【課題】コンパクトで配管し易く、開閉弁のストロークが短く、開閉弁操作が容易な弁構造を提供する。
【解決手段】流路２を一次側と二次側に区画すると共に、複数の横長スリット状の不動弁口3aと、該不動弁口3aの上下幅より拡幅した複数の不動板弁3bとを上下方向で交互に平行配列した仕切板３と、該仕切板３の一面に上下摺動自在に当接すると共に、不動弁口3aと同形で合致可能にして、且つ不動板弁3bで水密閉塞可能な可動弁口4aと、不動板弁3bに合致可能にして、且つ不動弁口3aを水密閉塞可能な可動板弁4bとを上下方向で交互に平行配列した滑り弁体４とを備え、開弁状態で不動弁口3aに可動弁口4aが合致すると共に、不動板弁3bに可動板弁4bが合致し、閉弁状態で不動弁口3aは可動板弁4bに水密閉塞され、可動弁口4aは不動板弁3bに水密閉塞される様に成した。 （もっと読む）

【課題】特定のニーズに対応可能な弁装置と、かかる弁装置を備える水栓を提供する。
【解決手段】固定側装置部と可動側装置部とを備え、操作部を回転操作すると止水状態から通水状態に変化可能である。固定側装置部及び可動側装置部のうちの一方に設けられる被押圧部１０Ｋ、１０Ｌと、他方に設けられて原点位置に復帰させる付勢力が与えられた状態にて伝達軸（スピンドル４０）の半径方向に進退可能とされつつ被押圧部１０Ｋ、１０Ｌを押圧する押圧部６６Ｔ、６６Ｔとを具備する操作荷重付加手段を備える。被押圧部１０Ｋ、１０Ｌは、伝達軸（スピンドル４０）の回転軸心を中心とする一方の回転方向に沿って略円弧状の経路を描きつつ伝達軸（スピンドル４０）の回転軸心との距離を徐々に増加させる。 （もっと読む）

ゲートバルブは、バルブ本体内部で開放位置と閉鎖位置との間を移動可能なゲートと、ゲートの互いに反対側の外側シール面間のイコライザポートを規定する、ゲートに設けられた壁と、を有している。イコライザポートは、ゲートの作動によって、閉鎖位置と開放位置との間、および開放位置と閉鎖位置との間を移動できるように構成および配置されている。
（もっと読む）

【課題】 ガス栓の取替え費用を安価にする。
【解決手段】栓本体１のガス流出孔１ｂにケーシング７を挿脱可能に挿入する。ケーシング７には、その周壁部を貫通してガス流入孔１ａに連通した貫通孔７ａを形成し、ケーシング７内にガスが流入するようにする。これにより、ケーシング７の内部をガス流出孔１ｂの一部たる上流側流出孔７ｂとする。上流側流出孔７ｂには、第１、第２コイルばね４Ａ，４Ｂ、主弁３、第３コイルばね５及び副弁３を抜け止め状態で挿入する。これによって、弁ユニット６を構成する。上流側流出孔７ｂの内周面が主弁２によって傷つけられたときには、弁ユニット６を新たな他の弁ユニット６と交換する。栓本体１は、再利用する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弁体加熱用ヒータを真空処理雰囲気と隔離して大気雰囲気中に置くとともに交換可能な構造とすることにより、伝熱効率が良く、弁体の温度制御が十分に可能であり、パーティクルの発生がなく、かつ、ヒータ部分の交換が可能なゲートバルブを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のゲートバルブは、真空処理装置における真空処理室の開口部を開閉するゲートバルブにおいて、弁体と、該弁体を加熱するための弁体加熱用ヒータと、一方の面に弁体を支持し、他方の面に弁体加熱用ヒータを収納するヒータ収納部を有する弁体支持部材と、該弁体支持部材のヒータ収納部を密閉する蓋と、弁体支持部材を支持するとともに内部に大気と連通する挿通孔を有する弁ロッドとを備え、蓋をＯリングを介して弁体支持部材に着脱可能に固定し、弁体支持部材のヒータ収納部と弁ロッドの挿通孔とを連通する接続通路を弁体支持部材に設けることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 両連結フランジ部に対して遮断作業カバーを適正な装着位置に能率良く容易に取付けることができるとともに、仕切板弁の先端部の変形を抑制する。
【解決手段】 シール材４を介装した状態で締結具５にて締付け連結されている両管部２，３に、両連結フランジ部２Ａ，３Ａの外周を密封状態で囲繞可能で、両管部２，３の流路を遮断可能な薄板状の仕切板弁１０が抜き差し操作自在に設けられている遮断作業カバーＢを装着し、これの仕切板弁１０を、締結具５の緩み操作によって発生した両連結フランジ部２Ａ，３Ａ間の隙間Ｓを通して流路遮断位置にまで差し入れることにより、両連結フランジ部２Ａ，３Ａ間において流路を遮断する。両管部１，２に遮断作業カバーＢが装着されたとき、流路開放位置にある仕切板弁１０の先端部１０ｂが両連結フランジ部２Ａ，３Ａの対向面間の外周側に形成されている環状空隙２６内に入り込んだ状態に設定している。 （もっと読む）

