【課題】複数の段差を備えたインプリントモールドの製造に好適なインプリントモールド製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のインプリントモールド製造方法は、エッチングマスクとして用いたパターニングされた感光性樹脂に新たなパターンを再度パターニングし、再度エッチングを行うことを特徴とする。本発明の構成によれば、感光性樹脂に対して複数回のパターニングを行うことにより、段差形状になった基板に再度感光性樹脂を塗布することなく、複数の段差構造を備えたインプリントモールドを製造することが出来る。このため、不均一な感光性樹脂の塗布に由来する構造パターンの形状不良を防止することが出来、精度良く微細な３次元構造パターンを形成することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 ＭＥＭＳ部材を備えた半導体装置において、薄型化する。
【解決手段】 絶縁膜３およびシリコン基板１の上面中央部に設けられた凹部５内には、ＭＥＭＳ部材を構成する片持ち状の可動電極９が可動可能に配置されている。凹部５の周囲における絶縁膜３の上面には空間形成膜１０の下面周辺部が接着剤等を介して固着されている。この状態では、空間形成膜１０下における凹部５内には、可動電極９の可動を許容するための空間１１が形成されている。 （もっと読む）

【課題】共振周波数を精度良く調整することが可能となる揺動体装置及びその製造方法、該揺動体装置を用いた光偏向器、画像形成装置を提供する。
【解決手段】支持体に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された揺動体を備え、該揺動体を該ねじり軸まわりに共振周波数で駆動する揺動体装置であって、
前記揺動体は、該揺動体の質量を調整する質量調整体を付設する側壁を有し、該側壁への前記質量調整体の付設によって、前記揺動体の共振周波数が調整可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】共振周波数を調整するに当たり、可動部の質量を調整するための質量調整剤を、精度良く可動部に付加することが可能となる揺動体装置及びその製造方法、該揺動体装置を用いた光偏向器、画像形成装置を提供する。
【解決手段】支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動部を備え、該可動部を該ねじり軸まわりに共振周波数で駆動する揺動体装置であって、
前記可動部は、該可動部の質量を調整する質量調整剤を付加する付加領域を備えると共に、該付加領域の表面は周辺よりも前記質量調整剤とのぬれ性が高く構成され、
前記付加領域への質量調整剤の付加によって、前記可動部の共振周波数が調整可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】 鋳型などの原型を使用することなく製造されたマイクロチャネルを有するマイクロ流路チップを提供する。
【解決手段】 少なくとも第１の基板と第２の基板とからなり、該第１の基板と第２の基板とが接着されているマイクロ流路チップにおいて、少なくとも一方の基板の接着面側に１本以上の、媒体により除去可能な材料層が形成されており、該媒体により除去可能な材料層の少なくとも一方の端部は大気に向かって開口するポートに接続されているマイクロ流路チップ。材料層を媒体で除去すると、材料層が存在していた箇所に非接着状態の微小隙間が生じる。この微小隙間を膨隆させることによりマイクロチャネルとして機能可能な空隙を発現させることができる。 （もっと読む）

ナノワイヤーおよび電気的素子を表面に成長させるための方法およびシステムについて説明する。第１の態様では、少なくとも１つのナノワイヤーを、電極対に近接するように供給する。電極対の２つの電極によって電界を発生させて、２つの電極に少なくとも１つのナノワイヤーを関連付ける。電極対を、転写対象となる目標面の領域に位置合わせする。少なくとも１つのナノワイヤーを電極対からその領域に堆積させる。別の態様では、複数の電気的素子を電極対に近接するように供給する。電極対の２つの電極によって電界を発生させて、２つの電極に、複数の電気的素子のうちの１つの電気的素子を関連付ける。電極対を、転写対象となる目標面の領域に位置合わせする。上記１つの電気的素子を、電極対からその領域に堆積させる。
（もっと読む）

【課題】性能の向上したアクチュエータを提供する。
【解決手段】アスペクト比が10⁴以上のカーボンナノチューブおよびイオン液体から構成
される導電性薄膜；長さが50μm以上のカーボンナノチューブおよびイオン液体から構成
される導電性薄膜。 （もっと読む）

