、操作性の良い洗浄装置を提供する。
【解決手段】 洗浄装置の門方基板操作部は、洗浄槽６０を跨いで門方を形成し、大型ガラス基板８５を洗浄槽６０内に降下させ、且つ降下した大型ガラス基板８５を洗浄槽６０内から上昇させる基板昇降部と、洗浄槽６０に対して移動動作を行う基板搬送部とを有し、洗浄槽６０の両側に設置された２本のガイドレール４０−１、２上を移動する。
【解決手段】 洗浄装置の門方基板操作部は、洗浄槽６０を跨いで門方を形成し、大型ガラス基板８５を洗浄槽６０内に降下させ、且つ降下した大型ガラス基板８５を洗浄槽６０内から上昇させる基板昇降部と、洗浄槽６０に対して移動動作を行う基板搬送部とを有し、洗浄槽６０の両側に設置された２本のガイドレール４０−１、２上を移動する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産工程における、大型基板の洗浄を行う洗浄装置に係り、詳しくは、コンパクトな洗浄槽に大型基板を安定して搬送する搬送手段を具備した洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイ及びプラズマディスプレイの表示画面は年々大型化し、そのマスク基板も１．５ｍ×１．５ｍ×５ｍｍを越える大きさになっている。このためマスク基板の洗浄工程において、大型マスク基板を人手により洗浄槽に出し入れする取り扱いが次第に困難となっている。またマスク基板の大型化に伴い洗浄槽も大型化し、より広い作業スペースが必要となっている。これらのことから、大型マスク基板の取り扱いが容易で、操作性の良い、コンパクトな洗浄装置が求められている。
【０００３】
特許文献１には、枚葉式洗浄装置の下部筐体の上部に、多数の小孔を有するステンレス板または多孔質板を設け、小孔または多孔からの洗浄水圧によってガラス基板を支持し、搬送ロールによってガラス基板を搬送しながら洗浄することにより、搬送ロールの間隔を広げてもガラス基板が搬送ロール間で垂れず、約１ｍ２大のガラス基板においても処理能力を低下させることなく洗浄できる洗浄方法についての記載がされている。
【特許文献１】特開２００２−２８０３４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、大型ガラス基板を容易に洗浄、搬送することができ、且つコンパクトな洗浄槽により、広い作業スペースを必要とせず、操作性の良い洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の洗浄装置は、大型ガラス基板を洗浄する門方基板操作部を有する洗浄装置であって、門方基板操作部は、洗浄槽を跨いで門方を形成し、基板を洗浄槽内に降下させ、且つ降下した基板を洗浄槽内から上昇させる基板昇降部と、洗浄槽に対して移動動作を行う基板搬送部とを有し、洗浄槽の両側に設置された２本のガイドレール上を移動することを特徴とする。
【０００６】
本発明の洗浄装置の門方基板操作部は、洗浄槽の両側に立つ２本の支柱と、２本の支柱を上部で連結する連結シャフトとを有し、基板昇降部は、２本の支柱のそれぞれに設置されて基板を上下動させる２本の昇降軸と、２本の昇降軸に設置され基板を保持して上下動する基板保持アームと、２本の支柱のいずれかに設置されて基板保持アームを上下動させる上下動モータと、２本の昇降軸と上下動モータとを連結して上下動モータの回転トルクを２本の昇降軸に伝達する上下動用同期シャフトとを有し、基板搬送部は、２本の支柱のいずれかに設置されて門方基板操作部を移動させる横送りモータと、２本の支柱のそれぞれに設置され２本のガイドレール上を回転して移動する２つの回転体と、２つの回転体と横送りモータとを連結して横送りモータの回転トルクを２つの回転体に伝達する横送り用同期シャフトとを有することを特徴とする。
【０００７】
本発明の洗浄装置の洗浄槽は、基板を洗浄液に浸漬させて洗浄する洗浄部と、洗浄液を回収して浄化する浄化部とから成り、洗浄部と浄化部とが一体化されて構成されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の洗浄装置の洗浄槽の洗浄部は、洗浄液を振動させて洗浄力を与える超音波発生部を有し、洗浄槽の浄化部は、洗浄槽の洗浄液の一部を蓄え、該一部の洗浄液を浄化するフィルターと洗浄部へ循環させるポンプとを備えた循環部を有し、基板が洗浄部の洗浄液に浸漬されている間、循環部は連続して動作し、超音波発生部は設定された時間に応じて超音波の発生と停止とを繰り返す間欠動作をし、停止時間中に洗浄液が所定の状態に浄化されることを特徴とする。
【０００９】
