本発明はマイクロ流体チャネルが備えられたマイクロ流体回路素子に関するものであって、マイクロ流体チャネルの両側面にマイクロ流体チャネルの中央部の高さより低い高さのナノ隙間を備えることによって、マイクロ流体チャネルの駆動力を向上させることができ、安定した流体の流れを得ることができる。
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【課題】転写成形時の欠損を抑制することが可能となる形状を有する針状体の作製方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の針状体の製造方法は、研削刃の断面形状において、先端面と側面との間に傾斜面が形成されており、尚且つ、少なくとも２種類以上の砥粒面によって構成された加工面を有する研削刃を用いることを特徴とする。本発明の製造方法を用いることで、転写成形時の欠損が発生しやすい針状体の先端領域のみ、表面粗さが極めて小さな表面形状に加工することができる。尚且つ、その他の領域は砥粒径に縛られること無く加工条件を設定することができるため、研削能力の不足によって生じる基板の破壊を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ高精度に中空ニードルを形成できる中空ニードルシートの製造方法と、当該製造方法により製造される中空ニードルシートとを提供する。
【解決手段】針状凹部１２を有するモールド１０に、ポリマーを含むポリマー溶解液２０を注型した後、ポリマー溶解液２０を乾燥させる。このとき、ポリマー溶解液２０がモールド１０の凹部壁面１４に密着した状態を維持しながら、ポリマー溶解液２０を乾燥収縮させる。これにより、中空針状凸部２４が形成されたポリマーシート２２が得られる。 （もっと読む）

【課題】低コストで製造でき、ＭＥＭＳ動作のためのキャビティが確実に保護されるマイクロデバイスを提供する。
【解決手段】本発明のマイクロデバイス１は、基板２と、基板２上に形成されたマイクロ電子機械システム３と、樹脂を含んで形成され、マイクロ電子機械システム３の周囲にキャビティＣを確保するようにマイクロ電子機械システム３を被覆するキャビティ確保部４と、樹脂を含んで形成され、キャビティ確保部４を被覆するように設けられた第１封止層５と、第１封止層５と異なる樹脂を含んで形成され、第１封止層５及び基板２を封止するように設けられた第２封止層６とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ技術あるいはＮＥＭＳ技術を用いて形成された可動構造を有する微小３次元構造体要素が膜状弾性体内へ配置された３次元構造体において、所望の位置に微小３次元構造体要素を配置することで様々な仕様に対応することができるとともに、その製造における取り扱い性を良好なものとする。
【解決手段】基板部材に固定された微小３次元構造体要素を覆うようにその内部に配置するとともに、基板部材に固定された弾性体を有する複数の３次元構造体構成用素子が、互いの基板部材を離間させて状態にて膜状弾性体内に配置させて３次元構造体を構成することにより、膜状弾性体内にて、複数の３次元構造体構成用素子を、所望の配置間隔や位置に配置することができ、様々な仕様に対応することができる。 （もっと読む）

【課題】 生体分解性樹脂を用いて、微小針の先端部に欠損のない、品質の安定した微小針を大量に製造すること。
【解決手段】まず、連子窓状の構造を持ち、微小針が水平方向に伸びている微小針デバイスを作製し、次に冶具にて該微小針の方向を９０度曲げることにより、垂直に微小針を設定する等の、微小針の２段階作製方法を提供する。これにより、微小針の先端部分に欠損が生じ難く、製品規格的に信頼性が高いものが提供できる。しかもこの方法により、これまで製造が困難であった形状の微小針を作製できる。 （もっと読む）

【課題】射出成形法で作製された樹脂製基板の接合強度を高めることが可能なマイクロチップの製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロチップは、表面に流路用溝が形成された樹脂製基板１０と、平板状の樹脂製基板２０とを備えている。樹脂製基板１０には、外周部に突起部１１が設けられている。この突起部１１は、射出成形のときに使用されたゲート中に残された成形体である。樹脂製基板２０の寸法は樹脂製基板１０の寸法よりも小さい。そして、流路用溝が形成されている表面を内側にし、突起部１１が形成されている位置から距離ｄ以内の範囲に含まれる表面を覆わないように、樹脂製基板２０を樹脂製基板１０に重ね、加熱しながら加圧することでマイクロチップを作製する。 （もっと読む）

