【課題】フラットケーブルを剥き出しで使用しても、他の物体へ干渉することなく、フラットケーブルが損傷しない構造を持つロボットの提供。
【解決手段】ロボット１を形成するアーム８、第１昇降部１１および第２昇降部１２は鉛直なＲ軸を中心に旋回可能に形成されている。また、第１昇降部１１はアーム８に対して上下移動可能に接続され、さらに第２昇降部１２は第１昇降部１１に対して上下移動可能に連結されている。第２昇降部１２にはワークに処置を施すツールを取り付け可能な回転軸用モータ３０が取付けられており、回転軸用モータ３０へ電力を供給するためのフラットケーブル３２がアーム８から引き出されて回転軸用モータ３０へと接続されている。フラットケーブル３２のアーム８および第２昇降部１２への取付部位の間は下方に垂れ下がっており、第１昇降部１１および第２昇降部１２がアーム８に対して最も下降した場合に、この垂れ下がり部４５は第２昇降部１２の下端４６よりも上方に位置している。 （もっと読む）

【課題】 プーリとベルトとを用いることなく、安定した動作を行うことが可能な伸縮アームを提供する。
【解決手段】 第１腕要素(20)が、第１回転中心(10)を中心として回転可能であり、第２回転中心(11)を画定する。第２腕要素(60)が、第２回転中心を中心として回転可能であり、第３回転中心(12)を画定する。第１平行リンク機構(21)で画定される相互に平行な一対の辺の一方が第１回転中心を中心として回転可能であり、他方が第２回転中心を中心として回転可能である。第２平行リンク機構(61)が画定する相互に平行な一対の辺の一方が第２回転中心を中心として回転可能であり、他方が第３回転中心を中心として回転可能である。関節機構(40)が、第１平行リンク機構の、第１回転中心を通過するリンクの姿勢を固定した状態で、第１腕要素が第１角度だけ回転したとき、第２腕要素を第１腕要素に対して、第１腕要素とは反対向きに、第１角度の２倍の角度だけ回転させる。 （もっと読む）

【課題】収納体から被搬送物を搬出入して交換する時間を短縮させると共にロボットの動作の調整作業を容易にすることができるロボット制御装置を提供する。
【解決手段】制御部１４は、前進動作手段により、直線補間のもと、第１ハンド部材２８を所定のカセット２４に向かって前進するように直進動作させる。同時に、回避動作手段により、前進動作手段による第1ハンド部材２８の直進動作に同期させて、第２ハンド部材３０をＷ２軸２９を中心に反時計方向回りに回動させる。次に、第１ハンド部材２８にカセット２４内の半導体ウェハ２３を保持させる。次に、後退動作手段により、直線補間のもと、第１ハンド部材２８をカセット２４から後退するように直進動作させる。同時に、復帰動作手段により、後退動作手段による第1ハンド部材２８の直進動作に同期させて、第２ハンド部材３０を時計方向回りに回動させる。 （もっと読む）

【課題】開始点から目標点まで特異点を通過させてロボットを動作させ、搬送速度を向上させると共に装置の立上げ時間を短縮させたロボット制御装置を提供する。
【解決手段】制御部１４は、差分算出手段により、駆動軸の各々の差分θを算出する。時間算出手段により、予め設定可能な駆動軸の各々の速度条件と、上記差分θとから、駆動軸の各々の動作時間Ｔを算出する。比率算出手段により、上記算出された動作時間Ｔが最も長いＢ軸１９を基準軸として、その基準軸の動作量に対する他のＡ軸１７及びＷ軸２１の動作量の動作比率を算出する。算出される動作比率は、Ｂ軸１９を１として、Ａ軸１７は（−θ_ＡＳ／θ_ＢＳ）、Ｗ軸２１は（θ_ＷＳ／θ_ＢＳ）となる。動作手段により、上記算出された動作比率でＡ軸１７、Ｂ軸１９及びＷ軸２１の駆動軸の各々駆動させることにより、ロボット１１を開始点Ｓの姿勢から特異点Ｏの姿勢まで動作させる。 （もっと読む）

