【課題】環境に配慮してガラス基板間での紙の使用を廃止しかつ効率良くガラス基板を搬送できるガラス基板搬送用梱包構造を提供する。
【解決手段】ガラス基板搬送用梱包構造１は、ベース部材１０と、ベース部材１０上に立設された支持部材２０と、支持部材２０に支持されるガラス基板積層体３０と、ガラス基板積層体３０を支持部材２０に対して固定する固定部材５０とを備えている。ガラス基板積層体３０では、隣接するガラス基板３１同士間に水溶性のパウダー３２を介在させている。これにより、従来のような合紙や保護紙の使用を廃止することができ、環境悪化を防ぐと共にガラス基板３１の搬送コストを低減できる。また、各ガラス基板３１同士間の間隔を小さくできるので、ベース部材１０にガラス基板３１を載置できる枚数が増えて搬送効率を向上できる。 （もっと読む）

【課題】
容器本体内などに乾燥剤を収納した場合でも、乾燥剤の落下に起因した基板の損傷が生じない基板搬送用容器を提供する。
【解決手段】
略矩形平板状のガラス基板が、少なくとも前記容器本体内の底壁および一対の側壁からなる３辺に所定間隔離間して形成された基板係止溝に係止された状態で搬送される基板搬送用容器であって、
容器本体４の底面に配置される内側断熱板２０には、厚さ方向に凹所２０ｄが形成され、かつ前記内側断熱板２０の上部に着脱自在に配置されるシート部材１８に、前記凹所２０ｄに連通するスリット２３が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
主要部分が発泡合成樹脂から形成された基板搬送用容器の内壁構造であって、容器本体に対するガラス基板の装着および取出しが容易であるとともに、搬送中の基板の不用意な上下方向への移動を防止し、かつ、基板の欠けや割れなどを生じさせる虞の少ない基板搬送用容器を提供する。
【解決手段】
基板搬送用容器の前記容器本体が、断熱材による二重壁を構成するように、予め別体で形成された発泡合成樹脂製の内側断熱板１２，１２が発泡合成樹脂からなる外容器本体５０の内側に着脱自在に配置されているとともに、これら内側断熱板１２，１２のさらに内方に、予め別体で形成された樹脂製のシート部材１６，１６が着脱自在に装着され、内側断熱材１６は、容器本体４の開口部に臨む位置から内方に向かう程、肉の厚さが漸次薄くなるように勾配が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板を保存する複数のラックを有し、コンベヤーを用いてラックの中の１つを任意に取り出せるカセット。
【解決手段】各カセットラック３０で複数のローラーを用いて基板をカセット１０の中に搬入し、またはカセット１０から基板を搬出する作業を行う。２列の連動するギアは、ローラーを同じ方向の同じ速度で回転させるのに用いられる。また、これらのローラーは、各ラック３０の中の基板を支持する機械の支持物として用いられる。搬送台８０は複数のローラーと２列の連動するギアを含み、この搬送台８０は、コンベヤーとして用いられ、カセットラック３０、搬送台８０の上のギアが同じようにカセット台のギアに接合した後、搬送台８０によって基板の搬送または搬出を行う。 （もっと読む）

大型のディスプレイ基板を輸送するのに使用される再使用可能な高密度梱包システムは３つの主要な部品：パレットフレーム；カバー；拘束手段、から構成される。拘束手段は、カバー内且つパレットフレーム上にガラスシートを確実に保持する。拘束手段は、ガラスシートの前部の方へあるいはそこから離れる方へ移動する１つ以上の保持バーと機械システムを含む。機械システムは、押圧パネル、ベルト装置、はさみ状機構、位置決め装置、すなわちガラスシートの前部の方へあるいは離れる方へ移動可能な保持バー引っ張り装置の使用を含んでもよい。各実施形態は、１枚からＮ枚のガラスシートを、手動あるいは自動運転で、柔軟に且つ安定して梱包することができる。
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【課題】 ガラス基板等の板状体のコーナー部のみならずその側縁の中間部或いは中央部周辺に対しても確実な保持を行うことが可能な梱包体および梱包材を提供し、輸送中における板状体の振動等を可及的に抑止する。
【解決手段】 縦面パッド部2aa(2ba)と横面パッド部2ab(2bb)とを断面略Ｌ字型に形成してなる四個の梱包材2a,2a,2b,2bを備え、これらの内壁にそれぞれ並設された複数本の保持溝4,8に、略直立に並列配置された複数枚の板状体Ｇの各角部を挿入し、これらの外壁にそれぞれ保持溝4,8と平行に形成されたバンド装着用溝5,9に、結束バンド３を巻回装着した梱包体１において、梱包材2a,2a,2b,2bの外壁に、板状体Ｇの側縁の中央部寄り位置に対応する部位が相対的に外方に突出する傾斜状底面5a,5b,9a,9bを有するバンド装着用溝5,9を形成する。 （もっと読む）

