【課題】 純水による洗浄工程での基板表面の回路パターンの腐食を防止する洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置は、基材を段階的に洗浄するため２つの洗浄槽３、４と、最終段以外の洗浄槽３で洗浄後の洗浄液を最終段以外の洗浄槽３に循環させる第１循環路と、最終段以外の洗浄槽３における洗浄後の洗浄液にオゾンを通気することによって洗浄液を再生し、最終段以外の洗浄槽に還流するオゾン通気部１０と、洗浄液にオゾンを通気することなく、最終段の洗浄槽で洗浄後の洗浄液を最終段に循環させる供給管２６、供給管２８を含む第２循環路とを備える。 （もっと読む）

【課題】洗浄液のコストを低減する洗浄装置を提供する。
【解決手段】本発明の洗浄装置は、基材を洗浄する洗浄槽３と、洗浄槽３へ洗浄液を供給するためのタンク８と、洗浄槽３に続いて基材を洗浄する洗浄槽４と、洗浄槽４へ洗浄液を供給するためのタンク９と、洗浄液をオゾン通気によって再生するオゾン通気部１０と、晶析することによって洗浄液を再生する晶析部１１と、再生後の洗浄液をタンク９に供給する供給管３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物に付着する油分を確実に洗浄除去することができ、洗浄剤を再生処理して洗浄力の回復及び維持を図ることができる被洗浄物洗浄方法及び被洗浄物洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄工程ａにおいて、被洗浄物Ａに付着する油分Ｄを、洗浄槽２に貯液されたフッ素系溶剤と炭化水素系溶剤を混合してなる加温済みの洗浄剤Ｂで洗浄除去する。すすぎ工程ｂにおいて、被洗浄物Ａに残着する炭化水素系溶剤を、洗浄槽３に貯液したフッ素系溶剤を基本とする洗浄剤Ｃで洗浄除去する。一方、再生工程ｄにおいて、油分Ｄが溶解した洗浄剤Ｂを分離槽４に供給して所定温度に冷却し、洗浄剤Ｂに溶解した油分Ｄのみを分離する。且つ、油分Ｄが分離され所定の洗浄力に回復した洗浄剤Ｂを洗浄槽２に返還して洗浄処理に繰り返し使用する。 （もっと読む）

鉛フリー半田用フラックスや高融点半田用フラックス等を洗浄する際であっても、優れた洗浄性を示すとともに、次工程におけるアルコール系溶剤を使用したリンスにおいても優れたリンス特性を示すことができる半田フラックス除去用洗浄剤および半田フラックスの洗浄方法を提供する。 そのため、全体量に対して、グリコール化合物の含有量が１重量％未満の場合には、ベンジルアルコールの含有量を７０〜９９．９重量％の範囲およびアミノアルコールの含有量を０．１〜３０重量％の範囲とし、グリコール化合物の含有量が１〜４０重量％の場合には、ベンジルアルコールの含有量を１５〜９９重量％の範囲およびアミノアルコールの含有量を０．１〜３０重量％の範囲とした半田フラックス除去用洗浄剤を構成し、それを鉛フリー半田用フラックスや高融点半田用フラックス等の洗浄に使用する。
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【課題】異なる種類の処理流体の反応による被処理体の汚染防止、処理効率の向上、装置の小型化を図れるようにすること。
【解決手段】半導体ウエハＷを保持する回転可能なロータ２１と、ロータ２１にて保持された半導体ウエハを密封状態に包囲可能な複数の処理室例えば内チャンバ２３及び外チャンバ２４と、半導体ウエハに対して処理流体を供給する処理流体供給手段としての薬液供給手段５０、ＩＰＡ供給手段６０、リンス液供給手段７０及び乾燥流体供給手段８０と、内チャンバ及び外チャンバを半導体ウエハに対して相対的に移動するシリンダ２７，２８を具備する。内チャンバ及び外チャンバを筒体にて形成すると共に、筒体の一端に向かって拡開するテーパ状に形成し、筒体の拡開側部位に、処理流体の排液ポート及び排気ポートを設ける。 （もっと読む）

