【課題】研削時に発生する研削屑の除去効果を向上させること。
【解決手段】回転軸４２には、液体を供給する液体源に連通する液体連通路４２１が上下方向に伸びるように形成され、工具マウント４４は、液体連通路４２１に連通する第１流路４４１と、第１流路４４１の下側先端部から回転軸４２に対して放射方向に分岐して形成され、ワークＷに向かって液体を噴出する噴出口５２２に連通する第２流路４４２と、第２流路４４２の中間部に気体を取り込む気体流入口４４３と、を有し、液体源から供給された液体が、回転軸４２の回転により第２流路４４２内で生成される遠心力によって気体流入口４４３から取り込まれた気体と第２流路４４２内で混合され、噴出口５２２からワークＷに向かって混合流体が噴出するようにした。 （もっと読む）

【課題】 研削加工において、安全性を重視して作業性も損なわずに、加工時の発熱を抑制して、生産性及び加工時の精度を向上させる冷却装置が求められていた。
【解決手段】 研削盤の冷却液用の配管に三方継手１を備え、直進する冷却液の流れに交錯する側に圧縮空気の供給用バルブ４とノズル２を配し、減圧弁３にて冷却液の流体圧力より低く調整された圧縮空気をバルブ４で空気量を調整可能にして、吐出口６に至る隙間において、冷却液と空気を混ぜ合わせ、吐出口６より加工物７の研削面と砥石８に噴き付けるようにした。 （もっと読む）

【課題】固定砥粒ワイヤーソーを用いてシリコンインゴットをスライス加工するに際し、スライス加工に要する固定砥粒ワイヤーの使用量を極力低減し、製造コストを大幅に削減することが可能なシリコンインゴットの切断方法およびワイヤーソーの提供。
【解決手段】複数本のローラーの周面に対して一定のピッチで螺旋状に巻き回された固定砥粒ワイヤーを、該ワイヤー上にクーラントを供給しながら走行させるとともに、前記ワイヤーがシリコンインゴットの切断加工時に通過する前記シリコンインゴットの加工側面部にも前記クーラントを供給した状態で、該ワイヤーに対して前記シリコンインゴットを相対的に移動させ、前記シリコンインゴットをスライス加工して複数枚のシリコンウェーハとすることを特徴とする、ワイヤーソーによるシリコンインゴットの切断方法。 （もっと読む）

【課題】研磨ヘッド４０に面ダレが起こり、研磨液の供給量が両端部に多くても、カラーフィルタ１の周縁部にて過研磨の状態になら枚葉研磨機を提供する。
【解決手段】カラーフィルタを水平搬送しながら、その上面に矩形の研磨ヘッドを加圧し公転させて研磨を行う枚葉研磨機にて、進行方向と直角な幅方向に、複数の研磨液滴下ノズル１１を有し、各々の研磨液滴下ノズルは任意な濃度の研磨液を滴下する。複数の研磨液滴下ノズルは、各々のチューブポンプ５０及び各々の研磨液タンクを有し、各々の研磨液滴下ノズルが、任意な濃度の研磨液を、任意な量の滴下をする。 （もっと読む）

【課題】カップ型の砥石ヘッドにより粗研削と仕上げ研削とを１工程で行い所定の高精度の平滑面を得る研削方法を提供する。
【解決手段】粗研削用環状砥石４を配した内カップ６と、細研削用環状砥石８を配した外カップ９とが間隙を有して同心円状に配され、被加工面が粗研削用環状砥石４に次いで細研削用環状砥石８により研削されるように２重カップ型回転砥石と被加工物とを相対移動させつつ、前記内カップ６の内周面２２に研削液２５を供給する研削方法である。また、前記２重カップ型回転砥石１４と、砥石を軸心の回りに回転させる駆動手段１６と、被加工物２０を相対移動させる、移動手段と、研削液供給手段２４とを備え、被加工物２０の相対移動方向Ｓが、前記回転軸心２３と研削後の面２１を含む平面との交点から、被加工物２０と細研削用環状砥石８とが加工中に当接する位置に至る方向にベクトル成分を有する方向である研削装置である。 （もっと読む）

【課題】機械構造が複雑にならずに一定位置にクーラントを容易に供給し研削焼けを防止できる内面研削装置を提供する。
【解決手段】主軸１と、主軸１と一体に回転可能に取り付けられたバッキングプレート３と、該バッキングプレート３の支持部３１に当接させた環状被加工物の内周面を研削する回転砥石５と、を備え、クーラント供給路からクーラントを供給しながら環状被加工物を研削する内面研削装置１０であって、クーラント供給路は、環状被加工物の加工点とその円周上に向けて指向している。 （もっと読む）

【課題】ワークの凹凸部分や特定の場所にコンタミが残留するのを防止することができるダイシング装置を提供すること。
【解決手段】ワークＷを載置するワークテーブル３１には、外周に沿って一定の間隔で複数のノズル７１Ａ〜７１Ｆが設置される。各ノズルは、洗浄液噴射の開始及び停止のタイミングがコントローラによって個別に制御される。コントローラは、ワークＷの加工位置の変化に対応させて、洗浄液を噴射させるノズルの選択と、噴射の開始及び停止のタイミングとを制御し、ワークＷの加工位置の変化に対応させて、ワーク上を流れる洗浄液の液流方向を変化させる。 （もっと読む）

