【課題】移載室の内容積を小さくすることができる基板の搬送ロボットを提供する。
【解決手段】搬送ロボット４ａは、同心状に備える２つの駆動源１５、１６と、各駆動源１５，１６の側面に突出して備える駆動アーム１７，１８と、駆動アーム１７，１８の他端に備える２つの従動アーム１９〜２２と、２つで１組をなす従動アーム１９〜２２の先端に備えるハンド２３，２４と、からなるものである。この搬送ロボット４ａは、各駆動源１５，１６を異方向、若しくは同方向に回動することで各アーム１７〜２２を介して第一ハンド２３、第二ハンド２４を進退動作、回動することができる。 （もっと読む）

【課題】 従来のワーク移送装置は、ワークを把持するためのチャック爪をワークの寸法に応じて用意する必要があり、そのための段取り替え時間も掛かる。
【解決手段】 本発明によるワーク移送装置は、第１の方向に沿って往復動自在に下板１１に取り付けられた昇降テーブル１４と、この昇降テーブル１４を下板１１に対し第１の方向に沿って駆動するテーブル駆動手段と、第１の方向と交差する第２の方向に沿って往復動自在に昇降テーブル１４に取り付けられたヘッドプレート２８と、このヘッドプレート２８を昇降テーブル１４に対し第２の方向に沿って駆動する旋回駆動モータ２１と、ワークを挟持し得るようにそれぞれ往復動自在にヘッドプレート２８に取り付けられ、ワークの寸法に応じて対向間隔がそれぞれ異なる複数組の把持面３３ａを有する一対のチャック爪３３と、この一対のチャック爪３３をこれらの対向方向に開閉駆動する把持部材駆動手段とを具える。 （もっと読む）

基板搬送装置は、フレーム、駆動部、及び関節アームを有している。かかる駆動部は、多数の異なる交換自在なモータモジュールから選択され、配置するのに選択自在な少なくとも１つのモータモジュールを有する。各モータモジュールは、異なる予め決められた特性を有している。関節アームは関節接続部を有している。アームは、関節結合のために、駆動部に接続されている。アームは、各々が予め決められた構造特性を有する多数の異なるアーム構造から選択自在な構造を有している。アーム構造の選択は、駆動部における配置のために、少なくとも１つのモータモジュールの選択によりなされる。
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【課題】ウェーハアライメント専用装置やウェーハアライメント用のアクチュェータを使用せずに、フットプリントを最小に抑えて、低発塵でかつ、高スループットなアライメント機能を有するウェーハの搬送装置を提供する。
【解決手段】ウェーハを把持するウェーハ把持部４１と、前記ウェーハ把持部４１を支持するアーム部４０と、機台１とを有し、前記機台１は、機台座１０と、前記アーム部４０を固定支持し、かつ前記機台座１０に対して回転自在なる旋回基軸３とを有し、前記ウェーハ把持部４１は、前記ウェーハのノッチやオリフラを含む基準位置を検知する位置検知センサ５を有し、前記ウェーハが載置されるウェーハ置台１１を前記旋回基軸３が回転する回転軸心上に位置するように前記機台１に設けた。 （もっと読む）

【課題】 クリーンルーム内におけるレイアウトの自由度を低下させることがないように、既存のダブルアーム型ロボットにあまり手を加えることなく、また、その大型化や製造コスト上昇を防ぎながら、可搬重量を増大させることが可能なダブルアーム型ロボットを提供することにある。
【解決手段】 関節部（第１関節部１００Ａ，１００Ｂ、第２関節部１０１Ａ，１０１Ｂ、第３関節部１０２Ａ，１０２Ｂ）により回転可能に連結されて回転駆動源による回転力を伝達し、制御装置によって所望の動作をさせるアーム６Ａ，６Ｂを備え、二組のアーム６Ａ，６Ｂが基端の関節部における回転中心軸の軸方向に上下に配置されているダブルアーム型ロボット１において、二組のアーム６Ａ，６Ｂの各々には、二組のアーム６Ａ，６Ｂを連結する連結部が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 並列に掛け渡された複数本のタイミングベルトのそれぞれに、全長にわたり均一で、かつ所定の張力を付与可能にする。
【解決手段】 並列に掛け渡された第一及び第二タイミングベルト２４、２５の入力軸である回転軸１７には、第一及び第二タイミングベルト２４、２５にそれぞれ対応させて区分された第一及び第二プーリ２０、２１が取り付けられている。第一プーリ２０は、キー２６により回転軸１７に回転不能に固定されているが、第二プーリ２１は、回転軸１７及び第一プーリ２０に対して位相を自由に調整可能に取り付けられると共に、位相調整後にボルト２７で固定される。このように構成することにより第一及び第二タイミングベルト２４、２５は、互いに他に影響されることなく、全長にわたり均一で、かつ所定の張力を与えることができる。 （もっと読む）