本発明の洗浄装置は、ライン状に設置された複数の洗浄槽との前記門方基板操作部とを有し、門方基板操作部の各々は、基板の洗浄を複数の洗浄槽の順序に従って連続して行うために上下動モータと横送りモータとを制御する制御部を具備することを特徴とする。
【００１０】
本発明の洗浄装置は、往路用の２本のガイドレールと同様で、往路用の２本のガイドレールの上方向に設置された復路用の２本のガイドレールと、複数の門方基板操作部の基板の洗浄が終了すると基板を切り離し、門方基板操作部を復路用の２本のガイドレールに設置する門方基板操作部の復路制御手段と、戻ってきた門方基板操作部を復路用の２本のガイドレールから切り離し、洗浄のための基板を門方基板操作部に設定する往路制御手段とを有することを特徴とする。
【００１１】
本発明の洗浄装置は、洗浄装置の制御部と、洗浄装置の往路制御手段及び復路制御手段とは、無線によるデータ送受信部を有し、無線によるデータ送受信部を有する集中制御装置により制御されて、連続して基板を洗浄することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の洗浄装置によれば、門方基板操作部により大型ガラス基板を容易に洗浄、搬送することができ、且つ洗浄部と浄化部６０−２とが一体化されたコンパクトな洗浄槽により、広い作業スペースを必要とせず、操作性の良い洗浄装置を提供することが可能となる。また、制御部を有する複数の門方基板操作部と複数の洗浄槽と１つの集中制御装置とにより、任意に設定された洗浄ラインを自動操作することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明による実施の形態について、図を用いて説明する。図１は、本発明の洗浄装置の構成を示す装置構成図である。図１において、洗浄装置１００−１の門方基板操作部は、洗浄槽６０の両側に位置する２本の支柱１０−１、２と、２本の支柱１０−１、２を上部で連結する連結シャフト１５とを有している。また門方基板操作部の基板昇降部は、２本の支柱１０−１、２のそれぞれに設置されて大型ガラス基板８５を上下動させる２本の昇降軸２０−１、２と、２本の昇降軸２０−１、２に設置され大型ガラス基板８５を保持して上下動する基板保持アーム２５と、２本の支柱１０−１、２のいずれかに設置されて基板保持アーム２５を上下動させる上下動モータ３０と、２本の昇降軸２０−１、２と上下動モータ３０とを連結して上下動モータ３０の回転トルクを２本の昇降軸２０−１、２に伝達する上下動用同期シャフト３５とを有している。
【００１４】
さらに門方基板操作部の基板搬送部は、２本の支柱１０−１、２のいずれかに設置されて門方基板操作部を移動させる横送りモータ４５と、２本の支柱１０−１、２のそれぞれに設置され２本のガイドレール４０−１、２上を回転して移動する２つの回転体５０−１、２と、２つの回転体５０−１、２と横送りモータ４５とを連結して横送りモータ４５の回転トルクを２つの回転体５０−１、２に伝達する横送り用同期シャフト４７とを有し、洗浄槽６０の両側に設置され洗浄槽６０に対して門方基板操作部の移動方向を決める２本のガイドレール４０−１、２上を移動する。
【００１５】
大型ガラス基板８５は、洗浄前に基板保持アーム２５にセットされる。大型ガラス基板８５が基板保持アーム２５にセットされ洗浄動作がスタートすると、基板搬送部の横送りモータ４５は、横送り用同期シャフト４７を介して２つの回転体５０−１、２に回転トルクを伝達する。これにより門方基板操作部は、移動方向を決める２本のガイドレール４０−１、２上に沿って移動を開始する。
【００１６】
門方基板操作部が洗浄槽６０上に到達すると、横送りモータ４５は停止し、基板昇降部の上下動モータ３０が動作を開始する。上下動モータ３０は、上下動用同期シャフト３５と２本の昇降軸２０−１、２とを介して基板保持アーム２５に回転トルクを伝達する。これにより基板保持アーム２５は降下し、大型ガラス基板８５は洗浄槽６０の洗浄部６０−１に浸漬され洗浄が開始する。洗浄が終了すると再び上下動モータ３０により大型ガラス基板８５は洗浄部６０−１の洗浄液８０−１に対し所定に位置まで上昇した後、基板搬送部により横移動して洗浄槽６０から取り出される。
【００１７】
さらに図１において、洗浄槽６０は、基板８５を洗浄液８０−１に浸漬させて洗浄する洗浄部６０−１と、洗浄液８０−１を回収して浄化する浄化部６０−２とから成り、洗浄部６０−１と浄化部６０−２とが一体化されて構成されている。これにより、洗浄槽がよりコンパクトに構成されるため、要求されていた広い作業スペースの確保が不要となる。洗浄槽６０の洗浄部６０−１は、洗浄液８０−１を振動させて洗浄力を与える超音波発生部６５を有している。洗浄槽６０の浄化部６０−２は、洗浄槽６０の洗浄液８０−１の一部を蓄え、その一部の洗浄液８０−２を浄化するフィルター７５と洗浄部６０−１へ循環させるポンプ７０とを備えた循環部を有している。
