【課題】大型のフォトマスク基板を収納しても、容易に搬送・保管できるだけでなく、輸送中の転倒を防ぐことができ、更には、集中荷重によるフォトマスク基板の欠けも防止できるマスク収容ユニットを提供する。
【解決手段】フォトマスク基板Ｋを搬送及び／又は保管するためのマスク収容ユニット１であって、フォトマスク基板Ｋを収納する筐体１０と、フォトマスク基板Ｋを保持する保持手段とを備え、保持手段が、フォトマスク基板Ｋを所定の角度傾斜させた状態で保持する構成としてある。 （もっと読む）

通常基板容器はカバーと、基部と、ラッチ機構と、基板保持システムとを含む。基板容器は角部に設けられたフランジを備える角部を有する。各フランジは貫通する孔を有し、容器による衝撃吸収性能を高め、これにより基板を堅固に保護する。
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【課題】搬送中に基板表面に塵埃が付着することを確実に防止可能な基板の搬送方法を提供すること。
【解決手段】基板１を搬送するにあたって、基板１を収納した基板収納ケース１０において、外箱２０の上部開口２１を覆う蓋４０の外周面と外箱２０の外周面との接合部分を粘着テープで塞いで外箱２０と蓋４０との接合部を隙間なく密封する。また、基板収納ケース１０をケース収納袋５０に収納した状態とする。さらに、ケース収納袋５０の上から外箱２０および蓋４０の双方に掛けたバンドで基板収納ケース１０を縛る。 （もっと読む）

【課題】薄板状の物品を一枚ずつ載置して、複数積み重ねた状態で保管することが可能な枚葉搬送用トレイであって、積み重ねた場合にもトレイ間に送風が届き、ダストの溜まりにくい枚葉搬送用トレイを提供すること。
【解決手段】枚葉搬送用トレイ１の外枠２の上面に、積み重ねられるトレイを支持する支持部を間隔をあけて複数設けた。また外枠２をその上端が外側を向くように傾斜させた。 （もっと読む）

【課題】収納容器内において塵が基板上あるいは基板上にすでに実装されている半導体素子上へ落下するのを抑制できる基板搬送セットを提供する。
【解決手段】基板収容部２間の間隔Ｐが一定で、前方側端面から先頭の基板収容部２までの距離が異なる基板搬送用治具１ａ、１ｂを、収納容器に交互に段積み収納することで、収納容器内に段積み収納された各基板搬送用治具の基板収容部が、１段上もしくは１段下の基板搬送用治具の基板収容部と垂直方向に一致しないようにする。 （もっと読む）

【課題】分解、組立が容易にできる板材収納枠を提供すること。
【解決手段】板材収納枠は、対向して配置された一対のガイドレールユニット２、３と、該ガイドレールユニット２，３の対向する両端を連結する連結材４よりなり、ガイドレールユニットは平行な支持溝６を複数有して該支持溝が内面に互いに向き合うように配置され、前記ガイドレール内面には形材が嵌め込まれており、さらに前記連結材４は前記形材の対向する両端で形材に連結され、この連結のため、連結材の両端に、一端にブロックを取り付けたシャフトの他端にピンを介して枢着されるコーナーレバー２３を配設し、外周にカム面を有するコーナーレバーの揺動操作によりシャフトを引き上げた際に、形材内に挿入されたブロックを形材の内側に圧接するようスライドさせるガイド手段を形材内に設けたものである。 （もっと読む）

【課題】 構成部材が少なくかつ簡易にして収容物に対する全方向からの衝撃に耐え保護することができる包装体の構造。
【解決手段】 弾性を有する合成樹脂のシート状成型品でなり、収容物の周辺を保持する保持部２３と、収容物に対して空間を介して平行する面に外側へ向けて高さと大きさの異なる突起の組み合わせでなる突起組み３３，６３が複数形成された支持面２２，５２と、保持部２３の周囲に弾性変形可能に形成された側面視第１の彎曲面４１，７１とこの第１の彎曲面に連続して拡がる方向の第２の彎曲面４２，７２とからなる彎曲面２８，５６と、をそなえる第１および第２のトレイパック２１，５１とが対向して収容物を挟持するように組み合わせられてなる。 （もっと読む）

【課題】半導体基板に負荷をかけることなく、半導体基板へのウォーターマークの発生を抑制することのできるカセットを提供する。
【解決手段】複数枚の半導体基板１１を互いに隔てて収納し、液槽内の溶液に浸漬して半導体基板１１を処理するカセット１であって、半導体基板１１の対向端部近傍に配置され、流液路３を有する仕切り部２と、半導体基板１１を下方から支持する支持部５とを有し、流液路３は仕切り部２の表面に設けられた溝である。 （もっと読む）

