【課題】大面積で薄いシート状電子部品を、撓みや折り目を生じさせずに高い品質で収納が可能な収納方法とそれに用いる収納用治具を提供することを目的とする。
【解決手段】シート状電子部品１を枠体に固定して、略垂直に収納する収納方法であって、真空吸着部３を有する第一の枠体２でシート状電子部品１を吸着保持する第一の工程と、凸部６を有する第二の枠体５上に、前記第一の枠体２を重ね合わせるとともに、前記凸部６で前記シート状電子部品１を突き刺して固定する第二の工程と、前記第一の枠体２の真空を解除した後、前記第一の枠体２を離して前記シート状電子部品１を移し替える第三の工程とからなる。 （もっと読む）

【課題】フォトマスク基板にパーティクルが付着する危険性を低減することができるとともに、小型化を図ることの可能なマスクケースの提供を目的とする。
【解決手段】マスクケース１は、フォトマスク基板１０を支持する支持用保持手段４と、フォトマスク基板１０と線接触して位置決めする、厚さ方向位置決め用保持手段５及びサイド方向位置決め用保持手段６と、これらが設けられた基部２と、この基部２に着脱自在に取り付けられ、フォトマスク基板１０を覆う蓋部３とを備えた構成としてある。 （もっと読む）

【課題】光学デバイスに汚れなどが付着するのを防ぐとともに、作業性の向上した光学デバイスの梱包構造を提供する。
【解決手段】光学デバイスの梱包構造は、シート基材２１の一方の面に粘着層２２が形成された第１の粘着シート２と、シート基材３１の一方の面に粘着層３２が形成された第２の粘着シート３との間に、マトリックス状に整列された多数のローパスフィルタ１が貼着されて、挟持されている。そして、第１の粘着シート２の粘着層２２および第２の粘着シート３の粘着層３２が、紫外線照射また加熱することによって粘着力が低下する粘着層からなり、ローパスフィルタ１の有効領域外に配設され、且つ第１の粘着シート２の粘着層２２と第２の粘着シート３の粘着層３２との粘着力が異なる。 （もっと読む）

【課題】２枚のプレートによって多くのレンズを一度に保持可能とし、且つ全てのレンズが正常な位置以外の位置で挟み込まれることのないパレット装置を提供する。
【解決手段】同一形状をした複数の部品を面内方向でそれぞれ位置決めして支持する部品受け部１６と、前記複数の部品の底面をそれぞれ露出させる複数の開口１４とが形成されたベースプレート１０に、ボルト３０が上方に突出するように固定される。ベースプレートとの間に前記複数の部品を挟持するようにカバープレート２０がベースプレート１０に被せられる。カバープレート２０には前記複数の部品の上面をそれぞれ露出させる複数の開口２４が形成されるとともに、ボルト３０を貫通させるボルト挿通穴２２が形成される。ナット６０に形成された先細のテーパ面が、カバープレート２０をベースプレート１０に締め付ける過程で、ボルト挿通穴２２の開口縁の全周に摺接して調芯を行う。 （もっと読む）

【課題】シリコンウエハーや磁気ディスク等の薄板の表面汚染を低減できる収納搬送容器に好適なポリカーボネート樹脂材料を提供する。
【解決手段】ポリカーボネート樹脂ペレットを製造する方法において、二軸押出機としてベントの上流側に少なくとも１つの水注入部を有する二軸押出機を用い、水注入部から水を注入すると共にベントの真空度を６．７ｋＰａ以下に調整し、且つ、水注入部直下の混練部のスクリュー構成を、上流側からシールリング、直交ニーディングディスクまたは順送りニーディングディスク、逆送りニーディングディスク、シールリングの順の構成とし、混練部の各スクリューエレメントの長さを０．２５Ｄ〜１．０Ｄの範囲とし、混練部のＬ_２／Ｄを１〜４の範囲とすることを特徴とするポリカーボネート樹脂ペレットの製造方法およびポリカーボネート樹脂ペレットから形成されるシリコンウエハーまたは磁気ディスクの収納搬送容器。 （もっと読む）

