【課題】信頼性の高い電子装置を提供する。
【解決手段】電子装置１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成され、空洞部３２を有する層間絶縁層３０ａ，３０ｂ，３０ｃと、空洞部３２に収容された機能素子２０と、空洞部３２の上方に形成された第１被覆層４０と、空洞部３２の上方を避けて層間絶縁層３０ａ，３０ｂ，３０ｃの上方に形成された樹脂層５０と、第１被覆層４０の上方に形成された第２被覆層６０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】より容易にマイクロミラーアレイ基板を製造すること。
【解決手段】基板３上に配列させた金属柱２２を封止膜２３で被覆し、封止膜２３と金属柱２２の表面が略面一となるように研削して、封止膜２３の表面から金属柱２２の上端面２２ａを露出させる際、その上端面２２ａを研磨して鏡面加工を施し、光反射面２として形成することにより、マイクロミラーアレイ基板１Ａのミラー面に複数の光反射面２を一括して形成することを可能にした。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘って圧電特性の低下を抑制することができる圧電素子の製造方法、圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０と、を具備する圧電素子３００の製造方法であって、第１電極６０上に圧電体層７０となる圧電体前駆体膜を形成する工程と、圧電体前駆体膜を加熱処理して結晶化させて圧電体膜からなる圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上にランタンニッケル酸化物を主成分とする金属酸化膜２００を形成する工程と、金属酸化膜２００が設けられた圧電体層７０を加熱処理するポストアニール工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】フレキシブルなシート基材をスタンプに均一に接触させることができるシートチャックと、このシートチャックを使用して高精度のパターンを形成するためのマイクロコンタクトプリント法を提供する。
【解決手段】シートチャック１を、上面がシート基材を載置するための載置面２Ａとなっている基部２と、この載置面２Ａに位置する吸引・放出部３と、この吸引・放出部３を囲むように載置面２Ａに位置する保持部５と、を有するものとし、吸引・放出部３は気体の吸引と気体の放出が可能な領域とする。 （もっと読む）

【課題】マイクロ流路構造及びそれを備えたマイクロ流路デバイス並びにそれらの製造方法において、その製造が容易且つ安価にできるようにすることを目的とし、又、溝が埋まらず、且つ漏れのないようにしながら、その製造が容易且つ安価にできるようにする。
【解決手段】静電印刷方式又はインクジェット印刷方式で作製された原版が使用されて形成された多孔質表面を有し、樹脂製である樹脂製マイクロ流路構造であり、又、そのマイクロ流路構造を構成する溝部２ａを有する溝側プレート２と溝部２ａを覆う蓋部３ａを有する蓋側プレート３からなり、溝部２ａを形成する凹部の側面２ｂ，２ｃと、蓋部３ａを形成する凸部の側面３ｂ，３ｃとが傾斜面であり、その凹部に凸部が圧入されて、溝側プレート２に蓋側プレート３が組み付けられているマイクロ流路デバイス１である。 （もっと読む）

【課題】簡易且つ実施が容易な高分解能パターンの作成方法を提供する。
【解決手段】第１熱伝導率を示す物質から作られる支持体１の上面上に少なくとも１つのパターンを作成する方法は、第２熱伝導率を示し、且つ、パターンの形状に対応する形状を有する少なくとも１つの孔部８を含む物質から作られるマスク７を配置する工程を含む。孔部８は、支持体１の底面に接触する。第２導電率に対する第１導電率の比率は、その方法の実施期間（duration）において、２以上又は１／２以下である。また、その方法は、パターンを形成するように作られた物質を含む溶液を上面上に堆積する工程と、溶液を蒸発させる工程と、を含む。 （もっと読む）

次の工程を含む、ホールに少なくとも部分的に閉塞部を挿入するための方法：ａ）１μｍ〜３００μｍの最大寸法を有する少なくとも１つのホールを備えた少なくとも１つの基材（２）を与える工程；ｂ）前記少なくとも１つのホールよりも大きな寸法を有する材料片（１）を与える工程；ｃ）前記材料片（１）を前記ホールに対して道具を用いて押圧して、閉塞部を形成する工程であって、前記材料片（１）の少なくとも一部を前記ホールに圧入する工程；及びｄ）前記道具を前記材料片（１）から取り除く工程。この方法によって作成された閉塞ホールを、さらに開示している。１つの実施態様の１つの利点は、産業上利用可能なワイヤーボンディング技術を、様々なキャビティを封止するために使用できることである。既存のワイヤーボンディング技術は、この閉塞化を早くかつ安価にする。 （もっと読む）

