【課題】基板に対して良好に洗浄処理を施すことができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】薬液ユニット１０は、基板Ｗの薬液処理を可能とするユニットである。洗浄ユニット６０は、薬液ユニット１０により薬液が供給された基板Ｗにマイクロバブル水を供給して、マイクロバブル水による洗浄処理を可能とするユニットである。洗浄ユニット６０は、主として、複数の上側ノズル６１と、複数の下側ノズル６２と、液ナイフ６６と、貯留槽２０と、マイクロバブル発生部２１と、を備えている。これにより、薬液処理後の基板Ｗにマイクロバブル水を供給することができる。そのため、薬液処理において基板に付着した薬液をマイクロバブル水により迅速に置換することができ、洗浄処理に使用される処理液の量を低減させることができる。 （もっと読む）

【課題】 基板に付着した有機物を良好に除去できる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】 除去ユニット１０は、主として、マイクロバブル水１１ａを基板Ｗに向けて吐出する複数の吐出ノズル１１と、マイクロバブル発生部２１と、を備えており、基板Ｗに付着した有機物を除去する。洗浄ユニット６０は、主として、複数の上側ノズル６１と、複数の下側ノズル６２と、貯留槽８０と、を備えており、除去ユニット１０での有機物除去処理が施された基板Ｗに対して純水によるリンス処理を施す。 （もっと読む）

【課題】少ない洗浄液で効率よく基板を洗浄でき、コンパクトな構成の基板洗浄方法及び装置を提供する。
【解決手段】垂直な姿勢で保持されたガラス基板Ｇに向けてノズル列３２をから超音波が印加された洗浄液を噴射しながら、ノズル列３２をガラス基板Ｇに沿って昇降させる。超音波は、ガラス基板Ｇの表面で集束するように印加する。これにより、少ない洗浄液で効率よく基板を洗浄することができる。また、大型のガラス基板を洗浄する場合であっても装置構成をコンパクトにすることができる。 （もっと読む）

【課題】マイクロバブルまたはナノバブルを含む処理液を使用する基板処理装置および基板処理方法において、基板に対してマイクロバブルまたはナノバブルを効果的に作用させることができる技術を提供する。
【解決手段】マイクロバブル洗浄処理部４０は、圧送される洗浄液中に注入する窒素ガスの流量を調節することにより、洗浄液中に含まれるマイクロバブルのサイズを調節することができる。このため、除去対象となるパーティクルのサイズに応じて最適なサイズのマイクロバブルを多量に供給することができ、基板に対してマイクロバブルを効果的に作用させることができる。 （もっと読む）

【課題】小型化・省スペース化を図ることができ、構成が簡単で、据付作業が容易で、作業性と処理効率を向上することができる、エアフィルタユニットの洗浄装置を提供する。
【解決手段】循環経路に沿って等間隔に配置され、それぞれ、エアフィルタユニットを着脱自在に保持する複数のハンドリング装置３８と、ハンドリング装置の間隔を保ちながら全てのハンドリング装置を循環経路に沿って同時に移動させる搬送装置３０と、循環経路に沿って、エアフィルタユニットを洗浄する工程順に等間隔に配置され、それぞれが同時にハンドリング装置に対向する複数の処理槽２２，２４，２６，２８とを備える。ハンドリング装置３８が処理槽２２，２４，２６，２８を順に移動し、ハンドリング装置３８に保持さているエアフィルタユニットが処理槽２２，２４，２６，２８で順に処理される。 （もっと読む）