【００１８】
大型ガラス基板８５が洗浄部６０−１の洗浄液８０−１に浸漬されている間、循環部は連続して動作し、浄化部６０−２の洗浄液８０−２を浄化して洗浄部６０−１へ戻す。超音波発生部６５は所定の時間だけ動作した後、所定の時間だけ停止する。この停止時間中に洗浄液８０−１は所定の状態まで浄化され、超音波発生部６５は再び所定の時間だけ動作する。これを所定の回数だけ繰り返し、洗浄が終了する。また、大型ガラス基板８５が洗浄部６０−１の洗浄液８０−１に浸漬されていない間も、洗浄液８０−１を一定の清浄度に保つため、上記動作が継続して行われても良い。
【００１９】
図２は、本発明の他の実施例を示す洗浄装置のレイアウト図である。洗浄装置１００−１と洗浄槽６０とが複数ライン状に設置され、各門方基板操作部の連結シャフト１５には、大型ガラス基板８５の洗浄を複数の洗浄槽６０の順序に従って連続して行うために、上下動モータ３０と横送りモータ４５とを制御する制御部９０が設置されている。これにより各々の門方基板操作部の大型ガラス基板８５は、制御部９０に設定された制御手順に従って、それぞれの洗浄槽６０において洗浄され、全ての洗浄槽６０を経由して洗浄を完了する。また洗浄装置１００−１及び洗浄槽６０は、洗浄条件に対応して１台であっても良い。
【００２０】
さらに往路用の２本のガイドレール４０−１、２と同様で、往路用の２本のガイドレール４０−１、２の上方向に設置された復路用の２本のガイドレール９３−１、２と、複数の門方基板操作部のそれぞれの基板８５の洗浄が終了すると各基板８５を切り離しその門方基板操作部を復路用の２本のガイドレール９３−１、２に設置する門方基板操作部の復路制御手段と戻ってきた門方基板操作部を復路用の２本のガイドレール９３−１、２から切り離し洗浄のための大型ガラス基板８５を門方基板操作部に設定する往路制御手段と（いずれも図示されず）、集中制御装置９７とを具備することにより、枚葉式の自動洗浄装置１００−２が構成される。門方基板操作部の固定脚９５−１、２は、往路制御手段の一部をなし、戻ってきた門方基板操作部に大型ガラス基板８５を設定するための固定脚である。また門方基板操作部の固定脚９５−３、４は、復路制御手段の一部をなし、洗浄が完了した門方基板操作部の大型ガラス基板８５を取り外すための固定脚である。
【００２１】
往路制御手段は、門方基板操作部を門方基板操作部の固定脚９５−１、２に設定して大型ガラス基板８５を基板保持アーム２５に取り付けると、門方基板操作部を往路用の２本のガイドレール４０−１、２上にセットする。セットされた門方基板操作部の制御部９０は、設定された洗浄手順に従い、各洗浄槽６０を経由して洗浄を完了する。復路制御手段は、ガイドレール４０−１、２から門方基板操作部を取り外し、門方基板操作部の固定脚９５−１、２にセットする。引き続き、大型ガラス基板８５を取り外した後、復路用の２本のガイドレール９３−１、２にセットする。門方基板操作部の制御部９０は、再び設定された手順に従い、スターと地点に戻る。往路制御手段は、戻ってきた門方基板操作部を門方基板操作部の固定脚９５−１、２に設定して大型ガラス基板８５を基板保持アーム２５に取り付け、往路用の２本のガイドレール４０−１、２上にセットする。これらの動作を繰り返すことで、大型ガラス基板８５が連続して洗浄される。
【００２２】
また、制御部９０と、往路制御手段及び復路制御手段と、集中制御装置９７とが、無線によるデータ送受信部を具備することにより、各制御部９０と、往路制御手段及び復路制御手段とが集中制御装置９７の無線により制御され、連続して大型ガラス基板８５を洗浄することが可能となる。
【００２３】
以上説明したように、本発明の洗浄装置によれば、大型マスク基板の人手による取り扱いを削減でき、基板を容易に洗浄、搬送することができる。またコンパクトな洗浄槽により、広い作業スペースを必要とせず、操作性の良い洗浄装置を提供することが可能となる。さらに本発明の洗浄装置を複数ライン状にレイアウトし無線制御することにより、連続した枚葉式の自動洗浄装置を構築することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の洗浄装置の構成を示す装置構成図。
【図２】本発明の他の実施例を示す洗浄装置のレイアウト図。
