【課題】生産性の低下や露光処理等への悪影響を抑制する。
【解決手段】一対の接続部材ＡＭ１１、ＡＭ１２を所定の軸周りに回転自在に接続する関節部ＪＴ１２を有する。関節部は、一対の接続部材を非接触で、所定の軸周り方向に相対的に回転自在、且つ所定の軸と直交する方向への相対移動を拘束するベアリング装置ＢＲ１２を有する。 （もっと読む）

【課題】被搬送物の振動を抑制するとともに、軽量かつ保守が容易で高い防塵性及び高い防滴性を有するロボット及びロボット用のアタッチメントを提供する。
【解決手段】第２のアーム１５の回動中心軸と平行に設けられた主軸１６と、主軸１６の上端部に連結した上側連結部材２１と、主軸１６の下端部に連結した下側連結部材２２と、上側連結部材２１と下側連結部材２２とを連結した２本の補助軸２３と、第２のアーム１５に固着され、２本の補助軸２３と係合する嵌合溝を有する補助軸係合部材とを備え、２本の補助軸２３は、第２のアーム１５の外郭面から外側に離れた位置に配置され、主軸１６の軸方向から見て、２本の補助軸２３は、主軸１６と第２のアーム１５の回動中心軸とを結ぶ線に対して、対称に配置されている。 （もっと読む）

【課題】２本のアームを個別に伸縮させることが可能であっても、２本のアームの伸縮動作や本体部に対する回動動作を安定させることが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】第１アーム５は、第１アーム部１１と、第１アーム部１１に保持される第２アーム部１２とを備え、第２アーム６は、第３アーム部１３と、第３アーム部１３に保持される第４アーム部１４とを備えている。ロボット１では、第１アーム５と第２アーム６とを個別に伸縮させることが可能となっている。また、ロボット１では、第１アーム部１１の回動中心と第３アーム部１３の回動中心とは同軸上に配置されるとともに、第１アーム５と第２アーム６とは、第１アーム５および第２アーム６が縮んでいる状態で仮想線Ｌに対して略線対称になるように構成され、第１アーム部１１と第３アーム部１３と第２アーム部１２と第４アーム部１４とは、上下方向においてこの順番で配置されている。 （もっと読む）

【課題】ロボットを分解することなく移送でき、容易に設置できる及び生産設備の製造方法を提供する。
【解決手段】台座と、台座に立設され少なくとも上側ブロックと下側ブロックとを有するコラムと、コラムに設けられコラムに沿って移動する移動機構と、移動機構に連結された支持部材と、支持部材に支持され複数の関節を有するアームと、を有する多関節ロボットであって、上側ブロックが横倒し状態にまで揺動可能となるように上側ブロックと下側ブロックとを連結する可動部材と、上側ブロックが横倒し状態となった状態で上側ブロックを固定する固定部材と、を有して構成する。 （もっと読む）

【課題】機能を維持しながらもより小型化することができるようにした、ロボット及び物品搬送システムを提供する。
【解決手段】アーム部材２３と、アーム部材２３を揺動させるアクチュエータ２２と、アーム部材２３の先端に設けられるハンド部材２４と、アーム部材２３とハンド部材２４とを回転可能に連結する関節部材と、アクチュエータ２２を支持し直線駆動するリニアアクチュエータ３と、アクチュエータ２２及びリニアアクチュエータ３を協働させての各ハンド部材を進退方向に直線移動させるコントローラとを有して構成する。 （もっと読む）

【課題】空間の任意の位置に動工具箱や被加工物を定置する場合架台の上に定置するか吊り下げて定置していた、この方法では架台や吊り具が周辺に位置を占め干渉していた、
【解決手段】空間の任意の位置に物を横方向から定置するためにはアームが旋回と上下に自在に屈曲可動して固定し、十分な強度と耐久性を有すること、旋回する梁と旋回上下する棹その先に回転可能な定置受け台からなり、定置受け台は前記の梁と棹の旋回上下の動きに関係なく常に平行を保つことを特徴とする自在アームである。 （もっと読む）

【課題】指掛かり部が軸心に対して片側に偏った位置に形成された既存の鉗子を位置決めし、且つ、鉗子を開閉させる機構を有し、鉗子開閉時に生じる回転モーメントを吸収することのできる手術用マニピュレータを提供する。
【解決手段】指掛かり部122,124が軸心に対して片側に偏った位置に形成された鉗子120を装着可能な保持手段61を具える支持台60と、前記鉗子の指掛かり部を開閉させる開閉機構70と、該支持台を複数の軸回りに回転可能に保持する回転台50と、該回転台を平面方向及び／又は垂直方向に直線及び／又は回転作動可能に支持するアーム部30と、を有する手術用マニピュレータであって、回転台は、アーム部に対する支持台の各軸回りの回転を固定するロック機構51,55,57を有する。 （もっと読む）

