【課題】ワークストック等の搬送元、搬送先の装置の出し入れが狭い環境であっても、迅速、確実にワークを搬送する半導体製造用搬送装置を提供する。
【解決手段】駆動部を格納する本体部２と、回動中心３０、４０、５０を中心として水平方向に回動自在に取り付けられた第１アーム３、第２アーム４、第３アーム５と、ワークを吸引する吸引口６４，６５を設けた爪６２、６３を有するハンド部６と、開口部５１内にハンド部後端６１を支持するスライド部とを備え、ワークストックの棚に差し込んだワークを出し入れする。また、ワーク検出センサ５２を備え、ハンド部６が第３アーム５へ後進したときにワークの有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】特定ワークの専用品とせず、汎用性の高いワークハンド装置を提供する。
【解決手段】ロボット２０のアーム２１の先端に接続され、アーム２１の旋回、伸縮によ
ってワークＷを搬送するワークハンド装置１′であり、フレーム２にワークＷを位置決めする基準ピン３ａ，４ａ，５ａと、この基準ピンに内蔵され、ワークＷを把持するクランパー３ｂ，４ｂ，５ｂと、それぞれの基準ピンとクランパー３ｂ，４ｂ，５ｂを有するそれぞれの第１、第２、第３ピンクランパーユニット３，４，５とを備え、第１ピンクランパーユニット３をＸ軸方向の位置を固定する第１固定手段９と、第２、第３ピンクランパーユニット４，５をＹ軸方向へ移動する第２駆動手段７と、第２、第３ピンクランパーユニット４，５をＺ軸方向へ移動自在に位置を決めるそれぞれの第３駆動手段８，８′とを備えたワークハンド装置１′である。 （もっと読む）

【課題】 高真空状態下において、半導体基板等を複数の処理チャンバーにおいて効率よく搬送でき、プロセスチャンバーのフットプリントを大幅に縮小可能な基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 真空環境２内に、回転駆動軸Ｒ₄回りに旋回可能な第１アーム１３０と、第１アーム１３０に対して所定角度で回動する第２アームと、第２アームの先端で基板を把持可能なツインハンドとが配置された基板搬送装置であって、第１アーム、第２アーム、及びツインハンドを駆動する複数の駆動モータ２１，２２，２３，２４の駆動力を同軸配置された複数の各回転駆動軸Ｒ₁，Ｒ₂，Ｒ₃，Ｒ₄にそれぞれ伝達する伝達ベルト４０，４１，４２，４３により、第１アーム１３０、第２アーム、及びツインハンドは、第１アーム１３０が旋回中心点として旋回し、第２アームとによるアーム伸縮により所定位置に移動し、ツインハンドがチャンバー間での基板の受け渡しを行うようにした。 （もっと読む）

【課題】機構を複雑化させることなく制御上の特異点を通過する。
【解決手段】アーム部２が現在の姿勢から上記駆動モータ５の駆動により、所望の姿勢を含む複数の姿勢に移行可能な姿勢である特異点姿勢を通過する際に、ハンド部３を減速させる制御手段４を備える。 （もっと読む）

【課題】 塵埃の飛散を抑えるとともに、ウェハ移載装置内での干渉を防ぐことができ、構造および制御が簡単な基板搬送方法を提供する。
【解決手段】 ロボットアーム４１の最小回転半径Ｒが、（Ｂ／２＜Ｒ≦Ｂ−Ｌ０−Ｅ）に設定される。これによってロボットアーム４１が正面壁１１０と干渉することを防いで、ロボットアーム４１のリンク体４１ａ〜４１ｃのリンク長さを大きくし、ロボットを左右方向に走行駆動させる直動駆動機構をなくして、塵埃の発生を抑え、ロボットの構造を簡単化してロボット制御を容易にすることができる。 （もっと読む）

【課題】手動誘導運転の際、ハンドを容易に移動させて微調整することができ、またハンドが誤って周囲の物と衝突するのを防止することができるロボットシステムを提供する。
【解決手段】ロボットシステム１０は、ロボット本体１１とこのロボット本体１１を制御する制御部２０とを備えている。このうちロボット本体１１は、第１のハンド１２と、第１のハンド１２を第１のハンド１２の基端１２ａから先端１２ｂに向う一定方向に沿って移動させるＪ１軸と、Ｊ１軸を水平面上で回転させるＪ４軸と、Ｊ４軸を垂直方向へ移動させるＪ３軸と、Ｊ３軸を水平面上で一定方向に移動させるＪ５軸とを有している。Ｊ１軸とＪ３軸とＪ４軸とＪ５軸とを制御部２０により同期して駆動し、第１のハンド１２を第１のハンド１２の中心を基準とするツール座標系のＸ軸、Ｙ軸、およびＣ軸上で移動できるようになっている。 （もっと読む）