【符号の説明】
【００２５】
１０−１、２ 支柱
１５ 連結シャフト
２０−１、２ 昇降軸
２５ 基板保持アーム
３０ 上下動モータ
３５ 上下動用同期シャフト
４０−１、２ ガイドレール
４５ 横送りモータ
４７ 横送り用同期シャフト
５０−１、２ 回転体
６０ 洗浄槽
６０−１ 洗浄部
６０−２ 浄化部
６５ 超音波発生部
７０ ポンプ
７５ フィルター
８０−１ 洗浄液
８０−２ 洗浄液の一部
８５ 大型ガラス基板
９０ 制御部
９３−１、２ 復路用ガイドレール
９５−１〜４ 門方基板操作部の固定脚
９７ 集中制御装置
１００−１、２ 洗浄装置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産工程における、大型基板の洗浄を行う洗浄装置に係り、詳しくは、コンパクトな洗浄槽に大型基板を安定して搬送する搬送手段を具備した洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイ及びプラズマディスプレイの表示画面は年々大型化し、そのマスク基板も１．５ｍ×１．５ｍ×５ｍｍを越える大きさになっている。このためマスク基板の洗浄工程において、大型マスク基板を人手により洗浄槽に出し入れする取り扱いが次第に困難となっている。またマスク基板の大型化に伴い洗浄槽も大型化し、より広い作業スペースが必要となっている。これらのことから、大型マスク基板の取り扱いが容易で、操作性の良い、コンパクトな洗浄装置が求められている。
【０００３】
特許文献１には、枚葉式洗浄装置の下部筐体の上部に、多数の小孔を有するステンレス板または多孔質板を設け、小孔または多孔からの洗浄水圧によってガラス基板を支持し、搬送ロールによってガラス基板を搬送しながら洗浄することにより、搬送ロールの間隔を広げてもガラス基板が搬送ロール間で垂れず、約１ｍ２大のガラス基板においても処理能力を低下させることなく洗浄できる洗浄方法についての記載がされている。
【特許文献１】特開２００２−２８０３４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、大型ガラス基板を容易に洗浄、搬送することができ、且つコンパクトな洗浄槽により、広い作業スペースを必要とせず、操作性の良い洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の洗浄装置は、大型ガラス基板を洗浄する門方基板操作部を有する洗浄装置であって、門方基板操作部は、洗浄槽を跨いで門方を形成し、基板を洗浄槽内に降下させ、且つ降下した基板を洗浄槽内から上昇させる基板昇降部と、洗浄槽に対して移動動作を行う基板搬送部とを有し、洗浄槽の両側に設置された２本のガイドレール上を移動することを特徴とする。
【０００６】
本発明の洗浄装置の門方基板操作部は、洗浄槽の両側に立つ２本の支柱と、２本の支柱を上部で連結する連結シャフトとを有し、基板昇降部は、２本の支柱のそれぞれに設置されて基板を上下動させる２本の昇降軸と、２本の昇降軸に設置され基板を保持して上下動する基板保持アームと、２本の支柱のいずれかに設置されて基板保持アームを上下動させる上下動モータと、２本の昇降軸と上下動モータとを連結して上下動モータの回転トルクを２本の昇降軸に伝達する上下動用同期シャフトとを有し、基板搬送部は、２本の支柱のいずれかに設置されて門方基板操作部を移動させる横送りモータと、２本の支柱のそれぞれに設置され２本のガイドレール上を回転して移動する２つの回転体と、２つの回転体と横送りモータとを連結して横送りモータの回転トルクを２つの回転体に伝達する横送り用同期シャフトとを有することを特徴とする。
【０００７】
本発明の洗浄装置の洗浄槽は、基板を洗浄液に浸漬させて洗浄する洗浄部と、洗浄液を回収して浄化する浄化部とから成り、洗浄部と浄化部とが一体化されて構成されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の洗浄装置の洗浄槽の洗浄部は、洗浄液を振動させて洗浄力を与える超音波発生部を有し、洗浄槽の浄化部は、洗浄槽の洗浄液の一部を蓄え、該一部の洗浄液を浄化するフィルターと洗浄部へ循環させるポンプとを備えた循環部を有し、基板が洗浄部の洗浄液に浸漬されている間、循環部は連続して動作し、超音波発生部は設定された時間に応じて超音波の発生と停止とを繰り返す間欠動作をし、停止時間中に洗浄液が所定の状態に浄化されることを特徴とする。
【０００９】