本発明は、小さいミクロな伝導性構造体を表面に製造することを可能にする方法を記述している。これは、ミクロチャネルを（ホット）スタンピングおよび／またはナノスケールのインプリンティングによって製造すること、次のこのようにして作り出されたチャネルへの毛細管現象および好適な伝導性材料の後処理を用いる伝導性材料の的を絞った導入によって達成される。
（もっと読む）

【課題】性能の向上したアクチュエータを提供する。
【解決手段】以下の工程を含むことを特徴とするアクチュエータ素子の製造方法
工程１：カーボンナノチューブ、およびイオン液体、ポリマー、溶媒を含む分散液を低速ボールミル法と高速ボールミル法をこの順に行なうことからなる２段階ボールミル法により調製する工程；
工程２：ポリマーおよび溶媒、必要に応じてさらにイオン液体を含む溶液を調製する工程；
工程３：工程１の分散液を用いる導電性薄膜の形成と工程２の溶液を用いるイオン伝導層の形成を同時にあるいは順次行い、導電性薄膜層とイオン伝導層の積層体を形成する工程（ここで、導電性薄膜層とイオン伝導層の形成は、塗布、印刷、押し出し、キャスト、または、射出により行う。） （もっと読む）

画定された表面パターンをポリマー構造の１次インプリント表面に押圧することで、該１次インプリント表面上に２次インプリントを形成する工程を有する、ポリマー構造上へのインプリント作製方法が開示されている。
（もっと読む）

【課題】簡易な構成で小型化、薄型化を図ることができ、かつ生産性を向上させながら信頼性の高いディスプレイ用マイクロデバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】高真空の中でも蒸発量が少ないシリコンオイルによって液体膨出部12を形成したことで、高真空ＣＶＤ法を用いて、液体状の液体膨出部12の液表面に保護膜13を積層形成できるようにした。かくして簡易な構成で小型化、薄型化を図ることができ、また従来のようにを貼着する煩雑な組立工程を省くことができるので、その分生産性を向上させることができる。さらに、保護膜13を用いていることから、衝撃や重力などによって液体膨出部12が変形してしまうことを防止でき、一段と信頼性の高いディスプレイ用マイクロデバイス１を提供できる。 （もっと読む）

【課題】 シリコン層に酸化シリコン層に達する複数のトレンチが形成されているシリコン構造体を対象物とし、酸化シリコン層を均一にエッチングできるエッチング方法を提供する。
【解決手段】 ベース層２と酸化シリコン層４とシリコン層６が順に積層されているとともに、シリコン層６に酸化シリコン層４に達する複数のトレンチが形成されているシリコン構造体を対象物とする。複数のトレンチ内にＳＯＧを充填した後、ＳＯＧを固化する。次に、固化したＳＯＧ８ａの表面にエッチング液１０を接触させる。固化したＳＯＧ８ａがエッチングされるにつれてエッチング液１０がトレンチの奥へ侵入する。エッチング液１０がトレンチの底面に到達すると、酸化シリコン層４が連続的にエッチングされる。エッチング液１０はトレンチ内に均一に侵入し、酸化シリコン層４は均一にエッチングされる。 （もっと読む）

【課題】製造コストのかからないプラスチック製の基板を用いて、耐熱性と耐薬性に優れ、かつ簡単な工程により低コストで製造することができるマイクロ流路デバイスを提供すること。
【解決手段】微量の液体を流すためのマイクロ流路２が凹んで形成されたプラスチック製の基板１に、マイクロ流路２の開放面を塞ぐと共にマイクロ流路２に連通する液体注入口４と液体排出口５とが形成された蓋板３を接合した構成を有するマイクロ流路デバイスにおいて、基板１と蓋板３との接合、及びマイクロ流路２の内面の全部又は一部に対するコーティングが共に、有機バインダーを含有するシリカゾルを主成分とする塗膜６で行われている。 （もっと読む）