【課題】第１の有機溶剤システムおよび第２の二酸化炭素システムを用いて合成樹脂材料の容器から汚染物を除去する方法を提供する。
【解決手段】有機溶剤を用いて合成樹脂材料から汚染物を除去し、二酸化炭素を用いて合成樹脂材料から残留する有機溶剤を分離する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄工程の後に熱処理を行うことにより、マスクの表面に残っている残留イオンを除去してヘイズを防止し、位相シフトマスクの光学的特性変化を減少させるフォトマスク洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】 フォトマスクに形成されたポリマーを除去するために酸系列でフォトマスクを洗浄する第１洗浄装置と、塩基系列で前記フォトマスクを洗浄する第２洗浄装置と、前記酸系列及び前記塩基系列で洗浄された前記フォトマスクを熱処理する熱処理装置と、熱処理された前記高温のフォトマスクを冷却する冷却装置と、前記フォトマスクを運搬するロボットアームとを含む。 （もっと読む）

【課題】 縦置きに搬送するフラットパネルの形状に応じて液処理時の傾斜角度を変えて処理液を所望の流速に調整できるフラットパネル製造装置を提供する。
【解決手段】 フラットパネル１を縦置きに載置して搬送する工程ラインの途中に複数の処理槽１０を備えて順次処理するフラットパネル製造装置であって、フラットパネル１を縦置きに受け取って所望の処理液により処理する処理槽１０を備えるとともに、この処理槽１０がフラットパネル１の搬入方向両側の一端側を支点にして他端側を上下に回動可能にして縦置きの傾斜角度を変えて処理できるように設ける。 （もっと読む）

【課題】搬送式基板処理において、処理槽の個数変更に容易に対応でき、同種処理を同一処理液で行うことができ、かつ装置規模の増大及びコスト増も抑制できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】処理液の散布機構を備えた処理槽１０を上部に有する複数の処理ユニットＡ〜Ｅを直列に連結し、基板が複数の処理ユニットＡ〜Ｅの各処理槽１０を順番に通過することにより湿式処理される基板処理装置において、前記各処理ユニットＡ〜Ｅは、前記処理槽１０の下の設置スペース２１に設置された処理液タンク２０から処理液が導入される渡し配管４０を有し、渡し配管４０が、隣接する処理ユニット間で連結されることにより、複数の処理ユニットＡ〜Ｅにまたがる管状の共用タンク１００を形成し、渡し配管１００内の処理液をポンプ６２により汲み上げて処理槽１０内の散布機構に供給する処理液供給系統６０を有する。 （もっと読む）

【課題】 超音波洗浄を用いガラスカレット等を洗浄することでガラスカレット等から水銀等を略完全に除去し、さらに洗浄水を純水のみとすることで洗浄水の処理を単純化するとともに処理中の安全性を確保するための純水を用いた洗浄装置、洗浄方法、洗浄処理プラント、洗浄処理方法を提供する。
【解決手段】 廃蛍光管のガラスカレットを洗浄する第一洗浄部１００及び該第一洗浄部１００の後方に配置した第二洗浄部２００を備え、さらに前記ガラスカレットが第一洗浄部１００から第二洗浄部２００に移動可能な移動手段を備える洗浄装置であって、さらに、前記洗浄装置は前記第一洗浄部１００及び前記第二洗浄部２００で用いられた洗浄水を回収して濾過することにより純水及び廃液に分別し、該純水を前記第一洗浄部１００及び前記第二洗浄部２００に提供する濾過手段４００を備える。 （もっと読む）