【課題】 例え蓋体の押圧力や容器本体の固定力を小さくしても、容器本体の変形、基板の位置ずれや傾斜、基板の汚染のおそれ等を抑制でき、しかも、容器本体を蓋体で有効に閉鎖できる基板収納容器の蓋体開閉方法を提供する。
【解決手段】 蓋体開閉装置により容器本体２０の開口したリム部２４を蓋体３０で閉鎖して施錠する基板収納容器の蓋体開閉方法であって、容器本体２０の開口したリム部２４に蓋体３０を予め設定された押圧力で対向させ、容器本体２０に収納された半導体ウェーハＷの前部周縁に蓋体３０のフロントリテーナ３３を接近させた状態で停止させ、施錠機構４０の回転体４２の操作を開始して容器本体２０の係止穴４１に蓋体３０の係止爪４７を嵌合するとともに、回転体４２の操作の継続により係止穴４１と係止爪４７との嵌合部Ｅを起点としてリム部２４に蓋体３０を嵌入し、半導体ウェーハＷの前部周縁を蓋体３０のフロントリテーナ３３に保持させ、リム部２４を蓋体３０によりシール状態に閉鎖する。 （もっと読む）

【課題】 アウトガスがより少なく、静電気によるパーティクルの付着がより少ない、精密部材収納容器を提供する。
【解決手段】 熱可塑性樹脂１００質量部に対して、導電性化合物を１〜１０質量部含有した導電性樹脂からなり、前記導電性樹脂は、８０℃にて６０分放置した時に熱脱離する揮発性有機ガスの総発生ガス量が０．３ｐｐｍ以下であり、表面抵抗値が１０³〜１０⁸Ωであることを特徴とする。熱可塑性樹脂が粘度平均分子量１００００〜３００００のポリカーボネート樹脂であり、導電性化合物がＤＢＰ吸油量が３００ｃｍ³／１００ｇ以上、ＢＥＴ比表面積が５００ｍ²／ｇ以上の導電性カーボンブラックであること、前記ポリカーボネート樹脂は、ペレット２ｇを１００ｍｌの超純水に入れ、５０℃で３時間加熱した時に溶出するイオンの溶出液濃度の総量が８ｐｐｂ以下であること、また、前記ポリカーボネート樹脂は、安定剤及び離型剤の添加量がが５００ｐｐｍ以下であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】工程間に発生するプリント回路板の仕掛りを減少させ、またこの仕掛りをストックするスペースを節約し、その出し入れを容易にする。
【解決手段】 回路板を１枚ずつ収容するプリント回路板収容バッグ１であって、その閉状態において収容された回路板の表面及び裏面に各々対向する前面部１１及び後面部１２と、前面部１１及び後面部１２を連結する連結部１３〜１５とを備え、連結された前面部１１と後面部１２とがこれら連結部１３〜１５において曲折することによりバッグ１が開閉するバッグ１を使用して回路板を工程間で運搬し、各工程において、収容バッグ１が載置される傾斜した載置面とその下端に設けられるバッグ止め部材とを備え、載置面上に立てて載置したバッグ１を、載置面の下端に片寄せて収納する収納棚を用いて、回路板をストックする。 （もっと読む）

【課題】 板ガラスや液晶表示装置等に用いるカラーフィルター基板を傷、破損から守り、保管、輸送にガラス基板輸送用輸送体を提供する。
【解決手段】複数基板を積み重ねて構成した積重体を収納するための収納容器であって、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、該支持台に載置された積重体の上面に向かい合うように、前記支持台に連結して設けられる荷重支持板と、前記荷重支持板と前記積重体との間に配置され、前記荷重支持板に支えられて前記積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させるエアバッグと、前記エアバッグ内の圧力を調節する調圧手段を有することを特徴とする基板収納容器。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクの搬送、保管に使用されるフォトマスクケース起因によるフォトマスクの曇りを確実に防止するフォトマスクケースを提供する。
【解決手段】工程内のフォトマスクの搬送、保管用ケース及びフォトマスクのシッピング用ケースなどフォトマスクを搬送、保管するためのフォトマスケースであって、フォトマスクケースの内壁部にガスバリア層を設けており、前記ガスバリア層が酸化ケイ素膜もしくは酸化ケイ素膜と導電薄膜とからなるフォトマスクケース。 （もっと読む）