【課題】ロボットに基づいたサブストレートの大量移送のための改良技術を提供する。
【解決手段】サブストレート取扱いロボット２０は第一アーム２２と第二アーム２６が接続されているアーム駆動機構３４を含む。複数サブストレート・バッチローダー２４が第一アーム２２に接続され、単一面エンド・エフェクタ２８が第二アーム２６に接続されている。複数サブストレート・バッチローダー２４は保持するサブストレート数を示す真空信号を生じる。真空信号インタープリータがサブストレート装荷数に応じて、第一アーム２２の運動を代える。第二アーム２６に接続されている対象物センサー５８は、複数サブストレート・バッチローダー２４に隣接するカセットの中のサブストレート数を査定する。サブストレート装荷順コントローラが、カセットの中のサブストレート数に応じて、アームの運動を制御し、複数サブストレート・バッチローダー２４の完全装荷を促進する。 （もっと読む）

【課題】並進する多関節アームを提供する。
【解決手段】多関節アーム１００は、ベース１０と第１のリンク１１０で連結した第１のアーム１０１と、第１のアーム１０１と中間リンク１３０で連結した第２のアーム１０２と、第２のアーム１０２と第２のリンク１２０で連結したエンドエフェクタ２００とを含む。第１のリンク１１０は、第１のアーム１０１に対して同期して動く第１の駆動歯車１１１と、ベース１０に対して同期して動く第１の伝達歯車１１２とを含む。中間リンク１３０は、第２のアーム１０２に対して同期して動き、第１の伝達歯車１１２とタイミングベルト１３９により接続された中間の駆動歯車１３１と、第１のアーム１０１に対して同期して動く中間の伝達歯車１３２とを含む。第２のリンク１２０は、エンドエフェクタ２００に対して同期して動き、中間の伝達歯車１３２とタイミングベルト１２９により接続された第２の駆動歯車１２１を含む。 （もっと読む）

【課題】 最小侵襲外科手術に適したマニプレータを提供する。
【解決手段】 医学用ツールを患者の体内で操作する装置は、患者の体内に挿入可能な管３２１と、該管３２１により支持され且つ第一及び第二の軸線を有するジンバル継手３３０と、第一及び第二の軸線の周りで枢動し得るようにジンバル継手３３０により支持されたツール３２２と、管３２１を通ってジンバル継手３３０まで伸びる第一及び第二の細長いコネクタ３５０と、第一及び第二のコネクタ３５０を通じてジンバル継手３３０に力を加え、ツール３２２を第一及び第二の軸線の少なくとも一方の周りで枢動させ得るように第一及び第二のコネクタ３５０にそれぞれ作用可能に接続された第一及び第二のアクチュエータ３５５とを備えている。第一及び第二のコネクタ３５０は圧縮状態及び張力状態にて作用可能である。 （もっと読む）

【課題】オペレータがマニピュレータ装置のアームユニットの位置を的確に認識することができ、操作を容易にすることができる。
【解決手段】マニピュレータ装置が、ハンド側旋回動作軸を回転中心として旋回可能に腕部の他端に連結されたハンド部を備えるアームユニットと、使用者の手により操作される操作部と、操作部を腕部に連結する連結部と、操作部と連結部との間に介在して配置され、ハンド側旋回動作軸と同じ方向に配置された操作側旋回動作軸回りに作用する回転力を検出する力検出用センサとを備える操作ユニットと、力検出用センサにより検出された回転力の大きさに応じてハンド部を旋回させる駆動装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】オペレータがマニピュレータ装置のアームユニットの位置を的確に認識することができ、操作を容易にすることができる。
【解決手段】マニピュレータ装置が、ハンド側旋回動作軸を回転中心として旋回可能に腕部の他端に連結されたハンド部を備えるアームユニットと、使用者の手により操作される操作部と、ハンド側旋回動作軸と同じ方向に配置された操作側旋回動作軸を回転中心として操作部を旋回可能に腕部に連結する連結部と、操作部と連結部との間に介在して配置され、操作側旋回動作軸回りに作用する回転力を検出する力検出用センサとを備える操作ユニットと、力検出用センサにより検出された回転力の大きさに応じてハンド部を旋回させる駆動装置と、駆動装置によりハンド部に付与される駆動力を操作部に伝達し、ハンド部の回動角度に応じて、操作部を旋回させる連動機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】搬送対象物を高い位置精度で搬送することが可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１０００は、ベース部４と、第１アームレバー５と、第２アームレバー６と、保持部７とを有する。第２アームレバー６と保持部７との間の関節部６７には、第２アームレバー６に対して保持部７を３自由度で動かすことが可能なアクチュエータ１００が設けられている。例えば、搬送装置１０００は、アクチュエータ１００を駆動させることにより、基板Ｗを、水平を維持したまま搬送することが可能である。このため、基板Ｗの位置精度を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】動作速度の高速化などを図ることのできる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】第１関節軸２を中空のボールねじスプラインシャフト１２から形成すると共に、第１のアーム駆動用モータ８及び第２の作業軸駆動用モータ１１を基台１内の固定ブラケット４１に装着し、第２のアーム駆動用モータ９及び第１の作業軸駆動用モータ１０を基台１内の可動ブラケット４２に装着する。また、第２のアーム駆動用モータ９の回転トルクを第２関節軸４に伝える第１のプーリ軸２７と第１の作業軸駆動用モータ１０の回転トルクを作業軸６に伝える第２のプーリ軸３４をボールねじスプラインシャフト１２の内側に同軸に配置する。 （もっと読む）

