【課題】複数枚の基板の一括搬送および１枚の基板の枚葉搬送の切換えに要する時間を短縮することができ、構成も簡略化できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供する。
【解決手段】搬出入機構４は、複数枚の基板Ｗを積層状態で一括して保持するバッチハンド４０と、このバッチハンド４０を進退させるバッチハンド進退機構と、１枚の基板Ｗを保持する枚葉ハンド３９と、この枚葉ハンド３９を進退させる枚葉ハンド進退機構と、バッチハンド進退機構および枚葉ハンド進退機構を保持する保持ベース４１と、保持ベース４１を上下動させる昇降ブロック４３と、前記保持ベース４１を鉛直方向に沿う旋回ブロック４２とを含む。 （もっと読む）

【課題】応答性能や位置決め精度を維持しつつ、その可動範囲を広く確保することのできる水平多関節型ロボットを提供する。
【解決手段】スカラロボットには、基台１１に第１のアーム１３の基端部を回動可能に支持する連結軸１２が設けられ、その軸心Ｃ１を中心に第１のモータＭ１により正逆回転される。第１のアーム１３の先端部には、第２のアーム１５の基端部を支持させる支持軸１４が連結されその軸心Ｃ２を中心に第２のモータＭ２により正逆回転される。第２のアーム１５には先端部に軸心Ｃ３を有する主軸１６が設けられている。第１のアーム１３は軸心Ｃ１と軸心Ｃ２とを結ぶ中心線に対して偏心しており、左側面に右側に凹むかたちの凹部１３ｄが形成され、すなわち右側に湾曲した形状に形成されている。軸心Ｃ２と軸心Ｃ３との距離は、軸心Ｃ１と軸心Ｃ２との距離よりも短いことから主軸１６が凹部１３ｄに入り込ませるかたちに配置させることができる。 （もっと読む）

【課題】大きな搬送対象物や高価な搬送対象物の搬送に適した産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが連結されるアームと、アームを支持する支持部材と、支持部材を上下動させる上下駆動機構と、上下駆動機構を制御する制御部８０とを備えている。上下駆動機構は、上下駆動機構を停止させるための２個のブレーキ機構２４を備え、制御部８０は、２個のブレーキ機構２４を制御するブレーキ制御部８４を備えている。ブレーキ制御部８４は、２個のブレーキ機構２４を段階的に作動させる。 （もっと読む）

【課題】ストッパ位置を変更できるものにおいて、ソフト制御上の可動制御範囲に対して物理ストッパの可動範囲を間違えて設定してしまうことを抑制できるようにする。
【解決手段】制御部９は、図示しないスイッチからアームの可動制御範囲区域についての変更要求があると、複数のアーム可動制御範囲区域の選択肢を表示部１２に表示し、図示しないタッチパネルスイッチにより１つの選択肢を選択決定する旨の入力がなされたことを認識すると、前記可動制御範囲区域を当該選択決定された選択肢の可動制御範囲区域に設定し、物理被ストッパが、該設定された可動制御範囲区域により特定される物理ストッパのストッパ配置部の近くであって且つ前記設定された可動制御範囲区域内の位置に至るように、前記アームを移動させて停止させる。 （もっと読む）

【課題】大型化する搬送対象物を搬送する場合であっても、小型化が可能で、かつ、コストを低減することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが連結されるアームと、アームを支持する支持部材とを備えるとともに、支持部材を上下動させる上下駆動機構、および支持部材を水平方向に移動させるための水平駆動機構、および上下方向を軸方向とする所定の中心軸を中心に前記支持部材を回転させるための回転駆動機構を備え、前記上下駆動機構、前記水平駆動機構、前記回転駆動機構は、それぞれ複数の駆動用モータを備える。例えば上下駆動機構においては、上下駆動用モータ２０、プーリ２８，２９とベルト３０、上下ブレーキ機構２４、減速機２１、減速機の出力軸に設けられたピニオン２２をそれぞれ２組有し、１本のラックに２個のピニオン２２が噛み合い駆動する。 （もっと読む）