【課題】外部からの衝撃などにより損傷を受け易い基板類の移において、精密加工を施した有効部位が非接触となる構造の配列トレイと、緩衝特性に優れたフィルムを用いた緩衝ガイドとからなる包装体を用いて基板類の外周部を固定して外箱に収納することで有効部位の摩擦防止や衝撃吸収が図れ、作業効率の改善やフィルムの透明性から目視による品質管理が実施でき、さらに再利用も可能な緩衝包装体とその梱包方法を提供する。
【解決手段】包装する基板類５１を、支持溝部２１ａを配置した配列トレイ２１に収納し、緩衝フィルム１２の膜面圧効果を原理とした緩衝ガイド１１との組み合わせにより、基板類の有効部位の保護と衝撃吸収が可能な構成で、作業効率の改善と品質管理にも有効であることを特徴とする緩衝包装体及びそれを用いた梱包方法。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、電子製品、精密機器、回路基盤、各種画像表示機器用のガラス基板等の被包装体の表面保護、破損防止、塵や埃の付着防止、帯電防止剤の移行付着防止に加え、回路などへの悪影響が懸念されるナトリウムイオンの被包装体への移行やナトリウムイオンによる空気の汚染等による不具合の発生を防止可能なポリオレフィン系樹脂発泡体を提供することを技術課題とするものである。
【解決手段】 本発明のポリオレフィン系樹脂発泡体は、厚み０．２〜５ｍｍ、見掛け密度０．０１５〜０．５ｇ／ｃｍ^３のポリオレフィン系樹脂発泡体であって、帯電防止剤の配合量が１０〜３０重量％、エタノールを用いた超音波洗浄後の表面抵抗率が１×１０^８〜１×１０^１４Ω、ナトリウムイオンの抽出量が２０ｎｇ／ｃｍ^２以下（但し、試料１〜２ｇを純水１０ｍｌ中で８５℃、１時間放置後の抽出量である。）であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多段に積み重ねたトレー本体を分離する際、下段側のトレー本体に収納した被収納部品が上段側のトレー本体の貼り付くことなく確実に分離できるようにする。
【解決手段】レンズユニット５０を組み込んだトレー本体１を多段に積み重ねた際、下段側のレンズユニット５０の表面が上段側のトレー本体１に形成する収納凹部５と当接するが、レンズユニット５０と収納凹部５との間には収納凹部５の底部裏面に形成する凹状の段部７により空隙部８が形成され、この空隙部８を通ってレンズユニット５０のレンズ５０Ａと収納凹部５の空間部Ｓ１の空気が抜け、空間部Ｓ１内が負圧とならない。これにより、レンズユニット５０が上段側のトレー本体１の裏面側に貼り付くことはない。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ等を収納する容器等の材料である高分子材料の導電性を向上させ、容器の帯電防止や塵埃付着防止をはかること。
【解決手段】高分子材料にカーボンナノチューブ等の導電性ナノチューブを含有させる。射出成形により作製する容器において、容器を構成する高分子材料は、ゲートと容器の端までの長さLと容器の代表厚みｔとの比L/tが増加すると、あるいは、シート状製品の場合には、圧延・延伸前後のシート厚さの比t₁/t₀が減少すると、導電率が増加する傾向にある。特にL/t比が50以上、またはt₁/t₀比が0.7以下において、顕著である。この理由は、高分子材料のマトリックス中に導電性ナノチューブがその長手方向に配向するためである。本発明を用いて成形した半導体ウエハなどの容器は、帯電しないので塵埃付着などがなく、半導体の超微細加工プロセスに適用できる。 （もっと読む）

【課題】特性のよい半導体デバイスの製造が可能なＧａＮ基板の保存方法、保存された基板ならびに半導体デバイスおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＧａＮ基板１を酸素濃度が１８体積％および／または水蒸気濃度が１２ｇ／ｍ³以下の雰囲気下で保存する。ＧａＮ基板の第１の主面の表面粗さＲａを２０ｎｍ以下、第２の主面の表面粗さＲａを２０μｍ以下とする。また、ＧａＮ基板の主面と（０００１）面とのなすオフ角が、＜１−１００＞方向に０．０５°以上２°以下であり、＜１１−２０＞方向に０°以上１°以下とする。 （もっと読む）