本発明の洗浄装置は、ライン状に設置された複数の洗浄槽との前記門方基板操作部とを有し、門方基板操作部の各々は、基板の洗浄を複数の洗浄槽の順序に従って連続して行うために上下動モータと横送りモータとを制御する制御部を具備することを特徴とする。
【００１０】
本発明の洗浄装置は、往路用の２本のガイドレールと同様で、往路用の２本のガイドレールの上方向に設置された復路用の２本のガイドレールと、複数の門方基板操作部の基板の洗浄が終了すると基板を切り離し、門方基板操作部を復路用の２本のガイドレールに設置する門方基板操作部の復路制御手段と、戻ってきた門方基板操作部を復路用の２本のガイドレールから切り離し、洗浄のための基板を門方基板操作部に設定する往路制御手段とを有することを特徴とする。
【００１１】
本発明の洗浄装置は、洗浄装置の制御部と、洗浄装置の往路制御手段及び復路制御手段とは、無線によるデータ送受信部を有し、無線によるデータ送受信部を有する集中制御装置により制御されて、連続して基板を洗浄することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の洗浄装置によれば、門方基板操作部により大型ガラス基板を容易に洗浄、搬送することができ、且つ洗浄部と浄化部６０−２とが一体化されたコンパクトな洗浄槽により、広い作業スペースを必要とせず、操作性の良い洗浄装置を提供することが可能となる。また、制御部を有する複数の門方基板操作部と複数の洗浄槽と１つの集中制御装置とにより、任意に設定された洗浄ラインを自動操作することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明による実施の形態について、図を用いて説明する。図１は、本発明の洗浄装置の構成を示す装置構成図である。図１において、洗浄装置１００−１の門方基板操作部は、洗浄槽６０の両側に位置する２本の支柱１０−１、２と、２本の支柱１０−１、２を上部で連結する連結シャフト１５とを有している。また門方基板操作部の基板昇降部は、２本の支柱１０−１、２のそれぞれに設置されて大型ガラス基板８５を上下動させる２本の昇降軸２０−１、２と、２本の昇降軸２０−１、２に設置され大型ガラス基板８５を保持して上下動する基板保持アーム２５と、２本の支柱１０−１、２のいずれかに設置されて基板保持アーム２５を上下動させる上下動モータ３０と、２本の昇降軸２０−１、２と上下動モータ３０とを連結して上下動モータ３０の回転トルクを２本の昇降軸２０−１、２に伝達する上下動用同期シャフト３５とを有している。
【００１４】
さらに門方基板操作部の基板搬送部は、２本の支柱１０−１、２のいずれかに設置されて門方基板操作部を移動させる横送りモータ４５と、２本の支柱１０−１、２のそれぞれに設置され２本のガイドレール４０−１、２上を回転して移動する２つの回転体５０−１、２と、２つの回転体５０−１、２と横送りモータ４５とを連結して横送りモータ４５の回転トルクを２つの回転体５０−１、２に伝達する横送り用同期シャフト４７とを有し、洗浄槽６０の両側に設置され洗浄槽６０に対して門方基板操作部の移動方向を決める２本のガイドレール４０−１、２上を移動する。
【００１５】
大型ガラス基板８５は、洗浄前に基板保持アーム２５にセットされる。大型ガラス基板８５が基板保持アーム２５にセットされ洗浄動作がスタートすると、基板搬送部の横送りモータ４５は、横送り用同期シャフト４７を介して２つの回転体５０−１、２に回転トルクを伝達する。これにより門方基板操作部は、移動方向を決める２本のガイドレール４０−１、２上に沿って移動を開始する。
【００１６】
門方基板操作部が洗浄槽６０上に到達すると、横送りモータ４５は停止し、基板昇降部の上下動モータ３０が動作を開始する。上下動モータ３０は、上下動用同期シャフト３５と２本の昇降軸２０−１、２とを介して基板保持アーム２５に回転トルクを伝達する。これにより基板保持アーム２５は降下し、大型ガラス基板８５は洗浄槽６０の洗浄部６０−１に浸漬され洗浄が開始する。洗浄が終了すると再び上下動モータ３０により大型ガラス基板８５は洗浄部６０−１の洗浄液８０−１に対し所定に位置まで上昇した後、基板搬送部により横移動して洗浄槽６０から取り出される。
【００１７】
さらに図１において、洗浄槽６０は、基板８５を洗浄液８０−１に浸漬させて洗浄する洗浄部６０−１と、洗浄液８０−１を回収して浄化する浄化部６０−２とから成り、洗浄部６０−１と浄化部６０−２とが一体化されて構成されている。これにより、洗浄槽がよりコンパクトに構成されるため、要求されていた広い作業スペースの確保が不要となる。洗浄槽６０の洗浄部６０−１は、洗浄液８０−１を振動させて洗浄力を与える超音波発生部６５を有している。洗浄槽６０の浄化部６０−２は、洗浄槽６０の洗浄液８０−１の一部を蓄え、その一部の洗浄液８０−２を浄化するフィルター７５と洗浄部６０−１へ循環させるポンプ７０とを備えた循環部を有している。