【課題】
人体への影響、環境への影響等を与え得る薬剤を用いることなく洗浄対象物を十分に洗浄でき、洗浄対象物を洗浄した際の使用後水を再利用出来る洗浄処理システム等を提供する。
【解決手段】
洗浄対象物を洗浄処理するための洗浄処理システムであって、洗浄対象物を純水中で超音波により洗浄する洗浄装置と、洗浄装置で使用した使用後水を遠心力を用いて濾過材及び吸着材により濾過する第一濾過装置と、第一濾過装置で濾過した処理後水を廃水と純水に分離する第二濾過装置と、第二濾過装置により分離した純水を洗浄装置に供給する構造に構成し、第一濾過装置は、筐体と、この筐体の内部に配置し、使用後水が供給され、側壁が透水性を有する回転子と、回転子の側壁の内壁面上又は内部に配置した濾過材と、回転子の側壁の内壁面上又は内部かつ濾過材の外側に配置した吸着材とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】処理液の消費量を低減する。複数の処理工程における処理時間の差異への対応を容易にする。処理液槽間の基板搬送時間を短縮する。
【解決手段】この基板処理装置は、薬液槽２１と、リンス液槽２２と、複数の基板保持部１０とを備えている。薬液槽２１の槽本体３１には、その上面の開口３０から表面張力で盛り上がった状態で薬液４５が貯留されている。リンス液槽２２の槽本体５１には、その上面の開口５０から表面張力で盛り上がった状態でリンス液６１が貯留されている。薬液４５の液面４５ａおよびリンス液６１の液面６１ａは同一高さの水平面内にある。基板保持部１０は、基板Ｗの一主面である処理面を下方に向け、その処理面を液面４５ａ，６１に接液する状態で基板Ｗを保持する。基板保持部１０は、その接液状態を保持しつつ液面４５ａ，６１ａに沿って移動されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】殺菌効果が長時間持続する繊維類を生産できる湿潤繊維類生産方法及び湿潤繊維類生産装置を提供する。
【解決手段】使用済みタオルを洗浄槽へ入れ、強アルカリ性電解水を洗浄槽に供給し、使用済みタオルの予備洗浄を行なう（ステップＳ１）。予備洗浄によって汚れた水を脱水し（ステップＳ２）、界面活性剤と、加温された強アルカリ性電解水とを洗浄槽に供給して本洗浄を行なう（ステップＳ３）。本洗浄によって汚れた水を脱水し（ステップＳ４）、乾燥機へ送られた洗浄済みのタオルは、乾燥されて、水分を略完全に除去する（ステップＳ５）。乾燥済みタオルに強酸性電解水を付着させる（ステップＳ６）。強酸性電解水を含有したタオルは、タオル移送路を通って包装機へと送られ、タオルは個別に三つ折にされると共にロール状に巻かれてビニール袋に入れられ、包装される（ステップＳ７）。 （もっと読む）

【課題】フィルムを液体で洗浄するウェット洗浄装置を提供する。
【解決手段】ロール状に巻かれたフィルム２を巻き出す巻き出し部３ａと、フィルム２を液体で洗浄する液体洗浄部６３ａ、６３ｂと、洗浄したフィルム２を乾燥する乾燥部６４ａ、６４ｂと、乾燥したフィルム２をロール状に巻き取る巻き取り部１１ａとをウェット洗浄装置に備えた。 （もっと読む）

【課題】洗浄用の超音波によって被洗浄体支持具が劣化して汚染物質が発生するのを防止し、洗浄不良の発生を防止すること。
【解決手段】本発明では、超音波発振手段（４２）を有する洗浄槽（４１）の内部に被洗浄体（ウエハ２）を支持するための被洗浄体支持具（ウエハボート48）を配設した超音波洗浄装置（２５）において、超音波を減衰させるカバー体（６４，６５）を前記被洗浄体支持具（ウエハボート48）に覆設することにした。 （もっと読む）