本発明は、印刷された構造層の領域で液体の流れを阻止するように基材シートの特性を変化させる印刷溶液を用いて、フレキソ印刷又はグラビア印刷により液流案内構造層を基材シートに製造する方法に関する。基材シート内への印刷層の浸透性は、印刷シリンダ圧力及び印刷溶液の組成によって制御できる。本方法では、安価なポリマと溶剤からなる印刷溶液を使用することができる。印刷技術の点から見て、本発明は既存の印刷機と互換性があり、それ故、大量生産に極めて適している。
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【課題】低コストで信頼性が高く、光の不要な反射を抑制することが可能なＭＥＭＳ光スキャナおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、第１のガラス基板２００を用いて形成されミラー形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２と、ミラー形成基板１の他表面側に接合された第２のカバー基板３とを備える。第１のカバー基板２および第２のカバー基板３がミラー形成基板１と同じ外形寸法に形成され、第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１とは反対の外表面側に、透光性樹脂もしくは低融点ガラスにより形成され光の反射を抑制する微細周期構造６を有する。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能であり、且つ、低コストで、不要な反射光の方向がミラー面での反射光の方向に揃うのを抑制することが可能なＭＥＭＳ光スキャナおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、第１のガラス基板２００を用いて形成されミラー形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２と、ミラー形成基板１の他表面側に接合された第２のカバー基板３とを備える。第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１とは反対の外表面側に透光性樹脂により形成された成形部６を有し、当該成形部６の表面が、第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１側の平面とは非平行な非平行面６１となっている。 （もっと読む）

【課題】高密度化されたＣＮＴ層作製時における島状の収縮の問題を解決し、高密度で均一な厚みを有する配向したＣＮＴ層を基板上に被着してなる高品質なＣＮＴ膜構造体を提供する。
【解決手段】カーボンナノチューブ成長用基板以外の基板と、前記基板上に位置及び／又は配向を制御して載置された重量密度が０．１ｇ／ｃｍ^３以上の高密度化処理カーボンナノチューブ膜とを備えることを特徴とするカーボンナノチューブ膜構造体。 （もっと読む）

電気的に接続されたフロントプレートおよびバックプレートを有するディスプレイデバイスを製造するためのシステムおよび方法が開示される。一実施形態では、この方法は、非導電バックプレート上に導電隆起形状部を印刷すること、隆起形状部がフロントプレート上の導電配線と位置合わせされて隆起形状部と配線が電気的に接続されるようにバックプレートを非導電フロントプレートと位置合わせすること、バックプレートとフロントプレートを封止することを含む。
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【課題】生分解性材料を被加工物として用いてドライエッチングにより得ることができる経皮ドラッグデリバリ用マイクロニードルの製造方法を提供する。
【解決手段】Ｓｉウェーハ１０にポリ乳酸膜１２を形成し（ＳＴＥＰ１）、ポリ乳酸膜１２の上にＡｌ膜１４を形成し（ＳＴＥＰ２）、ＡＬ膜１４を加工してパターン化された加工マスク２０を得（ＳＴＥＰ５）、ドライエッチングによりポリ乳酸膜１２を加工してマイクロニードル２２を得る（ＳＴＥＰ６）。 （もっと読む）

