【課題】 機械部品、電気部品などの被処理物を良好にバリ取り洗浄し、リンス洗浄と乾燥を効率よく良好に行なうことができるバリ取り洗浄乾燥装置を提供する。
【解決手段】バリ取り洗浄槽１の下部に洗浄液を収容し超音波振動子２９を配置してなる浸漬洗浄室２を設けられ、上部に被洗浄物を出し入れする出入室３が設けられる。被洗浄物を浸漬洗浄室２と出入室３との間で昇降させる昇降装置７がバリ取り洗浄槽１内に配設される。バリ取り洗浄槽１の出入室３の反対側にリンス洗浄乾燥室２１が連通して配置される。バリ取り洗浄槽１上部の出入室３とリンス洗浄乾燥室２１との間で被洗浄物を水平移動させる水平移動機構２２が設けられる。洗浄液の溶存酸素量は脱気装置３０により所定値以下に脱気され、洗浄液の温度は冷却装置３９により所定温度以下に下げられる。 （もっと読む）

【課題】トンネル式洗浄機において、流体排気通路で洗浄機の各チャンバからの均等な蒸気排気を容易にし、各チャンバからの熱損失を最小限にするため最適化される。
【解決手段】トンネル式洗浄機には、トンネル式洗浄機のチャンバを分離する間隔を保つ二重壁カーテンが含まれ、チャンバ間およびトンネル式洗浄機外への流体および熱移動が防止される。二重壁カーテンにはトンネル式洗浄機の操作の間にカーテンが互いに粘着することを抑制する表面が含まれる。またトンネル式洗浄機には種々の寸法の物品に対し乾燥効率を均等にする空気マニホールドが含まれる。 （もっと読む）

【課題】蒸気乾燥後にワークの表面に残留した溶剤等を良好に乾燥することのできる乾燥方法を提供する。
【解決手段】洗浄したワーク１００を、ＩＰＡ１２０を用いて乾燥する乾燥方法は、洗浄によってワーク１００に付着した水分をＩＰＡ１２０で置換する置換工程と、置換工程後のワーク１００を、蒸気乾燥槽５内に移動させてＩＰＡ１２０の蒸気中に留置する蒸気乾燥工程と、蒸気乾燥工程後に、ワーク１００を蒸気乾燥槽５の外に移動し、ワーク１００に対してドライ温風を当てる送風乾燥工程とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の液処理モジュール間で共有されている共通用力系の負荷を抑えた処理装置等を提供する。
【解決手段】処理モジュール群は、基板に対して各々同一の処理を行うための多数の処理モジュールを、ｎ個（ｎ≧２）を１組としてｋ組（ｋ≧２）備え、各組の処理モジュールには各組の処理モジュールに対して共通化されると共にその最大能力がｍ個（ｍ≦ｎ）分の大きさの共通用力系が設けられている。搬送機構は各組の処理モジュールに基板を順次１個づつ搬入する動作を繰り返し、このとき（１）共通用力系が使用されている一の処理モジュールにおける処理が終了した後にその組の他の処理モジュールへ基板を搬入するか、または（２）当該一の処理モジュールの処理の終了を待たずに他の処理モジュールへ基板を搬入してから当該一の処理モジュールにおける処理が終了した後に他の処理モジュールの処理を開始する。 （もっと読む）