【課題】 水洗から乾燥までの間に、金型表面への空気中の塵芥の付着をなくすと共に、洗浄液および水洗水が金型表面に残存させないようにする。
【解決手段】 電解洗浄液を収容する洗浄槽内に被洗浄物である金型を浸漬し、該金型と、洗浄槽内に浸漬した電極とに電流を供給して電解洗浄を行う洗浄槽と、前記金型洗浄槽での洗浄後の金型を水洗いする水洗槽と、前記水洗槽での水洗い後に金型を乾燥する乾燥槽と、前記少なくとも水洗槽と乾燥槽を密閉するカバー部材と、前記カバー部材の内部空間に送給する不活性ガス供給手段あるいは、フィルターを通した清浄空気をカバー部材の内部空間に送給する清浄空気供給手段を備え、前記不活性ガス供給手段から供給する不活性ガス雰囲気中、あるいは前記清浄空気供給手段から供給する清浄空気雰囲気中で、金型の水洗いと乾燥を行い、乾燥後に前記カバー内部から洗浄後の金型を取り出す構成としている。
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【課題】 小型で高い液置換性能を有し、しかも強力な洗浄能力を併せ持つ高効率な基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】 水平姿勢で水平方向に搬送される基板１０の搬送方向に沿って第１ノズル列５０及び第２ノズル列６０を設ける。第１ノズル列５０は板幅方向に配列された複数個のフラット型スプレーノズル５２により構成されている。複数個のフラット型スプレーノズル５２は、基板表面における各ノズルの直線状スプレーパターンが前記板幅方向に対して同方向へ３０〜６０度の角度で傾斜するように配置されている。第２ノズル列６０は板幅方向に配列された複数個のフラット型スプレーノズル６２により構成されている。複数個のフラット型スプレーノズル６２は、各ノズルからの液膜が所定のオーバーラップで板幅方向に連続して板幅方向の全域にわたるカーテン状の液膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコンロッドを均一に洗浄し、前槽の洗浄液の持ち込みが少なく、洗浄効果に優れた洗浄方法と洗浄装置を提供する。
【手段】多結晶シリコンを切断して得たロッドをバスケットに収納し、該バスケットを洗浄槽に浸漬して上記ロッドを洗浄する方法において、洗浄槽内で上記バスケットの片側を上下動して該バスケットを傾動することによって、バスケット内部のロッドを揺動ないし回転させて酸洗浄や純水洗浄を行い、あるいは上記バスケットの底部にロッドが脱落しない大きさの開口を設ける一方、バスケットを載置する支持台の上面に上記開口部を通じてロッドを回転する手段を設け、洗浄槽内で上記バスケット内部のロッドを強制回転させて酸洗浄や純水洗浄を行うことを特徴とする洗浄方法および装置。 （もっと読む）

【課題】
被洗浄物に粘度の高い加工油が付着している場合であっても、確実に洗浄することができる洗浄装置及び洗浄システムを提供する。
【解決手段】
本発明の洗浄装置の洗浄用回転ドラム１の内部に、外部から供給された洗浄水１６を昇温させる加熱器５ａと、その加熱器５ａによって昇温された高温水を洗浄用回転ドラム１内の被洗浄物７に噴射させる複数のノズル５ｂとを備えた洗浄用シャワー装置５が配置され、洗浄用シャワー装置５の加熱器５ａは、被洗浄物７に付着した油成分を除去可能な粘度まで低下させる温度に洗浄水１６を昇温させる。 （もっと読む）

【課題】 大型化、薄型化した板ガラス等の板材に対してその品質の一層の向上を図り、迅速に効果的な洗浄処理を行いうる板材の洗浄設備を提供すること。
【解決手段】 縦状態の板ガラスの下端を支持するベルトコンベア２と、板ガラスＧの側面に流体圧を作用させることによって板ガラスを立った状態で支持する流体ガイド８と、流体ガイド８から洗浄液を板ガラスの表面に供給する洗剤洗浄装置３と、板ガラスの両面側から高圧液スプレーを噴射する高圧液スプレー部材１９を上下動可能に備えた高圧液スプレー洗浄装置４と、板ガラスの両面側から上下方向に延びる膜状の気流であるエアナイフを吹き付ける水切り部材３０を備えた水切り装置６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】空調装置から取り外されたロール状のエアフィルタを痛めることなく、短時間で、効果的に洗浄するロールフィルタ洗浄装置を提供する。
【解決手段】ロールフィルタ洗浄装置は、ロール状に巻かれた使用済みのロールフィルタを洗浄するロールフィルタ洗浄装置において、引き出された上記使用済みのロールフィルタが所定の時間に亘って浸漬される洗浄剤が貯留されている洗浄剤浸透槽と、上記洗浄剤浸透槽から引き上げられたロールフィルタの少なくとも片面から高速の洗浄剤噴流を吹き付けて塵埃を洗浄剤と合わせて除去する洗浄剤スプレーと、が備えられる。 （もっと読む）

