【課題】ワークとこのワークを加工する加工工具とが接触する位置に効率良く加工液を供給すること。
【解決手段】ある実施の形態における加工装置は、ワークＷに接触してワークＷを研削加工する研削工具９と、研削工具９を下側先端部に装着し、鉛直方向を回転中心として回転可能に支持する回転軸７２とを有する加工機構を備える。また、加工装置は、ワークＷと研削工具９との接触位置に加工液を供給する加工液供給ノズル１０を備える。回転軸７２は、軸心位置を鉛直方向に貫通する貫通孔を有し、加工液供給ノズル１０は、貫通孔７２１に挿通されて回転軸７２と接触しないように固定された貫通管部１１と、加工液を噴出する噴出口１２３が形成され、貫通管部１１の下側先端部に装着された噴出部１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】 半導体基板裏面を高スループットで研削、研磨加工し、基板を薄肉化・平坦化することができる異物の付着が少ない半導体基板を製造する平坦化加工装置の提供。
【解決手段】 半導体基板のローディング／アンローディングステージ室１１ａ、裏面研磨ステージ室１１ｃ、エッジ研削および裏面研削加工ステージ室１１ｂ内に各々の機械要素を収納した平坦化装置１であって、同時に２枚の基板を研磨加工する裏面研磨ステージ７０のスループット時間を１枚の基板を研削加工する裏面研削加工ステージ２０のスループット時間の約２倍に設計した平坦化加工装置１。 （もっと読む）

【課題】高速回転する砥石車１１から高精度研削制御に必要とする情報を外部に容易に伝達可能として、外部からセンタレス研削盤１０に対して高精度研削の制御を可能とする。
【解決手段】調整車１２と、この調整車１２と互いの外周面を対向して配置された砥石車１１と、を備えたセンタレス研削盤１０において、砥石車１１には、砥石車１１の状態を検出する検出センサ２７，２８と、検出センサ２７，２８から得る砥石車情報を電磁誘導により外部に伝達する情報伝達コイル２３と、を具備する一方、砥石車側筐体に、情報伝達コイル２３から電磁誘導により砥石車情報が伝達される情報被伝達コイル２５を設ける。 （もっと読む）

【課題】両側主軸台でワークを支持する構成の加工装置において、短時間でワークを所定の位相で支持することができる工作物支持装置を提供する。
【解決手段】工作物回転軸上に対向配置され、ワークを両端から支持する第一支持装置３０Ｒと、第二支持装置３０Ｌと、両支持装置３０Ｒ，３０Ｌを制御する制御手段を備え、第一支持装置３０Ｒは、第一把持手段３３Ｒと第一主軸モータ３２ＲＭと、ワークの一端に形成された嵌合部材３５Ｒと、嵌合部材３５Ｒを第二支持装置３０Ｌ側に付勢する付勢手段３６Ｒを有し、第二支持装置３０Ｌは、第二把持手段３３Ｌと第二主軸モータ３２ＬＭを有し、制御手段は、ワークを嵌合部材３５Ｒに対して相対回転させることにより嵌合させ、嵌合部材３５Ｒの位相を制御することにより、ワークを所定の位相で支持する、工作物支持装置。 （もっと読む）

【課題】ウエーハの表裏面からうねりを十分除去して平坦化することが可能なウエーハの平坦化方法を提供する。
【解決手段】ウエーハ２のうねりを計測してうねりデータを記録するうねり計測工程と、透過性を有する定盤１０にウエーハより大きい面積を有する透明フィルム１６を敷設し、紫外線の照射によって固化する液状樹脂層１８を介してウエーハの一方の面を付着させる工程と、うねりデータに基づいてウエーハに選択的に超音波を付与して前記液状樹脂の粘性を部分的に低下させてウエーハのうねりを復元する工程と、定盤側から紫外線を照射して該液状樹脂を固化させた後、前記透明フィルム側をチャックテーブルで保持してウエーハの他方の面を研削する第１の平坦化工程と、前記透明フィルムを剥離して、ウエーハの他方の面をチャックテーブルで保持し、ウエーハの一方の面を研削し、平坦に仕上げる第２の平坦化工程からなる。 （もっと読む）

【課題】 高速平面研削加工装置を開発する際の仕様を定めることができるようにする。
【解決手段】 横向きのテーブル駆動モータ１にシャフト２を介して取り付けた回転テーブル３の外周部に、試験片取付ジグ４を介して試験片５を取り付ける。回転テーブル３の回転軸心の上方に下向きに配置して回転テーブル３の回転軸心方向に移動できるようにした砥石駆動モータ７に、回転テーブル３の回転に伴う試験片５の周回軌道の上端側位置に対応させて水平に配した砥石８を、砥石回転軸９を介し接続する。回転テーブル３の回転により試験片５を周回軌道で従来のテーブル往復動型の平面研削盤における被削材速度よりも速い移動速度で周回させた状態で、回転させた砥石８により、試験片５の被研削面５ａに、高速平面研削加工を模擬した研削加工を行う。これを各種研削条件を振りながら行うことで、良好な研削品質となる研削条件を策定させる。 （もっと読む）