【課題】耐圧性に優れた流体制御バルブを有するマイクロチップを提供する
【解決手段】内部に流路ＦＡが形成されたチップ本体と、流路ＦＡを開閉する流体制御バルブ４０と、を備えたマイクロチップであって、流体制御バルブ４０は、チップ本体に形成され流路ＦＡに連通する孔部４１と、孔部４１に挿入された閉塞部材４２と、孔部４１と閉塞部材４２との間に充填され閉塞部材４２を流路ＦＡ側に変位可能に支持する充填部材４３と、充填部材４３の孔部４１からの離脱を防止する離脱防止手段４４と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ミクロ流体構造体を使用して、タンパク質の結晶化のハイスループットスクリーニングを可能にすることを課題とする。
【解決手段】本発明は、上記課題を、１つの実施形態において、一体化された組み合わせ混合チップによって解決した。この混合チップにおいて、可能な結晶形成がチップ上で観察される、多数の潜在的な結晶化条件を迅速に作製するための、試薬の正確な計量供給を可能にする。代替の実施形態において、ミクロ流体構造体は、特定のタンパク質結晶化剤の組み合わせの位相空間条件を調査するために利用され得、これによって、確実な条件を同定し、そして引き続いて、結晶成長を得る集中した試みを可能にする。 （もっと読む）

【課題】接合部によって形成されるマイクロデバイスのキャビティの寸法精度を高める。
【解決手段】板状の基板１１０と、前記基板に接合されている樹脂膜１０８と無機材料からなり前記樹脂膜に被覆されているスペーサ１０６とを備える接合部１００ａと、を備える第一の一体部品を形成し、第二の一体部品である本体１２０の上下両側に前記樹脂膜１０８を熱圧着することにより、上下両側の第一の一体部品と第二の一体部材との間においてキャビティを有する第三の一体部品を形成する。第一の一体部材、第二の一体部材はそれぞれ複数個が一体に形成されており、接合後に第一の一体部材と第二の一体部材をダイ毎にダイシングする。その後個々のダイを樹脂モールド１４０で封止する。 （もっと読む）

本発明は、例えば試料流体中の目標物質を検出するための又は分子篩いのためのマイクロ流体デバイスを提供するものである。該デバイスは、第１凹部１２４が設けられた実質的に平らな第１表面を持つ第１基板１２０と、第２凹部１３０が設けられた実質的に平らな第２表面を持つ第２基板１２８とを有する。第１凹部の少なくとも幾つかは、多孔質材料１１４で満たされている。交互の第１凹部及び第２凹部は、試料流体のための蛇行チャンネルを形成する。第２凹部は他の多孔質材料により満たすことができる。一実施例において、目標物質を結合するための捕捉物質が、上記多孔質材料内に又は該多孔質材料上に配置される。
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【課題】第１及び第２の電極間で発生する電流を増幅することができるマイクロ流体装置及びマイクロ流体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロ流体装置１は、下側基板２と上側基板３との間に、流路用の貫通穴を有する樹脂モールド４とを積層して構成されている。下側基板２及び上側基板３は、樹脂モールド４との接合面側に形成された配線パターン１１Ａ，１１Ｂと、それら配線パターン１１Ａ，１１Ｂにそれぞれ接続され、他の基板側に向かうように設けられた複数のカソード電極１２０及びアノード電極１２１とをそれぞれ有する。 （もっと読む）

【課題】均一で微細な先端を持つ高アスペクト比構造を有し、欠陥の少ないアレイ状に形成された高アスペクト比構造を有する機能性膜の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】微細な凹部アレイが形成されたスタンパー１３に、ポリマー樹脂の溶解液１６を塗布する塗布工程と、ポリマー樹脂の溶解液１６の表面に基材２０を重ね合わせて接着する接着工程と、ポリマー樹脂の溶解液１６を乾燥する乾燥工程と、乾燥工程により乾燥し固化した樹脂ポリマーを、基材２０と一緒にスタンパー１３より剥離する剥離工程と、を有する、機能製膜を製造する方法において、接着工程は、基材２０のポリマー樹脂の溶解液１６との接着面側にゲル化材料２３を塗布し、ポリマー樹脂の溶解液１６と該ゲル化材料２３とで混合層２４を形成させることを特徴とする機能性膜の製造方法である。 （もっと読む）