【課題】 大きな駆動力を発生する高価なモータを用いることなく、簡易な制御によって、半導体ウェハなどのワークを安定に搬送することが可能な多関節型ロボットを提供することにある。
【解決手段】 ワーク３０をカセットにロード／アンロードする多関節型ロボット１において、ワーク３０を保持するハンド部７と、ハンド部７を回転可能に保持するアーム部６と、アーム部６の基端側を回転可能に保持するとともに、アーム部６の基端側の移動軌跡が、ワーク３０をロード／アンロードする方向とはほぼ直交する方向の直線となるように動作するリンク機構３と、アーム部６（又はアーム部６の先端側）を、リンク機構３の移動に整合させてワーク３０をロード／アンロードする方向に直線補間するように移動させる駆動手段（アーム部モータ５１や上支持フレームモータ６ｂ）と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、非接触伝導によって発塵なく、かつ発ガスなく、クリーンルーム又は真空中で仕事をすることを目的としたものである。
【解決手段】 この発明は、複数のアームに夫々駆動軸を固定し、各駆動軸に夫々マグネット輪を固定すると共に、前記各駆動軸の各マグネット輪間に、遊動マグネット輪を非接触状に架設したことを特徴とする磁気による非接触駆動装置により解決した。 （もっと読む）

【課題】 たて型の射出成形機に適用されても、ユニット類が邪魔にならずに被把持物を落下させることができるとともに、落下してきた被把持物を確実に回収させることができる関節型成形品取出しロボットを提供する。
【解決手段】 駆動源２０の作動により、出力回転軸２１を回転させ、これに伴なって第１アーム２２を旋回させるとともに、動力伝達機構３０によって第１関節軸２３を逆方向に回転させ、かつ、第２アーム２４を第１アーム２２の逆方向に旋回させる。また、姿勢制御機構３５によって、第２関節軸２５の回転を出力回転軸２１の回転と同じ方向で同じ回転角の回転に変換して伝達するとともに、第３アーム２６と把持部２９の旋回を制御するロボットにおいて、第３アーム２６と把持部２９を前記第２関節軸２５の軸回りに独自に旋回させる旋回手段５２を設ける。 （もっと読む）

【課題】 ＭＲＩのガントリ内のように可動高さが制約された空間内でも、マニピュレータのピボット運動を行えるようにすること。
【解決手段】駆動装置１１とロボット本体１２とを備えて手術支援ロボット１０が構成されている。ロボット本体１２は、駆動装置１１からのベルトＶが繋がる下部構造体２１と、この下部構造体２１に対して起立状態で配置された中間リンク構造体２２と、中間リンク構造体２２の上側に配置されたアーム構造体２３とを備えている。アーム構造体２３は、基端側を支点としてほぼ水平回転可能な第１アーム３６と、この第１アーム３６の先端側を支点としてほぼ水平回転可能に取り付けられ、マニピュレータＭの上部を保持するジンバル機構４８が先端側に設けられた第２アーム３７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】低い搬送高さを直線的に動作できる広い動作範囲を持ったコンパクトで低コストな産業ロボットのアーム構造を提供。
【解決手段】固定ベース１上に第１垂直軸ａの回りに回転自在に支持された第１水平アーム２と、第１水平アーム２の先端に第２垂直軸ｂの回りに回転自在に支持された第２水平アーム３と、第２水平アーム３の先端に第４垂直軸ｄの回りに回転自在に支持された回転基台４と、からなる水平方向移動部と、回転基台４の上に第１水平軸ｇの回りに回転自在に支持された第１垂直アーム７と、第１垂直アーム７の先端に第２水平軸ｈの回りに回転自在に支持された第２垂直アーム８と、第２垂直アーム８の先端に第３水平軸ｉの回りに回転自在に支持された第３垂直アーム９と、第３垂直アーム９の先端に作業工具を取り付けるためのフランジ１０を有する水平方向及び垂直方向移動部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 医療機器を移動自在に支持する医療機器支持アームにおいて、小容量のモータを用いつつ、広範囲にわたって操作力の負担を軽減することを可能にする。
【解決手段】 医療機器支持アーム１は、支持台２に水平回転自在に接続された第１アーム部材３Ａと、第１アーム部材３Ａに水平回転自在に接続された第２アーム部材３Ｂと、第２アーム部材３Ｂに鉛直回転自在に接続された第３アーム部材３Ｃとからなる。第３アーム部材３Ｃには、モータ２３及びバネ３ｉが設けられている。バネ３ｉは、医療機器５０の重力により生じる重力モーメントに対抗する対抗モーメントを発生させる。モータ２３は、重力モーメントと対抗モーメントとのアンバランスにより生じるアンバランスモーメントを補償する。 （もっと読む）

【課題】伸長状態でのアーム剛性と位置決め精度を向上することができるロボットアームを提供する。
【解決手段】第１及び第２のアーム311,321を連動させる連動部340が、一方が第２のアーム321に固定された等長の第１の連動リンク341,342と、これらに連結された等長の第２の連動リンク343,344とを有する交差リンク機構と、一方が第２の連動リンク343,344の片方に固定された等長の第３の連動リンク343,344と、一方が第１のアーム311に固定され他方が第１の連動リンク341,342のうち他方に固定された等長の第４の連動リンク347,348とを有する交差リンク機構とからなり、一方の第１の連動リンク341と一方の第４の連動リンク347とのいずれかは、第１又は第２のアーム311又は321に対し該アームの軸線から外れるよう傾けて固定されている。 （もっと読む）

