【課題】マイクロマシンの振動を抑えることにより、出力信号のノイズを低減できるマイクロマシンのマイクロマシン装置を提供する
【解決手段】マイクロマシン装置１は、基板１１と、前記基板１１に搭載され、電界の作用により変形する機構を備え、該変形に伴って電気特性を変化させるマイクロマシン１６と、無機材料を含み、前記基板１１の主面上に設けられ、気体を収容した中空部１７を介して前記マイクロマシン１６を覆うとともに、前記中空部１７と外部とを連通する開口形状部２１ａを有する、内側無機封止膜２１と、有機材料を含み、前記内側無機封止膜２１上に成膜され、前記開口形状部２１ａを塞ぐ有機封止膜２２と、前記有機材料よりも低い透湿性を有する無機材料を含み、前記有機封止膜２２上に成膜されて前記有機封止膜２２を覆う外側無機封止膜２３と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ナノスケール構造を有する多様な機能要素を搭載した数ミクロンサイズの部品を、塩基配列を用いた結合手段によって、設計図に基づいて決められた位置に時系列的に配置する装置およびその方法を提供すること。
【解決手段】複数の部品が組み立てられた状態を表す設計図から求められた、部品及び２種類の一本鎖塩基配列よりなる結合手段を供給する順序に関する情報に基づいて、
一本鎖塩基配列で修飾され、且つ前記部品を結合させる対象物に、一本鎖塩基配列で修飾された前記部品及び結合手段を、順次供給し（ステップＳ２〜Ｓ４）、
前記対象物を修飾する一本鎖塩基配列と、前記部品を修飾する一本鎖塩基配列とに、前記結合手段をそれぞれハイブリダイズすることにより、前記対象物と前記部品とを結合させる。 （もっと読む）

【課題】 電極層の間に電解質層が挟まれたイオン導電型アクチュエータを、容易に製造でき、且つ電解質層も均一に薄く形成できる製造方法を提供する。
【解決手段】 ポリフッ化ビリニデンなどのベースポリマーとイオン液体を含んだ液状組成物を、製造用基板１０の表面１０ａに塗布して電解質半層２ａを形成し、その上にベースポリマーとイオン液体とカーボンナノチューブを含む第１の電極層３を形成する。電解質半層２ａと第１の電極層３の積層体１１を製造用基板１０から剥がす。同様にして電解質半層と第２の電極層の積層体を形成し、電解質半層どうしが対面するように積層体を重ね、熱プレスして一体化する。電解質半層２ａは製造用基板１０から容易に剥がれ、電解質半層２ａが薄くても薄利工程で破損しにくい。 （もっと読む）

