【課題】微細な間隔を有する構造体を、中空構造の部分に容易に形成できるようにする。
【解決手段】微細構造体１０６，微細構造体１０６を支持するための支持部１１０が形成された状態とし、微細構造体１０６，支持枠１０７，梁１０９，および支持部１１０などを覆うように、絶縁層１０３の上に感光性樹脂層が形成された状態とする。次に、支持枠１０７の上部および微細構造体１０６の領域の感光性樹脂層を除去し、支持枠１０７の上面が露出し、かつ微細構造体１０６の領域が除去された犠牲層１１１が、絶縁層１０３の上に形成された状態とする。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い電気部品を提供する。
【解決手段】基板１２は、機能素子１１を有している。絶縁性の第１の膜１４は、基板１２とともに機能素子１１を収納するキャビティ１３を形成し、複数の貫通孔１４ａを有している。絶縁性の第２の膜１５は、複数の貫通孔１４ａの上面を塞いで第１の膜１４上に形成され、第１の膜１４よりガス透過率が大きい。絶縁性の第３の膜１６は、第２の膜１５上に形成され、第２の膜１５よりガス透過率が小さい。絶縁性の第４の膜１７は、第３の膜１６上に形成され、第３の膜１６より伸縮性が大きい。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの動作精度を高めることを目的とする。
【解決手段】表面に穴１６を有する枠体１７と、穴１６の上方に配置された伝送電極部１８と、この伝送電極部１８の両端にそれぞれの一端が連結されるとともに、他端を枠体１７に支持された駆動部２０とを備え、この駆動部２０は、下部金属層２１と、この下部金属層２１上に形成された圧電膜２２と、この圧電膜２２上に形成された上部金属層と、この上部金属層２３上に積層された弾性樹脂層２４とを有するものとした。これにより本発明は、伝送電極部１８の傾きを抑制するとともにエッチング工程において表層が浸食されても、駆動部２０全体の変位量に与える影響を小さくすることができ、結果としてアクチュエータの動作精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】気密パッケージデバイス、および少なくとも１つのデバイスをウェハレベルで気密パッケージングするための方法を提供する。
【解決手段】（１）少なくとも部分的に形成されたデバイスを複数有する基板ウェハを用意する（１０２）ステップ、（２）基板ウェハ上の少なくとも部分的に形成されたデバイスのうちの異なるデバイスの周りに分離壁を形成する（１０４）ステップ、および（３）分離壁にキャップウェハをウェハボンディング（１０６）して、複数の気密パッケージを形成するステップ、によって、複数のデバイスがウェハレベルで気密パッケージングされる。 （もっと読む）

【課題】中空構造の空隙内に液状樹脂が深く入り込んでしまうことなしに、確実に開口部を閉塞することができる、中空構造を有する装置、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】中空構造を有する装置は、主表面を有する基板２０１と、金属膜２０４と、樹脂膜２０８と、撥液膜２０７ａとを有している。金属膜２０４は、開口部を有する空隙が主表面の一部との間に形成されるように基板２０１上に設けられている。樹脂膜２０８は、硬化された樹脂からなり、開口部２０６ａおよび２０６ｂを閉塞している。撥液膜２０７ａは、空隙の内面上に設けられており、液状状態の樹脂の接触角を基板２０１および金属膜２０４よりも大きくする物性を有している。 （もっと読む）

【課題】３次元の微細構造体の製造に適した３次元の微細構造体製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の微細構造体製造方法は、凹版に先端材料を充填し、該先端材料を基体へと転写させることを特徴とする。本発明の構成によれば、凹版と基体のアライメントを取ることにより、基体に対して精度良く特定位置のみに選択的に先端材料を転写することが出来る。また、凹版に充填する先端材料の量の多寡により、微細構造体の高さなどの形状を制御することが出来る。 （もっと読む）

【課題】機能素子が保護基板により封止されたパッケージを、簡便に製造することができ、かつ耐湿性に優れたものとなる半導体装置を提供する。
【解決手段】機能素子１２が形成された半導体基板１１と、機能素子部の上に第１の空間１３を有するように半導体基板１１の機能素子１２が形成された側の面上に接着層１４ａ，１４ｂを介して接合された保護基板１６を備える半導体装置１０であって、接着層１４ａ，１４ｂは、第１の空間１３を囲む第２の空間１５を有するものとする。接着層１４ａ，１４ｂは、接着樹脂層からなることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で小型化し得るマイクロデバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】マイクロモータ１では、エレクトロウェッティングを利用して、疎水性膜７と液体との接触角を円周方向に沿って周期的に変化させるようにした。その結果、表面張力を利用して液体膨出部３上に浮かせて載置させた回転板６を所定回転速度で回転させることができ、当該回転板６を固定するための固定部材や、従来のモータのような固定子等の複雑な機械的構成が不要となり、その分だけ簡易な構成にできると共に、小型化を図ることができるマイクロモータ１を提供し得る。 （もっと読む）

