【課題】作業時間を短縮でき、また研削面、研磨面の面精度を向上させることができる板状体の加工方法を提供する。
【解決手段】凹凸のある板状体１の裏面の三次元形状を形状測定装置により測定し、データに基づいて、板状体１の裏面の凹部のみならず凸部にも塗布され、塗布された紫外線硬化型インク３の上面が板状体１の裏面全体で一定の高さになるように、所定の厚さを有しかつ平面視上矩形形状あるいは円形形状に塗布され、所定の間隔Ｓをもって複数個形成されるように塗布しながら、紫外線照射装置によって前記インク３を固化させる塗布固化工程と、前記工程の後、板状体１裏面を下にして定盤に固定した際、定盤の上面に、固化したインク部３のみが接し、板状体１が定盤に部分的にも接しないように固定し、板状体１表面を研磨あるいは研削する工程と、前記工程の後、板状体１を上下反転して、定盤に固定し、板状体１の裏面を研磨あるいは研削する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】無色透明硫化亜鉛の変色を生じさせそしてその性能を低下させる不純物を実質的に含まない向上した品質の多スペクトル無色透明硫化亜鉛を得る。
【解決手段】硫化亜鉛を保持するチャックをコーティングし、かつ硫化亜鉛をコーティングされていない粒子で機械加工することにより、金属汚染物質が低減された低散乱無色透明硫化亜鉛が製造される。不活性ホイルは酸クリーニング方法でクリーニングされ、また硫化亜鉛もクリーニングする。硫化亜鉛は不活性化ホイルに包まれ、次いでＨＩＰプロセスによって処理されて、低散乱無色透明硫化亜鉛を提供する。この低散乱無色透明硫化亜鉛は窓およびドームのような物品に使用されうる。 （もっと読む）

【課題】形鋼に発生した耳状突起物を確実に除去することのできる形鋼の耳状突起物除去方法を提供する。
【解決手段】研削加工ヘッド５ａを有する耳状突起物除去装置５を用いて不等辺不等厚山形鋼１の端部に発生した耳状突起物２を除去するに際して、耳状突起物に接触する研削加工ヘッドの接触圧を検出し、研削加工ヘッドの接触圧が一定となるように耳状突起物除去装置の位置を制御しながら耳状突起物２を除去するようにした。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の移動速度に変化が生じても、ガラス板と砥石との位置関係に誤差が生じることなく、ガラス板の隅部を所望に隅取りするガラス板を隅取りする方法及びその装置を提供すること。
【解決手段】 ガラス板２をその一縁６と平行なＸ方向に移動させる移動手段７と、ガラス板２の一縁６側の隅部３を研削する研削工具としての環状の砥石４と、砥石４をＸ方向に直交するＹ方向に移動させる移動手段８と、ガラス板２の一縁６に対向するＸ方向に伸びた他の一縁１１側の隅部３ａを研削する研削工具としての環状の砥石５と、砥石５をＹ方向に移動させる移動手段９と、ガラス板２をＸ方向に移動させながら、ガラス板２のＸ方向の移動に応答して、砥石４及び５をＹ方向に移動させるように、移動手段８及び９を制御する制御手段１０とを具備しているガラス板隅取り装置１。 （もっと読む）

【課題】研磨効率を維持したまま、均一な表面粗さと光学的な斑のない基板を得る
【解決手段】水平に走行する基板を連続して鏡面研磨するための研磨装置であって、円盤状の研磨ヘッドを前記基板上に配設し、前記研磨ヘッドの研磨面を前記基板に圧接し、前記研磨ヘッドを前記基板面に垂直な回転軸で回転させる手段、及び前記研磨ヘッドを基板の走行方向と直交する水平方向に往復運動させる手段を具備し、前記基板の研磨面と反対の面に、２本以上の受けロールを以下の式（１）および（２）を満たすように配置する研磨装置。
（１） （研磨ヘッドの研磨面の回転半径）＜（各受けロールの軸中心の間の距離の合計） ≦ （研磨ヘッドの研磨面の回転直径）
（２） （研磨ヘッドの回転軸の位置から各受けロールの軸中心までの距離） ≦ （研磨ヘッドの研磨面の回転半径） （もっと読む）