【課題】凹版に半固体状の微細構造体材料を塗布し、微細構造体材料を基体へと転写させる微細構造体の製造方法を提供すること。さらに、微細構造体材料を半固体状とすることにより、微細構造体材料が凹版の形状に追従し、凹版の形状に応じた先端部を備える３次元構造体の製造を提供すること。
【解決方法】凹版に半固体状の微細構造体材料を塗布する工程と、基体と凹版とを対向させ配置する工程と、基体と平版を接近させ、基体と微細構造体材料とを接触させる工程と、基体と微細構造体材料とを定着させる工程と、を含むことを特徴とする微細構造体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ほとんどの機械的な時計用パーツに適用することが可能なマイクロ機械パーツを簡単に高品質に製造することを可能にする方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、ａ）マイクロ機械加工可能材料から構成される基板（５３）を用意する（３）ステップと、ｂ）フォトリソグラフィを用いて、前記基板の全体にわたって機械パーツ（５１）を含むパターン（５０）をエッチングする（５）ステップとを含む、機械パーツ（５１）を製造する方法（１）に関する。本発明によれば、さらにこの方法は、ｃ）前記基板の上面および下面がアクセス可能な状態になるように、サポート（５５’）の上に前記エッチングされた基板を載置する（７）ステップと、ｄ）前記パーツの外側面の上に、前記マイクロ機械加工可能材料よりも優れたトライボロジー特性を有するコーティングを堆積する（９、Ｃ’）ステップと、ｅ）基板からパーツをリリースする（１１）ステップとを含む。本発明は、時計製造の分野に関する。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１種の液体で充填され且つ少なくとも１つの膜で閉鎖された少なくとも１つの閉鎖筐体が設けられたデバイスを作製する方法であって、
ａ）液体状態の少なくとも１つの所定の材料を支持体（１００）上に堆積する段階と、
ｂ）所定の材料（１３０）を少なくとも部分的に凝固させるかまたはゲル状態にする段階と、
ｃ）膜及び支持体が、所定の材料で充填された少なくとも１つの閉鎖筐体を形成するように、凝固した材料上に膜を作製する段階と、
ｄ）閉鎖筐体中で所定の材料が再度液化するように、所定の材料（１３０）を融解させる段階と、を含む方法に関する。
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本開示は、ミクロ構造を形成する物品及び方法を記載する。方法は、くぼんだ表面を伴う１つ以上のくぼんだ形状を含む構造化表面領域を有する基材を提供する工程を含む。構造化表面領域は、実質的に平坦域を有さない。方法は、機能材料及び液体を含む流体組成物を構造化表面領域上に配置する工程を含む。方法は、液体を流体組成物から蒸発させる工程を含む。機能材料は、構造化表面領域の残余が、実質的に機能材料を有さないように、くぼんだ表面上に集まる。
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【課題】簡便な方法で複雑な形状のパターンを形成可能な材料パターンの製造方法を提供する。
【解決手段】Ｓｉ系又は金属の基板上１０に、形成を所望する材料パターンと同じパターンを有するレジスト層１１ａ、１１ｂを形成する工程と、前記レジスト層１１ａ、１１ｂが形成された基板上１０に、基板表面と化学結合したフロロカーボン層１２を形成する工程と、前記レジスト層１１ａ、１１ｂを除去することで、形成を所望する材料パターンに対してネガのパターンを有するフロロカーボン層１２を形成する工程と、前記ネガのパターンを有するフロロカーボン層１２をマスクとして、前記基板上に前記材料パターンを形成する工程とを含む。 （もっと読む）

照明装置は、光を受光するための第１端部を有すると共にその長さに沿って光の伝播をサポートするように構成された光導波路を備える。ターニング微細構造は、前記光導波路の第１側面に配置されていると共に前記第１側面上に入射する光の方向を変更させて前記光導波路 の対向する第２側面へ光を導くように構成され、且つ複数の凹部を備える。カバーは、物理的に光導波路に結合（coupling）すると共に前記ターニング微細構造上に配置されている。中間層は、前記カバーを前記光導波路に物理的に結合すると共に前記カバーと前記光導波路との間に位置する。いくつかの実施形態において、中間層は、省略され、カバーが、光導波路と直接に接触する。複数の開放領域が中間層又はカバーと複数の凹部との間に位置する。各種実施形態は、中間層の有無にかかわらず、カバーと複数の凹部との間に開放領域が保存される間に、カバーを光導波路に結合する方法を含む。
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【課題】安価かつ簡便に、溝構造または中空構造を有する部材、特に微細な部材を製造する。
【解決手段】パターン形成された硬化性樹脂組成物のある基板上に、当該硬化性樹脂組成物とは違う組成の硬化性樹脂組成物を塗布し、パターンを形成し、その後、最初に形成した硬化性樹脂組成物パターンを溶剤によって除去することで、２番目の硬化性樹脂組成パターンを離型する。 （もっと読む）

【課題】コストを抑制した状態で、高い密閉性が得られる状態でＭＥＭＳ素子を保護する封止構造が、より容易に形成できるようにする。
【解決手段】スクリーン印刷法により、樹脂からなる枠部１０７を、微細構造１０２の周囲を取り囲むように形成する。枠部１０７となる開口パターン１０４を備えたスクリーン１０３を用意し、スクリーン１０３の上にペースト１０５を供給し、スクリーン１０３を基板１０１の上に配置する。次いで、適当な圧力でスクリーン１０３に押し付けたスキージ１０６をスクリーン１０３の上で移動し、ペースト１０５をスクリーン１０３の開口パターン１０４に押し付けながら移動させる。このスキージ１０６の移動により、ペースト１０５は、スクリーン１０３の開口パターン１０４より基板１０１の側に押し出され、枠部１０７となる樹脂パターンが形成される。 （もっと読む）