本発明によれば、輸送ボックス（１）は、インターフェース（２）に接続することができ、かつ基板（４）を中に配置することができるバスケット（３）を収容することができる。このバスケット（３）は、交互に積み重ねられかつ個々に交換可能な１セットのプレート（３ａ〜３ｆ）からなる。このバスケット（３）は、インターフェース（２）の内部に完全に移動させられ、次いで移動手段が選択されたプレートを、隣接するプレートを移動させることによって分離させ、ロボット（５）が来てこの選択された基板を抽出するのを可能にする。輸送位置にあるとき、このプレート（３ａ〜３ｆ）は互いに接触しており、したがって、基板（４）によって占められる空間の量を減少させる。
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【課題】ガラス基板の保護性に優れ、且つガラス基板を効率良く収納し得るガラス基板搬送用ボックスを提供すること。
【解決手段】ガラス基板αを収容するボックス本体２と、蓋体５０とからなり、前記ボックス本体２は、ボックス本体部１０と、ガラス基板当接部３０と、ガラス基板当接仕切部４０とからなり、前記ボックス本体部と蓋体は見掛け密度が６７ｋｇ／ｍ³ の発泡体で形成されていると共に、前記ボックス本体部は、短辺寸法と長辺寸法との比が１対１．７８の底板部１１と、側壁部１２とからなり、前記ガラス基板当接部とガラス基板当接仕切部は見掛け密度が３１ｋｇ／ｍ³ の発泡体で形成され、且つボックス本体２の四隅近傍において前記ガラス基板当接部及び／又はガラス基板当接仕切部は収納するガラス基板の角部を構成する二面のうち少なくとも一方の面には接しないように設けられているガラス基板搬送用ボックスとした。 （もっと読む）

【課題】ガラス板配列方向の梱包用スペーサ相互の構成が適正になり得るように、各梱包用スペーサに改良を加えることで、ガラス板の梱包作業時におけるガラス板と梱包用スペーサとの相対的な位置ズレを防止すると共に、梱包体の部品点数の削減並びにガラス板の梱包作業における作業能率の改善を図る。
【解決手段】複数枚のガラス板を一方向に並列に配列した状態で梱包する際に、各ガラス板の相互間に配設されると共に、各ガラス板の周縁部のみを支持するガラス板の梱包用スペーサ１であって、表面側にアリ溝で構成された嵌合凹部２を形成し、裏面側に嵌合凹部２に嵌合可能な形状をなす嵌合凸部３を形成した。 （もっと読む）

【課題】基板収納箱の製造コストを低減することができ、しかも基板収納箱における基板の収納位置を、高い精度で位置決めすることができる基板収納箱の位置決めシステムを提供することである。
【解決手段】基板収納箱２は、ガラス基板が収納される収納空間７が形成される箱本体８と、前記収納空間７に収納されるガラス基板を保持する保持体９とを有する。保持体９は、箱本体８よりも剛性が高い。第１位置決め装置５は、第１〜第４保持体押圧片３１，３２，３３，３４を有する。第１位置決め装置５は、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４を保持体９に当接させて、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４によって保持体９を押圧することによって、保持体９を位置決めする。このように保持体９が位置決めされることによって、基板収納箱２におけるガラス基板の収納位置が位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】輸送用のパレットに積載する包装体の数を増やすことが出来、海外への輸出の如く長距離の輸送に対する強度を有し、包装体の取り出しが容易で、且つ包装体の収納が容易なガラス乾板包装体用外箱の提供。
【解決手段】少なくとも一枚のハロゲン化銀写真ガラス乾板を収納容器１ｄに納めたハロゲン化銀写真ガラス乾板包装体を、立てた状態で収納及び取り出しを行う矩形筒状の胴体１ａを有するハロゲン化銀写真ガラス乾板包装体用外箱１において、ハロゲン化銀写真ガラス乾板包装体の収納及び取り出しを、胴体１ａの側面から行うことが可能であるハロゲン化銀写真ガラス乾板包装体用外箱１。 （もっと読む）