【００１８】
大型ガラス基板８５が洗浄部６０−１の洗浄液８０−１に浸漬されている間、循環部は連続して動作し、浄化部６０−２の洗浄液８０−２を浄化して洗浄部６０−１へ戻す。超音波発生部６５は所定の時間だけ動作した後、所定の時間だけ停止する。この停止時間中に洗浄液８０−１は所定の状態まで浄化され、超音波発生部６５は再び所定の時間だけ動作する。これを所定の回数だけ繰り返し、洗浄が終了する。また、大型ガラス基板８５が洗浄部６０−１の洗浄液８０−１に浸漬されていない間も、洗浄液８０−１を一定の清浄度に保つため、上記動作が継続して行われても良い。
【００１９】
図２は、本発明の他の実施例を示す洗浄装置のレイアウト図である。洗浄装置１００−１と洗浄槽６０とが複数ライン状に設置され、各門方基板操作部の連結シャフト１５には、大型ガラス基板８５の洗浄を複数の洗浄槽６０の順序に従って連続して行うために、上下動モータ３０と横送りモータ４５とを制御する制御部９０が設置されている。これにより各々の門方基板操作部の大型ガラス基板８５は、制御部９０に設定された制御手順に従って、それぞれの洗浄槽６０において洗浄され、全ての洗浄槽６０を経由して洗浄を完了する。また洗浄装置１００−１及び洗浄槽６０は、洗浄条件に対応して１台であっても良い。
【００２０】
さらに往路用の２本のガイドレール４０−１、２と同様で、往路用の２本のガイドレール４０−１、２の上方向に設置された復路用の２本のガイドレール９３−１、２と、複数の門方基板操作部のそれぞれの基板８５の洗浄が終了すると各基板８５を切り離しその門方基板操作部を復路用の２本のガイドレール９３−１、２に設置する門方基板操作部の復路制御手段と戻ってきた門方基板操作部を復路用の２本のガイドレール９３−１、２から切り離し洗浄のための大型ガラス基板８５を門方基板操作部に設定する往路制御手段と（いずれも図示されず）、集中制御装置９７とを具備することにより、枚葉式の自動洗浄装置１００−２が構成される。門方基板操作部の固定脚９５−１、２は、往路制御手段の一部をなし、戻ってきた門方基板操作部に大型ガラス基板８５を設定するための固定脚である。また門方基板操作部の固定脚９５−３、４は、復路制御手段の一部をなし、洗浄が完了した門方基板操作部の大型ガラス基板８５を取り外すための固定脚である。
【００２１】
往路制御手段は、門方基板操作部を門方基板操作部の固定脚９５−１、２に設定して大型ガラス基板８５を基板保持アーム２５に取り付けると、門方基板操作部を往路用の２本のガイドレール４０−１、２上にセットする。セットされた門方基板操作部の制御部９０は、設定された洗浄手順に従い、各洗浄槽６０を経由して洗浄を完了する。復路制御手段は、ガイドレール４０−１、２から門方基板操作部を取り外し、門方基板操作部の固定脚９５−１、２にセットする。引き続き、大型ガラス基板８５を取り外した後、復路用の２本のガイドレール９３−１、２にセットする。門方基板操作部の制御部９０は、再び設定された手順に従い、スターと地点に戻る。往路制御手段は、戻ってきた門方基板操作部を門方基板操作部の固定脚９５−１、２に設定して大型ガラス基板８５を基板保持アーム２５に取り付け、往路用の２本のガイドレール４０−１、２上にセットする。これらの動作を繰り返すことで、大型ガラス基板８５が連続して洗浄される。
【００２２】
また、制御部９０と、往路制御手段及び復路制御手段と、集中制御装置９７とが、無線によるデータ送受信部を具備することにより、各制御部９０と、往路制御手段及び復路制御手段とが集中制御装置９７の無線により制御され、連続して大型ガラス基板８５を洗浄することが可能となる。
【００２３】
以上説明したように、本発明の洗浄装置によれば、大型マスク基板の人手による取り扱いを削減でき、基板を容易に洗浄、搬送することができる。またコンパクトな洗浄槽により、広い作業スペースを必要とせず、操作性の良い洗浄装置を提供することが可能となる。さらに本発明の洗浄装置を複数ライン状にレイアウトし無線制御することにより、連続した枚葉式の自動洗浄装置を構築することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の洗浄装置の構成を示す装置構成図。
【図２】本発明の他の実施例を示す洗浄装置のレイアウト図。
【符号の説明】
【００２５】
１０−１、２ 支柱
１５ 連結シャフト
２０−１、２ 昇降軸
２５ 基板保持アーム