【課題】 ゴミ等の有機系の異物を除去するための洗浄部の稼働効率を低下することなく、ラテラルクラックの割れ目に洗浄液を十分浸透させて、ラテラルクラックを除去することにより、パネル基板におけるチッピングの発生を抑制する。
【解決手段】 水よりも表面張力が小さくなるように調整された第１洗浄液８が貯留されており、第１洗浄液８に液晶表示パネル２のパネル基板３を浸漬させることにより、パネル基板３に発生したラテラルクラックの割れ目に第１洗浄液８を浸透させながらパネル基板３を洗浄する第１洗浄部４と、有機系の異物を除去する第２洗浄液１５が貯留されており、パネル基板３を第２洗浄液１５に浸漬させ、パネル基板３に付着した有機系の異物を除去するようにパネル基板３を洗浄する第２洗浄部１３とを有し、第１洗浄部４の大きさが第２洗浄部１３の大きさよりも大きく形成されている。 （もっと読む）

【課題】 マスクに付着した有機ＥＬ用の有機材料を除去することが可能な洗浄装置を提供する。
【解決手段】 本発明の洗浄装置は、マスク１０を所定の洗浄液により室温で洗浄処理する第１及び第２の洗浄槽２１，２２と、マスク１０を所定のリンス液により室温でリンス処理する第１及び第２のリンス槽５１，５２と、重力を起因とする応力によってマスク１０の金属薄膜に損傷を生じさせないように、水平以外の所定の角度を以って当該マスク１０を保持し、当該所定の角度を以って保持された当該マスク１０を第１及び第２の洗浄槽２１，２２及び第１及び第２のリンス槽５１，５２へ搬送する搬送装置２４０と、を備える。ここで、搬送装置２４０は、最初に水平な状態でマスク１０を保持した後、当該マスク１０を保持したまま、垂直方向に起き上がり、上記所定の角度を以って当該マスク１０を保持する。 （もっと読む）

【課題】汚多段向流式の洗浄装置において、洗浄溶媒の処理にかかるコストを低減させることができる洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決方法】被洗浄物３の移動方向の上流側Ｘから下流側Ｙに向かってＮ個（２以上）の洗浄槽が連続して設けられ、Ｎ個目の洗浄槽に一定量［Ｑ］の洗浄溶媒８が供給され、各洗浄槽で被洗浄物３が順次洗浄される多段向流式の洗浄装置であって、２番目以降に位置する洗浄槽のいずれか１槽又は複数槽から洗浄溶媒を所定量［ｑ］回収すると共に、残り［Ｑ−ｑ］の洗浄溶媒を１番目の洗浄槽４に移送する手段と、回収された所定量［ｑ］の洗浄溶媒を再生してＮ番目の洗浄槽７に送る手段と、再生した洗浄溶媒に補給用の洗浄溶媒１０を所定量［Ｑ−ｑ］加えることで一定量［Ｑ］の洗浄溶媒とし、その洗浄溶媒８をＮ番目の洗浄槽７に供給する手段と、１番目の洗浄槽４から所定量［Ｑ−ｑ］の洗浄溶媒を排水する手段とを備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】 被洗浄物表面上の水分を効率的に除去する洗浄方法および洗浄装置の提供。
【解決手段】 洗浄方法は、洗浄成分を溶解した洗浄剤に被洗浄物を浸漬洗浄し、次に、炭化水素を主成分とした疎水性の液体に被洗浄物を浸漬して被洗浄物表面上の水分を疎水性の液体に置換して被洗浄物表面上の水分を除去し、その後、液状炭化水素による洗浄、及び、乾燥を行なう方法。洗浄装置は、アルカリ性洗浄剤に被洗浄物を浸漬洗浄する第一洗浄処理部と、炭化水素を主成分とした疎水性液体に被洗浄物を浸漬する水置換処理部と、被洗浄物を炭化水素で洗浄する第二洗浄処理部と、被洗浄物表面を乾燥する乾燥処理部と、を備えている装置。 （もっと読む）