【課題】性能の向上したアクチュエータを提供する。
【解決手段】以下の工程を含むことを特徴とするアクチュエータ素子の製造方法
工程１：カーボンナノチューブ、およびイオン液体、ポリマー、溶媒を含む分散液を低速ボールミル法と高速ボールミル法をこの順に行なうことからなる２段階ボールミル法により調製する工程；
工程２：ポリマーおよび溶媒、必要に応じてさらにイオン液体を含む溶液を調製する工程；
工程３：工程１の分散液を用いる導電性薄膜の形成と工程２の溶液を用いるイオン伝導層の形成を同時にあるいは順次行い、導電性薄膜層とイオン伝導層の積層体を形成する工程（ここで、導電性薄膜層とイオン伝導層の形成は、塗布、印刷、押し出し、キャスト、または、射出により行う。） （もっと読む）

【課題】複雑な製造工程や特殊な製造装置を利用することなく、先端角およびその高さを容易に制御可能なニードルの製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に厚み分布をもつ島状のエッチングマスクを形成する工程と、前記エッチングマスクと基板とのエッチングレートの差を利用して前記基板を針状に加工する工程とを含むことを特徴とするマイクロニードルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】容易に作製することができ、小型化しても駆動が容易である、マイクロ・ナノ構造体を提供する。
【解決手段】マイクロ・ナノ構造体１０は、ベース部材１２と、ベース部材１２の主面１２ａに立設された複数の突起１４とを備える。突起１４は、基材部と、磁性材料を含む磁性部とを含み、外部磁場によって少なくとも基材部が弾性変形する。例えば、弾性材料の基材中に磁性粒子１５が分散されている突起１４の場合、突起１４は磁力線の方向１６に沿って湾曲する。 （もっと読む）

マイクロ流体デバイス(10)は、互いに結合された第１と第２のガラス基板(12、42)を含む。第１のガラス基板(12)は、第１及び第２の対向面(14、16)を有する。第１の対向面(14)にダイポケット(18)が形成され、ダイポケット(18)から第２の対向面(16)まで貫通スロット(22)が延在する。第２のガラス基板(42)は、第１のガラス基板(12)の第２の対向面(16)に結合され、それにより第２のガラス基板(42)に形成されたチャネル(48)の出口（Ｏ_２）が、貫通スロット(22)と実質的に位置が合う。第２のガラス基板(42)のチャネル(48)は、出口（Ｏ_２）より大きい入口（Ｉ_２）を有する。 （もっと読む）

【課題】流路の内面に機能性膜を形成するとともに、樹脂製のマイクロチップ基板同士を接合することが可能なマイクロチップの製造方法を提供する。
【解決手段】樹脂製のマイクロチップ基板１の表面には、表面に沿って延びる流路用溝２が形成されている。マイクロチップ基板４は平板状の基板である。マイクロチップ基板１の流路用溝２の内面以外の表面における表面粗さＲａは、表面に形成されるＳｉＯ_２膜３の膜厚Ｔ１以上となっている。流路用溝２が形成されている面を内側にしてマイクロチップ基板１、４を重ね、超音波を印加することで両基板を接合する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、μTAS（MicroTotal Analysis System）に代表されるマイクロ流体素子における流体混合操作に関して、特別な攪拌子を配置せずとも流路形状のみで効果的な混合が進むスタティックマイクロミキサーの流路構造およびその製造方法を提供する。
【解決手段】合流後の流路（主流流路 1）の左右一方の側を主流流路の底部よりさらに深く掘りこみ、下流にむけて、主流流路の左右別の側まで斜めに掘り込む流路（支流流路 ２）を適切な形状寸法で形成することによって、流路形成領域を流れる流体の流動断面が縦横に伸縮回転し重ね合わさる効果を起こさしめ、混合流路の下流に向けて、この効果を繰り返し起こさせることによって、流体要素の層間距離を縮小し混合を促進する手段をとる。図２ （もっと読む）

本発明は、マイクロ流体システムのマイクロチャネル（１６）の壁（１５）の内側表面（１４）に第１の場所で位置する複数の線毛アクチュエータ要素（１０）を有するマイクロ流体システムを提供する。マイクロ流体システムは、更に、マイクロチャネル（１６）の中心線に関して第１の場所の実質的に反対の第２の場所でマイクロチャネル（１６）の壁（１５）に組み込まれた、少なくとも１つの導線（１７）によって形成される磁場発生器を有する。本発明は、また、このようなマイクロ流体システムを製造するための方法と、このようなマイクロ流体システムのマイクロチャネル（１６）を通じる流体流れを制御する方法とを提供する。 （もっと読む）

