本発明は標準化された機械式インターフェース（ＳＭＩＦ）レチクルポッドを提供し、それはレチクルを支持するための制御環境を提供するように形成されており、制御環境は混入物を原因とする結晶生成がほぼ起こらないように維持されている。従って、粒状物を除去し気体の混入物を吸着できるフィルタ部材を有する層状フィルタが提供される。フィルタは表面領域を備えたほぼ平らな形状の内向面を有しており、表面領域はレチクル面のほぼ半分以上の面積である。内向面はレチクルのパターン化表面に隣接して配置されており、レチクルのパターン化表面の面積の大部分に相当する面積を有する。また、ＳＭＥＦポッドは制御環境内に非常に乾燥した気体を注入することによってフィルタを再生すると共に制御環境の混入物を吹き流すように形成されたパージシステムを備える。
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【課題】異なる面積、あるいは厚さの半導体装置を、同じ収納トレイに収納可能にする。
【解決手段】第１収納部２４には、比較的厚くかつ短い半導体装置を収納し、低い短いリブ２５により前記厚くかつ短い半導体装置の樹脂部を保持する。第２収納部２６には、中間の厚さでかつ中間の長さの半導体装置を収納し、第１収納部２４の低く短いリブ２５が前記中間の厚さでかつ中間の長さの半導体装置の底面を支え、さらに第２収納部２６の中間のリブ２７により前記中間の厚さでかつ中間の長さの半導体装置の前後左右の動きを制限する。第３収納部２８には、薄くかつ長い半導体装置を収納し、第２収納部２６の中間リブ２７が前記薄くかつ長い半導体装置の底面を支え、さらに第３収納部２８の高く長いリブ２９により前記薄くかつ長い半導体装置の前後左右の動きを制限する。 （もっと読む）

複数枚の薄いガラスシートを包装するための材料および方法が記載されている。これら材料および方法は、ガラスシート（２１）を、コンテナの壁に対して角度（ａ）だけ傾斜させてコンテナ（２０）内に配置することを含む。スペーサ（１０）は、ガラスシートの周縁部においてガラスシートに接する。
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【課題】ガラス薄板やフィルム基板の製造工程において、基板の洗浄・乾燥などの処理や収納・搬送などの際に、カセット内の基板同士が接触することがなく、基板へのダメージ等が生ずるおそれがなく、基板の姿勢を安定化させ、処理性能の効率アップに有効な基板保持構造を提供する。
【解決手段】カセット内に基板２０，２１を収納するための基板保持構造において、前記基板２０，２１は矩形板状体の形状を成し、前記基板２０，２１は撓ませられた曲面状態にして、前記カセット内に保持される基板保持構造とし、また、この基板保持構造において、前記カセットは、外枠構造部材と、その内部に前記基板２０，２１を収納するための略直方体形状の収納部と、を備え、前記基板２０，２１は、前記収納部内に複数枚数が所定間隔で並列的に配置される。 （もっと読む）

【課題】 搬送時における基板の破損を防止するとともに、基板の搬送効率を向上でき、かつ基板を収納および排出する効率を向上できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】 基板収納容器１０は、収納容器本体１１の内部に複数の基板を多段支持する棚１２が形成され、棚１２は所定間隔をおいて収納容器本体１１の対向する側面１９および側面２１をつなぐ複数の支持材１２ａで構成され、収納容器本体１１の正面２２および背面２２’が基板を棚１２に搬入出可能となるように開口され、棚１２に搬入された基板の端部を固定する固定具ユニット２３を取付けたことを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、レチクルを収納し、第１のコンテナに収容される第２のコンテナを備えるレチクル容器を提供する。第２のコンテナは、衝撃および振動絶縁部材を備える第１のコンテナ内に保持されるため、第１のコンテナ内で多自由度の移動が可能である。レチクルが第２のコンテナの内部に固定されることにより、レチクル容器からレチクルへの衝撃や振動の伝達が実質的に軽減される。
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【課題】ガラス基板の荷重による容器の変形が生じにくく、輸送時におけるガラス基板の振動による粉塵が発生しにくいガラス基板搬送用トレイ及び輸送時にガラス基板の振動が生じにくいガラス基板搬送用トレイを提供することを目的とする。
【解決手段】ガラス基板を水平に収容するための収納部がガラス基板搬送用トレイの上面に形成されたポリオレフィン系樹脂発泡体からなるガラス基板搬送用トレイであって、該トレイの収納部はガラス基板が収容される底面と底面を取り囲む側壁とを有し、前記側壁の内壁面であって、収納部における側壁の角部に凹部を有することを特徴とするガラス基板搬送用トレイ。 （もっと読む）