【課題】制御流体の粘性変化の影響を少なくした流量調節弁を提供する。
【解決手段】軸方向に摺動可能に嵌合された摺動軸３０および摺動円筒面２１ａと摺動軸を移動する移動機構４０を有し、摺動軸３０表面に形成された三角形状テーパ溝３３と摺動円筒面２１ａとの間で流体の制御を行う。また、前記三角形状テーパ溝３３は所定関数に従って漸減または漸増する形状とし、移動機構４０の駆動軸３０と摺動円筒面２１ａとを互いに熱膨張係数の異なる材料により構成し、温度変化による流路区間の変化と粘性抵抗の変化での流量変化量とが打ち消し合うよう構成の流量調節弁。 （もっと読む）

ソレノイドバルブは、ハウジング内に収容されるスプールを含む。スプールはハウジング内で複数の位置に移動するようになっている。ハウジングは、供給ポートと排出ポートと、出口ポートと、を含む。スプールが所定の場所にあるとき、2つの出口ポートが互いに対して流体連通している。

（もっと読む）

【課題】温度補償を有効にする絞り弁を提供する。
【解決手段】互いに軸方向に摺動可能に嵌合された操作軸およびハウジング（２０）と、この操作軸（１２）およびハウジング（２０）の少なくともいずれか一方の摺動面に流体通路を形成するスパイラル溝（１４）と、ハウジング（２０）に対して前記操作軸（１２）を軸方向に移動させる操作軸移動機構とを有し、操作軸（１２）の軸方向の任意の位置において前記操作軸（１２）の一定移動量に対する前記流体通路の流量の変化率が指数関数的な傾きで表したとき一定になるようにスパイラル溝（１４）を流体通路を流れる流体の流量抵抗が長さ方向に沿ってハーゲン・ポアズイユの式により求められる指数関数的に漸減又は漸増するように形成し、操作軸（１４）とハウジング（２０）とを互いに熱膨張係数の異なる材料により構成した。 （もっと読む）

２つの平行するリンク部（６）によって本質的に平らな前部を備える枠組構造と、平行なレバー（１４）によって起動棒（１２ａ）とに、それぞれ接続される二つのキャリア（５ａ）を具備する真空室のための仕切弁。レバー（１４）を用いた、ピストン（１７）による動作棒（１２ａ）の上方への動作は、キャリア（５ａ）の上方への動作をもたらし、キャリア（５ａ）の動作はリンク部（６）により円軌道の動作に変換され、同時に、キャリア（５ａ）は前部と平行を保ちながら前部に近づき、密閉板（９）が前部及び開口部（３）を圧迫する作動位置に、キャリア（５ａ）に固定された密閉板（９）を移動させる。ピストン（１７）の収縮は、逆の動作をもたらし、それにより、密閉板（９）は、開口部（３）から完全に取り除かれ、開口部（３）は、簡単にアクセス可能になる。
（もっと読む）