【課題】処理液を用いて被処理基板を処理する複数の処理ユニットを備えた基板処理装置であって、各処理ユニットへ、当該処理ユニットにおける被処理基板の処理に応じた適切な濃度で一つの薬液種が含まれた処理液が供給され得る基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１０は、複数の処理ユニット２０と、処理液を送り込まれる主管４０と、一つの処理ユニットと主管とを連結し、処理ユニットへ処理液を供給する複数の分岐管５０，７０と、液体を貯留する液体貯留部９０，９５と、一つの分岐管と液体貯留部とに接続された複数の供給制御機構６０，６５，８０，８５と、を備えている。液体は、主管に送り込まれる処理液中の一つの薬液種の濃度とは異なる濃度で一つの薬液種を含む。供給制御機構は、液体貯留部に貯留された液体の各分岐管内への供給を制御する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、連続めっき用水洗装置に関し、更に詳細には、装置全長を長くすることなく、その処理水の給水量を効果的に節水することが可能な連続めっき用水洗装置の提供。
【解決手段】 被めっき物を裁置するテープを搬送する搬送ローラーと、搬送中の前記テープに散水するためのシャワーと、前記テープを洗浄するための水洗槽を備えた連続めっき用水洗装置であって、前記水洗槽内を、前記テープの通過する順に、第一槽、第二槽、および第三槽に仕切り、各槽を仕切る間仕切りには前記テープおよび水を通過させるためのスリットを設けるとともに、前記水洗槽内の洗浄水を前記第一槽から装置外に排水する手段と、装置外より洗浄水を前記第三槽に供給する手段を設けることにより、前記テープの搬送方向とは逆方向に水が前記各水洗槽間を流れることを可能としてなる連続めっき用水洗装置。 （もっと読む）

【課題】微細気泡洗浄方法の洗浄効果をより高め、洗浄液の長寿命化を図り、コンパクトで操作性の良い洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄部２０は、洗浄槽２１と、洗浄ノズル部２２と、オーバーフロー槽２７とを有し、洗浄ノズル部２２は、複数の洗浄ノズルから成り、複数の洗浄ノズルは、洗浄槽２１の各部位に所定の数だけ装着され、洗浄ノズルは、制御ノズルと、ミキシングノズルとから成り、油水分離タンク部３０は、循環用洗浄液２８を浄化して循環させるため、オーバーフロー槽２７とポンプ部４０とに接続され、ポンプ部４０は、浄化された循環用洗浄液２８を洗浄槽２１へ供給するため、洗浄ノズル部２２に接続されて構成される。 （もっと読む）

【課題】洗浄装置において、洗浄液の流れに乱れが生じると洗浄対象物から一旦、除去された汚染物質が洗浄対象物に再付着する。
【解決手段】ポンプ４により洗浄槽２内にて洗浄液を一方向に流す。その上流側に２枚の整流板２０を配置し、洗浄対象物より下流側にさらに整流板２２を配置する。各整流板の面内には複数の孔が配列される。孔の開口面積が整流板に占める開口率は、整流板２２より整流板２０にて大きく設定し、また、整流板２０ｂの開口率は１０％以上かつ２５％以下、整流板２２の開口率は２．５％以上かつ１０％以下の値にそれぞれ設定する。これにより、整流板２０ｂと整流板２２とに挟まれる洗浄チェンバー２８における液流を擬似層流とすることができる。洗浄対象物から遊離した汚染物質は速やかに排出チェンバー２６へ移動し、フィルタ６により除去される。 （もっと読む）

【課題】従来の骨材用砂等の土木用素材の洗浄装置においては、与える衝撃力が必ずしも十分とはいえず、土木用素材の靭性が高くて角部が削れにくい又は欠けにくい場合等には、その角部を効率良く除去できない、という問題があった。
【解決手段】管路５８の屈曲管部４７には、土木用素材４８の移送方向に対向して略垂直又は斜めの姿勢に保持された被衝突面８０ａを有する被衝突体８０を着脱自在に設けると共に、該被衝突体８０の前方には、土木用素材４８が滞留しにくい非滞留構造を設け、更に、前記管路５８には、前記投入口５９より流下する土木用素材４８に圧力流体を吹きつける噴射ノズル５１を設け、該噴射ノズル５１には、少なくとも一方が高圧に加圧された気体と液体を供給し、気体の気相７４と、該気相７４の周囲を取り囲む液体・気体の混合相７５とから成る二相流体７６によって、前記圧力流体を構成した。 （もっと読む）