【課題】紙媒体の量の削減により、発塵源の除去と、製品識別と製品の進捗及び品質情報の実績照会等の管理システムを一体化することにより、製品の紛失の防止及び製品の情報登録とその照会の時間を短縮する管理システムを提供すること。
【解決手段】ＩＣタグの無線応答のＩＣチップを用い、外部装置との通信手段を備える入出力装置を具備したタッチパネル付き電子ペーパーを保護ケースの上面に実装した保護ケースを用いた管理システムであって、前記無線応答のＩＣチップのＩＣタグと、外部装置との間で、ＲＦ―ＩＤ・Ｒ／Ｗを介して、保護ケースの収納物である製品に関する情報の交換を行うことにより、該情報を保護ケースに実装した電子ペーパーへ表示し、製品の管理を行うことを特徴とする管理システム。 （もっと読む）

【課題】 基板の撓みを防止すると共に、搬送装置との接触により搬送環境が汚染されるといった事態を回避できる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 基板搬送装置は、上表面２、下表面４、複数の柱体からなる側壁６、基板２２を進入させる後部開口１４、基板２２を送り出すための前部開口１２、側壁６と連結する複数の支持部材８、およびアクスル装置１８、を備えるハウジング１０を含む。該装置は、駆動ユニット１６と回転軸２８をさらに含み、これらが回転力を生じてアクスル装置１８に伝達すると、アクスル装置１８が回転力をさらに支持部材８に伝達し、これによって基板２２のハウジング１０への搬入出が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 板状物を確実に保持することができ、尚且つ互いが接触することなく、汚染防止を図りつつ効率的に収容することのできる板状物収納容器を提供する。
【解決手段】 互いに突き合わせ係合される上ケースと下ケース３とを有し、下ケース３の底部５に、内側に突出する支持凸部１７を複数並設することで支持凸部１７同士の間に基板２を保持する板状物収納容器において、下ケース３の開口側を覆うようにしてフィルム５１を設け、フィルム５１に基板２を挿入可能なスリット５２を複数並設する。 （もっと読む）

【課題】組立作業が容易、かつ組立時にピニオン歯車とラックの位相合わせを簡単に行うことができ、常に、固定側板に対して可動側板を平行状態で移動させることが可能な収納幅可変式板材収納枠と組立方法を提供する。
【解決手段】天板２と底板３との間に固定側板５と、固定側板５と平行な状態で移動し所望の位置で固定できる可動側板６を配設し、可動側板６の四隅近傍に配設されたピニオン歯車と、天板２及び底板３の内面に配設され、各々のピニオン歯車と噛合するラック１７及び１８が形成されてなるガイドレール１１Ａ及び１１Ｂと、可動側板６の各々のピニオン歯車が配設された近傍に突出形成されたボス部と、天板２及び底板３の固定側板５の配設位置近傍に形成され、各々のボス部が挿入可能な溝１４と、各々の溝１４に連通し、可動側板６が移動する際にボス部が通過する連通路を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】 従来の大型ペリクルを含め、大型ペリクルを搬送するのに適切な簡便な搬送方法を提供するものであり、そのための搬送用治具、及び大型ペリクルを収納するペリクルケースを提供する。
【解決手段】 ペリクルフレーム上面にペリクル膜を設け、前記ペリクルフレーム下面にフォトマスクに接着するための粘着面を形成してなる大型ペリクルの搬送方法において、前記ペリクルフレーム下面の一部を前記大型ペリクルの搬送用治具の表面に一時的に粘着させて搬送することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】収納したフォトマスクブランクのガス汚染によるレジスト膜の感度変化と粉塵による汚染の両方を抑制することができるとともに、保管、輸送が容易なフォトマスクブランク収納容器を提供する。
【解決手段】レジスト膜を成膜したフォトマスクブランクを収納する容器であって、少なくとも、容器本体と、蓋体と、基板押さえと、有機ガス吸着剤及び／又は塩基性ガス吸着剤とを具備するものであり、前記基板押さえは、前記容器本体の開口部が前記蓋体で閉じられたときに、収納されたフォトマスクブランクを蓋体からの圧力で力学的に押さえて固定するものであり、かつ前記有機ガス吸着剤及び／又は塩基性ガス吸着剤を固定するものであることを特徴とするフォトマスクブランク収納容器。 （もっと読む）