【課題】不純物や斑点を低減した良質の多結晶シリコンを得ることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】酸を満たした状態の複数の酸槽２〜６に多結晶シリコンＳを順次浸漬しながら洗浄する多結晶シリコン洗浄装置であって、各酸槽２〜６の液温は、隣接する酸槽の後段位置の酸槽が前段位置の酸槽と同じかもしくは低く設定され、かつ、最も前段位置の酸槽２よりも最も後段位置の酸槽６の方が低温に設定され、各酸槽２〜６に、その液温を一定に維持する温調手段１８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽内で洗浄液を適切に循環させることが可能な洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄装置１は、被洗浄物２が浸漬される洗浄槽３と、被洗浄物２に向かって洗浄液を噴射する洗浄液噴射部材２０とを備えている。洗浄液噴射部材２０は、洗浄槽３の側面部３ｂに取り付けられている。この洗浄装置１では、洗浄液噴射部材２０の影響で洗浄槽３内の洗浄液の流れに乱れが生じるおそれを低減することができ、洗浄槽３内で洗浄液を適切に循環させることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】フローティングユニットを用いて基板をフローティング状態に維持したままで基板の洗浄工程を行うことによって、基板の垂れによる破損を防止することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】本発明の洗浄装置は、基板にプラズマを照射して基板上の異物を除去するプラズマ照射部、基板上に残っている異物を除去する異物洗浄部、基板を洗浄する仕上げ洗浄部、基板を乾燥させる乾燥部と、基板をアンローディングする基板アンローディング部を備え、プラズマ照射部には、プラズマを照射するプラズマ照射ユニット及び基板をフローティング状態に維持させるフローティングユニットを含む。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドの内部流路に介設したシールゴムに付着した機能液やその他の異物を効率的に除去することのできるシールゴムの洗浄方法等を提供する。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１を分解して取り出したシールゴム４を、付着した機能液が乾燥する前に機能液の溶媒に浸漬する浸漬工程Ｓ１と、浸漬工程Ｓ１の後、シールゴム４を洗浄液で超音波洗浄する洗浄工程Ｓ２と、洗浄工程Ｓ２の後、シールゴム４をアルコールで洗浄するアルコール洗浄工程Ｓ３と、アルコール洗浄工程Ｓ３の後、シールゴム４を自然乾燥させる乾燥工程Ｓ４と、乾燥工程Ｓ４の後、シールゴム４の外観を顕微鏡で検査する検査工程Ｓ５と、から成り、洗浄工程Ｓ２では、洗浄液を循環させ且つフィルタリングしながら超音波洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】 被洗浄物を均一に洗浄しつつ、複数種類の機械部品等の被洗浄物を安価に自動洗浄することのできる自動化された超音波洗浄機を提供すること。
【解決手段】 被洗浄物を回転可能な保持籠に入れ、超音波を用いて複数の槽で洗浄する超音波洗浄機であって、該保持籠を槽間移動せしめる移動機構を備えている自動超音波洗浄機とそれを用いた自動超音波洗浄方法によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】アルカリ洗浄液を使用することなく、低コストで鋼板を十分に洗浄できる、鋼板の洗浄方法および装置を提供すること。または、少量のアルカリ洗浄液の使用であっても、低コストで鋼板を十分に洗浄できる、鋼板の洗浄方法および装置を提供すること。
【解決手段】鋼板７に水蒸気と、空気および／または液滴とを吹き付けて洗浄することを特徴とする鋼板の洗浄方法を用いる。液滴が水であることが好ましい。このために、水蒸気を高速で噴出させることが出来る蒸気ノズル２と、蒸気ノズル２内に空気および／または液体を供給する供給管とを備え、該供給管の供給口５から供給された空気および／または液体と前記水蒸気とを蒸気ノズル２内で混合し蒸気ノズル２の噴出口６から噴出することを特徴とする鋼板の洗浄装置を用いる。供給管が、空気を供給する供給管３と、液体を供給する供給管４とからなることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】プラスチックフィルムの表面に付着した数μｍという非常に微細な埃、フィルム片、汚れまでも連続的に除去することができるフィルムの洗浄システムを提供する。
【解決手段】走行するフィルム１２に、洗浄液を用いて洗浄を行う洗浄部３６と、洗浄した前記走行するフィルムの乾燥を行う乾燥部３８と、を備え、洗浄部３６は、フィルム１２を走行させながら該フィルム表裏面の少なくとも一方の面側に洗浄液を供給することにより、少なくとも一方の面に沿った水流で洗浄する構造であるようにする。 （もっと読む）

【課題】付帯設備の少ない洗浄装置で効率よく洗浄でき、洗浄作業や保守点検作業等の経費を節減可能な金属部品の洗浄方法および洗浄装置を提供する。
【解決手段】金属製の被洗浄対象部品１の表面の付着物を除去する金属部品の洗浄方法であって、陽極８ａおよび陰極８ｂを挿入した洗浄液中に直流電圧を印加処理して洗浄液を調製する洗浄液調製工程と、調製された洗浄液中で上記被洗浄対象部品を超音波洗浄する超音波洗浄工程とを備えてなり、洗浄液調整工程と超音波洗浄工程とが異なる槽内で行なわれ、洗浄液調製槽３での洗浄液調整工程で調整された洗浄用水溶液を、超音波洗浄工程を行なう洗浄槽４に循環供給する。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄を効率的に行うとともに、洗浄装置の小型化、構成の簡素化を図った洗浄方法を提供する。
【解決手段】収納具の搬送方向に沿って複数配置したノズル１０、１１ごとに、搬送する収納具の上方側より洗浄水を順次噴射するとともに、前記噴射した洗浄水を複数の被洗浄物２８の略全体が浸漬するように収納具内に所定量貯水しながら収納具外に排水し、前記貯水した洗浄水中において、ノズルから噴射した洗浄水により、互いに隣り合う被洗浄物の離間した間隔内にある貯水した洗浄水を排除するとともに、前記ノズルから噴射した洗浄水を被洗浄物の表面と裏面に沿って流動させて、前記被洗浄物の洗浄を収納具の搬送方向に沿って順次行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄を効率的に行うとともに、洗浄装置の小型化、構成の簡素化を図った洗浄方法を提供する。
【解決手段】収納具の搬送方向に沿って複数配置したノズル１０、１１ごとに、搬送する収納具の上方側より洗浄水を順次噴射するとともに、前記噴射した洗浄水を被洗浄物２８の略全体が浸漬するように収納具内に所定量貯水しながら収納具外に排水し、前記貯水した洗浄水中において、前記ノズルから順次噴射した洗浄水の被洗浄物への当接によって接触した互いに隣り合う被洗浄物を順次離間させるとともに、前記離間した間隔内をノズルから噴射した洗浄水を被洗浄物被洗浄物の表面と裏面に沿って流動させて、前記被洗浄物の洗浄を収納具の搬送方向に沿って順次行うことを特徴とする洗浄方法
行うものである。 （もっと読む）