【課題】一対の支柱間に架設された走行レールに旋回アームを有したロボット本体を往復移動可能に吊り下げ支持した構成の吊り型ロボットにおいて、ロボット本体が支柱のごく近くで停止した位置でのアームの旋回範囲を広げる。
【解決手段】一対の支柱のうちの一方の支柱６において、ロボット本体９の移動空間２１側の側部に切り欠き部分２２を設ける。すると、ロボット本体９が支柱６の直ぐ近くの位置で停止してアームを旋回させた場合、アームが支柱６に当たることなく旋回できる範囲が広がる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ワーク搬送ロボットを大型化することなく、高速搬送を可能とするハンドリングロボットを提供するものである。
【解決手段】水平に回転可能な第１アーム１０と、前記第１アーム１０の先端に前記第1アーム１０の回転軸と平行な軸に回転支持された回転可能な第２アーム１７と、前記第２アーム１７の先端部に前記第２アーム１７の回転軸と平行な軸に回転可能なフランジ２１と、前記フランジ２１にワーク把持部２５とを備えたワーク搬送ロボットにおいて、前記第１アーム１０の回転軸と平行な前記軸に少なくとも２つの出力軸を備えた減速機構１６，２０を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】ロボットの防塵防水性を高めるとともに、ロボットのアームに作業性能を低下させない緩衝機構を有する水平多関節型ロボットを提供する。
【解決手段】水平多関節型ロボットは、基台に回動可能な回転軸に固着された水平方向に延びる第１のアームと、そのアーム先端の支持軸に回動可能に連結された第２のアーム１５と、該アーム１５先端の主軸筒１５Ａに上下方向に昇降するとともに、水平方向に回転する主軸とを備える。第２のアーム１５は、剛性を有し電気回路等を配設される筐体２０と、該筐体２０を上方から側面まで覆うカバー２１を有する。カバー２１には、筐体２０が旋回して移動する方向に向いている外側面２０Ａを覆うスカート部２５が形成されている。スカート部２５は、筐体２０が物と接触する際には緩衝材となるともに、その下端から筐体２０上面の天板まで長い距離があるため防水性や対塵性も確保できる。 （もっと読む）

【課題】基板を搬送する間や基板の位置合わせを行う間にその基板の温度調整を行うこと。
【解決手段】基板の裏面に対向する基板保持面を備えた基板保持部と、各々基板の裏面を支持し、基板との摩擦力によって当該基板の前記基板保持面に対する横滑りを防止する凸部と、前記基板保持面に開口し、基板の裏面に向けてガスを吐出するガス吐出口と、その一端が前記ガス吐出口に接続されたガス流路を流通するガスを温度調整する温度調整部と、を備え、基板の裏面に吐出された前記ガスは基板保持面と基板との隙間を流れ、その隙間の圧力が低下するベルヌーイ効果により、当該基板が基板保持部へ向けて吸引されることにより基板を保持するように基板保持装置を構成する。この基板保持装置は基板搬送手段や基板位置合わせ手段にも適用することができる。 （もっと読む）

【課題】作業者と共生してもエンドエフェクタが作業者に接触して作業者に危害が及ぶことが抑制可能なエンドエフェクタ及びマニプレータを提供すること。
【解決手段】マニプレータ１に取付け可能とされ、ワークを管理・加工する管理・加工部２１と、前記管理・加工部２１が収納可能とされるカバー部３０と、前記管理・加工部２１を前記カバー部３０に収納する収納駆動部１７Ａとを備え、前記収納駆動部１７Ａは、前記マニプレータ１の第３の駆動部材１７により構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】非放射状の直線動作と三次元動作が可能なロボットアーム構造の提供。
【解決手段】ロボットアーム構造（１０）は、少なくともリンク１、リンク２を備える。θ動作は最基端のリンク１の基端部分の第１軸（ｚ１）のまわりに与えられる。Ｒ動作は第１軸から半径方向に前進し、それによって最末端のリンク３の末端部分は半径方向に延びる直線に沿って動ける。エンドエフェクタ（１８）は第１軸と平行なエンドエフェクタ軸のまわりに最末端のリンク３の末端部分に対して回転できるように回動可能に取付けられる。構造（１０）は、アームの手首をそれぞれの軸のまわりに回転させるヨー、ピッチ及びロールモータ３のうち１又は複数を付加することにより改良される。センサアレイは、ｒ、θ、ｚとヨー、ピッチ及びロール動作の１又は複数とを検出し、コンピュータはｒ、θ、ｚ及びヨー、ピッチ及びロール動作の１又は複数を監視及び制御する。 （もっと読む）

