【課題】ウエハが出し入れされる方向に対して斜めに開閉駆動されるゲート弁において、プラズマが回り込みやすい側のシール部材の劣化を抑制する。
【解決手段】ゲート弁は、プラズマ処理装置のチャンバに対してウエハが出し入れされるゲートに設けられ、ウエハの出し入れの方向に対して斜めに交差する斜め方向に開閉駆動される。ゲート弁は、本体部１と、本体部１に設けられ、ゲート弁が閉じたときに、ゲート１０の周縁部に当接するシール部２と、本体部１におけるシール部２が設けられる面から突出し、シール部２の前方において、プラズマが回り込みやすい側に隙間の狭隘部３０を形成する突出部３とを備える。 （もっと読む）

【課題】流路内の温度が低下したような場合及び流路内の圧力が低下したような場合の少なくとも一方の場合に、弁体と弁座との間のシール性が不充分になることを抑制することができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】圧力センサ３０及び温度センサ４０の少なくとも一方のセンサと、制御器５０と、を備え、制御器５０は、弁シート２２を弁座２５に当接した後、弁座２５及び弁シート２２の少なくとも一方が圧縮変形状態となる閉弁下死点まで駆動器１０を駆動させる閉弁しめきり動作を行い、圧力センサ３０及び温度センサ４０の少なくとも一方のセンサの検知値により、閉弁しめきり動作後に、弁シート２２が弁座２５との当接状態を保つ範囲内で弁シート２２と弁座２５との間の応力を緩和するように駆動器１０を駆動させる遮断応力緩和動作を行うか否かを判断するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】２つの弁座に対し、１つの弁軸の上下に設けた２つの弁体を、それぞれ当接または離間させて流体の流れを制御する流体制御弁において、生産性が高く、低コストで製造することができる流体制御弁を提供する。
【解決手段】ガス燃焼複合弁は、上側弁体２５Ｕのうち、上側弁座１５Ｕと少なくとも当接する上側弁シートと、下側弁体２５Ｌのうち、下側弁座１５Ｌと少なくとも当接する下側弁シートとが、所定硬度のゴムからなり、上側弁シートでは、上側弁座１５Ｕとの当接面である下面２７Ｕａが平面状に形成されていること、下側弁シートは、軸方向ＡＸと直交する径方向ＲＤの径外側の周縁に、軸方向ＡＸ下方側の成分と、径方向ＲＤ径外側の成分とを合成した向きに突出した当接変形部２９Ｌを有し、当接変形部２９Ｌが弾性変形して下側弁座１５Ｌと当接する。 （もっと読む）

【課題】燃料電池用ガス遮断弁において、圧縮荷重を大きくすることなく、シール性を高く維持するとともに高シール性をできるだけ長期間継続する。
【解決手段】遮断弁は、弁座５４ｃを備えたシール面５４ｂを有するボディー５０と、第１流路と第２流路を連通、遮断する弁体６１と、弁体６１に取り付けられ弁座５４ｃに当接してシールするシール部材７０と、を備えている。シール部材７０は、環状に形成され、シール部材７０の基部７１は、弁体６１に固定され、シール部材７０の先端部７２は、相対する２つの面７２ａ，７２ｂが先細となるように傾斜する形状に形成されるとともに、先端部７２が弁座５４ｃに接触した時点に２つの面７２ａ，７２ｂのなす角の断面２等分線Ｌ１とシール面５４ｂとのなす角θ１が鋭角または鈍角となるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】開弁時の必要推力を最小限に抑える燃料電池用ガス遮断弁を低コストで提供すること。
【解決手段】弁座５３に当接し、反応ガスを遮断する弁体２０と、ガス流通状態を切り替えるアクチュエータ６０とを備えた燃料電池用ガス遮断弁１０であって、弁体２０は弁座５３に当接した弁体２０を介して形成される一次側流路３３と二次側流路３４との間を反応ガスが流通する主流路３１を遮断する主弁２１と、主流路３１と比べ流路径が小さく、一次側流路３３と二次側流路３４との間を反応ガスが流通する副流路を遮断し、主弁２１に対して口径が小さい副弁４１と、主流路３１および副流路のガス流通状態をアクチュエータ６０により切り替える弁棒４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】寿命をより向上できるガス噴射装置を提供する。
【解決手段】ガス噴射装置は、有底円筒状のシリンダ１０と、シリンダの内側底面であって、燃料ガスの排出口２７が形成された弁座面２６と、シリンダ１０の内部空間に設けられた弁体２４と、を備える。シリンダ１０および弁体２４は、弁体２４の外周面とシリンダ１０の内周面との間の間隙を燃料ガスが通れるような形状となっている。また、シリンダ１０は、内部空間のうち弁体２４周辺におけるにおける凹角が９０度超過となる形状となっている。これにより、燃料ガスの淀みが生じにくく、ガス噴射装置の寿命が向上される。 （もっと読む）