３０ 上下動モータ
３５ 上下動用同期シャフト
４０−１、２ ガイドレール
４５ 横送りモータ
４７ 横送り用同期シャフト
５０−１、２ 回転体
６０ 洗浄槽
６０−１ 洗浄部
６０−２ 浄化部
６５ 超音波発生部
７０ ポンプ
７５ フィルター
８０−１ 洗浄液
８０−２ 洗浄液の一部
８５ 大型ガラス基板
９０ 制御部
９３−１、２ 復路用ガイドレール
９５−１〜４ 門方基板操作部の固定脚
９７ 集中制御装置
１００−１、２ 洗浄装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
大型ガラス基板を洗浄する門方基板操作部を有する洗浄装置であって、
前記門方基板操作部は、洗浄槽を跨いで門方を形成し、
前記基板を前記洗浄槽内に降下させ、且つ前記降下した基板を前記洗浄槽内から上昇させる基板昇降部と、前記洗浄槽に対して移動動作を行う基板搬送部とを有し、
前記洗浄槽の両側に設置された２本のガイドレール上を移動することを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記門方基板操作部は、前記洗浄槽の両側に立つ２本の支柱と、前記２本の支柱を上部で連結する連結シャフトとを有し、
前記基板昇降部は、前記２本の支柱のそれぞれに設置されて前記基板を上下動させる２本の昇降軸と、前記２本の昇降軸に設置され前記基板を保持して上下動する基板保持アームと、前記２本の支柱のいずれかに設置されて前記基板保持アームを上下動させる上下動モータと、前記２本の昇降軸と前記上下動モータとを連結して前記上下動モータの回転トルクを前記２本の昇降軸に伝達する上下動用同期シャフトとを有し、
前記基板搬送部は、前記２本の支柱のいずれかに設置されて門方基板操作部を移動させる横送りモータと、前記２本の支柱のそれぞれに設置され前記２本のガイドレール上を回転して移動する２つの回転体と、前記２つの回転体と前記横送りモータとを連結して前記横送りモータの回転トルクを前記２つの回転体に伝達する横送り用同期シャフトとを有することを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記洗浄槽は、前記基板を洗浄液に浸漬させて洗浄する洗浄部と、前記洗浄液を回収して浄化する浄化部とから成り、前記洗浄部と前記浄化部とが一体化されて構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記洗浄槽の洗浄部は、前記洗浄液を振動させて洗浄力を与える超音波発生部を有し、
前記洗浄槽の浄化部６０−２は、前記洗浄槽の前記洗浄液の一部を蓄え、該一部の洗浄液を浄化するフィルターと前記洗浄部へ循環させるポンプとを備えた循環部を有し、
前記基板が前記洗浄部の前記洗浄液に浸漬されている間、前記循環部は連続して動作し、前記超音波発生部は設定された時間に応じて超音波の発生と停止とを繰り返す間欠動作をし、
前記停止時間中に前記洗浄液が所定の状態に浄化されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項５】
ライン状に設置された複数の前記洗浄槽と複数の前記門方基板操作部とを有し
前記門方基板操作部の各々は、前記基板の洗浄を前記複数の洗浄槽の順序に従って連続して行うために前記上下動モータと前記横送りモータとを制御する制御部を具備することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記洗浄装置は、往路用の前記２本のガイドレールと同様で、前記往路用の２本のガイドレールの上方向に設置された復路用の２本のガイドレールと、
前記複数の門方基板操作部の前記基板の洗浄が終了すると前記基板を切り離し、前記門方基板操作部を前記復路用の２本のガイドレールに設置する前記門方基板操作部の復路制御手段と、
戻ってきた前記門方基板操作部を前記復路用の２本のガイドレールから切り離し、洗浄のための前記基板を前記門方基板操作部に設定する往路制御手段とを有することを特徴とする請求項５に記載の洗浄装置。
【請求項７】
前記洗浄装置の前記制御部と、前記洗浄装置の前記往路制御手段及び復路制御手段とは、無線によるデータ送受信部を有し、無線によるデータ送受信部を有する集中制御装置により制御されて、連続して前記基板を洗浄することを特徴とする請求項６に記載の洗浄装置。
【請求項１】
大型ガラス基板を洗浄する門方基板操作部を有する洗浄装置であって、
前記門方基板操作部は、洗浄槽を跨いで門方を形成し、
前記基板を前記洗浄槽内に降下させ、且つ前記降下した基板を前記洗浄槽内から上昇させる基板昇降部と、前記洗浄槽に対して移動動作を行う基板搬送部とを有し、