第１の開口のアレイ（２０’）を画定する第１の部分（１０’）と第２の開口のアレイ（６０’）を画定する第２の部分（５０）とを備えるバルブであって、バルブを通る流体の通過が実質上妨げられる第１の形態と流体の通過が可能とされる第２の形態との間で、第１の部分（１０’）が第２の部分（５０）に対して移動可能であるバルブ。一実施形態では、第１の部分（１０’）は、第２の形態にあるときに第２の部分（５０）の封止面と係合し、バルブ全体にわたる圧力差に応答して第２の形態で係止するように構成された可撓プレート状部材を備える。プレート状部材は、バルブ全体にわたる圧力差に応答して、封止面のプロファイルに合致するのに十分な可撓性を有する。
（もっと読む）

【課題】パーティクルの発生や機構部寿命低下を生じさせることなく、動作時間を目標時間に納めることが可能なゲートバルブ装置を提供すること。
【解決手段】真空処理室１０の側壁に設けられた、ガラス基板Ｇの搬入出用の搬入出口１０ａを開閉するためのゲートバルブ装置３０は、搬入出口１０ａを開閉する弁体３３と、弁体３３を駆動させるエアシリンダ３６と、弁体３３の位置に応じて弁体３３の移動速度を異ならせるように弁体３３の駆動を制御するエア駆動回路６０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】今まで以上に高速な開閉動作が可能であり、ＰＷＭ方式の制御により滑らかな流量制御をすることができる液圧開閉弁を提供する。
【解決手段】入力ポート１１及び第１及び第２出力ポート１２，１３を有する円筒型の外筒１０内に第１及び第２開口部群４１，４２を形成した円筒状の弁板４０を挿入し、外筒の入力ポートと弁板との間に入力ポートから第１開口部群を経由して第１出力ポートに至る第１の流路と入力ポートから第２開口部群を経由して第２出力ポートに至る第２の流路を形成する円筒状の制御板５０を挿入し、弁板と連通板の相対回転により入力ポートと第１及び第２開口部群とを交互に連通させて第１及び第２の流路を交互に形成し、弁板と連通板の相対的な軸方向スライドにより入力ポートと第１及び第２開口部群との連通時間を制御して第１及び第２の流路の通流率を制御する。 （もっと読む）

【課題】 スプールには、流体力Ｆによる閉弁力が発生する。この流体力Ｆに抗する反力Ｆ’をスプール弁の内部に供給される油圧を用いて発生させ、流体力Ｆによる閉弁力を抑えることのできるスプール弁を提供する。
【解決手段】 第１、第２大径ランド２１、２２の中間位置に中間ランド２７を設けて、分配室を第１、第２副室α、βに分ける。そして、第１、第２副室α、βを絞り機能を果たす連通手段２８（環状隙間）によって連通する。この結果、第１副室αの圧力Ｐ１が高まり、第２副室βの圧力Ｐ２が相対的に下がる。これにより、第１大径ランド２１の軸方向面積をＡ１、第２大径ランド２２の軸方向面積をＡ２、中間ランド２７の軸方向面積をＡ３とした場合、スプール４には、流体力Ｆとは逆向きの
反力Ｆ’＝Ｐ１×（Ａ１−Ａ３）−Ｐ２×（Ａ２−Ａ３）
を発生させることができ、流体力Ｆを弱めることができる。 （もっと読む）

【課題】弁箱スリーブの上端開口部を開閉するカット弁弁体が開いている際、粉粒体状の流体が弁箱スリーブ内をスムーズに流れることが可能な複合弁を提供する。
【解決手段】弁箱流入口１０と弁箱流出口１１とを備えた弁箱４内に弁箱スリーブ５が設けられ、弁箱スリーブ５の上端開口部１３が弁箱流入口１０に連通するとともに下端開口部１４が弁箱４内で開口して弁箱流出口１１に対向し、弁箱スリーブ５内に、上端開口部１３を開閉する回転自在な椀形状のカット弁弁体６と退避スペース２１とが設けられ、退避スペース２１は弁箱スリーブ５の上端開口部１３の下流側に位置するとともに上端開口部１３よりも径方向外向きに拡がり、弁箱４内に、弁箱スリーブ５の下端開口部１４を開閉するシール弁弁体７が設けられ、カット弁弁体６は、開位置Ｏにおいて、弁箱スリーブ５内の退避スペース２１に退避する。 （もっと読む）