本発明は、ウェハアンロードシステムおよびこれを含むウェハ加工装置に関する。本発明のウェハアンロードシステムは、流体を供給する流体供給管と、前記供給された流体を噴射するノズルと、前記噴射された流体が研磨パッドとウェハの間に到達できるようにする、定盤に備えられた噴射口と、を含む。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成でもって、短時間で高精度な芯出しが可能な研削加工用芯出し治具を提供する。
【解決手段】研削対象物３を把持するチャック１と、チャック１を回転させる回転軸２との間に介在する研削加工用芯出し治具であって、チャック１に固定されるチャック固定部１１と、回転軸２の中心線ＣＬに対するチャック固定部１１の傾き角度を調整可能にチャック固定部１１と連結する面振れ調整部１２と、回転軸２の径方向における面振れ調整部１２の位置を調整可能に面振れ調整部１２と連結するとともに回転軸２に固定される芯ズレ調整部１３とを備え、チャック固定部１１、面振れ調整部１２および芯ズレ調整部１３は、チャック１から回転軸２に向かって、チャック固定部１１、面振れ調整部１２および芯ズレ調整部１３の順に配置されている。 （もっと読む）

【課題】保持面の平坦性精度を高め被研磨物の面内均一性を向上させることができる保持パッドを提供する。
【解決手段】保持パッド１０は、湿式凝固法により形成され保持面Ｓｈを有するウレタンシート２を備えている。ウレタンシート２には、スキン層２ａが形成されており、スキン層２ａより内側に多数の発泡４が形成されている。発泡４は、ウレタンシート２の厚みのほぼ全体にわたる大きさを有している。発泡４は、ウレタンシート２の下部層Ｐｒでの孔径が上部層Ｐｈでの孔径より大きく形成されている。発泡４は、上部層Ｐｈでの発泡形成方向が厚み方向に対して一定方向に一様に傾斜するように形成されており、下部層Ｐｒでの発泡形成方向が厚み方向に沿うように形成されている。研磨加工時の圧縮で被研磨物に対する応力が均等化される。 （もっと読む）

【課題】保持面の平坦性精度を高め被研磨物の面内均一性を向上させることができる保持パッドを提供する。
【解決手段】保持パッド１０は、ウレタンシート２を備えている。ウレタンシート２は、湿式凝固法により形成されており、被研磨物を保持するための保持面Ｓｈを有している。ウレタンシート２は、微多孔構造のスキン層２ａを有しており、スキン層２ａより内側に厚みのほぼ全体にわたる多数の発泡３が形成されている。ウレタンシート２では、厚みｔとしたときに、裏面Ｓｒから０．１ｔの厚み分内側までの範囲に発泡３の底部が形成されている。裏面Ｓｒから０．１ｔの厚み分内側で裏面Ｓｒと平行な断面と０．４ｔの厚み分内側で裏面Ｓｒと平行な断面とで挟まれた下層部Ｐｒで、発泡３による空隙率が７５〜９５％の範囲に調整されている。研磨加工時に下層部Ｐｒでの圧縮変形量が増大する。 （もっと読む）

【課題】搬送ベルトのテンション調整を容易にかつ短時間で行なえる機構を有するベルト搬送式研磨装置を提供する。
【解決手段】ベルト搬送モーターとベルト搬送ローラーによって搬送されるベルトに基板を載置し、密着保持して搬送しながら基板の表面を研磨し、ベルトのテンションが変化した場合にはベルト搬送ローラーを備えた搬送ローラーステージの位置を変化させてベルトのテンションを調整するベルト搬送式研磨装置において、ベルトのテンションを測定するテンション測定手段と、テンションの測定結果によってベルト搬送ローラーステージの位置をモーターを駆動して調整する搬送ローラーステージ位置調整手段と、を有することを特徴とするベルト搬送式研磨装置。 （もっと読む）