【課題】狭い作業領域で効率よくワークを搬送できるハンドリング装置を提供する。
【解決手段】水平方向に伸長するガイドレール１１、ガイドレールに沿って移動する可動キャリッジ２０、可動キャリッジに設けられてワークを取り扱うハンドリングロボットＲを備え、ハンドリングロボットＲは、可動キャリッジに対して上下方向に伸縮自在に設けられたテレスコアーム３０、テレスコアームに保持されると共に水平面内で旋回して伸縮又は屈曲動作を行うべく互いに連結された複数の旋回アーム４０，５０、複数の旋回アームの最も先端側に設けられたハンドユニット６０を含む。これによれば、複数の旋回アームが水平面内で二次元的に移動するものであるため、上下方向の剛性が高く、質量の大きいワークでも停止時に振動やブレ等の発生を防止でき、狭い作動範囲において、安定したハンドリング操作を行える。 （もっと読む）

【課題】ワークを組み付けるサイクルタイムを短縮し、ワークの組み付け精度を高められるスカラロボットを提供する。
【解決手段】第一回転軸１１を中心に回動する第一アーム２１と、この第一アーム２１の先端部２３に設けられる第二回転軸３１と、この第二回転軸３１を中心に回動する第二アーム４１とを備え、この第二アーム４１の先端部４３ハンドリング部５１が設けられ、第一アーム２１と第二アーム４１とをそれぞれ回動させることによってこのハンドリング部５１を少なくとも２次元方向に移動するスカラロボット１であって、第二アーム４１の長さＬ２を第一アーム２１の長さＬ１より短くし、第一アーム２１に凹状に窪むハンドリング凹部３５を形成し、第二アーム４１が一方に回動することによりハンドリング部５１がこのハンドリング凹部３５に収まる構成とした。 （もっと読む）

【課題】回動可能なアームに連結されたフレームと、そのフレームに支持された第１乃至第３のクランプ装置とを有し、その第１乃至第３のクランプ装置によってワークを把持して運搬するワーク運搬装置において、１台のワーク運搬装置によって、各種形態のワークを運搬できるようにする。
【解決手段】第１及び第２のクランプ装置９，９Ａを互いに接近又は離隔可能にフレーム７に支持すると共に、第３のクランプ装置９Ｂを、第１及び第２のクランプ装置９，９Ａのクランプ爪１４，１４Ａを結ぶ直線Ｌに対して、直交する方向に移動可能にフレーム７に支持する。 （もっと読む）

【課題】旋回径を小さくしつつ、１回の搬入動作あるいは搬出動作で複数の搬送対象物を搬送することが可能な産業用ロボットの具体的な構成を提供すること。
【解決手段】ロボット１は、複数の搬送対象物２を搭載する第１ハンド３、第２ハンド４と、第１ハンド３、第２ハンド４をそれぞれ保持する第１アーム５、第２アーム６と、第１アーム５および第２アーム６を保持する共通アーム７と、共通アーム７に対する第１アーム５、第２アーム６のそれぞれの回動中心となる第１回動中心部３１、第２回動中心部４１と、共通アーム７を保持する本体部とを備えている。第１ハンド３と第２ハンド４とはロボット１の旋回動作時に重なるように配置され、第１ハンド３および第２ハンド４には、第１回動中心部３１および第２回動中心部４１との干渉を防止するための逃げ部４３、４４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】２つのハンドを備えた搬送装置において、ハンドの動作にともなう振動の発生やアームのダレなどの不都合を低減する。
【解決手段】搬送装置Ａ１は、旋回軸Ｏｓ周りに旋回可能な旋回ベース２と、旋回ベース２に対し、旋回軸Ｏｓを挟んで旋回軸Ｏｓから等距離にある回動軸Ｏ１，Ｏ２周りに回動可能に支持されたアーム４Ａ，４Ｂと、アーム４Ａ，４Ｂのそれぞれに固定状に支持され、ワークＷを保持しうるハンド６Ａ，６Ｂと、旋回ベース２を回動させる旋回駆動手段と、アーム４Ａ，４Ｂを回動させるアーム駆動手段と、を備え、各ハンド６Ａ，６Ｂは、これに保持させるワークＷの中心が位置するべき基準点Ｓ１，Ｓ２をそれぞれ有し、上記旋回駆動手段と上記アーム駆動手段が連動して、ハンド６Ａ，６Ｂのいずれか一方を、基準点Ｓ１または基準点Ｓ２が旋回軸Ｏｓを通る水平直線上の移動行程ＧＬを移動するように所定位置間を移動させる。 （もっと読む）