【課題】 ＱＦＮ基板の電極枠を切削ブレードで切断して電極端子をデバイス毎に分離しても、隣接する電極端子同士が延性によって短絡することのない切削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する円形の切削ブレードがフランジに支持されてスピンドルに装着された切削手段とを備えた切削装置であって、該切削手段は、該切削ブレードの切刃の第１の側面をカバーする第１カバーと、該切刃の第２の側面をカバーする第２カバーとから構成されるブレードカバーを含み、該第１カバー及び該第２カバーには、前記フランジの外周から突出する該切削ブレードの切刃の根元部分に切削水を噴射する切削水噴射孔が切刃の円周に沿って複数形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】給水ノズルから当接部に供給される冷却水の飛沫が広範囲に亘って飛散するのを防止し、これにより、飛沫が板材の表面に付着し難くすること。
【解決手段】 板材の端面加工装置１は、回転砥石１０の外周面に凹に周設された研磨溝１１に加工対象である板材Ｂの外周端部を挿入して当接させ、当該圧接加工部１７へ冷却水を供給する装置において、給水ノズル１２の水出口１２１を、回転砥石１０の径方向の外側から研磨溝１１の溝底に向けて冷却水を供給するように配向し、給水ノズル１２の下流側に水出口１２１から圧接加工部１７まで回転砥石１０の外周に沿って延伸する水ガイド１５を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】異なる物性を持った液体を配管内で混合可能な半導体ウェハの研磨装置、継手、および撹拌コマを提供すること。
【解決手段】半導体ウェハの研磨装置において、流体混合部４２に、流量の大きな流体の流れ方向となす角αが鋭角で、かつ端部が主流配管接続部５１１の内部に突出し、流体の流れ方向に沿って折曲して設けられた支流配管接続部５２１を備えた継手５１と、継手５１より下流の配管内に撹拌コマ６１を備えた。 （もっと読む）

【課題】設置コストを抑制しつつ、研削砥石の回転に伴って連れ回される空気流に影響を受けずに研削液をより確実に研削点に向けて供給できる研削液供給装置及び研削液供給ノズルを提供すること。
【解決手段】本発明に係る研削液供給装置１００は、高速で回転することによって被加工物を研削する円周表面３２が形成された研削砥石３０を用いた研削加工機に備えられ、被加工物の研削点Ｐに向けて研削液を供給する。研削液供給装置１００は、研削液が供給される供給管１１０と、供給管１１０に連結され、研削液が吐出される吐出ノズル１２０とを備え、吐出ノズル１２０は、研削砥石３０の円周表面３２に隣接して設けられ、研削砥石３０の回転に伴って連れ回される空気流を遮断する遮断壁部１２２と、遮断壁部１２２よりも研削砥石３０の回転方向Ｒ寄りに設けられ、研削砥石３０の円周表面３２に向けて研削液を吐出する吐出口部１２４）とを有する。 （もっと読む）

【課題】比較的高い研磨レートを維持したまま、研磨液の消費量をより削減することができるようにする。
【解決手段】研磨面５２ａを有する研磨テーブル２２と、研磨対象物Ｗを保持し該研磨対象物Ｗを研磨面５２ａに押圧するトップリング２４と、研磨液供給ライン７２に接続されて研磨面５２ａに研磨液Ｑを供給する研磨液供給ノズル２６と、研磨面５２ａ上の研磨液量を研磨中に監視する研磨液量監視手段６０と、研磨液量監視手段６０の出力に応じて研磨液供給ノズル２６から研磨面５２ａに供給する研磨液Ｑの液量を調整する液量調整部７４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】メタルボンド砥石の外周面が均等に電解ドレッシングされ、ワークの加工精度及び安定した研削品質が確保できる研削加工装置を提供する。
【解決手段】メタルボンド砥石３を回転してワークＷを研削加工すると共に、研削液の存在下で回転するメタルボンド砥石３と電解ドレッシング用電極２０に通電して電解ドレッシングする研削装置１において、電解ドレッシング用電極２０に形成した第１〜第５研削液吐出孔２７ａ〜２７ｅから研削液をメタルボンド砥石３の外周面４の全幅に亘って直撃するように電解ドレッシング用砥石３と電解ドレッシング用砥石２０との間に供給する。電解ドレッシング用砥石３の外周面４と電解ドレッシング用砥石２０の電極面２５との間に研削液が保持されてメタルボンド砥石３の外周面４が均等に電解ドレッシングされる。 （もっと読む）