【課題】液晶基板のような基板あるいは基板材料を安全に搬送するための搬送用容器の底上げ装置を提供する。
【解決手段】発泡樹脂製の容器本体部内に収納されて、容器本体部内の収納深さを調製すると共に、容器本体内の対峙する壁面に僅かな空隙を形成して配置される面壁面基板支持用樹脂シートと共同して、容器本体部に収納される基板を保持する保持溝３６が表面に形成されている発泡樹脂製の板状体であり、さらに、好適には、発泡樹脂製の板状体３０と、発泡樹脂製の板状体の表面の形状と略同一の形状に賦形された底部基板支持用樹脂シート２８とからなり、板状体の表面に僅かな空隙して底部基板支持用樹脂シートが配置されてなる。
【効果】液晶基材などを安定した状態で搬送することができ、また、この底上げ部材は、容器の側面に配置される面壁面基板支持用樹脂シートの倒れ込防止部材としても機能する。 （もっと読む）

【課題】少なくとも基板と接触する箇所の部材が、表面抵抗率１０^６〜１０^１４Ω／□の範囲内の所望の値に安定的に制御され、場所による表面抵抗率のバラツキが小さく、帯電防止性及び耐摩擦磨耗性に優れた樹脂部材によって形成された基板用カセットを提供する。
【解決手段】少なくとも基板と接触する箇所の部材が、合成樹脂３０〜９４重量％、１０^２〜１０^１０Ω・ｃｍの体積抵抗率を有する炭素前駆体５〜４０重量％、及び１０^２未満の体積抵抗率を有する導電性充填材１〜３０重量％を含有する樹脂組成物から形成された樹脂部材であり、かつ、該樹脂部材の電位が５０００Ｖから５０Ｖに低下するまでのスタティックディケイ時間が２秒以下である基板用カセット。 （もっと読む）

一枚の板状物表面もしくは複数の板状物間に配置されるスペーサーシートであって、スペーサーシート面積よりも小さい接触面積で、板状構造物と接触するスペーサーシートが得られる。スペーサーシートの板状物に対する接触面積比率は５０％以下が好ましく、２０％以下がより好ましく、１０％以下が更に好ましい。また、凹凸のパターン形状及び形成方向を適切に選択することにより、スペーサーシートが接触するガラス基板等の板状体の表面への有機物転写、或いは、塵埃付着が生じるのを防ぐと共に、剥離の際の静電気の発生をも防止できる。
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【課題】小サイズから大サイズまでのガラス基板を離隔して縦姿勢で収納する容器の製作時の寸法誤差があっても、精度良く容器の載置位置や角度の補正を可能にする。
【解決手段】ガラス板収納用箱状容器の位置調整装置において、搬送方向の左右に分離して配置した複数本の搬送ロールからなる搬送コンベアによって、箱状容器の左右の底部が搬送ロールにより支持されて搬出入させる搬送コンベアと、左右に分離した搬送コンベア間に設けた補正テーブルを前後移動可能とする前後位置調整機構と、箱状容器の搬送方向と直交する方向の両側面より押圧挟持し、幅方向の位置を決める側部位置決め手段と、該搬送コンベアを下降させて搬送コンベア上の箱状容器を補正テーブル上に載置させる搬送コンベア昇降手段とからなり、補正テーブル上に載置された容器の溝部内にガラス板を積載可能に容器の載置位置を調整可能とする。 （もっと読む）