【課題】流体用制御弁において、弁体が回転することを抑制すること。
【解決手段】流体用制御弁１００であって、筒状で、かつ一端部に流体噴射孔１３７を有し、流体を流通させるための流体流通空間１５１を形成するバルブボディ１０１と、内部に流体が通過する中空部１２９ｄと、中空部１２９ｄを通る流体を、流体流通空間１５１に導出させることで回転力を発生させる回転発生孔１２９ｈとを備え、バルブボディ１０１内で移動して流体噴射孔１３７を開閉する弁体１２９と、弁体１２９に止着され、流体噴射孔１３７を閉じる方向に弁体１２９を付勢するスプリング１４１と、弁体１２９とスプリング１４１との止着部分に設けられ、回転力が生じる回転方向に対向し、スプリング１４１の端部と当接する平面部と、スプリングピン１４７とスプリング１４１の端部に当接する平面部を有する一対のノッチと、を備える。 （もっと読む）

【課題】バタフライ弁の弁座部の止水可否を弁外部から診断できるようにする。
【解決手段】弁体２の弁箱弁座３に摺接する外周円周上に２本の弁体弁座面凸部２ａを有する止水用弁座とそれに挟まれた弁体弁座凹部２ｂの溝を形成し、バタフライ弁の全閉時に、該弁体弁座凹部２ｂを弁外部へ導通する通水孔５を弁箱１又は弁棒４に設けて、該通水孔５から連続して流れ出る流体の有無によって、弁体弁座面凸部２ａの止水状態を弁外部から診断可能とする。 （もっと読む）

【課題】電磁弁における弁体からの流体の漏れを低減する。
【解決手段】シャフト４３と弁体１５とを結合せず、弁体１５に球面状のシャフト支持部２０を設ける一方、シャフト４３の先端部を球面部４３ａとし、球面部４３ａに弁体１５の球面状のシャフト支持部２０をスプリング１６により弾力的に当接させて、弁体１５をシャフト４３に対し揺動自在に保持してなる電磁弁である。 （もっと読む）

【課題】第１ポートと第２ポートとが連通状態であっても、シール部材を構成する第１シール部材をプラズマや腐食性ガスから確実に保護してシール性能を長期にわたり維持（シール性能の低下を防止）できるバルブ装置を提供する。
【解決手段】弁体部２２を駆動する偏心シャフト２４を支持部材５２に対して軸方向に位置決めするためのホールドナット６６を設けることにより、偏心シャフト２４をその軸方向に確実に位置決めし、弁体部２２を高精度に位置制御する。また、第１ポート１２と第２ポート１４とが連通状態のときに、偏心シャフト２４による駆動で弁体部２２がハウジングの内壁面１８Ａに着座したときに、第１シール部材３０は外側に位置する比較的硬質な第２シール部材３２によってハウジング１８内部の流路１６から区画される。 （もっと読む）