【課題】 駆動源となるモータの個数を少なくして装置コストの削減及び全体の軽量化を図ることが可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】 被処理体Ｗを保持して搬送するための搬送装置において、ベースに回転自在に支持された回転基台２４と、第１アーム部２６Ａ、２８Ａ、第２アーム部２６Ｂ、２８Ｂ及びピック部２６Ｃ、２８Ｃをこの順序で屈伸可能に連結してなる第１及び第２アーム機構２６、２８と、前記第１及び第２アーム機構の各第１アーム部にそれぞれ連結されて前記第１及び第２アーム機構を旋回させる駆動リンク機構３０と、前記回転基台を回転駆動させる第１駆動源３２と、前記駆動リンク機構を駆動する第２駆動源３４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、高精度な制御が要求される細径の医療用または工業用マニピュレータを実現するためのゴム人工筋アクチュエータを提供することにある。
【解決手段】本発明は、ゴム人工筋アクチュエータ内部に抵抗体を備え、可動端子が前記抵抗体との接触を維持しながら前記抵抗体上を移動することにより、前記ゴム人工筋アクチュエータの変位を検出することができることを特徴とする、ゴム人工筋アクチュエータを提供する。 （もっと読む）

【課題】基板の振動や変形を抑制しつつ基板を高速度で搬送する。
【解決手段】基板ハンドリングシステム１は、ガラス基板Ｇを搬送するための搬送路２０を備え、搬送路２０は、エアの吹出及び吸引によって搬送路２０上でガラス基板Ｇを浮上保持する基板浮上装置２５と、ガラス基板Ｇを保持し当該ガラス基板Ｇを移動させる駆動機構２４と、を有しており、ガラス基板Ｇを浮上保持しながら搬送方向Ｘに搬送する。この基板ハンドリングシステム１では、ガラス基板Ｇを高速度で搬送しても、ガラス基板Ｇの主面が傷付くのを確実に抑制できると共に、高い保持剛性によって、ガラス基板Ｇの振動を抑制し且つガラス基板Ｇに変形があってもこれを搬送路２０に倣った状態にすることができる。 （もっと読む）

【課題】３自由度を有する多関節型ロボットにおいて、小さなイナーシャとなるアーム関節構造を提案すること。
【解決手段】第一軸線Ｚ_１および第二軸線Ｚ_２に対して垂直な軸線Ｘ_１４，Ｘ_２４のいずれかを中心にしてプレート１２３，１２４に対して第一連接棒１２１の枢着部を制御している第三電動アクチュエータ２３を備えている関節構造体において、第三アクチュエータ２３が基部１０上に、もしくはアーム１１上に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】ソフト制御上の可動制御範囲区域に対して物理ストッパの可動範囲区域を間違えて設定してしまうことを抑制でき、さらに、複数の可動制御範囲区域をアームの所定可動範囲内に確実に設定できるようにする。
【解決手段】ユーザーが複数の可動制御範囲区域のいずれかを設定すると、制御部９は、該可動制御範囲区域に対応する前記可動範囲区域において設定された２つの物理ストッパ中間角度値Ｋｃ［deg］を求め、物理被ストッパの現在位置の角度値をＸ［deg］とし、アームの移動角度をＱ［deg］としたとき、ＱをＱ＝Ｋｃ−Ｘなる式で求め、Ｑ＞０のときには、アームを、他方の回転方向へ前記Ｑの角度だけ回転させ、Ｑ＜０のときには、アームを、一方の回転方向へ前記Ｑの角度だけ回転させることによりストッパ位置の示唆を行う。 （もっと読む）

【課題】省スペース化と高スループット化を図ったウェーハ搬送ロボットを提供する。
【解決手段】昇降可能な支持台２００と、支持台上に一端が軸支され水平方向に旋回可能な第１アーム部２０１と、その他端部上に一端が軸支され水平方向に旋回可能な第２アーム部２０２と、第１アーム内に設けられ、第１及び第２アームを旋回させアームの最大移動範囲内の任意の位置に停止させるアーム駆動機構２２１，２２２とで構成される水平多関節ロボット２２０と、第２アーム部の先端上に軸支され、水平方向に旋回可能な互いに対称的に配置された２つの機械式リンクアーム２４１，２４２と、その先端にそれぞれ設けられウェーハを保持するエンドエフェクタ２０８，２０９とを有する水平多関節機械式ダブルリンクアーム２４０とを備え、機械式リンクアームを旋回させる旋回機構が前記第２アームの内部に設けられ、エンドエフェクタは、互いに間隔をおいて上下に配置した。 （もっと読む）