【課題】本発明は、チップ型電子部品収納用台紙において紙基材に形成された多数のチップ部品収納用凹部内部におけるケバ発生を抑制し、前記凹部を被覆するカバーテープを剥がすときに、台紙から抜け落ちるケバの発生のない又は少ないチップ型電子部品収納用台紙を提供する。
【解決手段】前記紙基材を８０％以上のユーカリ又はアカシヤ材晒クラフトパルプを用いて構成し、その表面に、ポリビニルアルコール、澱粉、ポリアクリルアミドを含む表面処理剤を０．１〜１．１ｇ／ｍ²乾燥塗工量で塗布し、前記塗布された表面処理剤を、前記紙基材の前記凹部の開口側の表面からその内部中に５０μｍの深さを超えて１００μｍ以下の深さまで浸透させ、前記紙基材の表面の中心線平均粗さ（Ｒａ）を３〜６μｍに調整する。 （もっと読む）

【課題】ガラスフィルムの成形に悪影響を及ぼすことなく、割れ等の問題も発生することなく、張力が付与された緩みのないガラスフィルムのロール体を製造する方法を提供する。
【解決手段】ダウンドロー法によってガラスフィルム２を成形すると共に、その成形したガラスフィルム２を保護シート３に重ねてロール状に巻き取るガラスロール１の製造方法であって、前記保護シート３に、前記ガラスフィルム２よりも大きな巻き取り方向の張力を付与しながら、前記ガラスフィルム２と前記保護シート３とを巻き取ることでガラスロール１を製造する。 （もっと読む）

【課題】寸法が０４０２以下のチップ型電子部品を収納して搬送する収納帯が紙製であっても、チップ型電子部品を正しい姿勢で収納穴へ確実に収納するとともに、収納穴から確実に取り出すこと。
【解決手段】電子部品連１００は、紙製の収納帯１０を有している。収納帯１０には、複数の収納穴１３及び複数の送り孔１１が搬送方向（矢印Ｍで示す方向）に向かって一列に配列される。収納穴１３には、チップ型電子部品１が収納される。チップ型電子部品１は、寸法が０４０２以下である。チップ型電子部品１の短手方向におけるチップ型電子部品１と収納穴１３とのクリアランスは５μｍ以上３０μｍ以下で、収納穴１３の深さと、チップ型電子部品１の高さとのクリアランスは５μｍ以上３０μｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】梱包体及びその梱包方法において、梱包資材を低減する。
【解決手段】同一形状の板状部材が複数枚積層されて形成され、複数の辺と複数の角を有する積層体１０を用意し、複数の角及び複数の辺の少なくとも１つに接触する一方側と、その反対側に鋭利な角を持たない他方側とを有する保護部材２０を、一方側に前記複数の角及び複数の辺を接触させて配置し、積層体１０と保護部材２０とを、保護部材２０の他方側に、袋体の内面を接触させて袋体に収納する。 （もっと読む）

【課題】配線基板との隙間および接触部を最小限とし、且つ搬送などにおける前記配線基板に設けた外部接続端子の傷付きや損傷を確実に予防できる配線基板用トレイ、および該トレイを含む配線基板用容器を提供する。
【解決手段】セラミックからなり、表面３２および裏面３３の同一面上に、複数の外部接続端子３８，３９を設けた端子領域３５と該端子領域３５の外側に位置する絶縁領域３７とを有する配線基板３０を収納するためのトレイ１であって、平面視で配線基板３０の表面３２および裏面３３の外形と同じか、該外形と相似形である底面４および該底面４の周辺から立設する側面５からなり、配線基板３０を収納する凹部３と、凹部３の側面５に設けられ、配線基板３０の絶縁領域３７に接触する水平面１０を含む複数の接触部１１と、を備え、接触部１１の水平面１０と凹部３の底面４との側面視における距離ｈ１，ｈ２は、外部接続端子３８，３９の厚みｔよりも大である、配線基板用トレイ１。 （もっと読む）

【課題】 容器本体の取付機構に対する搬送部品の取付作業の作業性を向上させ、取付機構から搬送部品が外れ易くなるおそれを排除し、取付機構や搬送部品に洗浄水等の液体が残存するのを抑制できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】 半導体ウェーハ収納用の容器本体１の天井２に取付機構２０を設け、取付機構２０に搬送部品３０であるロボティックフランジ３１を着脱自在に装着する基板収納容器であり、取付機構２０は、天井２に対設される複数対の支持レール２１と、天井２に設けられる複数のガイド片２３と、各ガイド片２３に形成される干渉係合部２４とを備え、ガイド片２３と干渉係合部２４を組み合わせてその前部を二股部２５に形成する。また、搬送部品３０は、複数対の支持レール２１間に支持される部品本体３２を備え、部品本体３２に、流体用の流通口３６を穿孔するとともに、二股部２５に干渉する弾性変形可能な弾性係合片３５を内蔵する。 （もっと読む）