【課題】薄板の端部を薄板に撓みを生じさせることがない態様で収納枠に支持させることができるようにする。
【解決手段】ラッチ手段は、ボタン体を停止位置に位置づけると共に、この停止位置からのボタン体の第一押し込み操作によってこの停止を解いて付勢手段４の付勢によるボタン体の後退移動を生じさせ、かつ、後退移動され切ったボタン体の第二押し込み操作によって再びこのボタン体を停止位置に位置づけるよう構成されている。ボタン体が後退移動され切った位置において、一対の挟持片３、３が挟持位置に位置づけられ、かつ、このボタン体の停止位置において、ボタン体の前端部に形成された接触部２６が挟持片３に突き当てられて一対の挟持片３、３が離隔位置に位置づけられるようにしてある。 （もっと読む）

本発明は、物理的衝撃時の間におけるウェハの拘束を改良したウェハ容器に関する。複数の切欠を有する二次ウェハ拘束構造体は、容器のドアにおいて、対向するウェハ拘束部材の間に載置される。
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【課題】 金属イオン等のイオン不純物の含有量が非常に少なく抑制されると共に、十分なシール強度を備え、かつ滑り性に優れた包装用積層体及びこれを用いた包装用袋体と半導体製品包装用袋体を提供する。
【解決手段】 この発明の包装用積層体は、少なくともシーラント層２を備えてなり、前記シーラント層２は、直鎖状エチレン−αオレフィン共重合体を含有してなる密度０．９２５〜０．９３５ｇ／ｃｍ³のフィルムからなり、且つ該フィルムは添加剤を含有しないものであり、前記直鎖状エチレン−αオレフィン共重合体は、メタロセン触媒を重合触媒に用いて製造された共重合体であること、又はチーグラー触媒を重合触媒に用いて製造された直鎖状エチレン−αオレフィン共重合体がイオン不純物除去操作を経て含有イオン不純物が低減または除去されたものからなることを特徴とする。 （もっと読む）

フォトマスクの貯蔵及び輸送に適切であり、コンテナ本体、カバー、第一及び第二のクッション、並びにコンテナ本体内に形成されたスロット内部に配置された左右の導管を含むコンテナ。一実施形態において、本発明のコンテナは、回転成形によってワンピース設計で形成される。次に、カバーが本体から分離され、十分に滑り込んで密封されるように切削され、その中に配置される。
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【課題】 立った状態に並べて載置された各ガラス基板の引き剥がしを容易にしようとするガラス基板搬送部材及びガラス基板の搬送方法を提供する。
【解決手段】 ガラス基板２を立った状態に並べて載置する載置面３を上面に有するベース部材８と、該ベース部材８上に立設され前記載置面３に並べて載置されたガラス基板２を立てかける傾斜面５を有する支持部材９とを備えたガラス基板搬送部材であって、前記傾斜面５に立てかけて前記載置面３に並べて載置された各ガラス基板２の上端部２ｄが前記傾斜面５から遠ざかるにつれ上方に突出して階段状となるように、前記載置面３を形成したものである。 （もっと読む）

【課題】 長期間放置しても表面抵抗値の変化が少なく、更にシートを成形して得られるキャリアテープやトレイでも十分は帯電防止性を有するシート等を提供するものである。
【解決手段】 グラフトゴム分を含むスチレン系樹脂を主成分とする基材層の少なくとも片面に、グラフトゴム分を含むスチレン系樹脂、共役ジエン含有量が５〜４０質量％のスチレン−共役ジエンブロック共重合体を３〜２０質量％、及び界面活性剤を０．４〜４質量％含有する表皮層を積層した複合シートである。更に、基材層は、グラフトゴム分を含むスチレン系樹脂とスチレン−共役ジエンブロック共重合体を主成分とする樹脂組成物からなるものが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ロック解除装置のベース板よりカセットを無理なく容易に持ち上げることができ、作業性に優れる。
【解決手段】カセット搬送ボックスのロック手段付底板に設けられた２個のラッチピン穴に嵌合する２個の開放ピン２１Ａ、２１Ｂを有して回転自在に設けられた開放治具２０と、ロック手段付底板に設けられた３個の位置決め穴に嵌合する３個の位置決めピン２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃを有して回転自在に設けられた旋回テーブル８とを有し、開放治具２０と旋回テーブル８とは、開放治具２０に固定されたセンターギア５と、センターギア５と同心に配置され旋回テーブル８に固定された内歯を有する原動ギア９と、原動ギア９とセンターギア５とを同方向に回転させる中間ギア１０、１１とから連結され、原動ギア９の歯数は、センターギア５の歯数より多く設けられている。 （もっと読む）