【課題】円筒研削盤１の研削に伴い生じる工作物Ｗのビビリの低減。
【解決手段】研削加工中に、被加工部の測定点でのビビリの位相と工作物回転速度とビビリの周期を検出することにより、研削作用点での現在の砥石車７の研削作用面と工作物の相対変位の位相を演算する。
相対位置制御手段により前記工作物と前記砥石車の相対位置を、演算された相対変位の位相と逆位相に変位させることで、インプロセスで被加工部のビビリを低減する。 （もっと読む）

【課題】時間の経過による反りを低減できる搬送ローラー、搬送ユニット、印刷装置及び搬送ローラーの製造方法を提供する。
【解決手段】金属板をプレス加工して、その一対の端部６１ａ，６１ｂを互いに対向させて円筒状に形成され、一対の端部６１ａ，６１ｂ間に繋ぎ目８０を有するローラー本体１６を備える搬送ローラー１５であって、ローラー本体１６の軸心Ｏ１と直交する断面形状において、繋ぎ目８０と軸心Ｏ１とを通る第１直線ＣＬ１において互いに対向する第１軸心対向部１６０の厚みＴｈ１が、軸心Ｏ１において第１直線ＣＬ１と直交する第２直線ＣＬ２において互いに対向する第２軸心対向部１６１の厚みＴｈ２よりも小さく構成されている。 （もっと読む）

【課題】時間の経過による反りを低減できる搬送ローラーの製造方法、搬送ローラー、搬送ユニット及び印刷装置を提供する。
【解決手段】金属板をプレス加工して、その一対の端部６１ａ，６１ｂを互いに対向させて円筒状に形成され、一対の端部６１ａ，６１ｂ間に繋ぎ目８０を有するローラー本体１６を備える搬送ローラー１５の製造方法であって、ローラー本体１６の軸心Ｏ１と直交する断面形状において、繋ぎ目８０と軸心Ｏ１とを通る第１直線ＣＬ１において互いに対向する第１軸心対向部１６０の厚みＴｈ１を、軸心Ｏ１において第１直線ＣＬ１と直交する第２直線ＣＬ２において互いに対向する第２軸心対向部１６１の厚みＴｈ２よりも大きく形成する厚み調節工程を有するという手法を採用する。 （もっと読む）

【課題】軽量・コンパクト・簡素な構成の変位センサ装置を、既存の設計によるスピンドルヘッドに容易に装備できるスピンドル装置を提供する。
【解決手段】このスピンドル装置は、スピンドルヘッドのハウジングの外に突出した回転軸のクイル３０３ａに対向する変位センサ装置２０を備えたものであり、この変位センサ装置２０は、導電部を渦巻状に形成したコイルを有し、かつ、その渦巻面をクイル３０３ａと対向させて当該クイルのまわりを取り囲むフレキシブルプリント基板２２によって構成される。 （もっと読む）

【課題】加工個所の寸法あるいは位置を直接的に測定する定寸装置を用いることなく、いわゆる間接定寸研削よりも加工精度をより向上させることができ、いわゆるポストプロセス定寸よりもサイクルタイムを短縮化することができる、ワークの研削方法を提供する。
【解決手段】基準位置Ｓｓｔｄから第１所定距離Ｌ１だけ離れた位置に距離検出手段６０が設けられ、ワークの内径を研削する砥石の研削個所が、距離検出手段と対向するように相対移動させるステップ、距離検出手段を用いて研削個所までの砥石距離Ｓ１を求めるとともに、砥石装置の測定時砥石位置（Ｘ（Ｓ１））を求めるステップ、研削する内径を直接的に測定することなく、ワークの内径の目標仕上径Ｌｔｇと、第１所定距離Ｌ１と、砥石距離Ｓ１と、測定時砥石位置（Ｘ（Ｓ１））と、に基づいて、ワークの内径を目標仕上径となるまで研削するステップ、とからなるワークの研削方法。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、種々の内径形状の加工を可能とする。
【解決手段】
砥石２４〜２６を回転自在に設ける一方、砥石２４〜２６の軸線方向に対して直交する方向に往復動可能に第１のスライド部１０１を設けると共に、第１のスライド部１０１の往復動方向に対して直交する方向に往復動可能に第２のスライド部１０２を第１のスライド部１０１上に設け、第２のスライド部１０２上にワークを取り付け、第２のスライド部１０２に砥石２４〜２６の軸線方向における往復動を与えると同時に、第１のスライド部１０１には、ワークに内径一定の貫通孔の形成の際に必要な前記砥石の軸線方向に対して直交する方向における移動に、先の貫通孔の形状を所望の形状とするに必要な移動を重畳して与えて、ワークに対する内径形状加工を可能としてなるものである。 （もっと読む）