【課題】磁極の固定に起因する雰囲気汚染を回避しながらも、ロボットに必要な剛性を確保でき且つ信頼性の高い，大気外の雰囲気中で用いられるダイレクトドライブモータ及びスカラーロボットを提供する。
【解決手段】直列的に連結された３段のブラシレスモータＢＭ１において、ステータ２９と、大気軸受装置３３と、大気側回転子３０と、角度検出器３５，３６と、モータ回転子２１と、真空軸受装置１９のうち少なくとも２つを、モータ軸線方向において互いに少なくとも一部が重合する位置に配置しているので、コンパクトな構成ながら、高い剛性を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】コラムに備えられた移動機構の支持部に作用するモーメント荷重を小さくしながら、多関節ロボットが占有するスペースを小さくする多関節ロボットを提供する。
【解決手段】ハンド部８と、前記ハンド部８と連結され少なくとも２つ以上の回転関節３、４、５を備え前記ハンド部８が１方向に移動するように旋回しかつ上下方向に並進移動する水平多関節の上アーム２１と、上アーム２１に対向配置され上アーム２１と同様な構造を有する下アーム２２と、各アームを上下に移動させる二つの移動機構１１と、移動機構と各アームを連結する二つの支持部材１０とを有する。上アーム２１の関節部４は、ワーク９の取り出し位置から縮み位置に移動するときコラム１２に近づくように旋回する。また、下アーム２２の関節部４は、ワーク９の取り出し位置から縮み位置に移動するときコラム１２から遠ざかるように旋回する。 （もっと読む）

【課題】専用の冶具を用いることなく、フロッグレッグアームロボットの正確な組立てを可能とする。
【解決手段】本体部１に対して接続されると共に基準平面に沿って対称に揺動される一対のアーム部２と、アーム部２を揺動する駆動部５とを備えるフロッグレッグアームロボットであって、上記アーム部２に、フロッグレッグアームロボットの組立て時において上記アーム部２を上記本体部１に対する基準姿勢とするためのマーク１００が形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明はメンテナンスが容易な多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部８と、前記ハンド部８と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節３、４、５を備え、前記ハンド部８を１方向に移動するように伸縮し、上下方向に対向するように配置された多関節アーム２１、２２と、上下に移動するようにコラム１２に取り付けられた上下方向に移動する移動機構１１と前記多関節アーム２１、２２とを連結する支持部材１０と、前記コラム１２の下端部に連結され、前記コラム１２に取り付けられた前記多関節アーム２１、２２を旋回する台座１３とからなる多関節ロボットにおいて、前記台座１３を旋回させる減速機３７の出力軸３９の固定面が前記台座１３を支持する前記軸受４２の厚みの略中心に位置するものである。 （もっと読む）

【課題】アーム機構部の旋回及び伸縮を可能とする各モータの配線ケーブルに折れ曲がりやねじれなどの変形が生じるのを防止する。
【解決手段】第１及び第２のアームとハンドとを有するアーム機構部１００と、該アーム機構部を昇降させるための昇降機構部２００と、アーム機構部を伸縮動作させるための伸縮機構部３００と、アーム機構部を旋回動作させるための旋回機構部４００と、固定フレーム５００とを有するワーク搬送用ロボットであって、昇降機構部２００は、固定フレーム５００に固定された昇降用モータ２２０を有し、伸縮機構部２００は、固定フレーム５００に固定された伸縮用モータ３１０と、該伸縮用モータの駆動力をアーム機構部１００に伝達する第１スプライン軸３５０とを有し、旋回機構部４００は、固定フレーム５００に固定された旋回用モータ４１０と、該旋回用モータの駆動力をアーム機構部１００に伝達する第２スプライン軸４３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】ロボットによる作業を行う生産システムにあって、全体をコンパクトに配置しながら、比較的低コストで構築することを可能とし、しかも人に対する安全性を高める。
【解決手段】ロボット１２の直動軸を構成する直線移動レール１３の片側に、ロボット１２がワークＷに対する作業を行う複数個の作業ステーション１４〜１６を配置して生産システム１１を構築する。ロボット１２を、直線移動レール１３の下面側に自在に移動される移動体の下面部にベースを連結し、そのベースの下面に水平旋回アーム２１の基端部を垂直軸Ｊ１を中心に旋回するように取付け、水平旋回アーム２１の先端面に昇降体を上下動するように取付け、この昇降体の下面側に手首部を垂直軸Ｊ２を中心に同軸回転するように取付け、手首部にワークＷを把持するための作業用ツールを取付けて構成する。 （もっと読む）