本発明は、ベースプレート１、１１の第１のレベルから抜け出ることにより、マイクロ流体システムを含むベースプレート１、１１の第１のレベルに位置するチャネル４ａ、４ｂをベースプレート１、１１の第２のレベルに接続させ、チャネルピラー（複数可）２ａ、２ｂおよびチャネルブリッジ３を有する、レベルシフトを伴うマイク流体チャネル６の実装方法に関する。角のない長手方向のホローが、ベースプレート１、１１の第１のレベルから抜け出るチャネルピラー２ａ、２ｂとして作製され、その後、チャネルブリッジ３を形成するために、１つのホローが、ベースプレート１、１１内に、ベースプレート１、１１の第２のレベルまで延在するチャネルピラー２ａ、２ｂの端部のところにスライシングにより作製され、チャネルピラー２ａ、２ｂ区間に作製されるオリフィスに合わせ込む断面を有する除去可能な材料のパターニングプロフィルピースが、スライシングされたチャネルピラー２ａ、２ｂのオリフィスに挿入され、その後、ホロー内で材料のない状態として残ったベースプレート１、１１部分がパターニングプロフィルピースおよびチャネルピラー（２ａ、２ｂ）の周囲部分において、ベースプレート１、１１に合わせ込むのに適した充填材料７で充填され、その後、充填材料７を固体化させるのに必要な処置が実施され、その後、パターニングプロフィルピースが化学プロセスまたは物理プロセスによって除去される。
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【課題】インクジェット法により簡潔に鋳型を作製し、鋳造によりマイクロ部品を容易に製造するマイクロ部品の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ部品の製造方法は、微小のセラミック粒子３１からなるスラリー３０を噴射するノズル２４を走査しながら、基板１３にスラリー３０を噴射し、予め定めたパターンの粒子層１２ａを基板１３に形成し、粒子層１２ａに順次予め定めたパターンの粒子層を積層してマイクロ鋳型１９を作製し、マイクロ鋳型１９によりマイクロ部品を鋳造することとした。 （もっと読む）

本発明では、ウェハ結合体において、すなわちウェハ上に配置された多数のチップに対して並列に、可能な限り多数の製造工程を実施できるチップの製造方法を提案する。本発明は、基板（１）の表面層（２）から機能が実現される複数のチップの製造方法に関する。本製造方法では、表面層（２）をパターニングし、少なくとも１つの空洞（３）を該表面層（２）の下方に形成し、個々のチップ領域（５）が懸架ウェブを介してのみ相互間および／または他の基板（１）に接続され、かつ／または、個々のチップ領域（５）が、該空洞（３）の領域に設けられた支持エレメント（７）を介して該空洞（３）の下方の基板層（４）に接続される。チップ分離時に、前記懸架ウェブおよび／または支持エレメント（７）を分断する。本発明では、パターニングされ下方に空洞を有する基板（１）の表面層（２）をチップ分離前にプラスチック材料（１０）に埋め込む。
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【課題】エラストマーバルブの構造体製造方法を提供する。
【解決手段】微細製作モールドの頂部上で第一エラストマー層を形成する工程であって、該微細製作モールドが、該第一エラストマー層２０の底部表面に沿って延びる第一凹部を形成する第一隆起突出部を有する、工程；第二エラストマー層２２を微細製作モールドの頂部上に形成する工程であって、該微細製作モールドが、該第二エラストマー層２２の底部表面に沿って延びる、第二凹部を形成する第二隆起突出部を有する工程；該第二エラストマー層２２の底部表面を、該第一エラストマー層２２の頂部表面上へ結合し、その結果、制御チャネルが、該第一および第二エラストマー層２０の間の第二凹部中に形成される工程；および平坦基板の頂部上の該第一エラストマー層を位置決めし、その結果、フローチャネル３２が該第一エラストマー層２２と該平坦基板との間の該第一凹部中に形成される工程、を包む。 （もっと読む）

【課題】簡便な工程で、所望の長さを有し、先端が先鋭であり、側壁状態を制御可能な微細な針状体の製造方法を提供する。
【解決手段】（１）少なくとも二種類のエッチング特性の異なる材質の材料で構成された加工基板を作成する工程と、（２）前記加工基板を、均等に針状に加工して針状準備体を作成する工程と、（３）前記針状準備体を、選択的にエッチング加工して針状体を作成する工程とを備えた針状体の作製方法。また上記方法で作製した針状体を母型として複製版を作製し、これを用いて転写加工成形を行う。 （もっと読む）

【課題】薄型化が可能かつ小さい力で作動し、しかもシリコン基板プロセスに比べて比較的製作が容易なエラストマバルブ構造及びそれを用いたポンピングシステムを提供する。
【解決手段】エラストマブロック内に第一フローチャネル３０と直交して積層された第二フローチャネル３２を形成する。第一フローチャネル３０の頂部を形成する膜２５は二つのフローチャネルを分離し、第一フローチャネル３０の頂部であると同時に第二フローチャネル３２の底部を形成している。第二フローチャネル３２の圧力を変動させることにより膜２５は下方への撓みと復帰を繰り返し、それにより第一フローチャネル３０は線形動作のバルブ動作システムを構成することになる。 （もっと読む）

【課題】性能の向上したアクチュエータを提供する。
【解決手段】アスペクト比が10⁴以上のカーボンナノチューブおよびイオン液体から構成
される導電性薄膜；長さが50μm以上のカーボンナノチューブおよびイオン液体から構成
される導電性薄膜。 （もっと読む）