【課題】 様々な形状の基板に応じて基板の下方を支持して収納することのできる基板収納キャリアを提供すること。
【解決手段】 支持部材５を配設する部位が係合溝３の溝形成方向において変更可能とした。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて簡易に、真空処理装置で真空処理した基板を大気に晒すことなくその測定を行うことを可能とし、従来に比べて作業効率の向上を図ることのできる基板収容ケース及び基板真空処理システムを提供する。
【解決手段】真空処理装置の真空搬送チャンバ１０から半導体ウエハＷを取り出し可能とする基板収容ケース３０であって、内部を気密に閉塞可能に構成された基板収容部３１と、 半導体ウエハＷの搬入出用の開口部３２と、開口部３２を気密に閉塞可能とされた開閉機構３３と、真空搬送チャンバ１０に脱着するための脱着機構としてのねじ３７等と、開閉機構３３と真空搬送チャンバ１０との間に開口し、これらの間を真空及び大気圧に設定可能とする通気ポート３９とを具備している。 （もっと読む）

【課題】塵埃や振動の影響を受けて損傷してしまうこと無く基板を基板収納容器から搬入出可能な基板搬入出装置及び基板の搬入出方法に提供する。
【解決手段】基板搬入出装置１は、間隔を有して設けられた複数の支持ワイヤ４で構成された棚５が上下方向に複数設けられた基板収納容器２と、搬入出方向Ｘに基板Ｗを進退させることが可能な搬送手段１０と、搬送手段１０を基板収納容器２に対して相対的に昇降させることが可能な昇降手段６と、基板収納容器２の棚５の支持ワイヤ４の間で、上下方向に進退可能に設けられ、搬送手段１０によって棚５の上方に搬送された基板Ｗを搬送手段１０から持ち上げることが可能な基板支持手段２０とを備えている。搬送手段１０は、基板Ｗを載置可能な搬送部材１１と、搬送部材１１を搬入出方向Ｘに進退可能に支持する支持部１２、１３と、搬送部材１１を搬入出方向Ｘに進退させる駆動部１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴ基板やＣＦ基板等の導電部が形成されているガラス基板の搬送および保管中に、ガラス基板の導電部に錆が発生するのを抑制すると共に、各ガラス基板相互の相対移動や異物によるガラス基板の傷の発生等をも効果的に抑制できる梱包ユニットを提供する。
【解決手段】外包囲材１１内に、導電部が形成されている複数枚のガラス基板２０を、該ガラス基板２０の相互間に保護シート材１２を介在して積み重ねて収容し、前記外包囲材１１内に脱酸素剤１３を入れて真空パッキングしてガラス基板包装体３０とする。それをガラス基板用箱体内に収容して梱包ユニットＡとする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、厚みが薄く、軽量なものでありながらコシが強く、表面保護性に優れた発泡シートからなるガラス基板間に介装される間紙を提供することを目的とする。
【解決手段】 厚みが０．３〜１．５ｍｍ、見掛け密度が１８〜１８０ｇ／Ｌのポリオレフィン系樹脂押出発泡シートからなり、該発泡シートには高分子型帯電防止剤がポリオレフィン系樹脂１００重量部に対して５〜３０重量部の割合で添加されており、該発泡シートの基材樹脂は、溶融張力が３〜４０ｃＮであると共にメルトマスフローレイトが０．２〜１０ｇ／１０分であり、該発泡シートは、厚み方向の気泡数が４〜１０個／ｍｍ、気泡扁平率が０．１〜０．６、表面の中心線平均粗さが２５μｍ以下、且つエタノールを用いた超音波洗浄後の表面抵抗率が１×１０^８〜１×１０^１４（Ω）であるガラス基板用間紙。 （もっと読む）