前記洗浄槽の両側に設置された２本のガイドレール上を移動することを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記門方基板操作部は、前記洗浄槽の両側に立つ２本の支柱と、前記２本の支柱を上部で連結する連結シャフトとを有し、
前記基板昇降部は、前記２本の支柱のそれぞれに設置されて前記基板を上下動させる２本の昇降軸と、前記２本の昇降軸に設置され前記基板を保持して上下動する基板保持アームと、前記２本の支柱のいずれかに設置されて前記基板保持アームを上下動させる上下動モータと、前記２本の昇降軸と前記上下動モータとを連結して前記上下動モータの回転トルクを前記２本の昇降軸に伝達する上下動用同期シャフトとを有し、
前記基板搬送部は、前記２本の支柱のいずれかに設置されて門方基板操作部を移動させる横送りモータと、前記２本の支柱のそれぞれに設置され前記２本のガイドレール上を回転して移動する２つの回転体と、前記２つの回転体と前記横送りモータとを連結して前記横送りモータの回転トルクを前記２つの回転体に伝達する横送り用同期シャフトとを有することを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記洗浄槽は、前記基板を洗浄液に浸漬させて洗浄する洗浄部と、前記洗浄液を回収して浄化する浄化部とから成り、前記洗浄部と前記浄化部とが一体化されて構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記洗浄槽の洗浄部は、前記洗浄液を振動させて洗浄力を与える超音波発生部を有し、
前記洗浄槽の浄化部６０−２は、前記洗浄槽の前記洗浄液の一部を蓄え、該一部の洗浄液を浄化するフィルターと前記洗浄部へ循環させるポンプとを備えた循環部を有し、
前記基板が前記洗浄部の前記洗浄液に浸漬されている間、前記循環部は連続して動作し、前記超音波発生部は設定された時間に応じて超音波の発生と停止とを繰り返す間欠動作をし、
前記停止時間中に前記洗浄液が所定の状態に浄化されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項５】
ライン状に設置された複数の前記洗浄槽と複数の前記門方基板操作部とを有し
前記門方基板操作部の各々は、前記基板の洗浄を前記複数の洗浄槽の順序に従って連続して行うために前記上下動モータと前記横送りモータとを制御する制御部を具備することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記洗浄装置は、往路用の前記２本のガイドレールと同様で、前記往路用の２本のガイドレールの上方向に設置された復路用の２本のガイドレールと、
前記複数の門方基板操作部の前記基板の洗浄が終了すると前記基板を切り離し、前記門方基板操作部を前記復路用の２本のガイドレールに設置する前記門方基板操作部の復路制御手段と、
戻ってきた前記門方基板操作部を前記復路用の２本のガイドレールから切り離し、洗浄のための前記基板を前記門方基板操作部に設定する往路制御手段とを有することを特徴とする請求項５に記載の洗浄装置。
【請求項７】
前記洗浄装置の前記制御部と、前記洗浄装置の前記往路制御手段及び復路制御手段とは、無線によるデータ送受信部を有し、無線によるデータ送受信部を有する集中制御装置により制御されて、連続して前記基板を洗浄することを特徴とする請求項６に記載の洗浄装置。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２００８−２０７１１６（Ｐ２００８−２０７１１６Ａ）
【公開日】平成２０年９月１１日（２００８．９．１１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−４７２６０（Ｐ２００７−４７２６０）
【出願日】平成１９年２月２７日（２００７．２．２７）
【出願人】（０００２１９００４）島田理化工業株式会社 (205)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年９月１１日（２００８．９．１１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年２月２７日（２００７．２．２７）
【出願人】（０００２１９００４）島田理化工業株式会社 (205)
【Ｆターム（参考）】
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