【課題】ＡｒＦエキシマレーザー光のような短波長のレーザー光を用いて長期間使用しても、フォトマスク上へのヘイズの析出を防止しうるリソグラフィ用ペリクルを提供する。また、そのリソグラフィ用ペリクルに張設するペリクル膜の製造方法を提供する。
【解決手段】リソグラフィ用ペリクル１は、枠状のペリクルフレーム４の一方の開口枠にリソグラフィ用のレーザー光を透過するペリクル膜２が張設されており、ペリクルフレーム４の他方の開口枠がフォトマスク１０に貼着可能なリソグラフィ用ペリクル１であって、ペリクル膜２が、異物粒子１６を通過不能でガス分子１５を通気可能な孔サイズで貫通する通気孔７を有しているものである。 （もっと読む）

【課題】 保管時や輸送時における樹脂板の吸湿を防止することができる樹脂板の梱包方法およびその梱包方法により梱包された梱包物を提供すること。
【解決手段】 下側の防湿シート４上に、最下段の樹脂板５から順に１枚ずつ樹脂板５を複数枚積層して積層品６を形成し、次いで、最上段の樹脂板５の主面５１全体を覆うように上側の防湿シート７を載置する。その後、積層品６および防湿シート４，７の荷崩れを防止するために、防湿シート４の下に敷いていたストレッチフィルム３を、積層品６の側面６１および防湿シート４，７の全体に巻き付ける。 （もっと読む）

【課題】生産現場での先入れ先出しを確実に実現するために、多種多様の電子部品を整理・管理できる電子部品リール保管ケースを提供する。
【解決手段】縦に積み重ねられる電子部品リール保管ケースで１あり、取出口７からリールを１枚しか取り出せない構造と、リールをケース前面４にフック８により立て掛けて取出口を塞ぐことにより、先入れ先出しを確実に実現する。 （もっと読む）

【課題】 FIMSシステムにおいてポッドの蓋に付随する極微小な塵等のミニエンバイロンメント内への拡散を抑制するポッド及び該ポッドに応じたFIMSシステムを提供する。
【解決手段】 ポッドの蓋外側面内に被係合部を配置し、ポッド開口周囲に配される該蓋が嵌合可能なフランジ部に対して外部空間より該被係合部にアクセス可能となる挿通孔を配する。ラッチ機構はフランジ部におけるポッド本体側の面においてフランジ側壁に平行な方向に摺動可能に支持され、該ラッチ機構における係合部は該挿通孔を介して被係合部に至り、該ラッチ機構の移動に応じて係合及び非係合の状態変化を為す。 （もっと読む）

【課題】多段積み状態においてトレイの撓みを抑制することで、部品の損傷を回避すると共に、一度に搬送する部品数を増やす、または同じトレイサイズでより大きな部品を収納することができる部品包装用トレイを提供する。
【解決手段】部品包装用トレイ１０は、部品Ｐの収納用の複数の収納凹部１１が形成されている。収納凹部１１の内側壁部１１ａには、同じ形状の部品包装用トレイ１０を積み重ねたときに、上位に位置する部品包装用トレイ１０の収納凹部１１の底部１１ｃを支持する段付支持部１５Ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】有機ガスの吸着性能に優れた粘着剤を有するペリクルを提供する。
【解決手段】ペリクル枠と、該ペリクル枠の一端面にペリクル膜を有し、他端面に粘着剤を有するペリクルであって、該粘着剤のトルエンによる重量膨潤度が５倍以上であることを特徴とするペリクル。 （もっと読む）

【課題】基板を規則正しく整列させることのできる基板整列治具を提供し、また、当該基板整列治具を用いた基板の移送方法を提供する。
【解決手段】基板１１収納する基板カセットに用いられる基板整列治具２５であって、前記基板カセットは、上部及び下部が開放したカセット本体２を備え、前記カセット本体２内部には、基板１１を整列させるために、相対向する一対の面に、上部から下部に向かって溝部７が設けられており、前記基板整列治具２５は、前記カセット本体２の開放した下部に設けられ、基板１１を整列させて保持するための溝２３が設けられたコーム２４が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】加工装置のセンサが被検出領域を誤検出するのを防ぎ、後の作業にエラーが生じたり、プロセスの停止を招くおそれを払拭できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】ロードポート１上に搭載される半導体ウェーハ収納用の容器本体１０と、この容器本体１０の底部に形成されてロードポート１の複数の位置決めピン４上にそれぞれ嵌合する複数の位置決め芯出し具１４とを備え、容器本体１０の底部に、ロードポート１の位置決めピン４に位置決め芯出し具１４が適正に嵌合する場合にロードポート１のセンサ３に対向して検出される被検出領域５０と、この被検出領域５０の周囲に位置する非検出領域５１とを配設し、被検出領域５０の高さを非検出領域５１よりも相対的に高くしてロードポート１のセンサ３が被検出領域５０を誤検出するのを防止する。 （もっと読む）