【課題】半導体チップの上方露出面の電気的接続部だけを樹脂封止し、センサーやＭＥＭＳが形成された上方露出面を機能的に損傷させずに液状の封止樹脂が流出しないような手段を提供する。
【解決手段】センサーチップ２の表面２ａと僅少な隙間を有してダム梁５を配置し、ダム梁５から電極２ｂ形成領域２ｃ側を封止樹脂７ａで封止し封止部７を形成する。この隙間は、封止部７の形成時に、その封止用液状樹脂が隙間内に流れ込む寸法であるとともに、ダム梁５とセンサーチップの表面２ａとの表面張力によりダム梁５より先方へはみ出さない寸法に設定されている。このため、センサーチップ２を損傷することがなく、小型化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】マイクロ流体の微小流路を形成するための微小流路形成型を簡単に得る製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、マイクロ流体の微小流路を形成するための微小流路形成型を用いて簡単にマイクロ流体デバイスを製造する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のマイクロ流体の微小流路形成型の製造方法は、樹脂材料２０を平板１０上に吐出し、当該樹脂材料２０を固化して、平板１０上に断面凸状の鋳型２０ｂを形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来のバイオチップ内で使用される磁気ツールは金属製であり、機械加工の限界より精密形状のマイクロ磁気ツールの作成は困難であり、また磁気ツールに柔軟性をもたせることは困難であった。
【解決手段】本発明は硬化性樹脂と磁性微粒子を混合し、リソグラフィー技術で微細加工された型に流して固めることにより、多様な形状をマイクロスケールで量産することが可能になった。この技術により磁気駆動の回転子、併進運動を行うバルブ、細胞などの微粒子の送り出し機構など多岐な形状・機能を持つマイクロスケールの磁気ツールやマイクロ磁気アクチュエーターが製作可能になる。この磁気ツールは樹脂の特性、種類や混合濃度変化で柔軟性をもたせることが可能であり、硬さを変えることが可能である。また表面コーティング処理を行うことで、硬化性樹脂もしくはガラスもしくはプラスチック製流路内において、磁気ツールが流路などに付着することを防止することが可能である。 （もっと読む）

微細構造の複製成形方法であって、
該方法は、少なくとも一つの微小生体関連物質を保持するように構成される微細構造の雌型を形成し、該雌型上に流動性を有する高分子材料をキャスティングし、基材を該流動性を有する高分子材料と該雌型に当て、該流動性を有する高分子材料を雌型内および基材上で固化し、ついで基材および固化した高分子材料を雌型から切り離し、それによって、基材上に少なくとも１つの微細構造の雄型複製が残ることを含む方法。
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【課題】珪素または金属のパーツの必要性を減少させるかまたはそれらを全く要しない、複合エラストマーのユニークな特徴を利用して適合性を有ししかも堅牢な材料を要する応用を可能にするデバイスの提供。
【解決手段】第１のポリマー材料から形成された基体；該基体と集積化し第２のポリマー材料からパターン化された少なくとも１つの活性域からなり、第２のポリマー材料が改変されて該少なくとも１つの活性域内で少なくとも１つの機能を行うマイクロスケールのポリマーに基づく部材。 （もっと読む）

【課題】マイクロニードルおよびマイクロニードルの製造方法を提供する。
【解決手段】プラスチックのマイクロニードルは、大きい方の端部から先端部に向かってテーパが付いた本体部と、少なくとも１つの側部ポートと、マイクロニードルの本体部の大きい方の端部から本体部の中に延びる内腔とを備え、側部ポートと内腔が互いに流体連通するように、側部ポートが内腔の中へ延びる。 （もっと読む）

【課題】流体を流すための微小流路に相当する凹部と、流体を導入、あるいは排出するための貫通孔が１回の成形で形成され、かつ微小流路に相当する凹部と貫通孔が連通した微小流路基板の製造方法を提供する。
【解決の手段】流体を流すための微小流路及び貫通孔を備えた微小流路基板を有し、かつ前記微小流路と前記貫通孔が連通部において連通していることを特徴とする微小流路構造体を製造するための微小流路基板に貫通孔を形成するためのピンを備え前記ピンの位置及びピンの本数を任意に変更可能な金型及び、金型を用いて一回の成形により微小流路に相当する凹部及び所定の位置に貫通孔を形成する方法を用いる。 （もっと読む）