切断ホイールを具備する砥石切断機は、物体を切断するために使用される。切断機は、ベース部と、ベース部に作動的に取付けられた切断装置と、制御装置とを含む。切断装置は、旋回シャフトと、旋回シャフトに取付けられた駆動シャフトと、駆動装置と、駆動ホイールとを含む。柔軟な駆動要素が駆動シャフトと駆動ホイールを連結している。駆動ホイールの回転軸と駆動シャフトの回転軸の間の距離は、柔軟な駆動要素の張力を増減するために可変である。送りテーブルが、ベース部に作動的に取付けられており、かつ、切断ホイールの回転方向へ前後に移動可能である。切断ホイールは、切断位置に固定可能であり、かつ、送りテーブルは、制御装置により、切断ホイールに向かって自身に固定された物体と共に移動し、物体を切断する。エンクロージャーが、切断装置を取り囲んでおり、かつ、静止した側部と、開放可能な前面パネルおよび上部パネルと、を具備し、開放可能な前面パネルおよび上部パネルは、切断装置へのアクセスのために一体的な組立体として開くように、相互に、かつ、側部パネルのうちの１つのものの一部分に、ヒンジで取付けられている。
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【課題】固定架台とテーブルカバーとの間から研削液が固定架台の内部へ侵入することを防止する。
【解決手段】ワークを固定する反転テーブル８と、反転テーブル８の下部に位置して反転テーブル８を水平方向に往復移動させる機構を設置した固定架台９と、反転テーブル８と一体的に移動し且つ固定架台９の上部を包囲する大きさを有するテーブルカバー１９とを備える平面研削盤の反転テーブル装置７であって、固定架台９とテーブルカバー１９の隙間をエアカーテンで塞ぐようにエアを噴出するエア噴出手段２０と、固定架台９とテーブルカバー１９の隙間に複数の板状部を配置して障害面を形成するラビリンス構造体とを備える。 （もっと読む）

【課題】軸受付カムシャフトのカム駒の外周形状の精度をより向上させるとともに、軸受付カムシャフトの軸受への研削屑の浸入を防止することができる、研削盤を提供する。
【解決手段】シャフトＳＴの外周面の軸方向に単数または複数のカム駒ＣＡと単数または複数の軸受ＢＲが嵌合された軸受付カムシャフトＷのカム駒の外周を研削する研削盤１であって、軸受付カムシャフトＷを主軸回転軸ＣＺ回りに回転可能に支持する一対の支持手段３０Ｃ、４０Ｃと、カム駒の外周面を研削可能な砥石Ｔと、砥石Ｔを砥石回転軸ＴＺ回りに回転可能に支持し、一対の支持手段３０Ｃ、４０Ｃに支持された軸受付カムシャフトＷに対して相対的に主軸回転軸ＣＺに交差する方向に進退移動可能な砥石台１０と、一対の支持手段３０Ｃ、４０Ｃに支持された軸受付カムシャフトＷに嵌合されている軸受ＢＲを覆うマスキング装置６０と、を備えた研削盤１。 （もっと読む）

【課題】テープかすなどの付着物の再付着を招くことなく、付着物を効率良く除去することができ、薄片化された半導体ウェーハの割れを確実に防止することができる付着物排出機構付きクリーナ及びそれを用いたチャックテーブルクリーニング方法を提供する。
【解決手段】ウェーハを吸着するチャックテーブル１５の吸着面１６ａ上に付着している不要な付着物２０を除去する付着物排出機構付きクリーナ１であって、付着物２０を削り取る刃部７ａ及び削り取った付着物２０を捕捉する捕捉部６とを有するクリーナ本体２と、捕捉した付着物２０を吸引して排出する排出手段１０と、を備え、クリーナ本体２内には、チャックテーブル１５の吸着面１６ａ上に付着している付着物２０をクリーナ本体２内に進入させるための開口部８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 一対のバフ研磨ローラで板状ワークの両面を同時に研磨するという本発明者等が案出した手法を採用する場合における種々の弊害を回避する。
【解決手段】 複数の搬送ローラ６、９により形成される搬送径路３Ｂの途中に配設され且つ板状ワークＰを相互間に介在させてその板状ワークＰの両面を同時に研磨する一対のバフ研磨ローラ１４（１５）を備えると共に、この一対のバフ研磨ローラ１４（１５）の相互間における板状ワークＰの研磨位置がそれらのバフ研磨ローラ１４（１５）のそれぞれの径の異同に拘わらず予め判明している研磨基準位置３８となるように一対のバフ研磨ローラ１４（１５）を位置決めする位置決め手段３０を備える。 （もっと読む）