包装食品（２０）は、トレー（１２）と、複数の積重ね可能なチップスナック（１４）と、管状容器（１６）とを備える。トレーはトレー本体（１８）を備え、トレー本体（１８）は、トレー基端部（２２）及びトレー末端部（２３）と、トレー末端部にある緩衝空間（２５）とを有する。スナックはトレー本体上に整列される。管状容器は、壁本体（３６）と、壁本体に隣接する閉鎖した容器端部（３２）と、壁本体に隣接し、閉鎖した容器端部の反対側にある開放可能な容器端部（３４）とを備える。管状容器は、スナックとトレーを中に収容する。トレーは壁本体に沿ってスライド可能であり、また、緩衝空間が閉鎖した容器端部に隣接した向きとなるように整列される。
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【課題】 エンボスキャリアテープにおいて、カバーテープとのシール性を良好にする。
【解決手段】 基材シート又は基材フィルムと該基材シート又は基材フィルムの片面又は両面に設けられたポリチオフェンの導電性コート層と、該導電性コート層に設けられたトップコート層とを有し、該トップコート層がＭＭＡ（メタクリル酸メチル）モノマ−３５〜４５重量％とＢＭＡ（メタクリル酸ｎ−ブチル）モノマー５５〜６５重量％との共重合樹脂６０〜７０重量％と、分子量２０万以上のＩＢＭＡ（メタクリル酸ｉ−ブチル）樹脂３０〜４０重量％との混合樹脂層である。 （もっと読む）

【課題】 熱変形によるペリクルフレームの変形を抑制し、ペリクルを露光原版に貼り付けても、ペリクルフレームの変形に起因する露光原版の変形を極力低減することができるペリクルフレームおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 事前に所定温度で加熱処理しておくことで、リソグラフィー工程時の温度変化によるフレーム変形が実質的に生じないようにすることを特徴とする。温度変化によるフレーム変形が平坦度３μｍ以下であること、前記加熱処理温度が１４０〜２５０℃であること、ヤング率が１〜８０ＧＰａである材料で構成されたものであること、がそれぞれ好ましい。 （もっと読む）

【課題】ペリクルの輸送時に、ペリクル収納ケースに収納されているペリクルに対して塵埃等の異物が付着することを抑制し得る梱包体を提供する。
【解決手段】梱包箱と、該梱包箱の中に収納されるペリクル収納ケースを該梱包箱内において保護する緩衝材とを含み、
前記緩衝材は、ペリクル収納ケースの上面、又は底面を支持する伸縮可能な支持膜と、
前記支持膜が貼張される平面視略多角形の枠体と、を有し、
前記支持膜は、前記枠体の少なくとも１辺上において、当該辺１辺上の少なくとも中央部を挟んだ位置において実質的に固定され貼張されていることを特徴とするペリクル収納ケースの梱包体。 （もっと読む）

【課題】ペリクルの輸送時に、ペリクル収納ケースに収納されているペリクルに対して塵埃等の異物が付着することを抑制し得る梱包体を提供する。
【解決手段】梱包箱と、該梱包箱の中に収納されるペリクル収納ケースを該梱包箱内において保護する緩衝材とを含み、前記緩衝材は、前記ペリクル収納ケースの上面、又は底面を支持する伸縮可能な支持膜と、前記支持膜が貼張される枠体と、前記ペリクル収納ケースの側面方向への移動を抑制するための横ズレ抑制機構と、を有することを特徴とするペリクル収納ケースの梱包体。 （もっと読む）

【課題】樹脂製のクッション材と金属製のフレーム部材とを接着してなるガラス板梱包体であって、クッション材がフレーム部材から剥離するのを防止する。
【解決手段】ガラス板梱包体１０の背板１２を構成するポリエチレンシート３０は、フレーム部材２０との接着面側の面に多数本の溝３２、３２…が形成されている。これにより、夏季、冬季においてポリエチレンシート３０がフレーム部材２０よりも大きく熱変形しても、その熱変形差が溝３２によって吸収されるので、ポリエチレンシート３０がフレーム部材２０から剥離するのを防止できる。 （もっと読む）