【課題】塵埃の付着や静電破壊を防止でき、製作が簡単で強度が大きく、有機ガスによるフォトマスク板等の板状品のヘーズ上昇も生じず、使用上の不便や不都合も解消できる収容ケースを提供する。
【解決手段】四周外縁に金属製の補強枠２を設けた合成樹脂製の上側ケース１ａと下側ケース１ｂとからなり、その内部に塵埃を嫌う板状品を収容する収容ケースであって、合成樹脂製の上側ケース１ａと下側ケース１ｂがいずれも、透光性の合成樹脂基層の両面又はいずれか片面に極細導電繊維を分散させた透光性の制電層を積層一体化したものである収容ケースとする。制電層で塵埃付着や静電破壊を防止し、極細導電繊維を制電層に分散させることで真空又は圧空成形等の二次加工により制電性能を損なうことなく上側ケースと下側ケースを簡単かつ効率良く製作できるようにすると共に、補強枠２で十分な実用強度を付与する。 （もっと読む）

【課題】弾性保持片の汚染や変形を抑制し、基板を安定した状態で抑えることのできるリテーナ及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】リテーナ１を、長方形を呈した略枠形のベース体２と、このベース体２に設けられて半導体ウェーハの上部周縁を保持する複数の弾性保持片１０と、ベース体２に設けられる一対の脱着用の操作体２０と、他のリテーナ１との接触を制限する複数の接触制限体３０とから形成する。そして、このリテーナ１を複数枚の半導体ウェーハを整列収納する基板収納容器の蓋体内面に着脱自在に装着する。 （もっと読む）

【課題】薄板を安全に且つ確実に支持する。
【解決手段】少なくとも１枚の薄板を支持する載置トレイ１３である。一側面に設けられ少なくとも１枚の薄板が載置される第１載置部１８と、他側面に設けられ他の載置トレイ１３の上記第１載置部１８と嵌合して外部環境と隔離した収納空間を形成すると共に当該収納空間内で上記薄板を挟み持って上下を逆にした際に当該薄板が載置される第２載置部１９と、一側面に設けられ他の載置トレイ１３と結合するフック３０と、他側面に設けられ他の載置トレイ１３のフック３０と結合するフック係止機構３１とを備えた。この載置トレイ１３を、上記薄板の枚数に合わせた枚数だけ重ね合わせて薄板保持容器１１を構成する。この薄板保持容器１１は薄板を上下いずれからでも支持することができる。 （もっと読む）

本発明は半導体基板を搬送および保管するための密閉エンクロージャに関する。該エンクロージャは、密閉コンテナと、コンテナ内部に設けられ、基板を支持するトレイを含んだ支持手段とを備える。コンテナは、コンテナを開放するために分離することのできる２つの接触ハーフ・シェルを含み、前記支持手段の各端部は前記ハーフ・シェルの個々の１つに機械的に固定されている。前記手段の全高はコンテナが開いているか閉じているかに応じて変化し、トレイは等しい距離だけ相互に分離される。前記支持手段は好ましくは、ハーフ・シェルの個々の１つに機械的に連結された端部節を有する節およびボール・ジョイントの交互配列を含む。このような状況下では、前記支持手段の全高は、コンサーティーナ様に運動する節およびボール・ジョイントの交互配列によって変化する。
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【課題】マスクブランク、転写マスクなどの膜付きガラス基板の外周端面が挿入保持される基板収納容器の溝の断面形状を改良して、基板表面に形成されている膜が溝側面に干渉して剥離するなどの弊害が発生しないようにすること。
【解決手段】容器本体と容器蓋とから成る収納容器の容器本体の左右および底にはマスクブランク１０の左右および下側の外周端面１１ｂが収納保持されている保持溝４３、４５が形成されており、保持溝４３（４５）は、溝底面４３ａ（４５ａ）と溝側面４３ｂ、４３ｃ（４５ｂ、４５ｃ）の入り隅の角度θａを適切に設定することにより、当該溝側面がマスクブランク１０の遮光膜およびレジスト膜の端１４に干渉しないようにしてある。 （もっと読む）