【課題】ワーク搬送路に沿って並ぶ複数の工程エリアに夫々設けられたロボットにより、ワークに対して複数の作業工程を順に実行するものにあって、全体の小型化を図る。
【解決手段】ワークＷが搬送されるワーク搬送路１３に沿って、ワークＷに対する作業を順に行うロボット１２を備える複数個の作業ステーション１４〜１７を配置して生産システム１１を構築する。ロボット１２を、直線移動レール１８の下面側に自在に移動される移動体の下面部にベースを連結し、そのベースの下面に水平旋回アーム２１を垂直軸Ｊ１を中心に旋回するように取付け、水平旋回アーム２１の先端面に昇降体を上下動するように取付け、この昇降体の下面側に手首部を垂直軸を中心に同軸回転するように取付け、手首部にワークＷを把持するための作業用ツールを取付けて構成する。 （もっと読む）

ロボットは、リソグラフィ装置の真空チャンバ内で対象物を位置決めする。ロボットの第１コンポーネントは、並進軸に沿って対象物を位置決めするために真空チャンバ内に配置される。シャフトは、シャフトの対称軸が並進軸に対して垂直になるように第１コンポーネントを支持し、第２コンポーネントは、対称軸の周りでシャフトを回転させ、かつシャフトを対称軸に対して平行方向に移動させる。第２コンポーネントは、シャフトの外周面に沿ってガスを導入するように構成されたガスベアリングと、第２コンポーネントガスベアリングによって導入されたガスを排気するように構成された排出シールとを含む。ロボットは、炭化水素分子のガス放出を約０〜２００ａ．ｍ．ｕ.の範囲に実質的に減少または除去し、よってロボットは極端紫外線（ＥＵＶ）フォトリソグラフィ用途での使用に適する。 （もっと読む）

【課題】バラツキが大きくてもクランプすることができるクランプ装置、および台車を提供すること。
【解決手段】クランプ装置１０は、直動するアクチュエータと、アクチュエータの直動方向と直交する方向に伸びるリンク２と、リンク２の両端に回転可動に取り付けられ、被クランプ部８をクランプするツメ部３ａを有するクランプ部３とを有する。アクチュエータが直動すると共にクランプ部３が内側から外側に開くように回転して被クランプ部８をクランプする。 （もっと読む）

【課題】旋回動作を伴わずにワークカセットとワークステージとの間におけるワークの搬送を効率的に行うことが可能な搬送ロボットを提供する。
【解決手段】搬送ロボット１０は、本体１２、第１のアーム１８、第２のアーム１６を備える。第１のアーム１８は、ウェハカセットと本体１２の上方位置との間で往復移動可能に構成される。第１のアーム１８は、ウェハを把持するように構成された複数の把持部を有する第１のハンド１８２を備える。第２のアーム１６は、本体１２の上方位置とウェハステージとの間で往復移動可能に構成される。第２のアーム１６は、第１のハンド１８２とは異なる角度からウェハを把持するように構成された複数の把持部を有する第２のハンド１６２を備える。第１のハンド１８２における把持部と第２のハンド１６２における把持部とは、互いに同じ高さに配置されるように構成される。 （もっと読む）