本開示は、続いて微細構造物品を作製するために使用してもよい工具の製造方法に関する。本明細書に詳細に記述する方法は、マスター工具を作製するために基板上に微細構造アレイを形成するためのパターンのある微細構造工具構造体の形成について記載している。本方法は、基板の第１の面を光重合性液体でコーティングした部分的に透明な基板を提供する工程を含む。作製したマスター工具は、続いて、複製用工具の作製、ひいては導光体を作製するのに使用できる。 （もっと読む）

本発明は、マイクロマシニング型の構成素子のための製造方法、相応の構成素子複合体、及び相応のマイクロマシニング型の構成素子に関する。本発明に係る方法は、以下のステップ、すなわち、第１の前面側の表面（Ｖ１；Ｖ１′；Ｖ１′′；Ｖ１′′′）及び第１の背面側の表面（Ｒ１；Ｒ１′；Ｒ１′′；Ｒ１′′′）を備える、多数の半導体チップ（ＳＣ１，ＳＣ２，ＳＣ３；ＳＣ２′′；ＳＣ１′′′，ＳＣ２′′′；ＳＣ３′′′）の第１の複合体（Ｗ１；Ｗ１′；Ｗ１′′；Ｗ１′′′）を用意するステップと、第２の前面側の表面（Ｖ２；Ｖ２′′′）及び第２の背面側の表面（Ｒ２；Ｒ２′′′）を備える、対応する多数のキャリア基板（ＳＳ１，ＳＳ２，ＳＳ３；ＳＳ１′′′，ＳＳ２′′′，ＳＳ３′′′）の第２の複合体（Ｗ２；Ｗ２′）を用意するステップと、前記第１の前面側の表面（Ｖ１；Ｖ１′；Ｖ１′′；Ｖ１′′′）及び／又は前記第２の前面側の表面（Ｖ２；Ｖ２′′′）に、排気通路（ＳＫ，ＫＧ）を備える構造化された付着層（ＳＧ）を印刷するステップと、前記第１の前面側の表面（Ｖ１；Ｖ１′；Ｖ１′′；Ｖ１′′′）と、前記第２の前面側の表面（Ｖ２；Ｖ２′′′）とを、それぞれ１つの半導体チップ（ＳＣ１，ＳＣ２，ＳＣ３；ＳＣ２′′；ＳＣ１′′′，ＳＣ２′′′；ＳＣ３′′′）及び対応するキャリア基板（ＳＳ１，ＳＳ２，ＳＳ３；ＳＳ１′′′，ＳＳ２′′′，ＳＳ３′′′）を備える多数のマイクロマシニング型の構成素子に対応するようにアライメント調整するステップと、前記第１の前面側の表面（Ｖ１；Ｖ１′；Ｖ１′′；Ｖ１′′′）と、前記第２の前面側の表面（Ｖ２；Ｖ２′′′）とを、前記構造化された付着層（ＳＧ）を介して、圧力を印加した状態で結合するステップであって、各々の半導体チップ（ＳＣ１，ＳＣ２，ＳＣ３；ＳＣ２′′；ＳＣ１′′′，ＳＣ２′′′；ＳＣ３′′′）が前記対応するキャリア基板（ＳＳ１，ＳＳ２，ＳＳ３；ＳＳ１′′′，ＳＳ２′′′，ＳＳ３′′′）に、それぞれのマイクロマシニング型の構成素子に対応するように結合され、このとき、周囲雰囲気のガスが前記排気通路（ＳＫ，ＫＧ）を通して外部に逃げることができるように結合するステップと、マイクロマシニング型の構成素子を個別化するステップと、を有する。
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【課題】共振周波数を調整する際に、質量を除去し又は付加する等の調整工程を省略することができ、歩留まりの向上やコストの削減化を図ることが可能となるマイクロ構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】ねじり軸まわりに揺動可能に支持されている可動板に、少なくとも磁性体を含む質量部が固定された揺動部を備え、共振周波数で電磁駆動される構造を有するマイクロ構造体の製造方法であって、
前記揺動部に前記磁性体を含む質量部が固定される以前の段階において、該揺動部に外部から振動を与えることによって共振周波数を測定する共振周波数測定工程と、
前記共振周波数測定工程の後に、前記揺動部に質量部を備えた他の部品を固定するに際し、該共振周波数測定工程での測定結果に基づいて、前記揺動部と前記他の部品との組み合わせによる質量調整によって、前記共振周波数を調整する共振周波数調整工程と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】圧電膜が製造プロセス中の損傷および／または汚染から十分に保護されうる、ＭＥＭＳ素子用圧電膜構造を製造するための方法および装置を提供すること
【解決手段】例示的実施形態によれば、第１の面、前記第１の面と反対側の第２の面、および前記第１の面と前記第２の面との間に形成された空隙とを備える基板と、前記基板の前記第１の面に形成された第１の圧電薄膜構造と、前記基板の前記第２の面に形成された第２の圧電薄膜構造とを有するＭＥＭＳ素子が提供される。 （もっと読む）