【課題】低駆動電圧と長寿命特性を有するスクラッチ駆動アクチュエータ（ＳＤＡ）微小回転モータの新規な設計と製造方法を提供する。
【解決手段】駆動電圧を交流振幅で３０〜１５０Ｖｏ−ｐから１２〜３０Ｖｏ−ｐに大幅に減少するべく、超低抵抗（＜０．００４Ω−ｃｍ未満）のシリコンウェハをＳＤＡ微小モータの基板として用いる。さらに、本発明は、ＳＤＡ微小モータの寿命（＞７５時間）および回転速度（〜３０ｒｐｍ）の改善ができる新規なＳＤＡ構造および形状設計方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 基板の局所に所望の大きさの液体を形成させ、高精度なエッチング、メッキやコーティング等を、微小な局所においても高精度に行いうる局所表面処理方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 マイクロプローブ１１にメッキ液やエッチング液等の液体２１を付着させて、基板１２の所定の局所に付着させた後、マイクロプローブ１１と基板１２に電流を流し、基板１２界面での電気化学的反応を利用して、液体２１の接触角を変化させて接触面積を所望の大きさに制御する。所望の大きさに制御した液体２１を用いてメッキ、エッチングやコーティング等の局所表面処理を行う。 （もっと読む）

【課題】長い寿命を獲得でき、消費電力が低減でき、一定の回転方向を確保できる新規な微小回転モータの開発に寄与するバウンス駆動アクチュエータ（ＢＤＡ）を提供する。
【解決手段】ＢＤＡ板８のブッシング部のアスペクト比（高さ／幅）を１より小さい値に設定し、ＢＤＡ板８の長さを７５ｍｍより短い値に設定する。微小回転モータは、起動電圧を超える追加静電気を印加してもＢＤＡ板８の自由端をそれ以上撓ませることができず、ブッシングを圧縮し内向し、印加電圧が解除されると、短尺かつ幅広のブッシングの摩擦力は自由端より大きくなり、蓄積された歪みエネルギーはアクチュエータを後方に跳ね返すようにした。 （もっと読む）

【課題】形状及び寸法の精度が高い微細構造の加工方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の微細構造の加工方法は、基板１０に微細な凹部３０を形成する微細構造の加工方法である。エッチングマスク２０を設けた基板１０の露出部をドライエッチングして、第１の深さの凹部３０を形成する工程と、第１の深さの凹部が形成された基板のエッチングマスク上に、液滴吐出法でレジスト液体物を配する工程と、基板のエッチングマスク上に配されたレジスト液体物を硬化させて、エッチングマスクを補強する補強膜７０を形成する工程と、補強膜７０が形成された基板の凹部３０をドライエッチングして深くし、凹部３０を第１の深さよりも深い第２の深さに形成する工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基体に形成した凹部内に追加エッチングを行い、微細パターンを付与することを可能にした、微細形状の加工方法を提供する。
【解決手段】基体１０に凹部１３を形成する工程と、基体１０の凹部１３内に、液滴吐出法によってレジスト液１６を選択的に配し、レジスト膜１７を形成する工程と、レジスト膜１７を露光・現像してパターニングし、レジストパターン１８を形成する工程と、レジストパターン１８をマスクにして凹部１３内をエッチングし、凹部１３内に微細パターンを付与する工程と、を備えた微細形状の加工方法。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の低減に適した可変フィルタ素子および可変フィルタモジュール、並びに、これらの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の例えば可変フィルタ素子Ｘ１は、例えば、基板１０と、基板１０上において並列して延びる、二本のグラウンド線２２およびグラウンド線２２間の信号線２１と、グラウンド線２２間を架橋し、信号線２１と対向する部位２４ａを有する、可動キャパシタ電極２４と、信号線２１およびグラウンド線２２の間に位置して可動キャパシタ電極２４との間に静電引力を発生させるための駆動電極２５と、基板１０内に設けられ、信号線２１と対向する部位を有し、グラウンド線２２と電気的に接続している、グラウンド線１２ａとを備える。可動キャパシタ電極２４およびグラウンド線１２ａ，２２は、グラウンド配線部を構成し、信号線２１およびグラウンド配線部は、分布定数伝送線路を構成する。 （もっと読む）

【課題】精度良く高さの異なる三次元構造パターンが形成されたインプリントモールド、およびインプリントモールド製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のインプリントモールドは、開口部を設けた基板表面上に積層された樹脂層が、前記開口部の開口密度に応じた三次元構造パターンを形成していることを特徴とする。本発明の構成によれば、樹脂層は開口部の上部に形成される。このとき、樹脂の一部は開口部を埋めることに用いられるため、樹脂層は自己形成的に開口部の開口密度に応じた三次元構造パターンを形成する。よって、基板上の開口部の開口密度を制御することで、高さの異なる階段状形状の三次元構造パターンを形成することが出来る。 （もっと読む）