【課題】 ２つの関節アームにて平面的な作業を有効的に行うことができる多関節ロボットを提供する。
【解決手段】 第１の関節アーム１および第２の関節アーム３が連接されて成り作業領域面Ａ上の作業を行う多関節ロボットにおいて、第１の関節アーム１は一端１ａに第１の関節アーム１を作業領域面Ａにおいて水平方向に回転するために作業領域面Ａにおいて鉛直方向にて成る第１の回転軸２を有し、第２の関節アーム３は第２の関節アーム３を作業領域面Ａにおいて水平方向に回転するために作業領域面Ａにおいて鉛直方向にて成る第２の回転軸４を介して第１の関節アーム１より作業領域面Ａ側に配設され、作業領域面Ａ上において第１の回転軸２を回転可能に保持する保持手段５を備え、第２の関節アーム３の回転移動半径Ｒ_２は第１の関節アーム１の回転移動半径Ｒ_１と同一長さにて成る。 （もっと読む）

【課題】顕微鏡視野内において微小物体を正確かつ迅速に取り扱うことができると共に、消費電力の小さいマイクロマニュピュレータを提供する。
【解決手段】マイクロマニュピュレータは、把持指の先端部を近接させて微小物体を把持するハンドリング部１０４と、ハンドリング部１０４をＸ方向及びＹ方向に駆動するＸＹ駆動部１０１と、ハンドリング部１０４の把持指の先端部を中心として把持指が回動するように把持指の姿勢方向をＸ、Ｙ方向で同時に変更するθｚ駆動部１０２と、ハンドリング部１０４をＺ方向に駆動するＺ駆動部１０３と、を備えている。Ｚ駆動部１０３はθｚ駆動部１０２を介してＸＹ方向に移動可能にＸＹ駆動部１０１に支持されており、ハンドリング部１０４はＺ方向に移動可能にＺ駆動部１０３に支持されている。 （もっと読む）

【課題】ダブルアーム型ロボットの旋回半径を小さくする。
【解決手段】関節部３，４，５により回転可能に連結されて回転駆動源による回転力を伝達し所望の動作をさせるアーム２を二組備えてなるダブルアーム型ロボット１において、二組のアーム２に設けられる基端の関節部３の回転中心軸を上下（または軸方向）に配置するようにしている。 （もっと読む）

【課題】 ハンドリングロボットの静的そり補正方法及び装置において、大型ガラスをハンドリングするためのエンドエフェクターの動作時にエンドエフェクターの自重またはエンドエフェクターにかかる荷重に起因する静的そりを最適に補正すること。
【解決手段】 ガラスハンドリングのためのロボットアーム２０，３０の関節部に補償部材を挟みこんでエンドエフェクター２２，３２のそり角度を補正する第１段階と、前記エンドエフェクターのガラス搬送時に自重に起因する静的そりを実時間で補正する第２段階と、から構成されるハンドリングロボットの静的そり補正方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 作業軸の上下を使い分けられるようにすることにより、１種類のロボットで様々なワークの搬送形態、種類等に対応できるようにした水平多関節型ロボットを提供する。
【解決手段】 関節軸１４、１６により連結された複数の水平アーム１５、１７を有し、そのうちの先端アーム１７の先端部に設けられた作業軸１８が、上下両端部にエンドエフェクタの取付部１８ｂ、１８ｃを有するものとする。 （もっと読む）

【課題】 リンク長さを短縮して、コンパクトなロボットの関節構造を提供する。
【解決手段】 ロボットリンクに対し、ロボットリンクに結合される結合体を動作させるロボットの関節構造であって、ロボットリンクに対し、結合体の縦振り動作を行わせる第１モータ１０と、結合体の横振り動作を行わせる第２モータ２０と、結合体のねじり動作を行わせる第３モータ３０とを備え、第１モータ１０の出力軸と第２モータ２０の出力軸は、互いに平行であって、かつ、ロボットリンクに対し直交して設置され、さらに、第３モータ３０の出力軸をねじり軸の中心から所定量ずらすとともに、関節部には回動可能な可動カバー４０と、結合体またはロボットリンクのうち少なくともいずれか一方と前記可動カバー４０との間で付勢力を発生し、可動カバー４０を所定位置に復帰させる弾性部材とを備えたことを特徴とするロボットの関節構造。 （もっと読む）

【課題】 高精度の位置精度を有し、またシール性のよいリンク駆動機構およびこれを用いた産業用ロボットを提供する。
【解決手段】 一方の平行リンクを構成する第１アーム１１と、他方の平行リンクを構成する第２アーム１２と、前記第１アーム１１と第２アーム１２を連結する端部の間に介在し、両方の平行リンクの端部が連結される連結ベース３と、一方のアームの連結端部に設けられた波動歯車減速機３０付き駆動モータ５０とを備え、前記波動歯車減速機３０は、同一方向に回転する２つの出力軸３７、３８を有し、その第１出力軸３７は他方のアームの端部に連結され、第２出力軸３８は前記連結ベース３に連結される構成とする。 （もっと読む）