【課題】精密基板の収納の有無にかかわらず容器本体等を検知することができ、しかも、容器本体等の大部分を不透明にする必要がなく、精密基板を検出するセンサの機能を維持できる精密基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハからなる複数枚の精密基板を整列収納する透明の容器本体１と、容器本体１の開口した正面をシール可能に開閉する着脱自在の蓋体とを備える。また、容器本体１の底面と天井とに、加工装置２０の区画室２１に設置された光電センサ３０の発光素子３２から受光素子３３に照射された光線３１の光線透過率を１０％以上減衰させる遮光領域４０をそれぞれ形成する。容器本体１の底面と天井に、光線３１を遮蔽する遮光領域４０を成形するので、容器本体１が透明でも、光電センサ３０の検知に支障を来たすことがない。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の荷重による容器の変形が生じにくく、輸送時におけるガラス基板の振動による粉塵が発生しにくいガラス基板搬送用トレイ及び輸送時にガラス基板の振動が生じにくいガラス基板搬送用トレイを提供することを目的とする。
【解決手段】複数の収納部が形成されたポリオレフィン系樹脂発泡体からなるガラス基板搬送用トレイであって、該収納部は底面と底面を取り囲む側壁とを有し、前記底面の周縁に凹部を有し、最も外側に位置する側壁１５’の外周であって側壁１５’よりも低い位置に形成されたフランジ部３１と、トレイの裏面に形成された突条部とを有すること、及び、前記収納部において対向する２組の側壁のうちそれぞれ１組又は２組の側壁において隣接する収納部間の側壁に凹部１６が設けられ、最も外側に位置する前記側壁１５’の中央部分に凹部１７が設けられていること、を特徴とするガラス基板搬送用トレイ。 （もっと読む）

【課題】収容した基板への外部雰囲気からの汚染を効率よく防止するのみでなく、基板自身及び内部構成部材から発生する汚染をも効果的に防止することができるようにしたクリーンボックスを提供する。
【解決手段】基板を収容するための容器本体１２とこれの開口部を密閉可能に覆う蓋体１４とにより構成される保持容器１８と、容器本体１２内において基板に接触する気流の循環流を形成するモータファン３０と、基板に向かって流れる気流の流路に配置された粒子除去フィルタ２６およびガス状不純物捕捉フィルタ２８と、容器本体１２内に配置された除湿剤５４とを備え、保持容器１８は、帯電防止剤を混入した樹脂から構成した。 （もっと読む）

【課題】板ガラスや液晶表示装置等に用いるカラーフィルター基板を傷、破損から守り、保管、輸送にガラス基板輸送用輸送体を提供する。
【解決手段】支持台と、前記支持台上に載置された第１の支持板と、前記第１の支持板上に載置された複数の基板を積み重ねてなる積重体と、前記積重体上に載置された第２の支持板と、バネ構造と締め具とを備え、端部を前記支持台に固定可能なベルトと、を具備し、前記ベルトを締め付けることにより、前記積重体が前記支持台に押し付け固定されてなることを特徴とする基板収納体。 （もっと読む）

【課題】基板収納装置内の基板の撓みを抑制して基板の収納間隙を可及的に広くすることができる基板収納装置を提供する。
【解決手段】基板２１を搬送する基板搬送ロボットによって搬入出された基板２１を載置する棚２２を複数段備え前記基板２１を収納する基板収納装置２において、前記基板収納装置２の基板２１を載置する棚２２に開口部２４を設け、前記基板２１を浮上させるためのエアを前記開口部２４から噴射させるエア供給源と、前記基板２１と前記開口部２４とを吸着させるために前記開口部２４からエアを吸入するエア吸入源と、前記開口部２４と前記エア供給源及びエア吸入源とを連通させる配管２３ａ、２３ｂとを設ける。 （もっと読む）

【目的】廃棄処理を容易にして環境に適した電子部品用のエンボステープを提供する。
【構成】表面実装用の電子部品例えば表面実装振動子を収容する独立したポケット３を連続的に有し、リールに巻回されるエンボスキャリアテープにおいて、前記ポケット３間の例えば複数個置きに幅方向の分割線６を設けた構成とし、さらに具体的には、前記分割線６は厚み方向に設けた溝又はミシン目であって、前記分割線６の両端側又は一端側には切欠部７を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 蓋開閉装置４１で蓋体１３を確実に着脱させる。
【解決手段】 内部に半導体ウエハが収納される薄板支持容器１１の容器本体１２を塞ぐ薄板支持容器用蓋体１３である。薄板支持容器用蓋体１３を構成する本体部１８と、この本体部１８のうち上記容器本体１２側である内側面に取り付けられて半導体ウエハを押圧支持する薄板押さえ２８とを備えた。上記本体部１８の外側面には、内側へ凹ませて形成されて上記薄板押さえ２８が上記半導体ウエハを押圧支持することで受ける反発力によって上記本体部１８が外側へ膨らむ分を吸収して膨出を防ぐ凹部２３を備えた。この凹部２３は、膨出分を吸収する深さに形成した。 （もっと読む）