【課題】流量を制御するデバイスを調整する手段とフィードバックループでさらに組み合わせることで、スラリーリザーバの異なる部分内のスラリー濃度を調整してパッド上のスラリー分布を改善する。
【解決手段】インジェクタ１０は、凹状の後縁１２を有し、底面が研磨パッドに面し、軽荷重下で該パッドに載り、スラリーが、インジェクタ１０の上部にある１つ又は複数の開口を通して導入されてチャネル２２又はリザーバを通って底部まで進み、複数の開口から出て薄膜状に広がり、ウェハ１４と研磨パッドとの間に導入されるのに十分なほど少ない量でウェハ１４の前縁に沿って研磨パッドの表面とウェハ１４との境目に導入される。流体を導入するための複数の入口２０を利用し、該入口２０に流体の流量制御手段１９を装着し、ウェハ１４の表面へのスラリー送出を調整してウェハ１４の表面における除去率の均一性を改善するように流量制御手段１９の調整を行う、方法。 （もっと読む）

【課題】微量の使用量でも充分に工具の加工寿命を延長でき、ステンレス等の鉄合金からなる被加工物に対しても適用でき、さらに廃棄処理のコストを削減できる切削・研削油剤及び切削・研削方法を提供すること。
【解決手段】工具２による金属製の被加工物３の切削加工又は研削加工時に、加工部位に供給される切削・研削油剤１である。切削・研削油剤は、トリメチロールプロパンと炭素数１０の飽和脂肪酸とのトリエステルからなる。飽和脂肪酸は、カプリン酸であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】希土類磁石のマルチ切断において、従来に比べて少量の研削液を効果的に切断加工点に供給し、高精度な切断を高速に行う。
【解決手段】薄板円板状又は薄板ドーナツ円板状の台板の外周縁部に砥石外周刃を備える切断砥石ブレードを回転軸にその軸方向に沿って所定の間隔で複数配列してなる希土類磁石を切断するためのマルチ切断砥石ブレードに研削液を供給するための研削液供給ノズル２であって、一端側に研削液の導入口が形成され、他端側に各々の切断砥石ブレードに対応する複数のスリット２１が形成され、かつ各々のスリットに各々の切断砥石ブレードの外周部を挿入可能に構成されてなる研削液供給ノズル。 （もっと読む）

【課題】低コストで簡易な構成でありながら高い熱除去性能をもつクーラント供給システムを提供する。
【解決手段】砥石Ｇと、工作物Ｗとを相対移動させて工作物Ｗを砥石Ｇにより研削点Ｐにクーラントを供給しながら研削加工する研削装置１におけるクーラント供給システムにおいて、クーラント供給システム５を構成する第１クーラント供給装置３７が研削点Ｐに供給するクーラントは飽和水蒸気を所定温度まで加熱した過熱水蒸気とする。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで構造がシンプルの内面研削用の加工液供給装置を提供することである。
【解決手段】ワーク１の内周面１ａを研削する内面研削用砥石２の外周面３に加工液を供給する加工液供給装置４において、加工液を供給するノズルヘッド５は、砥石軸方向から見て扇形である。ノズルヘッド５は、内面研削用砥石２に向けて開口する開口部を備え、開口部は砥石軸外周部に沿った内壁面７と、砥石端面に沿った両側面８と、両側面から砥石端面９に向かって互いに形成されたつば部１０とを有している。また、扇形の内周面１１と、つば部１０と、内壁部７と、は同心円で形成する。 （もっと読む）

【課題】研削能率を高めても工作物の外周面と端面部とのなす角部での加工変質層の形成を抑制することができる研削盤を提供すること。
【解決手段】湿式の研削盤１０において砥石２５の外周に形成された研削面２５ｂａと工作物Ｗの外周面Ｗａとが接触する部位Ｔのうち工作物の外周面と端面部Ｗｂとのなす角部Ｗｃの接触部位Ｔｃへの研削液の浸入を促進させる研削液浸入促進手段６５を備えているため、工作物の角部を十分に冷却することができ、かかる角部での加工変質層の形成を抑制して工作物の品質を向上させることができる。また、工作物の角部の加工変質層の形成を抑制できるので、研削能率を向上させて研削サイクルタイムを短縮させることができ、研削加工コストを抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】切削ストロークを大きく超えて移動させることなく、切削溝を挟む領域を洗浄することができる洗浄手段を備えた切削装置を提供する。
【解決手段】切削ブレード４３を備えた切削手段と、チャックテーブル３を切削送りする切削送り手段を具備し、スピンドルハウジングの前端部に切削ブレード４３を挟んで両側に配設され、該切削ブレード４３を覆うブレードカバーと、カバー部材４４２にそれぞれ配設され、被加工物Ｗに切削水を噴出する切削水噴出ノズル６５を備えた切削水噴出手段と、を具備する切削装置であって、切削水噴出ノズル６５の切削送り方向下流側において、第１のカバー部材と第２のカバー部材４４２にそれぞれ配設され、被加工物Ｗにおける切削された直後の切削溝を挟む領域に洗浄水と高圧エアーとからなる洗浄流体を噴出する洗浄流体噴出ノズル６５を備えた洗浄流体噴出手段とを具備している。 （もっと読む）