【課題】全閉時の吸気漏れ流量を低減することのできるスロットル装置を提供する。
【解決手段】スロットル装置１０は、吸入空気が流れるボア１７を形成するボデー本体１２と、ボデー本体１２に形成された軸受支持孔２１内に軸受２３を介して回動可能に支持されるシャフト部２８及びボア１７を開閉するバタフライバルブ式のバルブ部３０を有するバルブ体１４とを備える。バルブ体１４に、軸受支持孔２１のボア１７側の開口端部内に環状の隙間Ｃ１を介して回動可能に嵌合する環状部材５０が設けられる。環状部材５０がバルブ体１４のシャフト部２８に圧入されかつバルブ部３０の軸方向端面３１に接面される。環状部材５０がプレス成形品からなる。 （もっと読む）

【課題】部品点数の減少に供することができ、弁体の可動時の傾きを抑制できるインジェクタ及び燃料電池システムを提供すること。
【解決手段】インジェクタ２５は、弁座５１に対して進退する弁体５２と、弁体５２を内部に収容するインジェクタボディ５０とを備える。弁体５２は、その進退方向に延在する側面５２ｄを有し、インジェクタボディ５０の内部には、弁体５２の側面５２ｄに対向する位置にガイド部８１，８２が設けられる。ガイド部８１，８２は、弁体５２が進退方向に対し傾いて可動した場合に弁体５２の側面５２ｄに面接触するように形成され、且つ、弁体５２が進退方向と平行に可動した場合に弁体５２の側面５２ｄに非接触となるように形成される。 （もっと読む）

流路を有するバルブ本体と、バルブ軸組立体と、バルブ板と、チューブを備えるバタフライバルブを提供する。バルブ軸組立体は、空間をあけて対向する位置関係にある第一の軸部と第二の軸部と、それらの間にある中間部と、バルブ軸組立体に固定された支持板とを備える。第一と第二の軸部はバルブ軸組立体をバルブ本体に回転可能に結合する。中間部材は流路と流体的に連通するチャンバーを形成する。支持板はバルブ閉位置において流路を通る流体流れの方向にほぼ直角になるようにチャンバー内に配設される。バルブ板は支持板に固定され、内部部分と前記内部部分の半径方向外側のフランジとを有する。フランジは支持板から離れる方向に向いている。
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【課題】 シールリップ構造のシールゴム９に、シールリップ９１とは別にバルブ全閉時にバルブシート３に接触して閉弁荷重を受ける荷重受け部９２を設けることで、バルブ全閉時にシールリップ９１の根元部分に加わる過大な応力を低減することを課題とする。
【解決手段】 シールリップ構造のシールゴム９に、バルブ全閉時におけるスプリング荷重等による閉弁荷重を受ける荷重受け部９２を、シールリップ９１に対して異なる部位に独立して設けることにより、バルブ全閉時にシールリップ９１に加わる閉弁荷重を効果的に緩和させることができるので、バルブ全閉時にシールリップ９１の根元部分に加わる過大な応力を効果的に低減することができる。これにより、シールリップ９１の根元部分に亀裂等の不具合が発生することを抑制できるので、シールゴム９の耐久性の向上を図ることができ、バルブ全閉時におけるシール機能の低下を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】高純度用途に適したバルブを提供すること
【解決手段】加圧ガスまたは液化ガスのためのバルブは、ガスフローチャンネル（１６）を有するバルブ本体（１２）と、ショルダー（６２）が設けられている自由端（６０）を有する開閉要素（３２）のための前記チャンネル内に設けられたシールシート（３０）とを備える。開閉要素（３２）の自由端（６０）には環状シール（６４）が取り付けられ、この環状シール（６４）は、シールシート（３０）に向いた前記端面（６６）と、開閉本体のショルダー（６２）に当接する後方端面（６８）を有する。保持リング（７０）は、環状シール（６４）を円周方向に囲むと共に、前記環状シール（６４）の前方端面（６６）の外側エッジに当接するラジアルリップ（７２）を含む。環状シール（６４）は、前方端面のエッジに位置する環状ショルダー（７４）を備え、保持リング（７０）を有するラジアルリップ（７２）は、環状シール（６４）の外側環状ショルダー（７４）に向いた環状ビード（７６）を有する。環状ビード（７６）が環状シール（６４）の外側環状ショルダー（７４）内に軸方向に進入し、環状シール（６４）を圧縮するよう、保持リング（７０）は、外側のリーク防止円周溶接部（７７）によって開閉要素（３２）に固定されている。 （もっと読む）