【課題】従来の骨材用砂等の土木用素材の洗浄装置においては、与える衝撃力が必ずしも十分とはいえず、土木用素材の靭性が高くて角部が削れにくい又は欠けにくい場合等には、その角部を効率良く除去できない、という問題があった。
【解決手段】管路５８内を圧力流体により移送し、投入口５９から供給される土木用素材４８の洗浄や角取り処理等を行う洗浄装置３にて、前記管路５８の内壁上又は内壁近傍には、管路５８の軸心に向かって突出する突起体１０４を設け、更に、前記管路５８には、前記投入口５９より流下する土木用素材４８に圧力流体を吹きつける噴射ノズル５１を設け、該噴射ノズル５１には、少なくとも一方が高圧に加圧された気体と液体を供給し、気体の気相７４と、該気相７４の周囲を取り囲む液体・気体の混合相７５とから成る二相流体７６によって、前記圧力流体を構成した。 （もっと読む）

【課題】ロットの処理に付随液交換処理がある場合でも、処理液の浪費を防止することができる基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムを提供する。
【解決手段】制御部は、前の液交換処理からライフタイムＴ１だけ経過する時点ｔ２で薬液処理部２３のリソースに定期液交換処理ｅｘを配置し、付随液交換処理ｅｘ−ｂを伴う特定処理工程ｐ２が定期液交換処理ｅｘに時間的に重複もしくは隣接または近接して配置される場合には、定期液交換処理ｅｘを削除して特定処理工程ｐ２を優先的に配置する。したがって、付随液交換処理ｅｘ−ｂと定期液交換処理ｅｘが短時間のうちに行われることが防止できるので、処理に付随液交換処理ｅｘ−ｂがある場合であっても処理液の浪費を防止できる。 （もっと読む）

【課題】予備ユニットの準備処理をスケジュールに組み込むことにより、処理液の準備処理を行う場合であっても装置の稼働率を向上させることができる。
【解決手段】制御部２５は、予備ユニットである薬液処理部２３ｂにおいて、準備処理に要する時間を、使用される薬液処理部１９ｂのタイミングに合わせて前に配置する。したがって、薬液処理部１９ｂにおいて燐酸を使用する際には、予備ユニットにおける温調の準備処理が終わっており、予備ユニットである薬液処理部２３ｂの準備処理待ちによるスケジュールの遅れを防止することができ、装置の稼働率を向上できる。 （もっと読む）

【課題】大型基板に対して高品質な洗浄を行うとともに、生産効率を向上させることが可能な洗浄装置及び洗浄方法の提供。
【解決手段】洗浄装置１は、第一洗浄槽２，第二洗浄槽３，第一投入回収手段４，第二投入回収手段５，連結用搬送部６及び制御部７とからなっており、左から右に向かって、第一投入回収手段４，第一洗浄槽２，連結用搬送部６，第二洗浄槽３及び第二投入回収手段５が直線的に並設された構成とする。 （もっと読む）

【課題】
浮き抑え部材でディスクを抑えることにより洗浄槽内でのディスクの浮きあるいはディスク倒れを防止し、浮き抑え部材からディスクへの液垂れによる洗浄不良を防止することができるディスク浸漬・取出機構を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、上側の抑えバーとこの抑えバーに平行な一対の歯板を有する下側のディスク支持フレームとを持つディスクホルダによりディスクを洗浄槽に浸漬して、洗浄されたディスクを洗浄槽から取出すものであり、取出すときに上側の抑えバーを液面より先に上に上げてかつディスク支持フレームに支持されたディスクに液垂れがしないようにディスクの上部から待避させるので、上側の抑えバーが待避した状態でディスク支持フレームのディスクが後から液面に出ることになる。 （もっと読む）