【課題】進退動体の運動で塵埃が発生するのを抑制でき、蓋体のスペースや厚みを小さくし、収納される物品の汚染を防止できる収納容器を提供する。
【解決手段】精密基板収納用の容器本体１の正面を開閉する蓋体１０を施錠・解錠する施錠機構２０を備える。そして、施錠機構２０を、蓋体１０に支持される回転プレート２１と、回転プレート２１の回転に基づき、蓋体１０の施錠時には蓋体１０の周壁方向に突出し、蓋体１０の解錠時には蓋体１０の基準位置に復帰する第一の進退動プレート２６と、第一の進退動プレート２６の先端部に支持され、蓋体１０の施錠時には蓋体１０の周壁から突出して容器本体１の係止凹部３に挿入され、蓋体１０の解錠時には容器本体１の係止凹部３から蓋体方向に復帰する第二の進退動プレートと、突出する第二の進退動プレートを蓋体１０の厚さ方向に傾斜させる案内リブ３７とから構成する。 （もっと読む）

【課題】 基板のエッチング工程、特に住宅用量産型太陽電池セルのシリコン基板のエッチングに関し、一面にテクスチャ形状、他面に平坦形状を形成するエッチング工程の簡略化を図る。
【解決手段】 一般に基板の表面処理は、基板の表・裏均等に行われるが、太陽電池セルの特性面からは、表面がテクスチャ形状、裏面が平坦な形状が望ましい。半導体基板を表面処理する際には発熱反応が起き、また表面処理時の反応速度が温度上昇により速くなり、反応の進捗により表面形状が変化する。本発明のキャリアホルダーによれば、表面処理時に半導体基板の片面に近接物を設けることにより、近接物がある面では反応熱が滞留し、他面では反応熱がエッチング液の対流により奪われるため、半導体基板の一面と他面の間に温度差が発生し、一面がテクスチャ形状で、他面が比較的平坦な形状の半導体基板を１回の処理で容易に形成でき、エッチングプロセスの簡略化が可能となる。
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【課題】 平面表示装置その他の電子・電気製品の製造方法、及び、このための収納体において、電子・電気製品の寸法の変化に対して迅速かつ低コストにて対処できるとともに、電子・電気製品の損傷や粉塵の発生を防止でき、収納体の回収等のためのコストを低減できるものを提供する。
【解決手段】例えば、携帯電話用の表示パネルモジュール２を、順次、平坦な帯状の樹脂シート１の間に挟み込む。一方、樹脂シート１の表側シート部１Ａと裏側シート部１Ｂとを融着して接合することにより、各表示パネルモジュール２を所定個所に位置決めしつつ保持する収納部１５を設ける。収納部１５の列の両側には耳部１４，１６を設ける。少なくとも一方の耳部において、表側シート部１Ａまたは裏側シート部１Ｂが他のシート部から突き出す寸法Ｄ１，Ｄ２は、１０ｍｍ以上である。このような「つかみしろ」により、抜き取り検査のための開包を容易に行える。 （もっと読む）

【課題】 平面表示装置その他の電子・電気製品の製造方法、及び、このための収納体において、電子・電気製品の寸法の変化に対して迅速かつ低コストにて対処できるとともに、電子・電気製品の損傷や粉塵の発生を防止でき、収納体の回収等のためのコストを低減できるものを提供する。
【解決手段】例えば、携帯電話用の表示パネルモジュール２を、順次、平坦な帯状の樹脂シート１の間に挟み込む。一方、樹脂シート１の表側シート部１Ａと裏側シート部１Ｂとを融着して接合することにより、各表示パネルモジュール２を所定個所に位置決めしつつ保持する収納部１５を設ける。収納部１５の列の両側には耳部１４，１６を設ける。一つの帯状収納体１０が複数の領域１０Ｄ−１〜１０Ｄ−３に区分され、領域ごとに異なる色color 1 - color 3（例えば、青色、赤色、及び緑）の着色が施されている。 （もっと読む）

【課題】 基板の外形やサイズに複数のバリエーションがあっても、チップを移動規制した状態で収納できる収納容器を提供すること。
【解決手段】 収納容器１０は、チップＣの出し入れ口が上方に形成された収納部１１を備えている。収納部１１は、チップＣの基板Ｋを略水平方向に向け、且つ、チップＣの端子Ｂを下向きとしてチップＣを収納可能に設けられている。収納部１１は、出し入れ口１８を形成する周壁部１９と、基板Ｋの外周側を囲う起立部２０と、この起立部２０の下部に連設されて基板Ｋの下面が載置される載置部２２と、この載置部２２の内方端部から下方に延びる当接部２３とを備えている。収納部１１がチップＣを収納したときに、当接部２３は、端子Ｂに当接してチップＣの略水平方向の移動を規制し、基板Ｋと起立部２０とが非接触となる。 （もっと読む）