【課題】軸に直交する方向の微小な並進変位と軸まわりの回転変位を与えるコンパクトで単純な機構のマニピュレータを提供する。
【解決手段】作業を行うアーム部２と、アーム部２の回転角を制御する回転角制御部３と、アーム部２の変位を制御する変位制御部４と、を備えたマニピュレータ１において、回転角制御部３は、回転駆動力を付与する回転角付与手段３１を有し、アーム部２は、回転角付与手段３１に接続され、回転可能であると共に、屈曲可能な屈曲軸部２１と、屈曲軸部２１に接続され、屈曲軸部２１が屈曲することにより移動する作用軸２２と、作用軸２２の先端に設置され、各種作業を行う作業部２３と、を有し、変位制御部４は、作用軸２２に力を付与する変位付与手段４１と、変位付与手段４１の駆動力を伝達し、作用軸２２に常に当接する出力部材４２と、を有することを特徴する。 （もっと読む）

【課題】複数の制御系列を有するロボットにつき、各制御系列の動作可能領域が明確に把握できるように画像を表示するロボットシミュレータを提供する。
【解決手段】ロボット５１の各制御系列，右手系，左手系につき設定される動作可能エリアの一部が重複する場合、その動作可能エリア内に障害物５６が位置すると、パソコンは、障害物５６に応じて再設定した各手系の動作可能エリアの画像をディスプレイに色分けして描画表示する。 （もっと読む）

【課題】水平多関節ロボットにおいて、高温基板搬送時の熱影響によるアームの姿勢変化を最小限に抑え、高精度な搬送を維持できるようにする。
【解決手段】アームが、駆動部１からの回転動作を伝達する伝達機構と、伝達機構を収容するアームケース２０１と、伝達機構を覆うようにアームケース２０１の上面に装着されるアームカバー２１４と、によって構成された水平多関節ロボットにおいて、アームカバー２１４が、アームケース２０１が延在する方向に複数分割された複数のアームカバーからなるよう構成し、さらに複数のアームカバー２１４が互いに折り重なる部分を形成した。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により搬送ロボットに対して搬送対象ポイントまでのハンドの移動経路を自動的に教示することが可能な自動教示システムを提供する。
【解決手段】 自動教示システムは、第１の光学センサ７２、第２の光学センサ７４、記録手段および算出手段を実現するＣＰＵ５０を備える。第１の光学センサ７２および第２の光学センサ７４は、搬送対象ポイントに対する相対位置が予め定められるように配置される。第１の光学センサ７２は、ハンド２０の水平方向の一端部を検出可能に構成される。第２の光学センサ７４は、ハンド２０の水平方向の他端部を検出可能に構成される。ＣＰＵ５０は、第１の光学センサ７２および第２の光学センサ７４によってハンド２０の端部が検出された時におけるロボット座標系における座標値を記録するとともに、その座標値に基づいてロボット座標系における搬送対象ポイントの座標値を算出する。 （もっと読む）

【課題】生産サイクルタイムのロスをより確実に低減できるロボットの制御装置を提供する。
【解決手段】制御装置は、所定位置に配置されたパレット５６について、ロボット５１のアーム５４が右手系，左手系の各制御系列により動作可能となる領域を計算し、パレット５６に対するワーク供給又は取出し位置Ｐｗを基準に初期作業位置を決定すると、その初期作業位置からロボット５１が順次作業を進める位置をパレット５６内で決定する。そして、アーム５４の現在位置Ｐｌ（ｎ）に隣接する作業位置が同じ制御系列で作業可能であればその位置を優先して次の作業位置とし、同じ制御系列では作業不可であればそれ以外に継続して作業可能な位置があれば当該位置での作業を同じ制御系列で行い、前記位置がなければ異なる制御系列で作業可能な位置を次の作業位置とする。 （もっと読む）