【課題】従来よりガスの漏れ量を低減させることが可能なバルブコアを提供する。
【解決手段】本発明のバルブコア２０は、ゴム製シール部材３１と金属ガラス製シール部材３２とによる二重シールによって挿通孔２１Ａ及びバルブ本体１０のコア装着孔１１を密閉することができる。そして、金属ガラス製シール部材３２を構成する「金属ガラス」が、一般の金属材料に比べて弾性が極めて高いので、メタルシールを機能させる場合に比べて小さな力で金属ガラス製シール部材３２を相手部位に密着させてシールを行うことができる。しかも、「金属ガラス」は、酸化物ガラスのように非晶質であるのでガスが透過し難く、これにより、従来のゴムシールだけのもの、又は、ゴムシールとメタルシールとを組み合わせたものに比べて、ガスの漏れ量を低減させることができる。 （もっと読む）

液体を送出するための，特に高密度及び中密度の液体を剛性容器から送出するための栓（１）であって，本体（３）と，軸手段（９）と，軸手段（９）の弾性作動手段（１１）と，本体（３）及び容器内部の空気入口／出口手段（１３，２５，２８）と，空気を通すための弁手段（７）と，空気入口及び出口手段（１３，２５，２８）と容器内部との間に配置されて，栓（１）外部と容器内部との間の圧力差によって案内及び駆動されるよう適応された逆止弁手段（２６）とを備える栓（１）が開示される。
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【課題】開弁に必要な駆動力を低減させることができるバルブを実現する。
【解決手段】バルブハウジング２内の流体入口４と流体出口５との間における流体流路３の途中に、弁孔６を有する弁座７が設けられて、前記弁座７を境にして前記流体入口４側に形成された一次側室８に、前記弁座７と当接または離反する弁体１１が配置され、この弁体１１は前記一次側室８に作用する流体圧とスプリング１２による弾性圧とにより閉弁方向へ付勢されて前記弁座７に当接され、また前記弁体１１は、この弁体１１を開弁方向へ操作する操作軸１５により離反される構造のバルブ１であって、前記操作軸１５は前記弁体１１の片側を支点２３として、この支点２３の反対側の前記弁体１１における操作位置２７を開弁方向へ操作する構造になっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 第２バルブ７の円環状端面および内部にゴムモールドされたモールドゴム（例えばフッ素ゴム等のシールゴム）９と樹脂ハウジング５の弁座との間の低温気密性の確保とＤＬＣ被膜９６の非粘着性の維持とを両立させることを課題とする。
【解決手段】 樹脂ハウジング５の弁座にステンレス鋼よりなるバルブシート部８を設け、更にこのバルブシート部８の表面上に非粘着剤４７をコーティングしている。一方、厳しい低温気密性を必要とする第２バルブ７のモールドゴム９の表面上にビッカース硬さがＨｖ１００〜２００のＤＬＣ被膜９６を薄膜形成している。これにより、モールドゴム９がバルブシート部８に対して着座、離座を繰り返しても、第２バルブ７のモールドゴム９と樹脂ハウジング５の弁座との間の耐摩耗性および低温気密性が低下することはなく、圧力感応弁として機能する第２バルブ７の耐久性および信頼性を向上できる。 （もっと読む）

弁体１は、本体２の底壁に設けられ且つ段差を有する環状溝３に、ゴム製の弾性体が加硫接着され、環状のシール部材４が形成されたものである。シール部材４は、環状部４１及び環状部４２を有している。環状部４１，４２の各々の大部分は、それぞれ深溝部３１及び浅溝部３２に充填されており、環状部４１の体
積が環状部４２よりも大きく形成されている。また、環状部４１，４２間の境界部位には、下方に突設した環状凸部４３が設けられており、また、所定の内角Ｑで傾斜する傾斜部が形成されている。 （もっと読む）