【課題】一定速度での研削加工と一定圧力での研削加工を一連の動作で行うことを可能とし、加工変質層を薄くし、かつ加工能率の向上を図った半導体基板研削機を提供する。
【解決手段】ベース６上に、ベース６に対して滑動可能なスライドベース８を設け、治具３と研削機構５の少なくともいずれか一方をスライドベース８に搭載し、さらに前記治具及び／又は前記研削機構を定速で移動して前記半導体基板を研削するための定速移動機構１２と、半導体基板２と研削部材４とを定圧で押圧して半導体基板２を研削するための定圧移動機構１３とをスライドベース８に設けるものである。 （もっと読む）

【課題】研磨スループットを最適化すると同時に所望の平坦度と仕上げを提供する。
【解決手段】ベースに結合されて第１チャンバ、第２チャンバ、および第３チャンバを画成する可撓部材を有するキャリヤヘッド。可撓部材の下面は、第１チャンバに関連する内側部分、その内側部分を囲むとともに第２チャンバに関連する実質的に環状の中間部分、およびその中間部分を囲むとともに、第３チャンバに関連する実質的に環状の外側部分を有する基板受け面を提供する。外側部分の幅は中間部分の幅よりも明らかに小さくてよい。キャリヤヘッド２００はまた、駆動軸に結合されたフランジ１５０と、そのフランジ１５０をベースにピボット式に結合するジンバルとを含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】隙間を生じさせることなしに、バンプの寸法変更に容易に対応する。
【解決手段】表面にバンプＢが形成されていて該表面に表面保護フィルム１１が貼付けられているウェーハ２０を処理する処理方法においては、ウェーハを保持するテーブル５１の周りに配置された筒体４０の端面を所定の厚さまで研削し、ウェーハの裏面２２を上方に向けた状態で、ウェーハを筒体に配置する。その後、ウェーハの裏面を研削することも可能である。なお、所定の厚さは、ウェーハの表面とバンプの頂部との間の距離に等しいのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ワークの両頭研削において、ワークのナノトポグラフィーを悪化させる要因となる、ワークを外周側から支持するワークホルダーの自転の軸方向に沿った位置を安定化させることが可能なワークの両頭研削装置および両頭研削方法を提供する。
【解決手段】少なくとも、薄板状のワークを径方向に沿って外周側から支持する自転可能なワークホルダーと、該ワークホルダーの両側に位置し、ワークホルダーを自転の軸方向に沿って両側から、流体の静圧により非接触支持する一対の静圧支持部材と、ワークホルダーにより支持されたワークの両面を同時に研削する一対の砥石を具備するワークの両頭研削装置であって、ワークホルダーと静圧支持部材の間隔が５０μｍ以下であり、かつ、静圧支持部材がワークホルダーを０．３ＭＰａ以上の流体の静圧で支持するものであるワークの両頭研削装置。 （もっと読む）

【課題】被加工物の研削や研磨加工において、被加工物の位置ずれや脱落を発生させることなく安定に保持して高精度の加工を実現する。
【解決手段】被加工レンズ２を工具皿１に押圧するレンズ保持装置Ｈ１において、被加工レンズ２を保持する受けホルダー３の背面に斜面３ｋを設け、この斜面３ｋに接する弾性体６を介して当該受けホルダー３を押えホルダー５にて支持する構成とするとともに、受けホルダー３の斜面３ｋは、被加工レンズ２の被加工面２ａと外周面２ｂの交線上の点である最外周ａにおける接線Ｌ１と被加工レンズ２の中心軸Ｌｃとの交点Ｏ２と、前記押えホルダーに取り付けた弾性体６の斜面３ｋに対する接触部ｃを結んだ基準線Ｌ２に対して約９０°になる角度で形成され、加圧時に受けホルダー３の斜面３ｋが交点Ｏ２を中心に可動構造となるようにして、工具皿１の加工支点を交点Ｏ２の一点に集中させる構造とした。 （もっと読む）