電極は経路に沿って端部を縦にして搬送される。電極は、底部外周端で支持されて、概ね垂直に保持される。複数の洗浄ノズルが経路に隣接してその対向する両側に配置される。ノズルからの洗浄スプレイは電極の両側面に当てられる。ノズルは、直線状に配置されてノズルアレイを形成し、電極の底部より先に上部に洗浄スプレイが当たるように角度が付けられる。リンスまたは前洗浄用の分離した部分を洗浄チャンバ内に備えてもよい。使用済みの水を回収して再利用してもよい。
（もっと読む）

【課題】プラスチックレンズ成形型に付着した樹脂汚れの除去を容易化可能とするプラスチックレンズ成形型用洗浄剤組成物、およびこれを用いたプラスチックレンズ成形型を構成するガラス型の清浄化方法、並びに、プラスチックレンズの製造方法を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で示されるフェニルエーテルおよび一般式（２）で示されるフェニルエーテルから選ばれる少なくとも１種のフェニルエーテルを含有するプラスチックレンズ成形型用洗浄剤組成物。
（もっと読む）

【課題】 ベースから基板が落下することを低減し、十分な洗浄ができる基板の製造方法、を提供することを目的とする。
【解決手段】 ベース２に接着されたブロック１と、アルカリ液４と、を準備する工程と、ベース２に接着されたブロック１をスライスし、ベース２に接着された基板列とする工程と、基板列をアルカリ液４により洗浄する工程と、基板列をベース２から剥離し複数の基板１ａとする工程と、を有し、アルカリ液はＢｒｉｘ値で管理される。 （もっと読む）

【課題】被処理物に付着する油分を確実に洗浄除去することができ、被処理物の洗浄処理に使用される溶剤を再生処理して洗浄力の回復及び維持を図ることができる被処理物洗浄方法及び被処理物洗浄装置の提供を目的とする。
【解決手段】被処理物Ａに付着する油分Ｄを炭化水素系溶剤Ｂに溶解させて分離した後、被処理物Ａに残着する炭化水素系溶剤Ｂをフッ素系溶剤Ｃに溶解させて分離する。油分Ｄが溶解した炭化水素系溶剤Ｂと再生処理済みのフッ素系溶剤Ｃとの混合溶剤ＢＣをフッ素系溶剤Ｃの沸点より低い温度で該沸点に近い温度に加温する。炭化水素系溶剤Ｂに対してフッ素系溶剤Ｃを溶解させ、フッ素系溶剤Ｃに対して溶解性がない油分Ｄを分離する。油分Ｄが分離された混合溶剤ＢＣを沸点より低い温度に冷却して、炭化水素系溶剤Ｂとフッ素系溶剤Ｃとに分離及び再生するとともに、被処理物Ａの洗浄処理に繰り返し使用する。 （もっと読む）

【課題】体積の異なるびんをより効率的に洗浄し得る洗びん方法を提供する。
【解決手段】ラベルが貼付されたびんを洗浄槽（２、３）内の洗浄液に浸漬してびんからラベルを剥離し、ラベル滓を洗浄液と共に洗浄槽からオーバーフローにより排出してクッションタンク（６）に移送し、およびクッションタンク（６）からラベル滓および洗浄液を抜き出して濾過し、ラベル滓が除去された洗浄液を洗浄槽（２、３）に戻す洗びん方法において、この洗びん方法を第１体積のびんに対して実施した後、第１体積と異なる第２体積のびんに対して実施する際に、第１体積より第２体積が大きいときは、洗浄槽（２，３）内の洗浄液を、その体積差に対応する分だけ多くオーバーフローにより排出してクッションタンク（６）に貯留し、第１体積より第２体積が小さいときは、濾過によりラベル滓が除去された洗浄液を、その体積差に対応する分だけ多く洗浄槽（２，３）に戻す。 （もっと読む）

本発明は、最終すすぎゾーン（１８）を通って食器（６）を運ぶ運搬装置（４）を有するコンベヤー食器洗浄機（２）であって、前記運搬装置（４）は食器（６）を収容するための多数のコンパートメント（３８）を有するようなコンベヤー食器洗浄機（２）に関する。空のコンパートメント（３８）を検出するために食器センサ装置（４２）が提供される。コンベヤー食器洗浄機（２）の運転中における淡水、ケミカル、及びエネルギーの消費を低減可能にするため、本発明は、空のコンパートメント（３８）の検出に応じて、最終すすぎゾーン（１８）のスプレーノズル（２０、２２、２４）に供給される最終すすぎ液の単位時間当たり供給量を自動的に設定するように設計された制御装置（４４）を提供する。本発明は又、この種のコンベヤー食器洗浄機（２）を運転するする方法に関する。 （もっと読む）