マイクロ流体装置は、多重液圧バルブ作動装置を含む。マイクロ流体装置のアクチュエータは、不揮発性で物質透過性の低い液体をもたらす制御チャネル、およびアクチュエータを収容する。アクチュエータは制御チャネルと作用し合う。制御チャネルは、流体が制御チャネルを通って移動し流体チャネルを圧縮するように、流体チャネルと作用し合う。流体チャネルを圧縮する作用が、流体チャネルを通して流体を移動させ得る。装置はまた、制御チャネルおよびアクチュエータと作用し合うピストンを含んでもよい。装置を、コンピューターシステム、制御ソフトウェア、撮像装置、インキュベーターまたは細胞操作システムに連結することができる。

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マイクロ流体構造及びその作製方法。当該構造は、効率的で再現性のある製造及び組み合せを可能にする特徴を持たないガスケット層を有する。積層方法によって、様々な素子材料の利用及び容易な組み合わせが可能となる。
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本発明は、高熱伝導率または高電気伝導率を有する熱制御スイッチである。マイクロシステム技術製造方法は、接合されたウェハ２０１、２０２のスタック内に形成された密封空洞２１３を含むスイッチには欠かせないものであり、上部ウェハ２０２は、受構造２１０に対してギャップ２１１をもって配置されるようになされた膜アセンブリ２０５を含む。熱アクチュエータ材料２１５は、相変化材料、例えば、パラフィンであることが好ましく、温度とともに体積を変化するようになされており、空洞２１３の一部を満たす。導体材料は、下部ウェハ２０１と膜アセンブリ２０５の固定部２０８との間に高伝導性トランスファ構造２１６を付与し、空洞２１３の他の部分を満たす。温度変化に際して、膜アセンブリ２０５は移動され、ギャップ２１１を埋め、低いウェハ２０１から受構造２１０に高伝導性の接触をもたらす。
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本発明は、リソグラフィ工程時に入射光の進行方向及び透過度を調節する方法で、多様な傾斜及び形状を有するポリマー又はレジストパターン及びこれを利用した金属薄膜パターン、金属パターン、ポリマーモールド並びにこれらの形成方法に関する。
本発明に係るポリマー又はレジストパターンの形成方法は、基板上に所定の形状にポリマー又はレジストパターンを形成する方法において、（ａ）前記基板上に感光性ポリマー又はレジストを塗布して、ポリマー又はレジスト膜を形成するステップと、（ｂ）前記ポリマー又はレジスト膜上にフォトマスクを位置させて、露光部分を決定するステップと、（ｃ）露光される光の経路上に光調節膜を位置させるステップと、（ｄ）前記光調節膜を調節して、前記ポリマー又はレジスト膜に照射される光の進行方向及び透過度を調節するステップと、を含むことを特徴とする。本発明に係るポリマー又はレジストパターンの形成方法によれば、多様な傾斜及び形状の３次元構造のポリマー又はレジストパターン、金属薄膜パターン、金属パターン構造、ポリマーモールドを簡便に形成できる。
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ＭＥＭＳデバイスなどのデバイスをパッケージングする方法が開示される。本発明の例示的実施形態に従ってデバイスをパッケージングする例示的方法は、中または上に設けられたデバイスを有する基板を供給するステップと、基板にキャップを取り付け、キャップの付いた基板の内部空所内にデバイスを封止するステップと、キャップの付いた基板を真空チャンバに挿入し、内部空所内に含まれるガスおよび／または汚染物質を排出するステップと、真空チャンバ内でキャップの付いた基板のまわりにパッケージを射出成形するステップとを含むことができる。キャップを通して配置されたいくつかの小さいサイズの開口を利用して、パッケージをキャップの付いた基板のまわり射出成形する前に、デバイスが真空チャンバ内にあるときデバイスの内部空所内に制御された真空圧力を生成することができる。実施形態によっては、キャップの付いた基板のまわりにパッケージを射出成形する前に、排出された内部空所に不活性ガスを注入して慣性センサ用の分圧を生成することができる。
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流体試料流を案内するマイクロ流体素子が開示されている。マイクロ流体素子は、2つの横方向に伸び、かつ垂直方向に貫通する凹部を少なくとも1つ有する底部プレート(1)、少なくとも第1貫流位置(3.1)及び第2貫流位置(3.2)を有する貫流ユニット(2)、及びプレート構造(4)を有する。底部プレート(1)の凹部(1.1)に対する貫流ユニット(2)の配置は、この配置の一の面から第1貫流位置(3.1)及び第2貫流位置(3.2)を介して反対の面へ、流体流が垂直に流れることができるような配置である。さらにプレート構造(4)と貫流ユニット(2)との相対的な配置は、流体が第1貫流位置(3.1)から第2貫流位置(3.2)への横方向に流れることができるようにチャネル間接続用空洞が形成されるような配置である。
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