【課題】可動する構造を有する微小電気機械式装置（ＭＥＭＳ）において、破損及び破壊を防止し、また電極間のスティッキングを防止し、さらに、作製工程において犠牲層を不要とすることで犠牲層の残存に起因する歩留まりの低下を防止することができ、歩留まりよく微小構造体を作製することができる微小電気機械式装置及びその製作方法を提供する。
【解決手段】従来は中空であった電極間に変形可能な材料を充填するものであって、微小電気機械式装置の微小構造体が、絶縁表面上に設けられた下部電極層１０１と、該下部電極層上に設けられ可逆変形可能な多孔質または弾性を有する誘電体層１０２と、該誘電体層上に設けられた下部電極と対向する上部電極層１０３と、を有する。下部電極層と上部電極層とが動作しこの間の距離が変化すると、誘電体層が変形する。 （もっと読む）

【課題】光学素子に対する透過性を有するとともに、光学素子と外部回路との間で電気的接続の自由度が高い光学装置を提供する。
【解決手段】光学装置１は、表面に光学素子２が設けられた素子基板３と、素子基板３の光学素子２が設けられた表面に接続され、光学素子２に対応する位置に貫通孔４を有する配線基板５と、貫通孔４を覆うように配線基板５に接続された光透過性部材６とを有する。また、配線基板４の光透過性部材６が接続される表面に、配線基板５に電気的に接続された外部接続端子８が設けられる。 （もっと読む）

【課題】誘電体膜を形成する耐熱性基板上の下地電極にあらかじめ剥離性の高い積層構造を導入しておいて転写することにより、低コストで高誘電率を有し、しかも所要の場所に無駄なく形成することのできる誘電体構造体及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】耐熱性基板５１上に形成された絶縁膜５２上に第２の電極５３及び誘電体５４の順に形成する工程と、非耐熱性基板５５上に第１の電極５６を形成する工程と、非耐熱性基板５５上に形成された第１の電極５６上に、耐熱性基板５１上に第２の電極５３及び誘電体５４の順に形成された誘電体側を圧着する工程と、耐熱性基板５１上に形成された絶縁膜５２と前記第２の電極５３間を剥離して、非耐熱性基板５５上に第１の電極５６、誘電体５４、及び第２の電極５３の順に形成された誘電体構造体を取得する工程とからなることを特徴とする誘電体構造体の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】可動部を有する微小電気機械式装置（ＭＥＭＳ）の機械的強度を向上させ、歩留まり及び信頼性を向上させる。
【解決手段】可動部を有する微小電気機械式装置（ＭＥＭＳ）において、従来では中空部であった部分に充填用材料を充填する。充填用材料としては、弾性を有する絶縁性材料を用いる。弾性を有する絶縁性材料は、例えばエラストマーが挙げられる。中空部が充填されることで、機械的強度が向上する。更には、作製工程中における構造体上部の反りを防止し、歩留まりが向上する。このようにして作製された微小電気機械式装置は、信頼性の高いものとなる。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電素子を振動板の位置に精度良くかつ十分に密着して接着するための接着剤塗布方法を提供する。
【解決手段】変形することにより接している物質に機械エネルギーを伝える、平面上の複数の位置に配設された弾性部材に、前記弾性部材の配設位置に対応する位置関係を維持して固定板に剥離可能に仮固定されている圧電素子を接着する接着剤を、該圧電素子の前記固定板に対向する面である転写面に転写により塗布する転写シートであって、前記圧電素子の前記転写面に沿う柔軟な基材からなり、転写する接着剤が塗布される面に、高さが概同じ突起を複数個備えている。 （もっと読む）