【課題】直動式アーム内にあるリニアスライダなどの機構からの発塵を抑制するとともに、真空中に置かれる基板搬送ロボットでも使用可能な防塵機構を提供すること
【解決手段】リニアスライダによって直動する直動式アーム３を備えて基板９を所望の位置に搬送する基板搬送ロボット１において、リニアスライダ１８、２３を摺動可能に保持するリニアレール７、８の近傍に、リニアスライダ１８、２３と微小な隙間を介して敷設され、ポリ塩化ビニール又はフッ素樹脂で製作された集塵カバ４４をリニアレール７、８に沿って敷設した。リニアレール６上を摺動するリニアスライダ７直近に集塵カバ１０を設置し、リニアレール６上のリニアスライダ７が摺動する際に飛散するパーティクル１３を集塵カバ１０のラビリンス形状部で収集し、アームカバ８の開口部からパーティクル１３が流出することを防止し、ウエハ搬送フォーク３上のウエハ１２にパーティクル１３を付着させない処置をする。 （もっと読む）

【課題】 能動的な誘導を介すことなく正確な作業を実現できる作業管理システムの提供。
【解決手段】 作業位置及び作業順序の情報を備え工具の次作業位置を出力する作業管理手段と、前記相対角度と各アームの有効長に基いて、工具位置の水平位置を導くと共に、工具位置の垂直位置を導く工具位置検出手段と、当該工具位置検出手段により検出した前後の位置変化に基いて、前記工具の移動方向を導く移動方向検出手段と、前記工具位置を起点とする前記次作業位置の方向を導く目的方向検出手段と、前記工具の移動方向と前記次作業位置への方向との比較により当該工具の次作業位置への近接状況を判定する操作方向判定手段と、前記近接状況が近接傾向にある場合には各連結部のブレーキを解除し、前記近接状況が離隔傾向にある場合には各連結部のブレーキを作動させる抵抗調整手段を備える作業管理システム。 （もっと読む）

【課題】本発明は上下移動軸からの発塵による基板の汚染を防止するとともに、生産性を向上させた液晶用のガラス基板や半導体ウェハ等の薄板状のワークをストッカに出し入れする多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部（８）と、前記ハンド部（８）と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節（３）、（４）、（５）を備え、前記ハンド部（８）を１方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された多関節アーム（１）と、前記多関節アーム（１）と上下に移動する移動機構（１１）とを連結する支持部材（１０）と、前記移動機構（１１）に備えられた旋回機能を有する台座（１３）とからなる多関節ロボット（１）において、前記移動機構（１１）は、前記ハンド部（８）の移動方向と同方向にコラム（１２）が配置され、前記移動機構（１１）に配置された支持部材（１０）は、前記ハンド部（８）の移動方向に直交する方向に突出し、前記多関節アーム（２）と連結されたものである。 （もっと読む）

【課題】機械的な構成で搬送対象物を把持しても、搬送対象物に与える衝撃を抑制することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】ロボット１は、ウエハ２を搭載するハンド３と、ハンド３を保持する第２アーム６を有する多関節アーム部４とを備えている。ハンド３は、ウエハ２を把持するための把持部２８と、ウエハ２を把持する方向へ把持部２８を付勢する付勢部材とを備え、第２アーム６は、ハンド３の回動中心から偏心した位置に固定され、ウエハ２の搬出開始前に把持部２８に当接して把持部２８をウエハ２から退避させる偏心部材３１を備えている。偏心部材３１は、ウエハ２を搬出する際の多関節アーム部４の伸縮動作に伴って、把持部２８がウエハ２を把持する方向へ移動するように、把持部２８に対して相対移動し、把持部２８は、ウエハ２を搬出する際の多関節アーム部４の伸縮動作の減速時に、ウエハ２の把持を開始する。 （もっと読む）

【課題】先端側を薄型化したアーム装置を提供する。
【解決手段】アーム装置１００は、回転軸１１１を中心に回転する駆動アーム部１１０と、駆動アーム部１１０の回転に従って駆動アーム部１１０に対して回転する従動アーム部１３０と、互いに回転可能に連結された複数のリンクを有し駆動アーム部１１０及び従動アーム部１３０の回転をリンクによって同期させる同期リンク部１５０とを備え、回転軸１１１が延在する矢印１１１ａの方向で、同期リンク部１５０の少なくとも一部のリンクが駆動アーム部１１０に対して従動アーム部１３０側とは反対側に配置されている。 （もっと読む）