【課題】 従来の上下軸を有する産業用ロボットに在った搬送時にマスが大きく成るという問題を解決する上下軸を有する産業用ロボットを提供することにある。
【解決手段】 上下軸を有する産業用ロボットにおいて、この上下軸には移動部にピニオンギアを駆動するモータを有し、前記移動部の移動を案内するガイドを設けた固定部には前記ピニオンギアと噛合うラックをからなる駆動手段を有するとともに、この上下軸には少なくとも１箇所上下に分断可能な分断部を有することを特徴とする上下軸を有する産業用ロボットとした
。 （もっと読む）

【課題】移載部に設置すべきセンサの配線に起因する断線、パーティクルの問題が発生しない伸縮式移載装置を提供する。
【解決手段】基台１に対して移載部５が水平方向に進出後退する伸縮式移載装置３０であって、この移載部５に設置すべきセンサ６Ａ、６Ｂを無線式とし、このセンサ６Ａ、６Ｂに電源を供給する充電池７を移載部５に備え、この移載部５が待機位置にあるときに、充電池７を充電する非接触充電手段８を基台１に備えた。 （もっと読む）

【課題】吸着力を保持しながら基板の変形に追従するとともに、外力が開放されたとき（基板開放時）に元の位置に戻る復元力を有し、安定的な基板吸着装置およびこれを用いた搬送ロボットを提供する。
【解決手段】基板吸着部１４１を有する中空の吸着パッド１４と、この吸着パッド１４を弾性的に支持する弾性部材からなるパッド支持部材１５と、エア吸着力を発生する基板吸着部１４１とを備えた基板吸着装置１３において、
摩擦低減機構を有するマニホールド１６と、前記吸着パッド１４と前記マニホールド１６との間に弾性体１８を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】基板の位置決めの際に、基板に生じる傷を軽減できる基板移載ロボットを提供すること。
【解決手段】基板が載置されるハンドユニットと、前記ハンドユニット上に載置された前記基板の位置決めを行なう位置決め手段と、を備えた基板移載ロボットにおいて、前記ハンドユニットが、ハンド本体部と、前記ハンド本体部から上方へ突出し、前記基板が載置される複数の載置部材と、を備え、各々の前記載置部材は、その上端において回転自在に支持されて自由回転する回転体を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ロボットアームの移動時間を短くすることのできる最適な作業対象物の配置位置の決定を支援する技術を提供する。
【解決手段】水平多関節ロボットのロボットアームにより搬送される作業対象物の配置決定方法であって、作業対象物の配置候補位置を複数指定する工程と、所定の位置と複数の配置候補位置のそれぞれとを通過するロボットアーム移動経路をそれぞれ指定する工程と、各ロボットアーム移動経路のそれぞれにおけるロボットアームの移動をシミュレーションし、その移動の際のロボットアームの回転角度が反映されたロボットアーム移動時間をそれぞれ求める工程と、ロボットアーム移動時間が最も短くなるロボットアーム移動経路に対応する配置候補位置を最適な配置位置として決定する工程とを含むものである。 （もっと読む）

【課題】ウエハ保持ボートにおける任意の保持板との間で基板のやり取りを可能としつつ，保持板のピッチを従来以上に狭くする。
【解決手段】基板移載装置３００は，旋回及び昇降可能に構成された基台３１０と，基台に進退可能に設けられ，ウエハを載せて搬送するための搬送フォーク部３２２を有する第１アーム３２０と，基台に進退可能に設けられ，起倒可能な基板持ち上げ機構３４０を設けた持ち上げフォーク部３３２を有する第２アーム３３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】クリーンロボットとしての適性を確保しつつフットプーリントの縮小を図ることが可能な基板搬送ロボットを提供すること。
【解決手段】先端アーム３の先端部３７が水平面上を直線移動（Y軸移動）し得る連動式アームユニット３００と、第２電動モータ３６を駆動源とする駆動力を受け回転中心５１aを回転中心に水平面上を回転し得る単独回転式アーム５１と、第３電動モータ、第４電動モータ５６、５７を駆動源とし基部６９、７３を回転中心に水平面上を回転し得る単独回転式ハンド６８、７２とを備える。先端アーム３の先端部３７の水平直線（Y軸）上の位置、単独回転式アーム５１の水平回転位置、及び単独回転式ハンド６８、７２の水平回転位置をそれぞれ制御し、単独回転式ハンド６８、７２を、先端アーム３の先端部３７の直線移動方向（Y軸移動方向）に対して直交する水平方向（X軸方向）へ前進及び後退させる。 （もっと読む）