【課題】搬送不良の発生しにくい搬送ローラーを製造する搬送ローラーの製造方法を提供する。
【解決手段】金属板の対向する一対の端辺が互いに近接する、あるいは当接するように前記金属板を曲げて円筒体１６を形成する曲げ加工工程と、前記曲げ加工工程で形成された前記円筒体１６の内部に芯部材ＣＲを配置した状態で前記円筒体１６の外周面を研磨する研磨工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】スーパーフィニッシュ（鏡面研削）加工を行う必要が無くなって、リードタイムの短縮を図ることができる加工方法及びこの加工方法に用いて製造した軸受を提供する。
【解決手段】軸受の構成部品をチャック装置１０にてチャックしてこの構成部品の仕上げ加工を行う。チャック装置１０によるチャックを解除することなく、構成部品をチャックしたまま焼入鋼切削と研削加工とを行う。 （もっと読む）

【課題】軸受外輪の内径側に形成した軌道輪が加工済で外周面を加工する研削加工治具を提供する。
【解決手段】外周研削加工治具１０は、シャフト１１に大径部１２が設けられている。軸受外輪１３の内径側の軌道輪１４は既に加工済であり、軌道輪１４には該軌道輪１４の軌道曲率よりも小さい曲率のボール１５が隙間なく蜜に装着され、ボール１５の内径側に大径部１２が嵌挿されてボール１５を軌道輪１４に蜜に接触させると共に、該シャフト１１により軸受外輪１３が回転自在に支持されている。シャフト１１にはボール押え１７、第１及び第２のボルト取付板１８、１９が設けられ、該ボール押え１７、該第１及び第２のボルト取付板１８、１９に第１〜第３のストッパボルト２２〜２４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】はるかに硬いグレードで気孔がより少ない研削工具よりも機械的強度が大きくて研削効率が優れているセンターレス研削工具を提供する。
【解決手段】多孔質の無機結合材によって焼結された複合材を砥粒とし、有機結合材と混合、熱硬化させて砥粒の気孔中に進入させて、全体として多孔な結合構造とした研削工具。 （もっと読む）

【課題】外研砥石と内研砥石と外径側を測定可能な測定手段を用い、内径側を直接的に測定することなく、外径側も内径側も所望する寸法にて研削できるとともに、より短時間に研削加工することができる、筒状ワークの研削方法を提供する。
【解決手段】筒状ワークＷの外径の加工個所の一部を内研砥石ＴＮにて試し研削し、内研砥石の位置情報を得るとともに、外径測定手段６０にて試し研削した個所（ＷＫ）の寸法を測定するステップと、試し研削した際の内研砥石の位置情報と、試し研削した個所の外径の寸法と、に基づいて内研砥石における筒状ワークの径方向の先端部の位置である内研砥石先端位置を求めるステップと、内研砥石先端位置に基づいて内研砥石の位置を制御して筒状ワークの内径を研削するステップと、外研砥石を用いて試し研削した個所を含む筒状ワークの外径を研削するステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】 機械設置のための平面視広さが比較的小さく押さえられて工場内の省スペース化を図る研削盤を提供する。
【解決手段】 ベッド１００から上方へ突出されたコラム１０１と、コラムの上側軸支持部１０１ｂとこれの直下の下側軸支持部１２との間に配置され上下一対の上下向き支軸１１、１２を介し該支軸回りの旋回可能に形成されたテーブル１０２と、該テーブル上に設けられワークを主軸２３を介し該主軸と同心の回転可能に支持するワーク保持手段１０３と、該ワーク保持手段に保持されたワークを研削するための砥石４３を回転可能に支持した砥石機構部１０４とを備える。 （もっと読む）

【課題】センタレス研削技術を改良して、研削砥石車による研削操作の待ち時間を短縮して実研削時間効率を向上させる。
【解決手段】第１の調整砥石車９と第２の調整砥石車１０とを同軸に並列する。２個の調整砥石車それぞれに対向離間させてブレード４を配設して、第１の研削エリア１１と第２の研削エリア１２とを設定する。研削砥石車２は、研削砥石車Ｚスライド１３に搭載されて第１の研削エリア１１と第２の研削エリア１２との間を往復し、ワーク交換待ちのアイドルタイムがなく、高い実時間効率で研削操作を遂行する。 （もっと読む）

【課題】後退研削を利用して、より高精度な研削加工を行うことができる研削盤および研削方法を提供する。
【解決手段】第一前進研削の後に後退研削を実行する。後退研削の際に、円筒状ワークＷの現在の回転位相θｔから目標の回転位相θｅに達するまでの間において、各回転位相θにおける円筒状ワークＷの研削残し量Ｅ（θ）に基づいて各回転位相θにおける目標研削抵抗Ｆｅ（θ）を生成する。そして、力センサ５０により検出される研削抵抗Ｆｔが目標研削抵抗Ｆｅ（θ）に一致するように制御して後退研削を実行する。 （もっと読む）