【課題】流路内の流体を外部から視認することのできる流体素子及び積層構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】このマイクロリアクタ１は、第２の基板として設けられるガラス基板１０に対して、電鋳法により形成された複数の導電膜１２Ａ〜１２Ｄを順次常温接合することにより形成されている。ガラス基板１０と導電膜１２Ａは、ガラス基板１０に接合膜として設けられるＣｒ膜１１を介して常温接合されており、導電膜１２Ａに形成された流路１２１がガラス基板１０の上面１０ａ側から視認できるようになっている。導電膜１２Ａ〜１２Ｄは、それぞれ流体を通過させるための孔や溝等の形状の流路パターンを有しており、積層されることによって積層体内に流体の入口から出口にかけて連結された３次元的な流路を形成するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】可動部を有する微小電気機械式装置（ＭＥＭＳ）の機械的強度を向上させ、歩留まり及び信頼性を向上させる。
【解決手段】可動部を有する微小電気機械式装置（ＭＥＭＳ）において、従来では中空であった部分に充填用材料を配する。充填用材料としては、例えば柔軟性の高いブロックコポリマーを用いる。中空部が充填されることで、機械的強度が向上する。更には、作製工程中における構造体上部の反りを防止し、歩留まりが向上する。このようにして作製された微小電気機械式装置は、信頼性の高いものとなる。 （もっと読む）

【課題】流体回路を構成する第２の基板の溝全体が確実に表面処理されているマイクロチップおよび、塵や埃を発生させることなく、また、基板間の接合性が十分に高い、第２の基板の溝全体が確実に表面処理されたマイクロチップの製造方法を提供する。
【解決手段】第１の基板と、基板の両面に設けられた溝を備える第２の基板と、第３の基板とをこの順で貼り合わせてなるマイクロチップであって、該第２の基板が有する溝の側壁面および底面は、表面処理剤を含有する塗膜によって被覆されているマイクロチップおよびその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】製造工程の効率が良く、構造の複雑化を招くことのない力学量検出素子を提供すること。
【解決手段】本発明による力学量検出素子１０は、基板１上に、力学量検出用可動部６を含む微細パターン部３と、微細パターン部３と外部との電気的接続を行う引き出し配線４及びパッド５を備え、微細パターン部３を封止する封止基板７を備える力学量検出素子であって、パッド５を基板１上に集約的に配置して、封止基板７にパッド５に対応する開口部７ａを備えるとともに、引き出し配線４に引き出し配線４の延在方向の側方に突出する突出部分４ａを備え、開口部７ａから注入された封止用部材８を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光走査装置に使用される圧電素子に水分が浸入して、電極が劣化することを防止する保護層を、製造工程を増加させないで形成する。
【解決手段】揺動可能な反射部１を備える可動部と、可動部を保持する固定部５と、可動部の一部と固定部５の一部に跨って設置される圧電素子７と、固定部５が設置される筐体９とを備える光走査装置２５の製造方法において、圧電素子７に保護層１７を形成する保護層形成工程と、固定部５を筐体９に接着する接着工程とを同時に行う。 （もっと読む）

【課題】均一で微細な先端を持つ高アスペクト比構造を有し、欠陥の少ないアレイ状に形成された高アスペクト比構造を有する機能性膜の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】微細な凹部アレイが形成されたスタンパー１３に、ポリマー樹脂の溶解液１６を塗布する塗布工程と、ポリマー樹脂の溶解液１６の表面に基材２０を重ね合わせて接着する接着工程と、ポリマー樹脂の溶解液１６を乾燥する乾燥工程と、乾燥工程により乾燥し固化した樹脂ポリマーを、基材２０と一緒にスタンパー１３より剥離する剥離工程と、を有する、機能製膜を製造する方法において、接着工程は、基材２０のポリマー樹脂の溶解液１６との接着面側にゲル化材料２３を塗布し、ポリマー樹脂の溶解液１６と該ゲル化材料２３とで混合層２４を形成させることを特徴とする機能性膜の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】高効率の触媒反応を可能とする信頼性の高いマイクロリアクターと、このマイクロリアクターを簡便に製造することができる製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロリアクターを、１組の金属基板４，６が接合された接合体２と、この１組の金属基板の少なくとも一方の金属基板の接合面に形成された微細溝部５，７で構成されたトンネル状流路３と、トンネル状流路に連通された原料導入口およびガス排出口と、トンネル状流路にコンタクト層８を介して形成された触媒担持層９と、この触媒担持層９に担持された触媒Ｃとを備えるものとし、コンタクト層８は多孔性金属層とし、触媒担持層９は無機酸化物被膜とする。 （もっと読む）