【課題】容器本体の背面側が突出しピンにより突き破られ、損傷することのない基板収納容器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】三枚以下の半導体ウェーハを収納するフロントオープンボックスタイプで背の低い容器本体１が射出成形され、この射出成形された容器本体１の内部背面側に複数の突出しピン２が突き出されることにより容器本体１が金型から脱型される基板収納容器であって、容器本体１の背面壁と両側壁とにリブフランジ２０を一体成形し、背面壁のリブフランジ２０Ａを容器本体１の金型からの脱型時に複数の突出しピン２に外側から対向させる。金型の突出しピン２に容器本体１の背面壁のリブフランジ２０Ａが外側から対向して障害物となり、補強機能を発揮するので、突出しピン２が突き出されて大きな負荷が作用しても、容器本体１の背面側が突出しピン２により突き破られることがない。 （もっと読む）

【課題】蓋体を外した状態で、該基板収納容器が動いた場合でも、ウェハを所定の位置に保持することができる基板収納容器を提供すること。
【解決手段】本発明は、天井部８、底部９、側壁５〜７により構成された基板収納部３と、側壁６と側壁７の内側面に、それぞれ、並設された複数のウェハスロット１１と、第２の側壁６と第３の側壁７に、それぞれ、ウェハスロット１１の配列方向に沿って延在形成されたスリット部１２と、各スリット部１２に沿って移動可能に配設されたスライド部１８と、スライド部１８の内側面に、ウェハスロット１１のピッチと略等しいピッチで並設された複数の基板固定片を有し、スライド部１８が基板固定位置において、基板固定片が基板をウェハスロット１１に押付固定し、基板固定解除位置において、基板固定片が基板の周縁部から離間し、基板の固定状態を解除する。 （もっと読む）

【課題】容易に、かつ、確実に剥離層のみを剥がすことが可能な剥離きっかけを有する積層材料と該積層材料を用いて作製した包装袋を提供すること。
【解決手段】剥離層（１１）と基材層（１２）とヒートシール層（１３）の三層を順次貼り合わせた積層材料からなり、前記積層材料の各層のフィルム幅と貼り合わせ幅の関係が、剥離層のフィルム幅＞ヒートシール層のフィルム幅≧基材層のフィルム幅＞剥離層と基材層の貼り合わせ幅（貼り合わせ幅ａ）≧基材層とヒートシール層の貼り合わせ幅（貼り合わせ幅ｂ）の関係にあり、かつ、各層のフィルム幅の差が１ｍｍ以上ある。剥離層（１１）には、剥離きっかけ部（１４）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板などの脆弱な物品を搬送する場合に、破損させることなく極めて効果的に搬送することができる物品の固定ジグを提供すること。
【解決手段】複数の突起物３６、複数の突起物３６を囲繞するように外側および内側に形成された一対の側壁３５，３９、および突起物３６を形成した部分に少なくとも１つの貫通孔３８を備えたジグ基台３０と、
ジグ基台３０の上面に密着されたときに一対の側壁３５，３９との間に区画空間３７が画成されるとともに、その上面に板状の物品が載置される柔軟な密着層３１と、を備え、ジグ基台３０の貫通孔３８から区画空間３７を吸引した場合に、密着層３１が変形される物品の固定ジグ３であって、
区画空間３７の形成範囲がジグ基台３０の中央部を囲繞する外側にのみ形成されていることを特徴とする。
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基板キャリアを加圧するための方法は、キャリアと一体構造のものであるチャンバおよび／またはキャリア内の基板カセットを加圧するステップと、チャンバからキャリア内へガスを放出することにより、キャリア内の圧力を維持するステップとを含む。
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【課題】レチクル収納容器内部に設置する汚染物質等を吸着し除去するケミカルアブソーバーを容易に交換可能とする手段を提供する。
【解決手段】ケミカルアブソーバーを挟持するカートリッジ本体およびストッパーからなるカートリッジをレチクル収納容器の蓋体の側面にピン部および溝部の結合により固定する。カートリッジはケミカルアブソーバー抜け防止機構を有し、ケミカルアブソーバーは抜け防止機構で確実に抑えられてカートリッジに固定される。抜け防止機構は、少なくとも１つ以上の突起を有する抜け防止突起部、および突起を受け、突起に対応する少なくとも１つ以上の凹部または平面を有する抜け防止溝部からなる。さらに、カートリッジはヒンジ部を有し、レチクル収納容器の蓋体角部にも設置することが可能である。連結部を介してカートリッジ本体とストッパーを一体として成形することもできる。 （もっと読む）

【課題】基板の大型化にともない、基板搬送用ボックスが大型化した場合にあっても、搬送時に収容された基板に揺れが発生することがない構造を備える基板搬送用ボックスを提供することにある。
【解決手段】蓋体２により本体１の上部開口を閉ざした状態において、蓋体２の天板２ａの下面２ｃと支持プレート３の上面３ａとの間において、第１支持補助部材２１および第２支持補助部材２２が、天板２ａの下面２ｃと支持プレート３の上面３ａとにより挟み込まれ弾性変形する。これにより、支持プレート３は、第１支持補助部材２１および第２支持補助部材２２の弾性変形後の復元力に基づく付勢力によりガラス基板１００側に押え付けられる。 （もっと読む）