【課題】熱インプリントで３次元形状の金属体を容易に作成できる方法を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の金属体の製造方法によれば、フォトリソグラフィーと比較して容易な加工方法である熱インプリントで型を熱可塑性樹脂層に転写させ、その型の形状に転写された樹脂の上にめっきよって金属体を形成することで３次元形状の金属体を容易に作成できる。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳデバイスの周囲に設けられる中空領域の形状を安定化させる。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイス８０は、ＭＥＭＳ素子領域２００上に第１の中空領域１０
０が設けられる。第１の中空領域１００の外周部には第１の中空領域１００よりも高さの
低い第２の中空領域１０１が設けられる。第２の中空領域１０１の外周部には第２の中空
領域１０１よりも高さの低い第３の中空領域１０２が設けられる。第１の中空領域１００
、第２の中空領域１０１、及び第３の中空領域１０２上には、絶縁膜７が設けられる。絶
縁膜７及び第３の中空領域１０２の側面には絶縁膜８が第１の中空領域１００、第２の中
空領域１０１、及び第３の中空領域１０２を覆うように設けられる。積層される絶縁膜７
及び８には開口部９が設けられ、開口部９を封止するように、有機膜１０及び絶縁膜１１
から構成される封止材が設けられる。 （もっと読む）

【課題】強誘電体デバイスの基板材料によらず強誘電体膜の結晶性および性能の向上が可能な強誘電体デバイス（発電デバイスまたは焦電デバイス）の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電層（強誘電体膜）２４ｂを素子形成基板（第１の基板）２０ａに比べて当該圧電層２４ｂとの格子整合性の良い圧電層形成用基板（第２の基板）４０の一表面側に形成し、その後、圧電層２４ｂ上に下部電極２４ａを形成し、続いて、圧電層形成基板４０の上記一表面側の下部電極２４ａと素子形成基板２０とを接合層５１を介して接合してから圧電層形成基板４０を除去することで下部電極２４ａおよび圧電層２４ｂを素子形成基板２０ａに転写する。その後、素子形成基板２０ａの上記一表面側に上部電極２４ｃを形成することで発電部２４を形成してから、素子形成基板２０ａを加工してフレーム部２１、カンチレバー部２２および錘部２３を有するカンチレバー形成基板２０を形成する。 （もっと読む）

【課題】 スプレー成膜によって、レジスト薄膜を立体サンプル上にレジスト薄膜を用意する際に、膜質の均一なものを用意することが難しい。特に問題となるのは、（１）凹凸の底、すなわちアスペクト比の高い形状の底に、十分な膜厚のレジスト膜を供給することが難しいこと、（２）凹形状をした壁面の上部コーナにおいて、局所的に厚いレジストが付くこと、が挙げられる。
【解決手段】 本発明は、アパーチャを立体サンプル近傍およびその周辺に配置し、スプレーの特定領域が成膜に寄与する機構をスプレーコータに組み込むことで、凹凸のある立体サンプル上にも均一なレジスト膜を堆積させることを可能にしたものである。 （もっと読む）

【課題】簡便かつ低コストな方法で、基板表面に選択的に撥水性を有する微細流路を形成する手段を提供する。
【解決手段】基板１０上にマスクパターン２０を形成する工程と、貴金属微粒子３０を前記基板１０の露出部１０ａに塗布する工程と、前記基板１０をエッチング溶液に浸漬して前記マスクパターン２０をマスクとして前記基板の露出部１０ａ下部の基板１０をエッチングすることにより、前記基板１０表面に微細流路４０を形成する工程と、を含む微細流路４０の形成方法である。 （もっと読む）

【課題】インプリントテンプレート内の不均一性の問題を除去するか緩和することが可能なインプリントリソグラフィ方法及び装置を提供する。
【解決手段】ある実施形態では、固化すると第１のエッチング速度を有するインプリント可能な媒体の第１の分量６０を基板の第１の領域上に提供するステップと、固化すると第２の異なるエッチング速度を有するインプリント可能な媒体の第２の分量６２を基板の第２の異なる領域上に提供するステップとを含むインプリントリソグラフィ方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】簡便に液体流路を閉止状態から開通状態にできる液体流路装置を低コストで提供する。
【解決手段】基板１１の少なくとも片面に、液体が流通する液体流路と、液体が溜まる１つ以上の液槽１４ａとが形成され、基板１１の流路形成面には蓋板１３が積層した液体流路装置であって、液体流路の一部を閉止状態から開通状態にする開通手段Ｓ１を有し、開通手段Ｓ１は、液体流路の一部に配置され、蓋板１３または液体流路の底部を外側から押圧する操作により塑性変形し、前記開通状態とする封止栓１５からなる。 （もっと読む）