【課題】 マイクロマシンの振動を収まりやすくすることにより、出力信号のノイズを低減できるマイクロマシン装置及びマイクロマシン装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 主面上に信号用配線１５が設けられた基板１１と、前記基板１１の前記主面上に搭載され、導電材から梁状に構成され、電界の作用により前記信号用配線に接離するように弾性変形するとともに、該変形に伴って電気特性を変化させるマイクロマシン１６と、前記導電材よりも粘性係数が高い材料で構成され、前記マイクロマシン１６の前記信号用配線１５と反対側に設けられ、前記マイクロマシン１６の前記信号用配線１５から離間する方向への変形を規制する変形規制部１８と、前記基板１１の主面上に設けられ、中空部を介して前記マイクロマシンを覆う封止体２１、２２と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低コストで製造でき、ＭＥＭＳ動作のためのキャビティが確実に保護されるマイクロデバイスを提供する。
【解決手段】本発明のマイクロデバイス１は、基板２と、基板２上に形成されたマイクロ電子機械システム３と、樹脂を含んで形成され、マイクロ電子機械システム３の周囲にキャビティＣを確保するようにマイクロ電子機械システム３を被覆するキャビティ確保部４と、樹脂を含んで形成され、キャビティ確保部４を被覆するように設けられた第１封止層５と、第１封止層５と異なる樹脂を含んで形成され、第１封止層５及び基板２を封止するように設けられた第２封止層６とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、一般に、光活性コーティング材料を含むコーティング材料に関する。本発明のある態様では、マイクロ流体チャネル上にコーティングとして形成することができるゾル−ゲルが提供される。ある場合には、このゾル−ゲルの１つまたは複数の部分を反応させてその疎水性を変えることができる。例えば、１組の実施形態では、ゾル−ゲルの一部を紫外線などの光に暴露することができる。この光を使用して、ゾル−ゲル中に、その疎水性を変える化学反応を引き起こすことができる。１組の実施形態では、ゾル−ゲルは、露光するとラジカルを生成する光開始剤を含むことができる。任意選択で、光開始剤は、ゾル−ゲル内のシランまたは他の材料と結合することができる。こうして生成したラジカルを用いてゾル−ゲルの表面で重合反応を引き起こし、表面の疎水性を変えることができる。
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【課題】３次元の微細構造体の製造に適した３次元の微細構造体製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の微細構造体製造方法は、平版に先端材料を塗布し、該先端材料を基体へと転写させることを特徴とする。本発明の構成によれば、平版と基体のアライメントを取ることにより、基体に対して精度良く特定位置に選択的に先端材料を転写することが出来る。また、平版に塗布する先端材料の量の多寡により、微細構造体の高さなどの形状を制御することが出来る。 （もっと読む）

自己組織化ブロック共重合体を使用して、改良された長距離秩序を有する、ポリマーマトリクスにおけるナノスケールの交互ラメラもしくは円筒のアレイを作製するための方法、ならびに、これらの方法から形成される膜およびデバイスが提供される。
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