【課題】大型のガラス基板の保護性に優れたガラス基板搬送用ボックスを提供すること。
【解決手段】複数枚のガラス基板αを板厚方向に積層させた状態で水平に収容するボックス本体２と蓋体６０とからなるボックスであって、前記ボックス本体は、ボックス本体部１０と、該ボックス本体部内に設けられたガラス基板当接部３０、ガラス基板当接仕切部４０及び緩衝部５０とからなり、前記当接部３０は前記ボックス本体部の対峙する二対の側壁部のうち一方の内面に設けられ、前記当接仕切部４０はガラス基板当接部が設けられていない他方の対峙する側壁部に対して平行になるように設けられ、かつ該当接仕切部４０と側壁部の内面との間に前記緩衝部５０が設けられていると共に、該ボックス本体の四隅近傍において収納するガラス基板の角部を構成する二面のうち少なくとも一方の面が当接部３０又は当接仕切部４０に接しないように設けられたボックスとした。 （もっと読む）

【課題】 耐ピンホール性に優れ、また、最外面に設けられた保護フィルム層を簡単に剥離することができて保護フィルム層の剥離作業を極めて容易なものとすることができる、塵や埃を嫌うクリーンルーム用として好適な包装袋を提供することである。
【解決手段】 ガスバリアー性層の両側に耐突き刺し性層を備えた基材層の一方の面に剥離可能に積層してなる保護フィルム層と、他方の面に強固な接着力で積層してなる熱接着性樹脂層とからなると共に前記熱接着性樹脂層の表出面が清浄面からなる積層体の一対を前記積層体の前記熱接着性樹脂層同士を対向させて重ね合わせて周縁熱接着部で熱接着して袋状となした内面が清浄面からなることを特徴とする包装袋。 （もっと読む）

【課題】 導電性、透明性、力学的特性に優れ、溶融成形加工を容易に且つ円滑に行うことができ、しかも環境汚染や炭酸ガスの発生による地球温暖化を防ぐことのできる導電性ポリマー組成物およびそれよりなる成形体の提供。
【解決手段】 ポリ乳酸（Ａ）およびπ電子共役ポリマー（Ｂ）を含有するポリ乳酸組成物、またはポリ乳酸（Ａ）、π電子共役ポリマー（Ｂ）およびブロックコポリマー（Ｃ）を含有し、ブロックコポリマー（Ｃ）を構成する複数のポリマーブロックのうちの少なくとも１つのポリマーブロックの溶解度パラメータとπ電子共役ポリマー（Ｂ）の溶解度パラメータの差の絶対値が２．５未満である導電性ポリ乳酸組成物、並びにそれらのポリ乳酸組成物よりなる成形体。 （もっと読む）

【課題】
トレーの収納用ポケットに収納しようとする半導体集積回路に水平方向の回転ずれが生じている場合や、既に収納用ポケットに収納している半導体集積回路に水平方向の回転ずれが生じた場合でも、この回転ずれを許容範囲内に補正できる半導体集積回路用トレーを提供できるようにした。
【解決手段】
トレー１における仕切り枠２の各ポケット３内に面した少なくとも一つの枠面に、同仕切り枠２に設けている呼込みガイド７の支持段部４上面に対する傾斜角度よりも小なる傾斜角度を備える補正ガイド８を、仕切り枠２の中央部乃至中央部近傍に、かつ仕切り枠２の基部から上方に向けて形成する。 （もっと読む）

【課題】かさばりにくく、かつガラス基板を傷つけるおそれのないガラス基板搬送用トレイを提供する。
【解決手段】ガラス基板を水平に保持して搬送するために用いられるガラス基板搬送用トレイ３であって、ガラス基板搬送用トレイ３の枠組み１は、ＪＩＳ Ｋ ７２０３に規定する曲げ強さが４０ＭＰａ以上の材質からなり、枠組み１には、水平に保持されるガラス基板と接触する部分に、ＪＩＳ Ｋ ６２５３に規定するＪＩＳ−Ａ硬度が９０以下であるクッション材２が設けられ、このクッション材２は、ガラス基板が載置される載置部４を備えることを特徴とするガラス基板搬送用トレイ３。 （もっと読む）