【課題】
切換時間を短縮させた流体用弁装置を提供すること。
【解決手段】
流体Ｆが通る少なくとも１つの流通路１４，１５，１６を有する弁ハウジング１１と、該弁ハウジング１１内で前記流通路１４，１５，１６の開閉を行う弁体１２と
を備えて成る弁装置において、前記弁体１２を前記弁ハウジング１１内における２つの閉鎖位置と該２つの閉鎖位置の間に位置する開放位置の間で摺動可能に構成した。さらに、前記弁ハウジング１１を少なくともその内部について円筒状に形成するとともに、前記弁体１２をピストン状に形成した。 （もっと読む）

【課題】シリンダシャフトと弁板との連結を解除しなくてもシール材の交換あるいはメンテナンスを行なうことができるゲート弁を提供する。
【解決手段】弁箱４と、該弁箱４の側面に着脱自在に取り付けられたバルブケース２１と、弁箱４とバルブケース２１との間に弁板１０を往復移動させるシリンダ装置６、８と、を備え、シリンダ装置６、８が、弁箱４に設置されたガイド１５に規制され、弁箱４上をバルブケース２１側に向かって水平方向に往復移動可能に設定したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転弁体の回転トルクをモニタすることで微少な回転異常を検出可能とする。
【解決手段】流体を供給または排気する切替用通孔１０６，１０７を有し相対回転する回転弁体１００において、回転する移動弁体１０１側に孔１０５を介して、駆動力を伝達するピン１０５Ａの長手方向に歪みを検出する歪みセンサ２０１を設ける。歪み検出器２０２とケーブル２０３を通じて歪み検出機構（歪み検出器２０２、警報手段２０４）を構成する。回転弁体１００の摺動面１０３，１０４に焼き付きなどの異常発生時、歪みセンサ２０１の歪み値に変化が生じ、回転異常を検出できる。警報手段２０４は歪み検出器２０２を介した異常検出時に警報を発報、または駆動停止手段（図示せず）により駆動手段（図示せず）を停止する。ピン１０５Ａの歪みを検出し、回転トルクの変化をモニタすることで摺動面１０３，１０４での損傷に起因する異常を高精度で検出できる。 （もっと読む）

制御バルブについて本明細書に開示する。バルブは、バルブ胴体、スリーブ、スプール、およびバルブアクチュエータアセンブリを含む。バルブ胴体は、空洞および第１のチャンバを含む。スリーブは、空洞と第１のチャンバとの間に位置する。スリーブは、該スリーブの第１の端部から第２の端部へと延伸する内孔と、該第２の端部に延在する少なくとも１つの開口部を備え、内孔の一部分は第２のチャンバを形成する。スプールは、内孔内に移動可能に配置される。バルブアクチュエータアセンブリは、スプールに接続される。第１のチャンバは、少なくとも１つの開口部を介して第２のチャンバと流体的に接続する。スプールは、そこを通る流体流動を調節するために、少なくとも１つの開口部の少なくとも一部分の上で移動可能であるように構成される。 （もっと読む）

【課題】 ボタンのプッシュ操作で吐水される湯水の吐水形態を交互に切替えることができ、さらに湯水の流量調節を素早く行なうことができる吐水装置を提供する。
【解決手段】 ボタン１３のプッシュ操作で吐水される湯水の吐水形態を第１通水孔１４からの吐水と第２通水孔１５からの吐水とに交互に切替えるための切替部材Ａを設けた吐水装置において、前記切替部材Ａは各通水孔１４，１５から吐水される湯水の流量を調節する流量調節部材Ｂを設け、この流量調節部材Ｂを前記ボタン１３と連繋させ、ボタン１３の操作により湯水の吐水形態の切替えと流量調節とを行なうようにした。 （もっと読む）