【課題】 塵埃の飛散を抑えるとともに、ウェハ移載装置内での干渉を防ぐことができ、構造および制御が簡単なウェハ搬送ロボットを備えるウェハ移載装置を提供する。
【解決手段】 ロボットアーム４１の最小回転半径Ｒが、（Ｂ／２＜Ｒ≦Ｂ−Ｌ０）に設定される。これによってロボットアーム４１が正面壁１１０と干渉することを防いで、ロボットアーム４１のリンク体４１ａ〜４１ｃのリンク長さを大きくすることができる。またロボットアームの角変位動作領域を３６０°未満、たとえば１８０°程度に制限することで、ロボットアームが背面壁に干渉することも防ぐことができる。リンク長さを大きくすることで、ロボットを左右方向に走行駆動させる直動駆動機構をなくして、塵埃の発生を抑えることができる。またリンク長さを大きくすることで、ロボットアームに必要なリンク数を減らすことができ、ロボットの構造を簡単化してロボット制御を容易にすることができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハ等の基板を搬送する搬送機構において、構成を簡単にしながらも一度に搬送できる基板の枚数を増加させ、更に可動部のケーブルレスを実現する。
【解決手段】案内ガイド１８によって移動可能な移動ベース２１と、移動ベースに回転可能に載置されたロボットベース２０と、ロボットベース２０上に固定された第１アーム２７と、第１アーム２７の両端に支持された２つの第２アーム２８と、その各々の先端に支持されたピンセット３０とを備えるとともに、移動ベース２１を挟むように敷設された第１及び第２のリニアモータの可動子１２、１４を連結部材１６、１７を介してロボットベース２０に連結させた。 （もっと読む）

【課題】防塵効果が高く、アーム部が複数になっても対応できる防塵機構を提供すること
【解決手段】基板を搭載するアーム部を支持するとともに、支柱９外面に設けられた直線状の開口部１２を介して支柱９内に設けられた案内機構２２へと接続されて、案内機構２２に従って、開口部１２の開口を移動する支持部材４と、開口部１２を封じて、支柱９内部と外部とを隔離するシールベルト５と、を備え、案内機構２２によって支持部材が移動しても、シールベルト５によって支柱の内部が外部に露出しないよう構成された基板搬送装置において、シールベルト５が、その両端を支柱内部に固定されるとともに、支持部材４に回転可能に支持されたローラに巻装されて、開口部１２を封じるようにした。 （もっと読む）

【課題】 サーボをオフしてからロボットの可動部分が微小変位した場合であっても、サーボをオフすることにより停止した教示動作を簡易に再開することが可能なロボット教示システム、及びこれに使用するコントローラ、教示操作端末、並びにロボット教示方法を提供する。
【解決手段】 ロボット１００とロボットコントローラ２００と教示操作端末３００とを有するロボット教示システムにおいて、コントローラ２００又は教示操作端末３００のいずれか一方又は双方に設けられ、ロボット１００の教示動作がサーボをオフすることにより停止した場合に、その直前の位置座標Ａを記憶するメモリと、教示操作端末３００に設けられ、停止した教示動作を再開する契機を与える復帰スイッチ３０４１と、教示動作を再開する際に、ロボット１００を、現在位置座標Ｂから位置座標Ａへ復帰移動させる制御を行う復帰制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 長い走行距離でも防塵機能を維持し、装置本体の高さを変えることのないコンパクトで安価な走行装置を提供する。
【解決手段】 移動側の発塵部近傍に送風装置を設け、固定側にも装置の位置によって排気量を調節出来るようにしたフィルタ付きの排気装置を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体移送装備を提供すること。
【解決手段】半導体移送装備において、ウエハ移送ロボット１０００は、フレーム内に装着され、所定の昇降軸に沿って上下移動する昇降部材を含むロボットボディー１００と、駆動リンクと複数の被動リンクとからなり、駆動リンクは昇降部材に装着され、被動リンクの末端部はロードポートが装着されたフレーム面に沿って水平方向に線形移動する関節アーム２００と、被動リンクの末端部に装着され、垂直の回転軸を中心に回転するスイングユニット３００と、スイングユニットに装着されるベース、ベースに装着されて水平方向に直線往復運動する複数のスライディングユニット、およびウエハカセットからウエハを引き出し、収納するウエハハンドを含む直交アーム４００とを備える。 （もっと読む）

【課題】 劣駆動マニピュレータは、軽量、低コスト化が見込まれて種々の研究がなされているが、制御が難しく実用化の例は少ない。劣駆動マニピュレータの利点を活かしかつ制御をやさしくするような構成法が課題であった。
【解決手段】 遊星ギアユニットのプラネタリギアキャリアに第一リンクを固定し、リングギアに第二リンクを固定し、これらに第三リンク、第四リンクを追加してパンタグラフを構成する．またサンギア回転軸にアクチュエータを設けた構成とする。こうすると劣駆動マニピュレータでありながら、簡単な比例制御でハンド部を任意の円軌道や任意角度の直径軌道を動かすことができることを確認した。 （もっと読む）