【課題】 ペリクルの載置面の裏側に構造体を固定具により固定してペリクル収納容器の剛性を補強すると共にペリクルの載置面に直接平坦性を付与してマスク用粘着材の変形を防止し、構造体のリサイクルも可能としたペリクル収納容器を提供せんとするものであり、加えて、該固定具の装着のための貫通孔があっても発塵の可能性を最大限に抑制せしめることを目的とする。
【解決手段】 ペリクル２を収納するための、少なくとも蓋４と、該ペリクル２を載置するペリクル載置台３とから構成されるペリクル収納容器１において、ペリクル載置台３のペリクル載置面３ａとは反対側の面に構造体７を配置し、かつ、該構造体７がペリクル載置台３に設けられた貫通穴３ｂにワッシャー９を介して挿入された固定具８により該ペリクル載置台３に固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】作業者が板状体を搬送用ボックスの奥側に載置する際に、作業者の腰への負担が少なく、かつ、作業者一人でも取り扱うことができるようにする。
【解決手段】板状体Ｐを立てて収容し、板状体Ｐの底辺を受ける底辺支持溝部を有する板状体搬送用ボックスにおいて、底辺支持溝部を、板状体Ｐの底辺が延びる方向に離隔して設けられた第一の底辺支持溝部１７と第二の底辺支持溝部１８とで構成し、第一の底辺支持溝部１７と前記第二の底辺支持溝部１８との間に隙間を設け、この隙間に板状体載置作業用の足場２６を形成する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成により半導体装置の誤収納や複数トレイ間での異品種混入を防止した半導体装置用トレイを提供する。
【解決手段】半導体装置用トレイは、外周枠とかかる外周枠によって囲まれ格子状に区画された半導体装置収納部とを有する。それぞれトレイの外形は統一されて複数種類の半導体装置がそれぞれに搭載される。１つの種類の半導体装置が搭載されるトレイは、他の種類の半導体装置が搭載されるトレイとの識別を可能とする目印が設けられる。 （もっと読む）

パージステーションは少なくとも１つの上方に延在するパージノズルを有する基板コンテナ受容域を備える。前記ノズルは円形の係合リップを有する。前記基板コンテナは、少なくとも一つの基板のための支持手段と、前記コンテナから下向きの外向き封止フランジを含むパージポートアセンブリとを有する。前記封止フランジは、中央の開口部と、前記ノズルの円形係合リップと係合する片持ち状のフランジ部とを有する。前記フランジの前記片持ち状部分により保持される前記ノズル上の前記基板コンテナの重量により、弾性力のある柔らかい封止のためのフランジ部の曲がりが生じる。
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【課題】スペーサシートとガラス板等との接触面間に可及的に摺動が生じないようにして、ガラス板等の面に傷が付くことによる品位低下を防止すると共に、スペーサシートの予め決められた位置にガラス板等を極めて容易に配置できるようにして、作業能率の向上を図る。
【解決手段】複数枚の板状物４を梱包するに際して隣り合う板状物４の相互間に介在されて該板状物４の面に接触し且つ該板状物４の周縁部４ａから外周側に食み出すスペーサシート３に、板状物４の周縁部４ａの外周側方向への移動を規制する規制部３ａｘを形成する。 （もっと読む）

【課題】従来の基板収納装置では、基板識別情報及び基板に関して測定された基板に付随する情報を移動させることができず、基板の識別情報と基板データとの整合性を確保することが困難であった。
【解決手段】本発明にかかる基板収納装置は、上部板と下部板及び、当該上部板と当該下部板との間に形成された支持部材を有し、複数の基板を収納して移動あるいは搬送が可能な基板収納装置であって、前記複数の基板を一枚ずつ互いに間隔をあけて保持する前記支持部材に形成された保持部と、前記複数の基板のそれぞれの識別情報及び付帯情報を取得する情報取得部とを有する。 （もっと読む）

【課題】幅広のペリクルフレームに適量の接着剤を均一かつ未塗布やはみ出しもなく塗布し、外観に優れた接着剤層を形成する方法を提供する。
【解決手段】ペリクルフレーム１４端面に膜接着剤１５を塗布する方法において、吐出口１２から膜接着剤１５を連続的に滴下しながら吐出口１２を移動させることで塗布を行い、その際、吐出口１２が設けられている部材の外径幅ａをペリクルフレーム幅の６０〜１２０％の範囲とする。幅広い膜接着面を持つペリクルフレーム、長辺と短辺の膜接着面幅が異なるペリクルフレーム、さらには４角形状以外のペリクルフレームに対しても、適量の接着剤を均一に、かつ未塗布やはみ出しなく安定的に塗布し、その結果、外観に優れた膜接着剤層を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】構成部品数を減らし、自動ロックが可能であること。
【解決手段】取り外し可能な固定部材によってクリーンコンテナのカバー上に組み立てられており、このためクリーンコンテナの基部上でカバーを開閉することができる。固定部材は本体、位置決め部分、弾性固定アームを設けており、これらは全て一体に形成されている。位置決め部分は本体の一側部から延びて、板ばねを形成している。固定部材をカバー上に固定するために、板ばね上にはフランジが形成されている。弾性固定アームには弾性アームが設けられ、また、弾性アームの一端に形成された横フランジが基部内へ延び、そこで係止される。弾性固定アームの弾性強度を高めるために、固定部材は、弾性アームと本体の間に形成された弾性補助アームをさらに設けている。 （もっと読む）